KR102146683B1 - Colored radiation-sensitive composition and color filter using the same - Google Patents
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Abstract
착색층을 형성했을 때 미노광부에 용액 잔사가 남지 않고, 또한 착색층의 표면의 거칠함이 억제된 감방사선성 조성물의 제공.
(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머, (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머, (d) 중합 개시제 및 (e) 착색제를 함유하고, (a) 중합성 기를 갖는 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 1~14질량%인 착색 감방사선성 조성물.Provision of a radiation-sensitive composition in which a solution residue is not left in an unexposed portion when a colored layer is formed, and the roughness of the surface of the colored layer is suppressed.
(a) an acrylic polymer having a polymerizable group, (b) a polymer having no polymerizable group, (c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds, (d) a polymerization initiator and (e) a colorant, (a) A colored radiation-sensitive composition in which the content of the polymer having a polymerizable group is 1 to 14% by mass of all polymer components.
Description
본 발명은 착색 감방사선성 조성물, 이것을 사용한 경화막, 컬러 필터, 잉크젯용 잉크, 컬러 필터의 제조 방법, 고체 촬상 소자, 액정 표시 장치 및 유기 EL 표시 장치에 관한 것이다. 특히, 네거티브형 현상에 바람직하게 사용되는 착색 감방사선성 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a colored radiation-sensitive composition, a cured film using the same, a color filter, an ink jet ink, a method for producing a color filter, a solid-state imaging device, a liquid crystal display device, and an organic EL display device. In particular, it relates to a colored radiation-sensitive composition preferably used for negative development.
컬러 필터는 고체 촬상 소자나 액정 표시 장치의 디스플레이에 불가결한 구성 부품이다. 이러한 컬러 필터를 형성하기 위해서 감광성 수지 조성물이 채용되어 있다. 예를 들면, 일본 특허 공개 2009-288282호 공보에는 감광성 투명 수지와, 비감광성 투명 수지와, 다관능 모노머와, 착색제 등을 포함하는 감광성 수지 조성물이 개시되어 있다. 또한, 일본 특허 공개 2009-288282호 공보에서는 감광성 수지 조성물 중에 있어서의 감광성 투명 수지의 함유량이 감광성 투명 수지와 비감광성 투명 수지의 합계 중량을 기준으로 해서 15~80중량%를 차지하는 것이 바람직하다고 기재되어 있다.The color filter is an indispensable component for a display of a solid-state image sensor or a liquid crystal display device. In order to form such a color filter, a photosensitive resin composition is employed. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-288282 discloses a photosensitive resin composition comprising a photosensitive transparent resin, a non-photosensitive transparent resin, a polyfunctional monomer, a colorant, and the like. In addition, in Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288282, it is described that the content of the photosensitive transparent resin in the photosensitive resin composition preferably accounts for 15 to 80% by weight based on the total weight of the photosensitive transparent resin and the non-photosensitive transparent resin. have.
그러나 본원 발명자가 일본 특허 공개 2009-288282호 공보를 검토한 결과, 일본 특허 공개 2009-288282호 공보에 기재된 조성물을 사용하여 착색층을 형성했을 경우 미노광부에 용액 잔사가 남거나 착색층의 표면이 거칠어져 버리는 것을 알았다. 본원 발명은 이러한 종래 기술의 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한 것으로서, 착색층을 형성했을 때 미노광부에 현상 잔사가 남지 않고, 또한 착색층의 표면의 거침이 저감된 감방사선성 조성물을 제공하는 것을 목적으로 한다.However, as a result of reviewing Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288282 by the inventor of the present application, when a colored layer was formed using the composition described in Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288282, a solution residue remained on the unexposed portion or the surface of the colored layer was rough. I knew I was losing. It is an object of the present invention to provide a radiation-sensitive composition in which a developing residue is not left in an unexposed portion when a colored layer is formed, and the roughness of the surface of the colored layer is reduced. The purpose.
상기 과제에 대해서 본원 발명자가 검토를 행한 결과, 일본 특허 공개 2009-288282호 공보에서는 감광성 수지 조성물에 포함되는 감광성 아크릴계 폴리머의 비율이 많기 때문에 막이 경화 수축되어 버려서 상기 문제점을 야기시키는 것을 알았다. 그러나 감광성 수지 조성물의 비율을 줄이면 일본 특허 공개 2009-288282호 공보에는 조성물의 감도가 뒤떨어져 버린다고 기재되어 있다. 또한, 얻어지는 착색층의 막의 강도도 뒤떨어져 버리는 것이 상정된다. 이러한 상황하 본원 발명자가 검토를 더 행한 결과, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량을 전체 폴리머 성분의 1~14질량%로 하고, 또한 (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머를 배합함으로써 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성하는 것에 이르렀다.As a result of investigation by the inventor of the present application for the above problems, it was found that in Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288282, the film cures and shrinks due to the large proportion of the photosensitive acrylic polymer contained in the photosensitive resin composition, causing the above problem. However, if the proportion of the photosensitive resin composition is reduced, Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288282 describes that the sensitivity of the composition is inferior. In addition, it is assumed that the strength of the film of the obtained colored layer is also inferior. Under such circumstances, the inventors of the present invention further studied, and found that (a) the content of the acrylic polymer having a polymerizable group was 1 to 14% by mass of the total polymer component, and (c) 3 or more ethylenically unsaturated double bonds were It was found that the above problems could be solved by blending the possessed monomers, and the present invention was completed.
구체적으로는 하기 수단 <1>에 의해, 바람직하게는 하기 수단 <2>~<18>에 의해 상기 과제는 해결되었다.Specifically, the subject was solved by the following means <1>, preferably by the following means <2> to <18>.
<1> (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머, (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머, (d) 중합 개시제 및 (e) 착색제를 함유하고, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 1~14질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<1> (a) an acrylic polymer having a polymerizable group, (b) a polymer having no polymerizable group, (c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds, (d) a polymerization initiator and (e) a colorant. It contains, and (a) content of the acrylic polymer which has a polymerizable group is 1-14 mass% of all polymer components, The colored radiation-sensitive composition characterized by the above-mentioned.
<2> <1>에 있어서, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 5~12질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<2> The colored radiation-sensitive composition according to <1>, wherein (a) the content of the acrylic polymer having a polymerizable group is 5 to 12% by mass of all polymer components.
<3> <1> 또는 <2>에 있어서, (e) 착색제는 적색, 마젠타색, 황색, 청색, 시안색 및 녹색으로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<3> The colored radiation-sensitive composition according to <1> or <2>, wherein the (e) coloring agent is at least one selected from red, magenta, yellow, blue, cyan, and green.
<4> <1> 내지 <3> 중 어느 하나에 있어서, 상기 착색 감방사선성 조성물 중에 있어서의 (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 0.8~2.0배(질량비)인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<4> The content of the monomer (c) having three or more ethylenically unsaturated double bonds in the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <3> is 0.8 to 2.0 of all polymer components. A colored radiation-sensitive composition characterized by being twice (mass ratio).
<5> <1> 내지 <4> 중 어느 하나에 있어서, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머로서 (메타)아크릴레이트 모노머를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<5> The colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <4>, wherein (c) a (meth)acrylate monomer is included as a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds. .
<6> <1> 내지 <4> 중 어느 하나에 있어서, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머로서 하기 일반식(ⅰ)으로 나타내어지는 화합물 및 일반식(ⅱ)으로 나타내어지는 화합물로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<6> The compound represented by the following general formula (i) and general formula (ii) according to any one of <1> to <4>, as (c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds. A colored radiation-sensitive composition comprising at least one kind selected from a branching compound.
[일반식(ⅰ) 및 (ⅱ) 중 E는 각각 -((CH2)yCH2O)- 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, y는 각각 1~10의 정수를 나타내고, X는 각각 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기 또는 카르복실기를 나타낸다.[In general formulas (i) and (ii), E represents -((CH 2 ) y CH 2 O)- or -((CH 2 ) y CH(CH 3 )O)-, respectively, and y is 1~ The integer of 10 is represented, and X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group, or a carboxyl group, respectively.
일반식(i) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, m은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이다.In General Formula (i), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 3 or 4, m represents an integer of 0 to 10, respectively, and the total of each m is an integer of 1 to 40.
일반식(ⅱ) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, n은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각 n의 합계는 1~60의 정수이다]In General Formula (ii), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 5 or 6, n each represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 1 to 60]
<7> <1> 내지 <6> 중 어느 하나에 있어서, (d) 중합 개시제는 옥심계 화합물인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<7> The colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <6>, wherein the (d) polymerization initiator is an oxime compound.
<8> <1> 내지 <7> 중 어느 하나에 있어서, (d) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머의 함유량은 상기 착색 감방사선성 조성물 중의 전체 고형분의 15~50질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<8> The content of the monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds according to any one of <1> to <7> is 15 to 50% by mass of the total solid content in the colored radiation-sensitive composition. Colored radiation-sensitive composition, characterized in that.
<9> <1> 내지 <8> 중 어느 하나에 있어서, (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머로서 알칼리 가용성 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<9> The colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <8>, wherein (b) an alkali-soluble resin is contained as a polymer having no polymerizable group.
<10> <1> 내지 <9> 중 어느 하나에 있어서, 전체 폴리머 성분의 함유량은 상기 착색 감방사선성 조성물 중의 전체 고형분의 10~50질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<10> The colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <9>, wherein the content of all polymer components is 10 to 50% by mass of the total solid content in the colored radiation-sensitive composition.
<11> <1> 내지 <10> 중 어느 하나에 기재된 착색 감방사선성 조성물을 경화해서 이루어지는 것을 특징으로 하는 경화막.<11> A cured film obtained by curing the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <10>.
<12> <1> 내지 <10> 중 어느 하나에 기재된 착색 감방사선성 조성물을 기판 상에 적용하는 공정과, 상기 착색 감방사선성 조성물을 노광하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 경화막의 제조 방법.<12> A method for producing a cured film comprising a step of applying the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <10> on a substrate, and a step of exposing the colored radiation-sensitive composition to light. .
<13> <1> 내지 <10> 중 어느 하나에 기재된 착색 감방사선성 조성물을 사용하여 형성된 것을 특징으로 하는 컬러 필터.<13> A color filter formed using the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <10>.
<14> <1> 내지 <10> 중 어느 하나에 기재된 착색 감방사선성 조성물을 기판 상에 적용하는 공정과, 상기 착색 감방사선성 조성물을 패턴 노광하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러 필터의 제조 방법.<14> of a color filter comprising a step of applying the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <10> on a substrate, and a step of pattern exposure of the colored radiation-sensitive composition Manufacturing method.
<15> <1> 내지 <10> 중 어느 하나에 기재된 착색 감방사선성 조성물을 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯용 잉크.<15> An ink jet ink comprising the colored radiation-sensitive composition according to any one of <1> to <10>.
<16> <13>에 기재된 컬러 필터 또는 <14>에 기재된 컬러 필터의 제조 방법에 의해 얻어진 컬러 필터를 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자, 액정 표시 장치 또는 유기 EL 표시 장치.<16> A solid-state imaging device, a liquid crystal display device, or an organic EL display device comprising the color filter according to <13> or a color filter obtained by the method for producing a color filter according to <14>.
또한, 상기 과제는 이하의 수단에 의해서도 해결되었다.Moreover, the said subject was also solved by the following means.
<17> 상기 중 어느 하나의 착색 감방사선성 조성물에 있어서, (e) 착색제는 안료인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<17> In the colored radiation-sensitive composition in any one of the above, (e) the colored radiation-sensitive composition, wherein the colorant is a pigment.
<18> 상기 중 어느 하나의 착색 감방사선성 조성물에 있어서, (e) 착색제는 안료이며, 또한 상기 (e) 착색제를 분산시키기 위한 분산제를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<18> The colored radiation-sensitive composition according to any one of the above, wherein the (e) colorant is a pigment, and further contains a dispersant for dispersing the (e) colorant.
<19> 상기 중 어느 하나의 착색 감방사선성 조성물에 있어서, (e) 착색제는 안료이며, 또한 상기 (e) 착색제를 분산시키기 위한 분산제로서 아크릴계 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<19> In the colored radiation-sensitive composition in any one of the above, (e) the colorant is a pigment, and an acrylic copolymer is included as a dispersant for dispersing the (e) colorant. Composition.
<20> 상기 중 어느 하나의 착색 감방사선성 조성물로서, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 산가는 10~200㎎KOH/g인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.<20> The colored radiation-sensitive composition according to any one of the above, wherein (a) the acrylic polymer having a polymerizable group has an acid value of 10 to 200 mgKOH/g.
<21> 상기 중 어느 하나의 착색 감방사선성 조성물로서, 네거티브형용인 것을 특징으로 하는 착색 방사선성 조성물.<21> As the colored radiation-sensitive composition in any one of the above, a colored radiation-sensitive composition for a negative type.
(발명의 효과)(Effects of the Invention)
본 발명에 의해 착색층을 형성했을 때 미노광부에 용액 잔사가 남지 않고, 또한 착색층의 표면의 거침이 억제된 감방사선성 조성물을 제공 가능하게 되었다.According to the present invention, when a colored layer is formed, it becomes possible to provide a radiation-sensitive composition in which a solution residue is not left in an unexposed portion and roughness of the surface of the colored layer is suppressed.
이하에 있어서 본 발명의 내용에 대해서 상세하게 설명한다. 또한, 본원 명세서에 있어서 「~」란 그 전후에 기재되는 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함하는 의미로 사용된다.Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail. In addition, in the specification of the present application, "~" is used with a meaning including numerical values described before and after it as a lower limit value and an upper limit value.
또한, 본 명세서에 있어서의 기(원자단)의 표기에 있어서 치환 및 무치환을 기재하고 있지 않은 표기는 치환기를 갖지 않는 것과 함께 치환기를 갖는 것도 포함하는 것이다. 예를 들면, 「알킬기」란 치환기를 갖지 않는 알킬기(무치환 알킬기)뿐만 아니라 치환기를 갖는 알킬기(치환 알킬기)도 포함하는 것이다.In addition, in the notation of a group (atomic group) in this specification, the notation which does not describe substitution and unsubstituted includes not only having no substituent but also having a substituent. For example, the "alkyl group" includes not only an alkyl group not having a substituent (unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group having a substituent (substituted alkyl group).
또한, 본 명세서 중에 있어서 "(메타)아크릴레이트"는 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 나타내고, "(메타)아크릴"은 아크릴 및 메타크릴을 나타내고, "(메타)아크릴로일"은 아크릴로일 및 메타크릴로일을 나타낸다. 또한, 본 명세서 중에 있어서 "단량체"와 "모노머"는 동의이다. 본 발명에 있어서의 단량체는 올리고머 및 폴리머로 구별되어 중량 평균 분자량이 2,000 이하인 화합물을 말한다. 본 명세서 중에 있어서 중합성 화합물이란 중합성 관능기를 갖는 화합물을 말하고, 단량체이어도 폴리머이어도 좋다. 중합성 관능기란 중합 반응에 관여하는 기를 말한다.In addition, in the present specification, "(meth)acrylate" represents acrylate and methacrylate, "(meth)acryl" represents acrylic and methacrylic, and "(meth)acryloyl" represents acryloyl and Represents methacryloyl. In addition, in this specification, "monomer" and "monomer" are synonymous. The monomer in the present invention is classified into an oligomer and a polymer, and refers to a compound having a weight average molecular weight of 2,000 or less. In the present specification, the polymerizable compound refers to a compound having a polymerizable functional group, and may be a monomer or a polymer. The polymerizable functional group refers to a group involved in the polymerization reaction.
본 발명에서 말하는 「방사선」은 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 포함하는 것을 의미한다. 본 발명에서 말하는 「착색층」은 컬러 필터에 사용되는 화소 및/또는 블랙 매트릭스로 이루어지는 층을 의미한다."Radiation" in the present invention means to include visible light, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron rays, X-rays, and the like. The "colored layer" used in the present invention means a layer made of a pixel and/or a black matrix used for a color filter.
이하 본 발명의 착색 감방사선성 조성물, 컬러 필터 및 그 제조 방법, 고체 촬상 소자, 액정 표시 장치 및 유기 EL 표시 장치에 대해서 상세하게 설명한다. 이하에 기재하는 구성 요건의 설명은 본 발명의 대표적인 실시형태에 의거해서 이루어지지만, 본 발명은 그러한 실시형태에 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the colored radiation-sensitive composition of the present invention, a color filter, and a method of manufacturing the same, a solid-state imaging device, a liquid crystal display device, and an organic EL display device will be described in detail. The description of the constitutional requirements described below is made based on typical embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to such embodiments.
본 발명의 착색 감방사선성 조성물(이하 「본 발명의 조성물」이라고 칭하는 경우가 있음)은 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머, (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머, (d) 중합 개시제 및 (e) 착색제를 함유하고, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 1~14질량%인 것을 특징으로 한다.The colored radiation-sensitive composition of the present invention (hereinafter sometimes referred to as ``the composition of the present invention'') is (a) an acrylic polymer having a polymerizable group, (b) a polymer having no polymerizable group, and (c) 3 or more ethylene. A monomer having a sexually unsaturated double bond, (d) a polymerization initiator and (e) a colorant, and the content of (a) an acrylic polymer having a polymerizable group is 1 to 14% by mass of the total polymer component.
본 발명에서는 수지 성분으로서 적어도 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머 및 (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머를 포함한다.In the present invention, the resin component includes at least (a) an acrylic polymer having a polymerizable group and (b) a polymer having no polymerizable group.
본 발명에서는 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 1~14질량%이며, 5~12질량%인 것이 보다 바람직하고, 5~9질량%인 것이 더욱 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써 본 발명의 조성물을 층상으로 해서 경화시켜서 착색층을 형성할 때에 막 수축이 일어나기 어렵고, 결과적으로 패턴 형성성이 뛰어나서 표면 거침이 적은 착색층을 형성할 수 있다.In the present invention, the content of the acrylic polymer (a) having a polymerizable group is 1 to 14% by mass of the total polymer component, more preferably 5 to 12% by mass, and still more preferably 5 to 9% by mass. By setting it as such a range, film shrinkage is less likely to occur when forming a colored layer by curing the composition of the present invention in a layered form, and as a result, it is possible to form a colored layer having excellent pattern formation and less surface roughness.
본 발명에서 사용하는 전체 수지 성분 중의 산가는 10~200㎎KOH/g인 것이 바람직하고, 20~150㎎KOH/g인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써 현상 후의 미노광부의 잔사을 저감하는 것이 가능하게 된다.The acid value in all the resin components used in the present invention is preferably 10 to 200 mgKOH/g, more preferably 20 to 150 mgKOH/g. By setting it as such a range, it becomes possible to reduce the residue of the unexposed part after development.
본 발명의 조성물에 있어서의 전체 수지 성분은 전체 고형분의 10~50질량%인 것이 바람직하고, 20~40질량%인 것이 더욱 바람직하다.The total resin component in the composition of the present invention is preferably 10 to 50% by mass, and more preferably 20 to 40% by mass of the total solid content.
(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(a) acrylic polymer having a polymerizable group
본 발명의 조성물은 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머를 함유한다. 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머가 갖는 중합성 기로서는 에틸렌성 불포화 결합성 기가 예시되고, (메타)아크릴로일기 및 비닐기가 바람직하고, (메타)아크릴로일기가 더욱 바람직하다.The composition of the present invention contains an acrylic polymer having a polymerizable group. As the polymerizable group which the acrylic polymer having a polymerizable group has, an ethylenically unsaturated bonding group is illustrated, a (meth)acryloyl group and a vinyl group are preferable, and a (meth)acryloyl group is more preferable.
본 발명에서 사용하는 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머는 통상 중합성 기를 갖는 구성 단위와 기타 구성 단위를 포함한다.The acrylic polymer having a polymerizable group used in the present invention usually includes a structural unit having a polymerizable group and other structural units.
본 발명에 있어서의 아크릴계 폴리머란 (메타)아크릴산, (메타)아크릴산 에스테르, (메타)아크릴아미드 중 1종 이상 유래의 반복 단위를 갖는 비닐 중합체를 말한다.The acrylic polymer in the present invention refers to a vinyl polymer having repeating units derived from at least one of (meth)acrylic acid, (meth)acrylic acid ester, and (meth)acrylamide.
중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머에 포함되는 중합성 기의 비율로서는 5~50인 것이 바람직하고, 10~40인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써 경화성과 현상성의 양립이 보다 효과적으로 달성된다. 여기서 중합성 기의 비율이란 몰 공중합 비율을 의미한다.The ratio of the polymerizable group contained in the acrylic polymer having a polymerizable group is preferably 5 to 50, and more preferably 10 to 40. By setting it as such a range, coexistence of hardenability and developability is achieved more effectively. Here, the ratio of a polymerizable group means a molar copolymerization ratio.
기타 구성 단위로서는 산기를 포함하는 구성 단위가 예시된다. 산기로서는 카르복실기, 인산기, 술폰산기, 페놀성 수산기 등을 들 수 있고, 카르복실기가 바람직하다.As other structural units, structural units containing an acidic group are illustrated. Examples of the acid group include a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, and a phenolic hydroxyl group, and a carboxyl group is preferable.
또한, 본 발명에서 사용하는 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 산가는 10~200㎎KOH/g인 것이 바람직하고, 20~150㎎KOH/g인 것이 보다 바람직하다. 이러한 범위로 함으로써 패턴 형성할 때의 미노광부의 용해성을 높이는 것이 가능하게 된다. 본 발명에 있어서의 산가는 수산화칼륨 용액과의 중화 적정에 의해 얻어진 값을 말한다.Further, the acid value of the acrylic polymer having a polymerizable group used in the present invention is preferably 10 to 200 mgKOH/g, more preferably 20 to 150 mgKOH/g. By setting it as such a range, it becomes possible to improve the solubility of an unexposed part at the time of pattern formation. The acid value in the present invention refers to a value obtained by neutralization titration with a potassium hydroxide solution.
중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머로서는, 예를 들면 카르복실기 함유 수지에 글리시딜(메타)아크릴레이트, 알릴글리시딜에테르 등의 글리시딜기 함유 불포화화합물이나 알릴알코올, 2-히드록시아크릴레이트, 2-히드록시메타크릴레이트 등의 불포화 알코올을 반응시킨 수지, 수산기를 갖는 카르복실기 함유 수지에 유리 이소시아네이트기 함유 불포화 화합물, 불포화산 무수물을 반응시킨 수지, 에폭시 수지와 불포화 카르복실산의 부가 반응물에 다염기산 무수물을 반응시킨 수지, 공역 디엔 공중합체와 불포화 디카르복실산 무수물의 부가 반응물에 수산기 함유 다관능 모노머를 반응시킨 수지, 염기 처리에 의해 탈리 반응이 생기되어 불포화기를 부여하는 특정 관능기를 갖는 수지를 합성하고, 상기 수지에 염기 처리를 실시함으로써 불포화기를 생성시킨 수지 등을 대표적인 수지로서 들 수 있다.As an acrylic polymer having a polymerizable group, for example, glycidyl group-containing unsaturated compounds such as glycidyl (meth)acrylate and allyl glycidyl ether, allyl alcohol, 2-hydroxyacrylate, 2- Resins reacted with unsaturated alcohols such as hydroxymethacrylate, unsaturated compounds containing free isocyanate groups, unsaturated acid anhydrides reacted with carboxyl group-containing resins having hydroxyl groups, and polybasic acid anhydrides in addition reaction products of epoxy resins and unsaturated carboxylic acids. The reacted resin, a resin in which a polyfunctional monomer containing a hydroxyl group was reacted with an addition reaction product of a conjugated diene copolymer and an unsaturated dicarboxylic anhydride, and a resin having a specific functional group giving an unsaturated group by causing a desorption reaction by base treatment were synthesized. As a typical resin, a resin in which an unsaturated group was generated by subjecting the resin to a base treatment is exemplified.
그 중에서도 카르복실기 함유 수지에 글리시딜(메타)아크릴레이트, 알릴글리시딜에테르 등의 글리시딜기 함유 불포화 화합물을 반응시킨 수지, 수산기 함유 (메타)아크릴산 에스테르계 화합물을 중합시킨 수지에 (메타)아크릴산-2-이소시아네이트 에틸 등의 유리 이소시아네이트기를 갖는 (메타)아크릴산 에스테르를 반응시킨 수지, 후술하는 일반식(1)~(3)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 수지, 염기 처리에 의해 탈리 반응이 생기되어 불포화기를 부여하는 특정 관능기를 갖는 수지를 합성하고, 상기 수지에 염기 처리를 실시함으로써 불포화기를 생성시킨 수지등이 보다 바람직하다.Among them, a resin obtained by reacting a carboxyl group-containing resin with a glycidyl group-containing unsaturated compound such as glycidyl (meth)acrylate and allyl glycidyl ether, and a resin obtained by polymerizing a hydroxyl group-containing (meth)acrylic acid ester compound (meth) A resin obtained by reacting a (meth)acrylic acid ester having a free isocyanate group such as acrylate-2-isocyanate ethyl, a resin having a structural unit represented by the general formulas (1) to (3) described below, and a base treatment to cause a desorption reaction. It is more preferable to synthesize a resin having a specific functional group to impart an unsaturated group, and to base-treat the resin to produce an unsaturated group.
중합성 기를 갖는 수지는 하기 일반식(1)~(3) 중 어느 하나로 나타내어지는 구조 단위로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는 수지인 것이 바람직하고, 일반식(1)으로 나타내어지는 구조 단위를 적어도 1종 포함하는 수지인 것이 보다 바람직하다.The resin having a polymerizable group is preferably a resin containing at least one type selected from structural units represented by any one of the following general formulas (1) to (3), and at least a structural unit represented by general formula (1) It is more preferable that it is a resin containing 1 type.
[일반식(1)~(3) 중 A1, A2 및 A3은 각각 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R21)-을 나타내고, R21은 알킬기를 나타낸다. G1, G2 및 G3은 각각 2가의 유기기를 나타낸다. X 및 Z는 각각 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R22)-를 나타내고, R22는 알킬기를 나타낸다. Y는 산소 원자, 황 원자, 페닐렌기 또는 -N(R23)-을 나타내고, R23은 알킬기를 나타낸다. R1~R20은 각각 독립으로 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타낸다][In General Formulas (1) to (3), A 1 , A 2 and A 3 each represent an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 21 )-, and R 21 represents an alkyl group. Each of G 1 , G 2 and G 3 represents a divalent organic group. X and Z each represent an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 22 )-, and R 22 represents an alkyl group. Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a phenylene group, or -N(R 23 )-, and R 23 represents an alkyl group. R 1 to R 20 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent organic group]
A1은 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R21)-을 나타내고, 산소 원자 또는 황 원자가 바람직하고, 산소 원자가 더욱 바람직하다.A 1 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 21 )-, an oxygen atom or a sulfur atom is preferable, and an oxygen atom is more preferable.
G1은 2가의 유기기를 나타내고, 탄소수 1~20개의 알킬렌기, 탄소수 3~20개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~20개의 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~12개의 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 더욱 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 특히 바람직하다. 이들의 기는 치환기를 더 갖고 있어도 좋고, 치환기로서는 수산기가 바람직하다. G1의 더 바람직한 실시형태로서는 -(CH2)n-(치환기를 가져도 좋은 시클로알킬렌기)-(CH2)n-이며, n은 각각 0~2의 정수이고, 시클로알킬렌기는 5원환 또는 6원환(보다 바람직하게는 6원환)이다.G 1 represents a divalent organic group, preferably a group consisting of an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and combinations thereof, and a straight chain having 1 to 10 carbon atoms Or a branched alkylene group, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 12 carbon atoms, and a group consisting of a combination thereof, more preferably, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms A group consisting of an alkylene group and a combination thereof is particularly preferred. These groups may further have a substituent, and a hydroxyl group is preferable as a substituent. A more preferred embodiment of G 1 is -(CH 2 ) n -(cycloalkylene group which may have a substituent)-(CH 2 ) n -, where n is an integer of 0 to 2, and cycloalkylene group is a 5-membered ring Or a 6-membered ring (more preferably a 6-membered ring).
X는 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R22)-를 나타내고, 산소 원자 또는 -NH-가 바람직하고, 산소 원자가 보다 바람직하다.X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 22 )-, an oxygen atom or -NH- is preferable, and an oxygen atom is more preferable.
R1~R3은 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, 수소 원자 또는 탄소수 1~5개의 알킬기가 바람직하다. R1 및 R2는 수소 원자가 더욱 바람직하고, R3은 수소 원자 또는 메틸기가 더욱 바람직하다.Each of R 1 to R 3 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. R 1 and R 2 are more preferably a hydrogen atom, and R 3 is more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
R4~R6은 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, 수소 원자 또는 탄소수 1~5개의 알킬기가 바람직하다. R4는 수소 원자 또는 탄소수 1~3개의 알킬기가 보다 바람직하고, 수소 원자, 메틸기가 더욱 바람직하다. R5 및 R6은 각각 수소 원자, 할로겐 원자, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기가 예시되고, 수소 원자, 알콕시카르보닐기, 알킬기, 아릴기가 바람직하고, 수소 원자 또는 메틸기가 더욱 바람직하고, 수소 원자가 특히 바람직하다.Each of R 4 to R 6 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. R 4 is more preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and still more preferably a hydrogen atom or a methyl group. R 5 and R 6 are each a hydrogen atom, a halogen atom, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an alkylsulfonyl group, an arylsulfonyl group, and a hydrogen atom , An alkoxycarbonyl group, an alkyl group, and an aryl group are preferable, a hydrogen atom or a methyl group is more preferable, and a hydrogen atom is particularly preferable.
상기 기는 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 치환기를 갖고 있어도 좋고, 이러한 치환기로서는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, 이소프로폭시카르보닐기, 메틸기, 에틸기, 페닐기를 들 수 있다.The group may have a substituent within a range not departing from the spirit of the present invention, and examples of such a substituent include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an isopropoxycarbonyl group, a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.
A2는 각각 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R21)-을 나타내고, 산소 원자 또는 황 원자가 바람직하고, 산소 원자가 더욱 바람직하다.A 2 each represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 21 )-, an oxygen atom or a sulfur atom is preferable, and an oxygen atom is more preferable.
G2는 2가의 유기기를 나타내고, 탄소수 1~20개의 알킬렌기, 탄소수 3~20개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~20개의 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~12개의 치환기를 가져도 좋은 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 더욱 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 특히 바람직하다. G2의 더 바람직한 실시형태로서는 -(CH2)n-(시클로알킬렌기)-(CH2)n-이며, n은 각각 0~2의 정수이고, 시클로알킬렌기는 5원환 또는 6원환(보다 바람직하게는 6원환)이 바람직하다.G 2 represents a divalent organic group, preferably a group consisting of an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and combinations thereof, and a linear chain having 1 to 10 carbon atoms Or a branched alkylene group, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms, an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms, and a group consisting of a combination thereof, more preferably, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, A group consisting of 3 to 10 cycloalkylene groups and combinations thereof is particularly preferred. A more preferred embodiment of G 2 is -(CH 2 ) n -(cycloalkylene group)-(CH 2 ) n -, n is an integer of 0 to 2, respectively, and the cycloalkylene group is a 5- or 6-membered ring (more Preferably, a 6-membered ring) is preferred.
Y는 산소 원자, 황 원자, 페닐렌기 또는 -N(R23)-을 나타내고, 산소 원자, 페닐렌기 또는 -NH-가 바람직하고, 산소 원자 또는 페닐렌기가 보다 바람직하다.Y represents an oxygen atom, a sulfur atom, a phenylene group, or -N(R 23 )-, and an oxygen atom, a phenylene group or -NH- is preferable, and an oxygen atom or a phenylene group is more preferable.
R7~R9는 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, 수소 원자, 탄소수 1~5개의 알킬기가 바람직하다. R7 및 R8은 수소 원자가 바람직하고, R9는 수소 원자 및 메틸기가 바람직하다.Each of R 7 to R 9 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and a hydrogen atom and an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms are preferable. R 7 and R 8 are preferably a hydrogen atom, and R 9 is preferably a hydrogen atom and a methyl group.
R10~R12는 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, 수소 원자, 할로겐 원자, 디알킬아미노기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기를 들 수 있고, 수소 원자, 알콕시카르보닐기, 알킬기, 아릴기가 바람직하다.R 10 to R 12 each represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, and a hydrogen atom, a halogen atom, a dialkylamino group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, And an alkylsulfonyl group and an arylsulfonyl group, and a hydrogen atom, an alkoxycarbonyl group, an alkyl group, and an aryl group are preferable.
상기 기는 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 치환기를 갖고 있어도 좋고, 이러한 치환기로서는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, 이소프로폭시카르보닐기, 메틸기, 에틸기, 페닐기를 들 수 있다.The group may have a substituent within a range not departing from the spirit of the present invention, and examples of such a substituent include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an isopropoxycarbonyl group, a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.
A3은 각각 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R21)-을 나타내고, 산소 원자 또는 황 원자가 바람직하고, 산소 원자가 더욱 바람직하다.A 3 represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 21 )-, respectively, an oxygen atom or a sulfur atom is preferable, and an oxygen atom is more preferable.
G3은 2가의 유기기를 나타내고, 탄소수 1~20개의 알킬렌기, 탄소수 3~20개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~20개의 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기, 탄소수 6~12개의 치환기를 가져도 좋은 방향족 기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 더욱 바람직하고, 탄소수 1~10개의 직쇄상 또는 분기 알킬렌기, 탄소수 3~10개의 시클로알킬렌기 및 이들의 조합으로 이루어지는 기가 특히 바람직하다. G3의 더 바람직한 실시형태로서는 -(CH2)n-(시클로알킬렌기)-(CH2)n-이며, n은 각각 0~2의 정수이고, 시클로알킬렌기는 5원환 또는 6원환(보다 바람직하게는 6원환)이 바람직하다.G 3 represents a divalent organic group, preferably a group consisting of an alkylene group having 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms, an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms, and combinations thereof, and a linear chain having 1 to 10 carbon atoms Or a branched alkylene group, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms, an aromatic group which may have a substituent having 6 to 12 carbon atoms, and a group consisting of a combination thereof, more preferably, a linear or branched alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, A group consisting of 3 to 10 cycloalkylene groups and combinations thereof is particularly preferred. A more preferred embodiment of G 3 is -(CH 2 ) n -(cycloalkylene group)-(CH 2 ) n -, n is an integer of 0 to 2, respectively, and the cycloalkylene group is a 5- or 6-membered ring (more Preferably, a 6-membered ring) is preferred.
Z는 산소 원자, 황 원자 또는 -N(R23)-을 나타내고, 산소 원자 또는 -NH-가 바람직하고, 산소 원자가 보다 바람직하다.Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, or -N(R 23 )-, an oxygen atom or -NH- is preferable, and an oxygen atom is more preferable.
R13~R15는 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, 수소 원자 또는 탄소수 1~5개의 알킬기가 바람직하다. R1 및 R2는 수소 원자가 더욱 바람직하고, R3은 수소 원자 또는 메틸기가 더욱 바람직하다.Each of R 13 to R 15 represents a hydrogen atom or a monovalent organic group, and a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is preferable. R 1 and R 2 are more preferably a hydrogen atom, and R 3 is more preferably a hydrogen atom or a methyl group.
R16~R20은 각각 수소 원자 또는 1가의 유기기를 나타내고, R16~R20은 예를 들면 수소 원자, 할로겐 원자, 디알킬아미노기, 알콕시카르보닐기, 술포기, 니트로기, 시아노기, 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기, 알킬술포닐기, 아릴술포닐기를 들 수 있고, 수소 원자, 알콕시카르보닐기, 알킬기, 아릴기가 바람직하다. 상기 기는 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 치환기를 갖고 있어도 좋고, 이러한 치환기로서는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, 이소프로폭시카르보닐기, 메틸기, 에틸기, 페닐기를 들 수 있다.R 16 to R 20 each represent a hydrogen atom or a monovalent organic group, and R 16 to R 20 are , for example, a hydrogen atom, a halogen atom, a dialkylamino group, an alkoxycarbonyl group, a sulfo group, a nitro group, a cyano group, an alkyl group, an aryl Group, alkoxy group, aryloxy group, alkylsulfonyl group, arylsulfonyl group, and hydrogen atom, alkoxycarbonyl group, alkyl group, and aryl group are preferable. The group may have a substituent within a range not departing from the spirit of the present invention, and examples of such a substituent include a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, an isopropoxycarbonyl group, a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.
일반식(1)~(3)으로 나타내어지는 구조 단위는 경화성 향상 및 현상 잔사 저감의 관점으로부터 20~95몰%의 범위에서 포함되는 화합물이 바람직하다. 보다 바람직하게는 25~90몰%이며, 더욱 바람직하게는 30~85몰%의 범위이다.The structural unit represented by the general formulas (1) to (3) is preferably a compound contained in the range of 20 to 95 mol% from the viewpoint of improving curability and reducing development residue. It is more preferably 25 to 90 mol%, and still more preferably in the range of 30 to 85 mol%.
일반식(1)~(3)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 고분자 화합물의 합성은 일본 특허 공개 2003-262958호 공보의 단락 번호 0027~0057에 기재된 합성 방법에 의거해서 행할 수 있다. 이 중에서는 동 공보 중의 합성 방법 1)에 의한 것이 바람직하다.Synthesis of a polymer compound having a structural unit represented by the general formulas (1) to (3) can be performed based on the synthesis method described in paragraphs 0027 to 0057 of JP-A-2003-262958. Among these, those by the synthesis method 1) in the same publication are preferable.
일반식(1)~(3)으로 나타내어지는 구조 단위를 갖는 고분자 화합물의 구체적인 화합물 예로서는 하기 화합물을 들 수 있다. 본 발명은 이들 화합물에 한정되는 것이 아닌 것은 말할 것도 없다.The following compounds are mentioned as a specific compound example of the high molecular compound which has a structural unit represented by General formula (1)-(3). It goes without saying that the present invention is not limited to these compounds.
본 발명의 조성물은 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머를 필수 성분으로서 포함하지만, 중합성 기를 갖는 비아크릴계 폴리머를 포함하고 있어도 좋다. 중합성 기를 갖는 비아크릴계 폴리머의 배합량은 전체 수지 성분의 5질량% 이하인 것이 바람직하고, 3질량% 이하인 것이 바람직하고, 1질량% 이하인 것이 더욱 바람직하고, 실질적으로 포함하지 않는, 예를 들면 0질량%인 것이 특히 바람직하다.The composition of the present invention contains an acrylic polymer having a polymerizable group as an essential component, but may contain a non-acrylic polymer having a polymerizable group. The blending amount of the non-acrylic polymer having a polymerizable group is preferably 5% by mass or less of the total resin component, preferably 3% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and substantially does not contain, for example, 0% by mass. It is particularly preferred that it is %.
(b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머(b) a polymer without a polymerizable group
본 발명에서는 중합성 기를 갖지 않는 폴리머를 포함한다. 중합성 기를 포함하지 않는 폴리머로서는 안료 등을 분산시키기 위한 분산제나 추가 첨가 수지가 예시된다. 본 발명의 조성물에 포함되는 중합성 기를 갖지 않는 폴리머로서는 특히, 분산 수지나 추가 첨가 수지로서 사용되는 알칼리 가용성 수지, 분산제 및 알칼리 가용성 수지 이외의 분산 수지가 예시된다. 또한, 알칼리 가용성 수지이며, 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머는 상기 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(a)에 해당한다. 이하, 중합성 기를 갖지 않는 폴리머의 상세를 설명한다.In the present invention, a polymer having no polymerizable group is included. As a polymer which does not contain a polymerizable group, a dispersing agent for dispersing a pigment or the like and an additional resin are exemplified. As a polymer which does not have a polymerizable group contained in the composition of the present invention, in particular, an alkali-soluble resin used as a dispersion resin or an additional resin, a dispersant, and a dispersion resin other than an alkali-soluble resin are exemplified. Further, the acrylic polymer which is an alkali-soluble resin and has a polymerizable group corresponds to the acrylic polymer (a) having a polymerizable group. Hereinafter, the details of the polymer having no polymerizable group will be described.
본 발명에서는 중합성 기를 갖지 않는 폴리머로서 중합성 기를 갖지 않는 아크릴계 폴리머를 포함하는 것이 바람직하다. 이러한 중합성 기를 갖지 않는 아크릴계 폴리머의 바람직한 예는 알칼리 가용성 수지이다.In the present invention, it is preferable to include an acrylic polymer having no polymerizable group as the polymer having no polymerizable group. A preferred example of an acrylic polymer that does not have such a polymerizable group is an alkali-soluble resin.
알칼리 가용성 수지Alkali-soluble resin
알칼리 가용성 수지로서는 선상 유기 고분자 중합체이며, 분자(바람직하게는 아크릴계 공중합체, 스티렌계 공중합체를 주쇄로 하는 분자) 중에 적어도 1개의 알칼리 가용성을 촉진하는 기를 갖는 알칼리 가용성 수지 중으로부터 적당하게 선택할 수 있다. 내열성의 관점으로부터는 폴리히드록시스티렌계 수지, 폴리실록산계 수지, 아크릴계 수지, 아크릴아미드계 수지, 아크릴/아크릴아미드 공중합체 수지가 바람직하고, 현상성 제어의 관점으로부터는 아크릴계 수지, 아크릴아미드계 수지, 아크릴/아크릴아미드 공중합체 수지가 바람직하다.The alkali-soluble resin is a linear organic high-molecular polymer, and can be appropriately selected from among alkali-soluble resins having at least one group promoting alkali solubility in the molecule (preferably, a molecule having an acrylic copolymer or a styrene copolymer as a main chain). . From the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resin, polysiloxane resin, acrylic resin, acrylamide resin, and acrylic/acrylamide copolymer resin are preferable, and from the viewpoint of developing property control, acrylic resin, acrylamide resin, Acrylic/acrylamide copolymer resins are preferred.
알칼리 가용성을 촉진하는 기(이하 산기라고도 칭함)로서는, 예를 들면 카르복실기, 인산기, 술폰산기, 페놀성 수산기 등을 들 수 있지만, 용제에 가용이고 약알카리 수용액에 의해 현상 가능한 것이 바람직하고, (메타)아크릴산을 특히 바람직한 것으로서 들 수 있다. 이들 산기는 1종뿐이어도 좋고, 2종 이상이어도 좋다.Examples of groups that promote alkali solubility (hereinafter, also referred to as acid groups) include carboxyl groups, phosphoric acid groups, sulfonic acid groups, and phenolic hydroxyl groups. However, those soluble in a solvent and developable with a weak alkali aqueous solution are preferred. ) Acrylic acid is mentioned as a particularly preferable thing. These acid groups may be used alone or in combination of two or more.
상기 중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머로서는, 예를 들면 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트 등의 수산기를 갖는 모노머, 글리시딜(메타)아크릴레이트 등의 에폭시기를 갖는 모노머, 2-이소시아네이트에틸(메타)아크릴레이트 등의 이소시아네이트기를 갖는 모노머 등을 들 수 있다. 이들 산기를 도입하기 위한 단량체는 1종뿐이어도 좋고, 2종 이상이어도 좋다. 알칼리 가용성 바인더에 산기를 도입하기 위해서는, 예를 들면 산기를 갖는 모노머 및/또는 중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머(이하 「산기를 도입하기 위한 단량체」라고 칭하는 경우도 있음)를 단량체 성분으로서 중합하도록 하면 좋다.As a monomer capable of imparting an acid group after the polymerization, for example, a monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, a monomer having an epoxy group such as glycidyl (meth)acrylate, and a 2-isocyanate And monomers having an isocyanate group such as ethyl (meth)acrylate. The number of monomers for introducing these acid groups may be only one, or two or more. In order to introduce an acid group into an alkali-soluble binder, for example, a monomer having an acid group and/or a monomer capable of imparting an acid group after polymerization (hereinafter, sometimes referred to as ``a monomer for introducing an acid group'') is polymerized as a monomer component. It is good to do it.
또한, 중합 후에 산기를 부여할 수 있는 모노머를 단량체 성분으로서 산기를 도입할 경우에는 중합 후에, 예를 들면 후술하는 것과 같은 산기를 부여하기 위한 처리가 필요하다.In addition, when introducing an acid group as a monomer component from a monomer capable of imparting an acid group after polymerization, a treatment for providing an acid group as described later is required after polymerization, for example.
알칼리 가용성 수지의 제조에는, 예를 들면 공지의 라디칼 중합법에 의한 방법을 적용할 수 있다. 라디칼 중합법으로 알칼리 가용성 수지를 제조할 때의 온도, 압력, 라디칼 개시제의 종류 및 그 양, 용제의 종류 등등의 중합 조건은 당업자에 있어서 용이하게 설정 가능하고, 실험적으로 조건을 정하도록 할 수도 있다.To manufacture the alkali-soluble resin, for example, a method by a known radical polymerization method can be applied. When preparing an alkali-soluble resin by radical polymerization, polymerization conditions such as temperature, pressure, type and amount of radical initiator, type of solvent, etc. can be easily set by those skilled in the art, and conditions can be determined experimentally. .
알칼리 가용성 수지로서 사용되는 선상 유기 고분자 중합체로서는 측쇄에 카르복실산을 갖는 폴리머가 바람직하고, 메타크릴산 공중합체, 아크릴산 공중합체, 이타콘산 공중합체, 크로톤산 공중합체, 말레산 공중합체, 부분 에스테르화 말레산 공중합체, 노볼락형 수지 등의 알칼리 가용성 페놀 수지 등 및 측쇄에 카르복실산을 갖는 산성 셀룰로오스 유도체, 수산기를 갖는 폴리머에 산무수물을 부가시킨 것을 들 수 있다. 특히, (메타)아크릴산과, 이것과 공중합 가능한 다른 단량체의 공중합체가 알칼리 가용성 수지로서 적합하다. (메타)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체로서는 알킬(메타)아크릴레이트, 아릴(메타)아크릴레이트, 비닐 화합물 등을 들 수 있다. 알킬(메타)아크릴레이트 및 아릴(메타)아크릴레이트로서는 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 펜틸(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 옥틸(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 톨릴(메타)아크릴레이트, 나프틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트 등, 비닐 화합물로서는 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐톨루엔, 글리시딜메타크릴레이트, 아크릴로니트릴, 비닐 아세테이트, N-비닐피롤리돈, 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트, 폴리스티렌 매크로 모노머, 폴리메틸메타크릴레이트 매크로 모노머 등, 일본 특허 공개 평 10-300922호 공보에 기재된 N위치 치환 말레이미드 모노머로서 N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드 등을 들 수 있다. 또한, 이들 (메타)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체는 1종뿐이어도 좋고, 2종 이상이어도 좋다.The linear organic polymer used as an alkali-soluble resin is preferably a polymer having a carboxylic acid in the side chain, and a methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, and a partial ester Alkali-soluble phenol resins, such as a maleic acid copolymer and a novolak type resin, acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain, and those obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are mentioned. In particular, a copolymer of (meth)acrylic acid and another monomer copolymerizable therewith is suitable as an alkali-soluble resin. Other monomers copolymerizable with (meth)acrylic acid include alkyl (meth)acrylate, aryl (meth)acrylate, and vinyl compounds. Alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, Pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, octyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, As vinyl compounds such as cyclohexyl (meth)acrylate, styrene, α-methylstyrene, vinyltoluene, glycidyl methacrylate, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, tetrahydrofurfuryl methacrylate , Polystyrene macromonomer, polymethyl methacrylate macromonomer, and the like, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, and the like as the N-position substituted maleimide monomer described in Japanese Patent Laid-Open No. 10-300922. Moreover, only 1 type may be sufficient as these (meth)acrylic acid and another monomer copolymerizable, and 2 or more types may be sufficient as it.
알칼리 가용성 수지로서는 하기 일반식(ED)으로 나타내어지는 수지도 바람직하다.The alkali-soluble resin is also preferably a resin represented by the following general formula (ED).
[식(ED) 중 R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 치환기를 갖고 있어도 좋은 탄소수 1~25개의 탄화수소기를 나타낸다]으로 나타내어지는 화합물(이하 「에테르 다이머」라고 칭하는 경우도 있음)을 필수로 하는 단량체 성분을 중합해서 이루어지는 폴리머(a)를 필수 성분인 폴리머 성분(A)으로서 포함하는 것도 바람직하다. 이에 의해 본 발명의 경화성 수지 조성물은 내열성과 함께 투명성도 매우 우수한 경화 도막을 형성할 수 있다. 상기 에테르 다이머를 나타내는 상기 일반식(1) 중 R1 및 R2로 나타내어지는 치환기를 갖고 있어도 좋은 탄소수 1~25개의 탄화수소기로서는 특별히 제한은 없지만, 예를 들면 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 이소부틸기, t-부틸기, t-아밀기, 스테아릴기, 라우릴기, 2-에틸헥실기 등의 직쇄상 또는 분기상의 알킬기; 페닐 등의 아릴기; 시클로헥실기, t-부틸기, 시클로헥실기, 디시클로펜타디에닐기, 트리시클로데카닐기, 이소보르닐기, 아다만틸기, 2-메틸-2-아다만틸기 등의 지환식기; 1-메톡시에틸기, 1-에톡시에틸기 등의 알콕시로 치환된 알킬기; 벤질 등의 아릴기로 치환된 알킬기; 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 특히 메틸기, 에틸기, 시클로헥실기, 벤질기 등과 같은 산이나 열에 의해 탈리되기 어려운 1급 또는 2급 탄소의 치환기가 내열성의 점에서 바람직하다.[In formula (ED), R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent.] Essentially, a compound represented by (hereinafter sometimes referred to as ``ether dimer'') It is also preferable to include the polymer (a) formed by polymerizing the monomer component to be used as the polymer component (A) which is an essential component. Thereby, the curable resin composition of the present invention can form a cured coating film having excellent transparency as well as heat resistance. Although there is no particular limitation as a hydrocarbon group having 1 to 25 carbon atoms which may have a substituent represented by R 1 and R 2 in the general formula (1) representing the ether dimer, for example, methyl group, ethyl group, n-propyl group, Linear or branched alkyl groups such as isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, t-amyl group, stearyl group, lauryl group, and 2-ethylhexyl group; Aryl groups such as phenyl; Alicyclic groups such as cyclohexyl group, t-butyl group, cyclohexyl group, dicyclopentadienyl group, tricyclodecanyl group, isobornyl group, adamantyl group, and 2-methyl-2-adamantyl group; Alkyl groups substituted with alkoxy, such as 1-methoxyethyl group and 1-ethoxyethyl group; An alkyl group substituted with an aryl group such as benzyl; And the like. Among these, a substituent of a primary or secondary carbon that is difficult to desorb by acid or heat, such as a methyl group, an ethyl group, a cyclohexyl group, and a benzyl group, is particularly preferable from the viewpoint of heat resistance.
상기 에테르 다이머의 구체예로서는, 예를 들면 디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디에틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(n-프로필)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소프로필)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(n-부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-부틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-아밀)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(스테아릴)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(라우릴)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(2-에틸헥실)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(1-메톡시에틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(1-에톡시에틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디벤질-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디페닐-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디시클로헥실-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(t-부틸시클로헥실)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(디시클로펜타디에닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(트리시클로데카닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소보르닐)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디아다만틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(2-메틸-2-아다만틸)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 특히 디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디에틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디시클로헥실-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디벤질-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트가 바람직하다. 이들 에테르 다이머는 1종뿐이어도 좋고, 2종 이상이어도 좋다. 상기 일반식(ED)으로 나타내어지는 화합물 유래의 구조체는 기타 단량체를 공중합시켜도 좋다.Specific examples of the ether dimer include, for example, dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, diethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2 -Profenoate, di(n-propyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(isopropyl)-2,2'-[oxybis(methylene)] Bis-2-propenoate, di(n-butyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(isobutyl)-2,2'-[oxybis( Methylene)]bis-2-propenoate, di(t-butyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(t-amyl)-2,2'- [Oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(stearyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(lauryl)-2,2 '-[Oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(2-ethylhexyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(1-me Toxyethyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(1-ethoxyethyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-pro Phenoate, dibenzyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, diphenyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, dicy Chlohexyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(t-butylcyclohexyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propeno 8, di(dicyclopentadienyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(tricyclodecanyl)-2,2'-[oxybis(methylene) ]Bis-2-propenoate, di(isobornyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate,diadamantyl-2,2'-[oxybis(methylene )]Bis-2-propenoate, di(2-methyl-2-adamantyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, and the like. Among these, in particular, dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, diethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, dicyclo Hexyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate and dibenzyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate are preferred. Only one type of these ether dimers may be used, and two or more types may be used. The structure derived from the compound represented by the general formula (ED) may be copolymerized with other monomers.
알칼리 가용성 수지로서는, 특히 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산 공중합체나 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산/2-히드록시에틸메타크릴레이트로 이루어지는 다원 공중합체가 적합하다. 이 경우의 다른 모노머로서는 일본 특허 공개 평 7-140654호 공보에 기재된 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트/폴리스티렌 매크로 모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트/폴리메틸메타크릴레이트 매크로 모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-히드록시에틸메타크릴레이트/폴리스티렌 매크로 모노머/메틸메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 2-히드록시에틸메타크릴레이트/폴리스티렌 매크로 모노머/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체 등을 들 수 있다.As the alkali-soluble resin, in particular, a benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid copolymer or a multipolymer composed of benzyl (meth)acrylate/(meth)acrylic acid/2-hydroxyethyl methacrylate is suitable. Other monomers in this case include 2-hydroxypropyl (meth)acrylate/polystyrene macromonomer/benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer and 2-hydroxy-3- described in Japanese Patent Laid-Open No. 7-140654. Phenoxypropylacrylate/polymethylmethacrylate macromonomer/benzylmethacrylate/methacrylic acid copolymer, 2-hydroxyethylmethacrylate/polystyrene macromonomer/methylmethacrylate/methacrylic acid copolymer, 2 -Hydroxyethyl methacrylate/polystyrene macromonomer/benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer, etc. are mentioned.
알칼리 가용성 수지의 산가로서는 바람직하게는 30~200㎎KOH/g, 보다 바람직하게는 50~150㎎KOH/g, 더욱 바람직하게는 70~120㎎KOH/g이다. 이러한 범위로 함으로써 미노광부의 현상 잔사을 효과적으로 저감할 수 있다.The acid value of the alkali-soluble resin is preferably 30 to 200 mgKOH/g, more preferably 50 to 150 mgKOH/g, and still more preferably 70 to 120 mgKOH/g. By setting it as such a range, the developed residue of an unexposed part can be effectively reduced.
또한, 알칼리 가용성 수지의 중량 평균 분자량(Mw)으로서는 2,000~50,000이 바람직하고, 5,000~30,000이 더욱 바람직하고, 7,000~20,000이 특히 바람직하다.Moreover, as a weight average molecular weight (Mw) of an alkali-soluble resin, 2,000-50,000 are preferable, 5,000-30,000 are more preferable, and 7,000-20,000 are especially preferable.
알칼리 가용성 수지의 본 발명의 조성물 중에 있어서의 함유량으로서는 상기 조성물의 전체 고형분에 대하여 10~50질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 15~40질량%이며, 특히 바람직하게는 20~35질량%이다.The content of the alkali-soluble resin in the composition of the present invention is preferably 10 to 50% by mass, more preferably 15 to 40% by mass, and particularly preferably 20 to 35% by mass with respect to the total solid content of the composition. .
분산제Dispersant
본 발명의 조성물에서는 안료의 분산성을 더 향상시키는 관점으로부터 상기 성분 이외의 분산제를 첨가하는 것이 바람직하다.In the composition of the present invention, from the viewpoint of further improving the dispersibility of the pigment, it is preferable to add a dispersant other than the above component.
분산제(이하 「안료 분산제」라고 칭하는 경우가 있음)로서는 고분자 분산제(예를 들면, 폴리아미드아민과 그 염, 폴리카르복실산과 그 염, 고분자량 불포화산 에스테르, 변성 폴리우레탄, 변성 폴리에스테르, 변성 폴리(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴계 공중합체, 나프탈렌술폰산 포르말린 축합물) 및 폴리옥시에틸렌알킬 인산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 알칸올아민, 안료 유도체 등을 들 수 있다.As a dispersant (hereinafter sometimes referred to as ``pigment dispersant''), a polymer dispersant (for example, polyamideamine and its salt, polycarboxylic acid and its salt, high molecular weight unsaturated acid ester, modified polyurethane, modified polyester, modified Poly(meth)acrylate, (meth)acrylic copolymer, naphthalene sulfonic acid formalin condensate) and polyoxyethylenealkyl phosphoric acid ester, polyoxyethylenealkylamine, alkanolamine, pigment derivatives, and the like.
고분자 분산제는 그 구조로부터 직쇄상 고분자, 말단 변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 블록형 고분자로 더 분류할 수 있다.Polymeric dispersants can be further classified into linear polymers, terminal modified polymers, graft polymers, and block polymers from their structure.
고분자 분산제는 안료의 표면에 흡착되어 재응집을 방지하도록 작용한다. 그 때문에 안료 표면으로의 앵커 부위를 갖는 말단 변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 블록형 고분자를 바람직한 구조로서 들 수 있다. 한편, 안료 유도체는 안료 표면을 개질함으로써 고분자 분산제의 흡착을 촉진시키는 효과를 갖는다.The polymeric dispersant acts to prevent re-aggregation by being adsorbed on the surface of the pigment. Therefore, a terminal modified polymer, a graft polymer, and a block polymer having an anchor site on the pigment surface are mentioned as preferred structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.
본 발명에 사용할 수 있는 안료 분산제의 구체예로서는 BYK Co., Ltd.제 「Disperbyk-101(폴리아미드아민 인산염), 107(카르복실산 에스테르), 110(산기를 포함하는 공중합물), 130(폴리아미드), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170(고분자 공중합물)」, 「BYK-P104, P105(고분자량 불포화 폴리카르복실산), BYK2001」, EFKA사제 「EFKA4047, 4050, 4010, 4165(폴리우레탄계), EFKA4330, 4340(블록 공중합체), 4400, 4402(변성 폴리아크릴레이트), 5010(폴리에스테르아미드), 5765(고분자량 폴리카르복실산 염), 6220(지방산 폴리에스테르), 6745(프탈로시아닌 유도체), 6750(아조 안료 유도체)」, Ajinomoto Fine-Techno Co.,Inc.제 「아지스퍼 PB821, PB822」, Kyoeisha Chemical Co., Ltd.제 「플로렌 TG-710(우레탄 올리고머)」, 「폴리플로우 No.50E, No.300(아크릴계 공중합체)」, Kusumoto Chemicals, Ltd.제 「디스퍼론 KS-860, 873SN, 874, #2150(지방족 다가 카르복실산), #7004(폴리에테르에스테르), DA-703-50, DA-705, DA-725」, Kao Corporation제 「데몰 RN, N(나프탈렌 술폰산 포르말린 중축합물), MS, C, SN-B(방향족 술폰산 포르말린 중축합물)」, 「호모게놀 L-18(고분자 폴리카르복실산)」, 「에뮬겐 920, 930, 935, 985(폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르)」, 「아세타민 86(스테아릴아민아세테이트)」, Lubrizol Corporation제 「솔스퍼스 5000(프탈로시아닌 유도체), 22000(아조 안료 유도체), 13240(폴리에스테르아민), 3000, 17000, 27000(말단부에 기능부를 갖는 고분자), 24000, 28000, 32000, 38500(그래프트형 고분자)」, Nikko Chemicals Co., Ltd.제 「닛콜 T106(폴리옥시에틸렌소르비탄모노올레이트), MYS-IEX(폴리옥시에틸렌모노스테아레이트)」 등을 들 수 있다.As specific examples of the pigment dispersant that can be used in the present invention, BYK Co., Ltd. ``Disperbyk-101 (polyamideamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide) Amide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer)", "BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid), BYK2001", "EFKA4047, 4050, 4010" manufactured by EFKA , 4165 (polyurethane), EFKA4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 (high molecular weight polycarboxylic acid salt), 6220 (fatty acid polyester) , 6745 (phthalocyanine derivative), 6750 (azo pigment derivative)", "Azisper PB821, PB822" by Ajinomoto Fine-Techno Co., Inc., "Florene TG-710 (urethane oligomer)" by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. )”, “Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer)”, Kusumoto Chemicals, Ltd. “Disperon KS-860, 873SN, 874, #2150 (aliphatic polyhydric carboxylic acid), #7004 ( Polyether ester), DA-703-50, DA-705, DA-725", Kao Corporation ``demol RN, N (naphthalene sulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate) ", "Homogenol L-18 (polymer polycarboxylic acid)", "Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether)", "acetamine 86 (stearylamine acetate)", Lubrizol Corporation ``Solspurs 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft polymer) )」, Nikko C "Nikol T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate)" manufactured by hemicals Co., Ltd. can be mentioned.
이들 분산제는 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합시켜서 사용해도 좋다. 본 발명에 있어서는, 특히 안료 유도체와 고분자 분산제를 조합시켜서 사용하는 것이 바람직하다.These dispersants may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, it is particularly preferable to use a pigment derivative and a polymer dispersant in combination.
본 발명의 조성물 중에 있어서의 분산제의 함유량으로서는 안료에 대하여 1~100질량%인 것이 바람직하고, 3~100질량%가 보다 바람직하고, 5~80질량%가 더욱 바람직하다.The content of the dispersant in the composition of the present invention is preferably 1 to 100% by mass, more preferably 3 to 100% by mass, and still more preferably 5 to 80% by mass based on the pigment.
또한, 조성물의 전체 고형분에 대하여 10~30질량%인 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that it is 10-30 mass% with respect to the total solid content of a composition.
(C) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머(C) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds
본 발명의 조성물은 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머 (이하 「다관능 모노머」라고 칭하는 경우가 있음)를 포함한다. 이러한 화합물은 상기 산업 분야에 있어서 널리 알려져 있는 것이며, 본 발명에 있어서는 이들을 특별히 한정없이 사용할 수 있다. 본 발명에 있어서의 다관능 모노머는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다. 본 발명에서 사용하는 다관능 모노머는 (메타)아크릴레이트 모노머가 바람직하다.The composition of the present invention contains a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds (hereinafter sometimes referred to as "polyfunctional monomers"). Such compounds are widely known in the above industrial field, and in the present invention, they can be used without particular limitation. The polyfunctional monomers in the present invention may be used singly or in combination of two or more. The polyfunctional monomer used in the present invention is preferably a (meth)acrylate monomer.
이들의 구체적인 화합물로서는 일본 특허 공개 2009-288705호 공보의 단락 번호 0095~0108에 기재되어 있는 화합물을 본 발명에 있어서도 적합하게 사용할 수 있다.As these specific compounds, the compounds described in paragraphs 0095 to 0108 of Japanese Patent Laid-Open No. 2009-288705 can be suitably used also in the present invention.
상기 외에 하기 일반식(MO-1)~(MO-6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 모노머도 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 식 중 T가 옥시알킬렌기인 경우에는 탄소 원자측의 말단이 R에 결합된다.In addition to the above, radical polymerizable monomers represented by the following general formulas (MO-1) to (MO-6) can also be suitably used. In addition, in the case where T is an oxyalkylene group in the formula, the terminal on the carbon atom side is bonded to R.
[식 중 n은 각각 0~14이며, m은 각각 1~8이다. 한 분자 내에 복수 존재하는 R, T 및 Z는 각각 동일하여도, 달라도 좋다. T가 옥시알킬렌기인 경우에는 탄소 원자측의 말단이 R에 결합된다. R 중 적어도 3개는 중합성 기이다][In the formula, n is 0 to 14, respectively, and m is 1 to 8, respectively. R, T, and Z present in a plurality of molecules may be the same or different. When T is an oxyalkylene group, the terminal on the carbon atom side is bonded to R. At least 3 of R are polymerizable groups]
n은 0~5가 바람직하고, 1~3이 보다 바람직하다.0-5 are preferable and, as for n, 1-3 are more preferable.
m은 1~5가 바람직하고, 1~3이 보다 바람직하다.1-5 are preferable and, as for m, 1-3 are more preferable.
R은R is
또는
or
가 바람직하고,Is preferred,
또는 or
가 보다 바람직하다.Is more preferable.
상기 일반식(MO-1)~(MO-6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 모노머의 구체예로서는 일본 특허 공개 2007-269779호 공보의 단락 번호 0248~단락 번호 0251에 기재되어 있는 화합물을 본 발명에 있어서도 적합하게 사용할 수 있다.As a specific example of the radical polymerizable monomer represented by the general formulas (MO-1) to (MO-6), the compounds described in paragraphs 0248 to 0251 of Japanese Patent Laid-Open No. 2007-269779 are also used in the present invention. It can be used suitably.
그 중에서도 중합성 모노머 등으로서는 디펜타에리스리톨트리아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-330; Nippon Kayaku Co., Ltd.제), 디펜타에리스리톨테트라아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-320; Nippon Kayaku Co., Ltd.제) 디펜타에리스리톨펜타(메타)아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD D-310; Nippon Kayaku Co., Ltd.제), 디펜타에리스리톨헥사(메타)아크릴레이트(시판품으로서는 KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co., Ltd.제) 및 이들의 (메타)아크릴로일기가 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 잔기를 개재하고 있는 구조나 디글리세린 EO(에틸렌옥시드) 변성 (메타)아크릴레이트(시판품으로서는 M-460; Toagosei Co., Ltd.제)가 바람직하다. 이들의 올리고머 타입도 사용할 수 있다.Among them, as a polymerizable monomer, dipentaerythritol triacrylate (KAYARAD D-330 as a commercial product; manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), dipentaerythritol tetraacrylate (KAYARAD D-320 as a commercial product); Nippon Kayaku Co., Ltd.) dipentaerythritol penta (meth) acrylate (a commercial product, KAYARAD D-310; Nippon Kayaku Co., Ltd. product), dipentaerythritol hexa (meth) acrylate (a commercial product, KAYARAD DPHA; Nippon Kayaku Co. , Ltd.) and their (meth)acryloyl groups have ethylene glycol and propylene glycol residues interposed therebetween, and diglycerin EO (ethylene oxide) modified (meth)acrylate (commercially available products are M-460; Toagosei Co., Ltd.) ., Ltd. product) is preferable. These oligomer types can also be used.
본 발명에서 사용하는 다관능 모노머는 특히 바람직하게는 하기 일반식(ⅰ)으로 나타내어지는 화합물 및 일반식(ⅱ)으로 나타내어지는 화합물로부터 선택되는 적어도 1종이다.The polyfunctional monomer used in the present invention is particularly preferably at least one type selected from a compound represented by the following general formula (i) and a compound represented by the general formula (ii).
[일반식(ⅰ) 및 (ⅱ) 중 E는 각각 -((CH2)yCH2O)- 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, y는 각각 1~10의 정수를 나타내고, X는 각각 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기 또는 카르복실기를 나타낸다.[In general formulas (i) and (ii), E represents -((CH 2 ) y CH 2 O)- or -((CH 2 ) y CH(CH 3 )O)-, respectively, and y is 1~ The integer of 10 is represented, and X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group, or a carboxyl group, respectively.
일반식(i) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, m은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이다.In General Formula (i), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 3 or 4, m represents an integer of 0 to 10, respectively, and the total of each m is an integer of 1 to 40.
일반식(ⅱ) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, n은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각 n의 합계는 1~60의 정수이다]In General Formula (ii), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 5 or 6, n each represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 1 to 60]
상기 식 중 E는 각각 -((CH2)yCH2O)- 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, -((CH2)yCH2O)-가 바람직하다.In the above formula, E represents -((CH 2 ) y CH 2 O)- or -((CH 2 ) y CH(CH 3 ) O)-, and -((CH 2 ) y CH 2 O)- is desirable.
y는 각각 1~10의 정수를 나타내고, 1~5의 정수가 바람직하고, 1~3이 보다 바람직하다.y represents the integer of 1-10, respectively, the integer of 1-5 is preferable, and 1-3 are more preferable.
X는 각각 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기 또는 카르복실기를 나타낸다.X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group, or a carboxyl group, respectively.
일반식(i) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, 4개가 바람직하다.In general formula (i), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 3 or 4, and 4 is preferable.
m은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 1~5가 바람직하다. 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이며, 4~20개가 바람직하다.m represents the integer of 0-10, respectively, and 1-5 are preferable. The sum of each m is an integer of 1 to 40, and 4 to 20 are preferable.
일반식(ⅱ) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, 6개가 바람직하다.In General Formula (ii), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 5 or 6, with 6 being preferred.
n은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 1~5가 바람직하다. 각각 n의 합계는 1~60의 정수이며, 4~30개가 바람직하다.Each n represents the integer of 0-10, and 1-5 are preferable. The sum of each n is an integer of 1 to 60, and 4 to 30 are preferable.
일반식(ⅰ) 또는 (ⅱ)으로 나타내어지는 화합물은 반응성이 높기 때문에 본 발명의 조성물의 경화성을 높일 수 있다. 그러나 경화성이 높으면 미노광부의 현상성이 뒤떨어지는 경향이 있었다. 본 발명에서는 이러한 관점을 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량을 전체 폴리머 성분의 1~14질량%로 함으로써 해결하고 있다. 따라서, 본 발명의 조성물은 다관능 모노머로서 일반식(ⅰ) 또는 (ⅱ)으로 나타내어지는 화합물을 사용할 때에 특히 효과적이다.Since the compound represented by general formula (i) or (ii) has high reactivity, the curability of the composition of the present invention can be improved. However, when the curability was high, there was a tendency that the developability of the unexposed portion was inferior. In the present invention, such a viewpoint is solved by (a) making the content of the acrylic polymer having a polymerizable group 1 to 14% by mass of all polymer components. Accordingly, the composition of the present invention is particularly effective when a compound represented by the general formula (i) or (ii) is used as a polyfunctional monomer.
다관능 모노머로서는 카르복실기, 술폰산기, 인산기 등의 산기를 갖고 있어도 좋다. 따라서, 에틸렌성 화합물이 상기와 같이 혼합물일 경우와 같이 미반응의 카르복실기를 갖는 것이면 이것을 그대로 이용할 수 있지만, 필요에 있어서 상기 에틸렌성 화합물의 히드록실기에 비방향족 카르복실산 무수물을 반응시켜서 산기를 도입해도 좋다. 이 경우 사용되는 비방향족 카르복실산 무수물의 구체예로서는 무수 테트라히드로프탈산, 알킬화무수 테트라히드로프탈산, 무수 헥사히드로프탈산, 알킬화무수 헥사히드로프탈산, 무수 숙신산, 무수 말레산을 들 수 있다.As a polyfunctional monomer, you may have acid groups, such as a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Therefore, if the ethylenic compound has an unreacted carboxyl group as in the case of a mixture as described above, it can be used as it is, but if necessary, the acid group is reacted with a non-aromatic carboxylic anhydride to the hydroxyl group of the ethylenic compound. You may introduce it. Specific examples of the non-aromatic carboxylic anhydride used in this case include tetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride alkyl, hexahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride alkyl, succinic anhydride, and maleic anhydride.
본 발명에 있어서 산기를 갖는 모노머로서는 지방족 폴리히드록시 화합물과 불포화 카르복실산의 에스테르이며, 지방족 폴리히드록시 화합물의 미반응의 히드록실기에 비방향족 카르복실산 무수물을 반응시켜서 산기를 갖게 한 다관능 모노머가 바람직하고, 특히 바람직하게는 이 에스테르에 있어서 지방족 폴리히드록시 화합물이 펜타에리스리톨 및/또는 디펜타에리스리톨인 것이다. 시판품으로서는, 예를 들면 Toagosei Co., Ltd.제의 다염기산 변성 아크릴 올리고머로서 아로닉스 시리즈의 M-305, M-510, M-520 등을 들 수 있다.In the present invention, the monomer having an acid group is an ester of an aliphatic polyhydroxy compound and an unsaturated carboxylic acid, and a non-aromatic carboxylic anhydride is reacted with the unreacted hydroxyl group of the aliphatic polyhydroxy compound to give an acid group. A functional monomer is preferred, and particularly preferably, in this ester, the aliphatic polyhydroxy compound is pentaerythritol and/or dipentaerythritol. As a commercial item, the polybasic acid-modified acrylic oligomer manufactured by Toagosei Co., Ltd. includes M-305, M-510, and M-520 of the Aaronics series.
산기를 갖는 다관능 모노머의 바람직한 산가로서는 0.1~40㎎KOH/g이며, 특히 바람직하게는 5~30㎎KOH/g이다.The preferred acid value of the polyfunctional monomer having an acid group is 0.1 to 40 mgKOH/g, particularly preferably 5 to 30 mgKOH/g.
이들 다관능 모노머에 대해서 그 구조, 단독 사용인지 병용인지, 첨가량 등의 사용 방법의 상세한 것은 조성물의 최종적인 성능 설계에 맞춰서 임의로 설정할 수 있다. 본 발명에서는 다른 관능수 및/또는 다른 중합성 기(예를 들면, 아크릴산 에스테르, 메타크릴산 에스테르, 스티렌계 화합물, 비닐에테르계 화합물)의 것을 병용함으로써 감도와 강도의 양쪽을 조절하는 방법도 유효하다. 또한, 3관능 이상 8관능 이하로 에틸렌옥사이드쇄 길이가 다른 다관능 모노머를 병용하는 것이 조성물의 현상성을 조절할 수 있고, 우수한 패턴 형성능이 얻어진다는 점에서 바람직하다. 또한, 조성물에 함유되는 다른 성분(예를 들면, 중합 개시제, 착색제(안료), 수지 등)과의 상용성, 분산성에 대하여도 다관능 모노머의 선택·사용법은 중요한 요인이며, 예를 들면 저순도 화합물의 사용이나 2종 이상의 병용에 의해 상용성을 향상시킬 수 있다. 또한, 기판 등의 경질 표면과의 밀착성을 향상시키는 관점에서 특정 구조를 선택할 수도 있다.For these polyfunctional monomers, the details of the structure, whether it is used alone or in combination, and the usage method such as the amount of addition can be arbitrarily set according to the final performance design of the composition. In the present invention, a method of controlling both sensitivity and strength by using in combination with other functional groups and/or other polymerizable groups (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, styrene compound, vinyl ether compound) is also effective. Do. In addition, it is preferable to use polyfunctional monomers having different ethylene oxide chain lengths of 3 or more and 8 functions or less in that the developability of the composition can be controlled and excellent pattern forming ability can be obtained. In addition, for compatibility and dispersibility with other components contained in the composition (e.g., polymerization initiator, colorant (pigment), resin, etc.), the method of selecting and using a polyfunctional monomer is an important factor. For example, low purity Compatibility can be improved by use of a compound or a combination of two or more. In addition, a specific structure may be selected from the viewpoint of improving the adhesion to a hard surface such as a substrate.
다관능 모노머의 농도(배합률)는 착색 감방사선성 조성물 중의 전체 고형분 중 15질량% 이상인 것이 바람직하고, 20질량% 이상인 것이 바람직하고, 25질량% 이상인 것이 더욱 바람직하다. 상한에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 50질량% 이하인 것이 바람직하고, 40질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.The concentration (composition ratio) of the polyfunctional monomer is preferably 15% by mass or more, preferably 20% by mass or more, and more preferably 25% by mass or more with respect to the total solid content in the colored radiation-sensitive composition. Although there is no restriction|limiting in particular about an upper limit, It is preferable that it is 50 mass% or less, and it is more preferable that it is 40 mass% or less.
본 발명에서는 다관능 모노머의 함유량이 전체 수지 성분의 0.6~2.0배인 것이 바람직하고, 0.7~1.3배인 것이 보다 바람직하다.In the present invention, the content of the polyfunctional monomer is preferably 0.6 to 2.0 times the total resin component, more preferably 0.7 to 1.3 times.
(d) 중합 개시제(d) polymerization initiator
본 발명의 조성물은 중합 개시제를 함유하는 중합 개시제로서는 상기 다관능 모노머의 중합을 개시하는 능력을 갖는 한 특별히 제한은 없고, 공지의 중합 개시제 중으로부터 적당하게 선택할 수 있고, 예를 들면 광선(특히, 자외선 영역으로부터 가시의 광선)에 대하여 감광성을 갖는 것이 바람직하고, 광여기된 증감제와 어떠한 작용을 발생시켜 활성 라디칼을 생성하는 활성제이어도 좋고, 모노머의 종류에 따라 양이온 중합을 개시시키는 것과 같은 개시제이어도 좋다.The composition of the present invention is not particularly limited as long as it has the ability to initiate polymerization of the polyfunctional monomer as a polymerization initiator containing a polymerization initiator, and can be appropriately selected from known polymerization initiators, for example, light rays (especially, It is preferable to have photosensitivity to visible light from the ultraviolet region), and may be an activator that generates an active radical by generating some action with a photo-excited sensitizer, or an initiator such as to initiate cationic polymerization depending on the type of monomer. good.
또한, 상기 중합 개시제는 약 300~800㎚(330~500㎚가 보다 바람직함)의 범위 내에 적어도 약 50의 분자 흡광 계수를 갖는 성분을 적어도 1종 함유하고 있는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the polymerization initiator contains at least one component having a molecular extinction coefficient of at least about 50 within a range of about 300 to 800 nm (more preferably 330 to 500 nm).
상기 중합 개시제로서는, 예를 들면 할로겐화 탄화수소 유도체(예를 들면, 트리아진 골격을 갖는 것, 옥사디아졸 골격을 갖는 것 등), 아실포스핀옥사이드 등의 아실포스핀 화합물, 헥사아릴비이미다졸, 옥심 유도체 등의 옥심 화합물, 유기 과산화물, 티오 화합물, 케톤 화합물, 방향족 오늄염, 케토옥심에테르, 아미노아세토페논 화합물, 히드록시아세토페논 등을 들 수 있다.Examples of the polymerization initiator include halogenated hydrocarbon derivatives (e.g., those having a triazine skeleton, those having an oxadiazole skeleton, etc.), acylphosphine compounds such as acylphosphine oxide, hexaarylbiimidazole, Oxime compounds such as oxime derivatives, organic peroxides, thio compounds, ketone compounds, aromatic onium salts, ketooxime ethers, aminoacetophenone compounds, and hydroxyacetophenones.
상기 트리아진 골격을 갖는 할로겐화 탄화수소 화합물로서는, 예를 들면 와카바야시 외 저, Bull. Chem. Soc. Japan, 42, 2924(1969)에 기재된 화합물, 영국 특허 1388492호 명세서에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 소 53-133428호 공보에 기재된 화합물, 독일 특허 3337024호 명세서에 기재된 화합물, F. C. Schaefer 등에 의한 J. Org. Chem.; 29, 1527(1964)에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 소 62-58241호 공보에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 평 5-281728호 공보에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 평 5-34920호 공보에 기재된 화합물, 미국 특허 제 4212976호 명세서에 기재되어 있는 화합물 등을 들 수 있다.As the halogenated hydrocarbon compound having the triazine skeleton, for example, Wakabayashi et al., Bull. Chem. Soc. The compound described in Japan, 42, 2924 (1969), the compound described in British Patent No. 1388492, the compound described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 53-133428, the compound described in German Patent No. 3337024, J. Org by FC Schaefer et al. . Chem.; 29, 1527 (1964), the compound described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 62-58241, the compound described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 5-281728, the compound described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. Hei 5-34920, the United States The compounds described in the specification of Patent No. 4212976, etc. are mentioned.
상기 미국 특허 제 4212976호 명세서에 기재되어 있는 화합물로서는, 예를 들면 옥사디아졸 골격을 갖는 화합물(예를 들면, 2-트리클로로메틸-5-페닐-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(4-클로로페닐)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(1-나프틸)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(2-나프틸)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리브로모메틸-5-페닐-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리브로모메틸-5-(2-나프틸)-1,3,4-옥사디아졸; 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(4-클로로스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(4-메톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(1-나프틸)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(4-n-부톡시스티릴)-1,3,4-옥사디아졸, 2-트리브로모메틸-5-스티릴-1,3,4-옥사디아졸 등) 등을 들 수 있다.As the compound described in the specification of US Patent No. 4212976, for example, a compound having an oxadiazole skeleton (e.g., 2-trichloromethyl-5-phenyl-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-(4-chlorophenyl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(1-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole, 2 -Trichloromethyl-5-(2-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole, 2-tribromomethyl-5-phenyl-1,3,4-oxadiazole, 2-tribromo Methyl-5-(2-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-chlorostyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(4-methoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl -5-(1-naphthyl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(4-n-butoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2 -Tribromomethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, etc.), etc. are mentioned.
또한, 상기 이외의 중합 개시제로서 아크리딘 유도체(예를 들면, 9-페닐아크리딘, 1,7-비스(9,9'-아크리디닐)헵탄 등), N-페닐글리신 등, 폴리할로겐 화합물(예를 들면, 사브롬화탄소, 페닐트리브로모메틸술폰, 페닐트리클로로메틸케톤 등), 쿠마린류(예를 들면, 3-(2-벤조프로일)-7-디에틸아미노쿠마린, 3-(2-벤조프로일)-7-(1-피롤리디닐)쿠마린, 3-벤조일-7-디에틸아미노쿠마린, 3-(2-메톡시벤조일)-7-디에틸아미노쿠마린, 3-(4-디메틸아미노벤조일)-7-디에틸아미노쿠마린, 3,3'-카르보닐비스(5,7-디-n-프로폭시쿠마린), 3,3'-카르보닐비스(7-디에틸아미노쿠마린), 3-벤조일-7-메톡시쿠마린, 3-(2-프로일)-7-디에틸아미노쿠마린, 3-(4-디에틸아미노신나모일)-7-디에틸아미노쿠마린, 7-메톡시-3-(3-피리딜카르보닐)쿠마린, 3-벤조일-5,7-디프로폭시쿠마린, 7-벤조트리아졸-2-일쿠마린, 또한 일본 특허 공개 평 5-19475호 공보, 일본 특허 공개 평 7-271028호 공보, 일본 특허 공개 2002-363206호 공보, 일본 특허 공개 2002-363207호 공보, 일본 특허 공개 2002-363208호 공보, 일본 특허 공개 2002-363209호 공보 등에 기재된 쿠마린 화합물 등), 아실포스핀옥사이드류(예를 들면, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸-펜틸페닐포스핀옥사이드, Lucirin TPO 등), 메탈로센류(예를 들면, 비스(η5-2,4-시클로펜타디엔-1-일)-비스(2,6-디플루오로-3-(1H-피롤-1-일)-페닐)티탄, η5-시클로펜타디에닐-η6-쿠메닐-아이언(1+)-헥사플로로포스페이트(1-) 등), 일본 특허 공개 소 53-133428호 공보, 일본 특허 공고 소 57-1819호 공보, 동 57-6096호 공보 및 미국 특허 제 3615455호 명세서에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.In addition, as polymerization initiators other than the above, acridine derivatives (e.g., 9-phenylacridine, 1,7-bis(9,9'-acridinyl)heptane, etc.), N-phenylglycine, etc. Halogen compounds (e.g., carbon tetrabromide, phenyltribromomethylsulfone, phenyltrichloromethylketone, etc.), coumarins (e.g., 3-(2-benzoproyl)-7-diethylaminocoumarin, 3-(2-benzoproyl)-7-(1-pyrrolidinyl)coumarin, 3-benzoyl-7-diethylaminocoumarin, 3-(2-methoxybenzoyl)-7-diethylaminocoumarin, 3 -(4-dimethylaminobenzoyl)-7-diethylaminocoumarin, 3,3'-carbonylbis(5,7-di-n-propoxycoumarin), 3,3'-carbonylbis(7-di Ethylaminocoumarin), 3-benzoyl-7-methoxycoumarin, 3-(2-proyl)-7-diethylaminocoumarin, 3-(4-diethylaminocinnamoyl)-7-diethylaminocoumarin, 7-methoxy-3-(3-pyridylcarbonyl)coumarin, 3-benzoyl-5,7-dipropoxycoumarin, 7-benzotriazol-2-ylcoumarin, and Japanese Patent Laid-Open No. Hei 5-19475 The coumarin described in Gazette, JP 7-271028, JP 2002-363206, JP 2002-363207, JP 2002-363208, JP 2002-363209, etc. Compounds, etc.), acylphosphine oxides (e.g., bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide, bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethyl- Pentylphenylphosphine oxide, Lucirin TPO, etc.), metallocenes (e.g., bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H) -Pyrrol-1-yl)-phenyl) titanium, η5-cyclopentadienyl-η6-cumenyl-iron (1+)-hexafluorophosphate (1-), etc.), Japanese Patent Laid-Open Publication No. 53-133428 , Japanese Patent Publication No. 57-1819, 57-6096, and the compounds described in US Patent No. 3615455, and the like.
상기 케톤 화합물로서는, 예를 들면 벤조페논, 2-메틸벤조페논, 3-메틸벤조페논, 4-메틸벤조페논, 4-메톡시벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4-클로로벤조페논, 4-브로모벤조페논, 2-카르복시벤조페논, 2-에톡시카르보닐벤조페논, 벤조페논테트라카르복실산 또는 그 테트라메틸에스테르, 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논류(예를 들면, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스디시클로헥실아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디히드록시에틸아미노)벤조페논, 4-메톡시-4'-디메틸아미노벤조페논, 4,4'-디메톡시벤조페논, 4-디메틸아미노벤조페논, 4-디메틸아미노아세토페논, 벤질, 안트라퀴논, 2-t-부틸안트라퀴논, 2-메틸안트라퀴논, 페난트라퀴논, 크산톤, 티오크산톤, 2-클로로-티오크산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 플루올레논, 2-벤질-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-1-부탄온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노-1-프로판온, 2-히드록시-2-메틸-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판올 올리고머, 벤조인, 벤조인에테르류(예를 들면, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인프로필에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인페닐에테르, 벤질디메틸케탈), 아크리돈, 클로로아크리돈, N-메틸아크리돈, N-부틸아크리돈, N-부틸-클로로아크리돈 등을 들 수 있다.As the ketone compound, for example, benzophenone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 4-methoxybenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-chlorobenzophenone, 4- Bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone, 2-ethoxycarbonylbenzophenone, benzophenone tetracarboxylic acid or its tetramethyl ester, 4,4'-bis(dialkylamino)benzophenones (e.g. , 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bisdicyclohexylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(di Hydroxyethylamino)benzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 4,4'-dimethoxybenzophenone, 4-dimethylaminobenzophenone, 4-dimethylaminoacetophenone, benzyl, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-methylanthraquinone, phenanthraquinone, xanthone, thioxanthone, 2-chloro-thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, fluolenone, 2-benzyl -Dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-1-butanone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-hydro Roxy-2-methyl-[4-(1-methylvinyl)phenyl]propanol oligomer, benzoin, benzoin ethers (e.g., benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, benzoin iso Propyl ether, benzoin phenyl ether, benzyl dimethyl ketal), acridone, chloroacridone, N-methylacridone, N-butylacridone, N-butyl-chloroacridone, and the like.
중합 개시제로서는 히드록시아세토페논 화합물, 아미노아세토페논 화합물 및 아실포스핀 화합물도 적합하게 사용할 수 있다. 보다 구체적으로는, 예를 들면 일본 특허 공개 평 10-291969호 공보에 기재된 아미노아세토페논계 개시제, 일본 특허 제 4225898호 공보에 기재된 아실포스핀옥사이드계 개시제도 사용할 수 있다.As a polymerization initiator, a hydroxyacetophenone compound, an aminoacetophenone compound, and an acylphosphine compound can also be used suitably. More specifically, for example, the aminoacetophenone initiator described in Japanese Patent Laid-Open No. 10-291969 and the acylphosphine oxide initiator described in Japanese Patent No. 4225898 can also be used.
히드록시아세토페논계 개시제로서는 IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, IRGACURE-127(상품명: 모두 BASF Ltd.제)을 사용할 수 있다. 아미노아세토페논계 개시제로서는 시판품인 IRGACURE-907, IRGACURE-369 및 IRGACURE-379(상품명: 모두 BASF Ltd.제)를 사용할 수 있다. 아미노아세토페논계 개시제로서 365㎚ 또는 405㎚ 등의 장파 광원에 흡수 파장이 매칭된 일본 특허 공개 2009-191179 공보에 기재된 화합물도 사용할 수 있다. 또한, 아실포스핀계 개시제로서는 시판품인 IRGACURE-819나 DAROCUR-TPO(상품명: 모두 BASF Ltd.제)를 사용할 수 있다.As the hydroxyacetophenone initiator, IRGACURE-184, DAROCUR-1173, IRGACURE-500, IRGACURE-2959, and IRGACURE-127 (trade names: all manufactured by BASF Ltd.) can be used. As the aminoacetophenone initiator, commercially available products IRGACURE-907, IRGACURE-369, and IRGACURE-379 (trade names: all manufactured by BASF Ltd.) can be used. As the aminoacetophenone initiator, a compound described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-191179 in which the absorption wavelength is matched to a long-wave light source such as 365 nm or 405 nm can also be used. In addition, as an acylphosphine initiator, commercially available products IRGACURE-819 or DAROCUR-TPO (trade names: all manufactured by BASF Ltd.) can be used.
중합 개시제로서 보다 바람직하게는 옥심계 화합물을 들 수 있다. 옥심계 화합물의 구체예로서는 일본 특허 공개 2001-233842호에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 2000-80068호에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 2006-342166호에 기재된 화합물을 사용할 수 있다.More preferably, an oxime compound is mentioned as a polymerization initiator. As a specific example of the oxime compound, the compound described in JP 2001-233842 A, the compound described in JP 2000-80068 A, and the compound described in JP 2006-342166 can be used.
본 발명에서 중합 개시제로서 적합하게 사용되는 옥심 유도체 등의 옥심 화합물로서는, 예를 들면 3-벤조일옥시이미노부탄-2-온, 3-아세톡시이미노부탄-2-온, 3-프로피오닐옥시이미노부탄-2-온, 2-아세톡시이미노펜탄-3-온, 2-아세톡시이미노-1-페닐프로판-1-온, 2-벤조일옥시이미노-1-페닐프로판-1-온, 3-(4-톨루엔술포닐옥시)이미노부탄-2-온 및 2-에톡시카르보닐옥시이미노-1-페닐프로판-1-온 등을 들 수 있다.Examples of oxime compounds such as oxime derivatives suitably used as polymerization initiators in the present invention include 3-benzoyloxyiminobutan-2-one, 3-acetoxyiminobutan-2-one, and 3-propionyloxyiminobutane. -2-one, 2-acetoxyiminopentan-3-one, 2-acetoxyimino-1-phenylpropan-1-one, 2-benzoyloxyimino-1-phenylpropan-1-one, 3-(4 -Toluenesulfonyloxy)iminobutan-2-one, 2-ethoxycarbonyloxyimino-1-phenylpropan-1-one, and the like.
옥심에스테르 화합물로서는 J. C. S. Perkin Ⅱ(1979년) pp. 1653-1660), J. C. S. Perkin Ⅱ(1979년) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology(1995년) pp. 202-232, 일본 특허 공개 2000-66385호 공보에 기재된 화합물, 일본 특허 공개 2000-80068호 공보, 일본 특허 공표 2004-534797호 공보, 일본 특허 공개 2006-342166호 공보의 각 공보에 기재된 화합물 등을 들 수 있다.As an oxime ester compound, J. C. S. Perkin II (1979) pp. 1653-1660), J. C. S. Perkin II (1979) pp. 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) pp. 202-232, the compound described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-66385, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-80068, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-534797, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-342166, etc. Can be lifted.
시판품에서는 IRGACURE-OXE01(BASF Ltd.제), IRGACURE-OXE02(BASF Ltd.제)도 적합하게 사용된다.In a commercial item, IRGACURE-OXE01 (manufactured by BASF Ltd.) and IRGACURE-OXE02 (manufactured by BASF Ltd.) are also suitably used.
또한, 상기 기재 이외의 옥심에스테르 화합물로서 카르바졸 N위치에 옥심이 연결된 일본 특허 공표 2009-519904 공보에 기재된 화합물, 벤조페논 부위에 헤테로 치환기가 도입된 미국 특허 7626957호 공보에 기재된 화합물, 색소 부위에 니트로기가 도입된 일본 특허 공개 2010-15025 공보 및 미국 특허 공개 2009-292039에 기재된 화합물, 국제 공개 특허 2009-131189 공보에 기재된 케토옥심계 화합물, 트리아진 골격과 옥심 골격을 동일 분자 내에 함유하는 미국 특허 7556910 공보에 기재된 화합물, 405㎚로 흡수 극대를 가져서 g선 광원에 대하여 양호한 감도를 갖는 일본 특허 공개 2009-221114 공보에 기재된 화합물 등을 사용해도 좋다.In addition, as oxime ester compounds other than those described above, the compounds described in Japanese Patent Publication 2009-519904 in which the oxime is connected to the carbazole N position, the compounds described in US Patent No. 7626957 in which a hetero substituent is introduced at the benzophenone moiety, The compound described in Japanese Patent Publication No. 2010-15025 and US Patent Publication No. 2009-292039 in which a nitro group was introduced, the ketooxime compound described in International Publication No. 2009-131189, and a US patent containing a triazine skeleton and an oxime skeleton in the same molecule The compound described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7556910, which has an absorption maximum at 405 nm and has good sensitivity to a g-ray light source, may be used.
바람직하게는 일본 특허 공개 2007-231000 공보 및 일본 특허 공개 2007-322744 공보에 기재되는 환상 옥심 화합물에 대하여도 더욱 적합하게 사용할 수 있다. 환상 옥심 화합물 중에서도, 특히 일본 특허 공개 2010-32985 공보, 일본 특허 공개 2010-185072 공보에 기재되는 카르바졸 색소에 축환된 환상 옥심 화합물은 높은 광흡수성을 가져서 고감도화의 관점으로부터 바람직하다. 또한, 옥심 화합물의 특정 부위에 불포화 결합을 갖는 일본 특허 공개 2009-242469 공보에 기재된 화합물도 중합 불활성 라디칼로부터 활성 라디칼을 재생함으로써 고감도화를 달성할 수 있어 적합하게 사용할 수 있다.Preferably, the cyclic oxime compounds described in JP 2007-231000 and JP 2007-322744 can be further suitably used. Among the cyclic oxime compounds, the cyclic oxime compounds condensed with carbazole dyes described in JP 2010-32985 and JP 2010-185072 are particularly preferable from the viewpoint of high sensitivity due to high light absorption. Further, the compound described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2009-242469 having an unsaturated bond at a specific site of the oxime compound can also achieve high sensitivity by regenerating active radicals from polymerization inactive radicals, and thus can be suitably used.
특히, 바람직하게는 일본 특허 공개 2007-269779 공보에 나타내어지는 특정 치환기를 갖는 옥심 화합물이나 일본 특허 공개 2009-191061 공보에 나타내어지는 티오아릴기를 갖는 옥심 화합물을 들 수 있다.In particular, preferably, an oxime compound having a specific substituent shown in JP 2007-269779 or an oxime compound having a thioaryl group shown in JP 2009-191061 is mentioned.
구체적으로는 옥심계 중합 개시제로서는 하기 식(1)으로 나타내어지는 화합물이 바람직하다. 또한, 옥심의 N-O 결합이 (E)체의 옥심 화합물이어도 (Z)체의 옥심 화합물이어도 (E)체와 (Z)체의 혼합물이어도 좋다.Specifically, as the oxime polymerization initiator, a compound represented by the following formula (1) is preferable. Further, the N-O bond of the oxime may be an oxime compound of the (E) body, an oxime compound of the (Z) body, or a mixture of the (E) body and (Z) body.
[식(1) 중 R 및 B는 각각 독립적으로 1가의 치환기를 나타내고, A는 2가의 유기기를 나타내고, Ar은 아릴기를 나타낸다][In formula (1), R and B each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, and Ar represents an aryl group]
상기 R로 나타내어지는 1가의 치환기로서는 1가의 비금속 원자단인 것이 바람직하다.The monovalent substituent represented by R is preferably a monovalent non-metal group.
상기 1가의 비금속 원자단으로서는 알킬기, 아릴기, 아실기, 알콕시카르보닐기, 아릴옥시카르보닐기, 복소환기, 알킬티오카르보닐기, 아릴티오카르보닐기 등을 들 수 있다. 또한, 이들 기는 1 이상의 치환기를 갖고 있어도 좋다. 또한, 상술한 치환기는 다른 치환기로 더 치환되어 있어도 좋다.Examples of the monovalent non-metal group include an alkyl group, an aryl group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a heterocyclic group, an alkylthiocarbonyl group, and an arylthiocarbonyl group. Moreover, these groups may have one or more substituents. In addition, the above-described substituent may be further substituted with another substituent.
치환기로서는 할로겐 원자, 아릴옥시기, 알콕시카르보닐기 또는 아릴옥시카르보닐기, 아실옥시기, 아실기, 알킬기, 아릴기 등을 들 수 있다.Examples of the substituent include a halogen atom, an aryloxy group, an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group, an acyloxy group, an acyl group, an alkyl group, and an aryl group.
치환기를 갖고 있어도 좋은 알킬기로서는 탄소수 1~30개의 알킬기가 바람직하고, 구체적으로는 메틸기, 에틸기, 프로필기, 부틸기, 헥실기, 옥틸기, 데실기, 도데실기, 옥타데실기, 이소프로필기, 이소부틸기, sec-부틸기, t-부틸기, 1-에틸펜틸기, 시클로펜틸기, 시클로헥실기, 트리플루오로메틸기, 2-에틸헥실기, 펜아실기, 1-나프토일메틸기, 2-나프토일메틸기, 4-메틸술파닐펜아실기, 4-페닐술파닐펜아실기, 4-디메틸아미노펜아실 기, 4-시아노펜아실기, 4-메틸펜아실기, 2-메틸펜아실기, 3-플루오로펜아실기, 3-트리플루오로메틸펜아실기 및 3-니트로펜아실기를 예시할 수 있다.The alkyl group which may have a substituent is preferably an alkyl group having 1 to 30 carbon atoms, and specifically, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, a hexyl group, an octyl group, a decyl group, a dodecyl group, an octadecyl group, an isopropyl group, Isobutyl group, sec-butyl group, t-butyl group, 1-ethylpentyl group, cyclopentyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group, 2-ethylhexyl group, phenacyl group, 1-naphthoylmethyl group, 2- Naphthoylmethyl group, 4-methylsulfanylphenacyl group, 4-phenylsulfanylphenacyl group, 4-dimethylaminophenacyl group, 4-cyanophenacyl group, 4-methylphenacyl group, 2-methylphenacyl group, 3-fluoro A phenacyl group, a 3-trifluoromethylphenacyl group, and a 3-nitrophenacyl group can be illustrated.
치환기를 갖고 있어도 좋은 아릴기로서는 탄소수 6~30개의 아릴기가 바람직하고, 구체적으로는 페닐기, 비페닐기, 1-나프틸기, 2-나프틸기, 9-안트릴기, 9-페난트릴기, 1-피레닐기, 5-나프타세닐기, 1-인데닐기, 2-아줄레닐기, 9-플루오레닐기, 터페닐기, 쿼터페닐기, o-, m- 및 p-톨릴기, 크실릴기, o-, m- 및 p-쿠메닐기, 메시틸기, 펜타레닐기, 비나프탈레닐기, 터나프타닐기, 쿼터나프타레닐기, 헵타레닐기, 비페니레닐기, 인다세닐기, 플루오란테닐기, 아세나프틸레닐기, 아세안트리레닐기, 페나레닐기, 플루오레닐기, 안트릴기, 비안트라세닐기, 터안트라세닐기, 쿼터안트라세닐기, 안트라퀴노릴기, 페난트릴기, 트리페닐레닐기, 피레닐기, 크리세닐기, 나프타세닐기, 플레이아데닐기, 피세닐기, 페릴레닐기, 펜타페닐기, 펜타세닐기, 테트라페닐레닐기, 헥사페닐기, 헥사세닐기, 루비세닐기, 코로네닐기, 트리나프틸레닐기, 헵타페닐기, 헵타세닐기, 피란트레닐기 및 오바레닐기를 예시할 수 있다.The aryl group which may have a substituent is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, and specifically, a phenyl group, a biphenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, 9-anthryl group, 9-phenanthryl group, 1- Pyrenyl group, 5-naphthacenyl group, 1-indenyl group, 2-azulenyl group, 9-fluorenyl group, terphenyl group, quaterphenyl group, o-, m- and p-tolyl group, xylyl group, o-, m- and p-cumenyl group, mesityl group, pentarenyl group, binaphthalenyl group, ternaphtanyl group, quaternaphthalenyl group, heptarenyl group, biphenyrenyl group, indacenyl group, fluoranthenyl group, acenaphthyl Nyl group, aseantrirenyl group, phenalenyl group, fluorenyl group, anthryl group, bianthracenyl group, teranthracenyl group, quarter anthracenyl group, anthraquinolyl group, phenanthryl group, triphenylenyl group, pyrenyl group , Chrysenyl group, naphthacenyl group, pleiadenyl group, pisenyl group, perylenyl group, pentaphenyl group, pentacenyl group, tetraphenylenyl group, hexaphenyl group, hexaenyl group, rubixenyl group, coronenyl group, trinaph A thilenyl group, a heptaphenyl group, a heptacenyl group, a pyrantrenyl group, and an ovarenyl group can be illustrated.
치환기를 갖고 있어도 좋은 아실기로서는 탄소수 2~20개의 아실기가 바람직하고, 구체적으로는 아세틸기, 프로판오일기, 부탄오일기, 트리플루오로아세틸기, 펜탄오일기, 벤조일기, 1-나프토일기, 2-나프토일기, 4-메틸술파닐벤조일기, 4-페닐술파닐벤조일기, 4-디메틸아미노벤조일기, 4-디에틸아미노벤조일기, 2-클로로벤조일기, 2-메틸벤조일기, 2-메톡시벤조일기, 2-부톡시벤조일기, 3-클로로벤조일기, 3-트리플루오로메틸벤조일기, 3-시아노벤조일기, 3-니트로벤조일기, 4-플루오로벤조일기, 4-시아노벤조일기 및 4-메톡시벤조일기를 예시할 수 있다.The acyl group which may have a substituent is preferably an acyl group having 2 to 20 carbon atoms, and specifically, an acetyl group, a propanoyl group, a butanoyl group, a trifluoroacetyl group, a pentanoyl group, a benzoyl group, and a 1-naphthoyl group , 2-naphthoyl group, 4-methylsulfanylbenzoyl group, 4-phenylsulfanylbenzoyl group, 4-dimethylaminobenzoyl group, 4-diethylaminobenzoyl group, 2-chlorobenzoyl group, 2-methylbenzoyl group, 2-methoxybenzoyl group, 2-butoxybenzoyl group, 3-chlorobenzoyl group, 3-trifluoromethylbenzoyl group, 3-cyanobenzoyl group, 3-nitrobenzoyl group, 4-fluorobenzoyl group, 4 -Cyanobenzoyl group and 4-methoxybenzoyl group can be illustrated.
치환기를 갖고 있어도 좋은 알콕시 카르보닐기로서는 탄소수 2~20개의 알콕시카르보닐기가 바람직하고, 구체적으로는 메톡시카르보닐기, 에톡시카르보닐기, 프로폭시카르보닐기, 부톡시카르보닐기, 헥실옥시카르보닐기, 옥틸옥시카르보닐기, 데실옥시카르보닐기, 옥타데실옥시카르보닐기 및 트리플루오로메틸옥시카르보닐기를 예시할 수 있다.The alkoxycarbonyl group which may have a substituent is preferably an alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, and specifically, a methoxycarbonyl group, an ethoxycarbonyl group, a propoxycarbonyl group, a butoxycarbonyl group, a hexyloxycarbonyl group, an octyloxycarbonyl group, a decyloxycarbonyl group, An octadecyloxycarbonyl group and a trifluoromethyloxycarbonyl group can be illustrated.
치환기를 갖고 있어도 좋은 아릴옥시카르보닐기로서 구체적으로는 페녹시카르보닐기, 1-나프틸옥시카르보닐기, 2-나프틸옥시카르보닐기, 4-메틸술파닐페닐옥시카르보닐기, 4-페닐술파닐페닐옥시카르보닐기, 4-디메틸아미노페닐옥시카르보닐기, 4-디에틸아미노페닐옥시카르보닐기, 2-클로로페닐옥시카르보닐기, 2-메틸페닐옥시카르보닐기, 2-메톡시페닐옥시카르보닐기, 2-부톡시페닐옥시카르보닐기, 3-클로로페닐옥시카르보닐기, 3-트리플루오로메틸페닐옥시카르보닐기, 3-시아노페닐옥시카르보닐기, 3-니트로페닐옥시카르보닐기, 4-플루오로페닐옥시카르보닐기, 4-시아노페닐옥시카르보닐기 및 4-메톡시페닐옥시카르보닐기를 예시할 수 있다.Specific examples of the aryloxycarbonyl group which may have a substituent include phenoxycarbonyl group, 1-naphthyloxycarbonyl group, 2-naphthyloxycarbonyl group, 4-methylsulfanylphenyloxycarbonyl group, 4-phenylsulfanylphenyloxycarbonyl group, and 4- Dimethylaminophenyloxycarbonyl group, 4-diethylaminophenyloxycarbonyl group, 2-chlorophenyloxycarbonyl group, 2-methylphenyloxycarbonyl group, 2-methoxyphenyloxycarbonyl group, 2-butoxyphenyloxycarbonyl group, 3-chlorophenyloxycarbonyl group , 3-trifluoromethylphenyloxycarbonyl group, 3-cyanophenyloxycarbonyl group, 3-nitrophenyloxycarbonyl group, 4-fluorophenyloxycarbonyl group, 4-cyanophenyloxycarbonyl group and 4-methoxyphenyloxycarbonyl group can do.
치환기를 갖고 있어도 좋은 복소환기로서는 질소 원자, 산소 원자, 황 원자 또는 인 원자를 포함하는 방향족 또는 지방족의 복소환이 바람직하다.The heterocyclic group which may have a substituent is preferably an aromatic or aliphatic heterocycle containing a nitrogen atom, an oxygen atom, a sulfur atom or a phosphorus atom.
구체적으로는 티에닐기, 벤조[b]티에닐기, 나프토[2,3-b]티에닐기, 티안트레닐기, 푸릴기, 피라닐기, 이소벤조푸라닐기, 클로메닐기, 크산테닐기, 페녹사티이닐기, 2H-피롤릴기, 피롤릴기, 이미다졸릴기, 피라졸릴기, 피리딜기, 피라지닐기, 피리미디닐기, 피리다지닐기, 인돌리디닐기, 이소인돌릴기, 3H-인돌릴기, 인돌릴기, 1H-인다졸릴기, 푸리닐기, 4H-퀴놀리디닐기, 이소퀴놀릴기, 퀴놀릴기, 프탈라디닐기, 나프틸리디닐기, 퀴녹사니릴기, 퀴나졸리닐기, 신놀리닐기, 프테리디닐기, 4aH-카르바졸릴기, 카르바졸릴기, β-카르볼리닐기, 페난트리디닐기, 아크리디닐기, 페리미디닐기, 페난트로리닐기, 페나디닐기, 페날사디닐기, 이소티아졸릴기, 페노티아디닐기, 이속사졸릴기, 프라자닐기, 페녹사디닐기, 이소크로마닐기, 크로마닐기, 피롤리디닐기, 피롤리닐기, 이미다졸리디닐기, 이미다졸리닐기, 피라졸리디닐기, 피라졸리닐기, 피페리딜기, 피페라디닐기, 인돌리닐기, 이소인돌리닐기, 퀴누클리디닐기, 모르폴리닐기 및 티오퀴산트릴기를 예시할 수 있다.Specifically, thienyl group, benzo[b]thienyl group, naphtho[2,3-b]thienyl group, thianthrenyl group, furyl group, pyranyl group, isobenzofuranyl group, clomenyl group, xanthenyl group, phenoxa Thiinyl group, 2H-pyrrolyl group, pyrrolyl group, imidazolyl group, pyrazolyl group, pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidinyl group, pyridazinyl group, indolidinyl group, isoindolyl group, 3H-indolyl group, Indolyl group, 1H-indazolyl group, furinyl group, 4H-quinolidinyl group, isoquinolyl group, quinolyl group, phthaladinyl group, naphthylidinyl group, quinoxaniryl group, quinazolinyl group, cynnolinyl group, p Teridinyl group, 4aH-carbazolyl group, carbazolyl group, β-carbolinyl group, phenanthridinyl group, acridinyl group, perimidinyl group, phenantholinyl group, phenadinyl group, phenalsadinyl group, isothiazolyl Group, phenothiadinyl group, isoxazolyl group, prazanyl group, phenoxadinyl group, isochromanyl group, chromanyl group, pyrrolidinyl group, pyrrolinyl group, imidazolidinyl group, imidazolinyl group, pyrazolidi Illustrative examples include a nil group, a pyrazolinyl group, a piperidyl group, a piperadinyl group, an indolinyl group, an isoindolinyl group, a quinuclidinyl group, a morpholinyl group, and a thioquisanthryl group.
치환기를 갖고 있어도 좋은 알킬티오카르보닐기로서 구체적으로는 메틸티오카르보닐기, 프로필티오카르보닐기, 부틸티오카르보닐기, 헥실티오카르보닐기, 옥틸티오카르보닐기, 데실티오카르보닐기, 옥타데실티오카르보닐기 및 트리플루오로메틸티오카르보닐기를 예시할 수 있다.Examples of the alkylthiocarbonyl group which may have a substituent include methylthiocarbonyl group, propylthiocarbonyl group, butylthiocarbonyl group, hexylthiocarbonyl group, octylthiocarbonyl group, decylthiocarbonyl group, octadecylthiocarbonyl group, and trifluoromethylthiocarbonyl group. I can.
치환기를 갖고 있어도 좋은 아릴티오카르보닐기로서 구체적으로는 1-나프틸티오카르보닐기, 2-나프틸티오카르보닐기, 4-메틸술파닐페닐티오카르보닐기, 4-페닐술파닐페닐티오카르보닐기, 4-디메틸아미노페닐티오카르보닐기, 4-디에틸아미노페닐티오카르보닐기, 2-클로로페닐티오카르보닐기, 2-메틸페닐티오카르보닐기, 2-메톡시페닐티오카르보닐기, 2-부톡시페닐티오카르보닐기, 3-클로로페닐티오카르보닐기, 3-트리플루오로메틸페닐티오카르보닐기, 3-시아노페닐티오카르보닐기, 3-니트로페닐티오카르보닐기, 4-플루오로페닐티오카르보닐기, 4-시아노페닐티오카르보닐기 및 4-메톡시페닐티오카르보닐기를 들 수 있다.As an arylthiocarbonyl group which may have a substituent, specifically, 1-naphthylthiocarbonyl group, 2-naphthylthiocarbonyl group, 4-methylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-phenylsulfanylphenylthiocarbonyl group, 4-dimethylaminophenylthio Carbonyl group, 4-diethylaminophenylthiocarbonyl group, 2-chlorophenylthiocarbonyl group, 2-methylphenylthiocarbonyl group, 2-methoxyphenylthiocarbonyl group, 2-butoxyphenylthiocarbonyl group, 3-chlorophenylthiocarbonyl group, 3-tri Fluoromethylphenylthiocarbonyl group, 3-cyanophenylthiocarbonyl group, 3-nitrophenylthiocarbonyl group, 4-fluorophenylthiocarbonyl group, 4-cyanophenylthiocarbonyl group, and 4-methoxyphenylthiocarbonyl group.
상기 B로 나타내어지는 1가의 치환기로서는 아릴기, 복소환기, 아릴카르보닐기 또는 복소환 카르보닐기를 나타낸다. 또한, 이들 기는 1 이상의 치환기를 갖고 있어도 좋다. 치환기로서는 상술한 치환기를 예시할 수 있다. 또한, 상술한 치환기는 다른 치환기로 더 치환되어 있어도 좋다.The monovalent substituent represented by B above represents an aryl group, heterocyclic group, arylcarbonyl group, or heterocyclic carbonyl group. Moreover, these groups may have one or more substituents. As a substituent, the substituent mentioned above can be illustrated. In addition, the above-described substituent may be further substituted with another substituent.
그 중에서도, 특히 바람직하게는 이하에 나타내는 구조이다.Especially, it is a structure shown below especially preferably.
하기의 구조 중 Y, X 및 n은 각각 후술하는 식(2)에 있어서의 Y, X 및 n과 동의이며, 바람직한 예도 마찬가지이다.In the following structures, Y, X, and n have the same meaning as Y, X, and n in Formula (2) described later, and preferred examples are also the same.
상기 A로 나타내어지는 2가의 유기기로서는 탄소수 1~12개의 알킬렌기, 시클로헥실렌기, 알키닐렌기를 들 수 있다. 또한, 이들 기는 1 이상의 치환기를 갖고 있어도 좋다. 치환기로서는 상술한 치환기를 예시할 수 있다. 또한, 상술한 치환기는 다른 치환기로 더 치환되어 있어도 좋다.Examples of the divalent organic group represented by A include an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclohexylene group, and an alkynylene group. Moreover, these groups may have one or more substituents. As a substituent, the substituent mentioned above can be illustrated. In addition, the above-described substituent may be further substituted with another substituent.
그 중에서도 A로서는 감도를 높이고, 가열 경시에 의한 착색을 억제하는 점으로부터 무치환의 알킬렌기, 알킬기(예를 들면, 메틸기, 에틸기, tert-부틸기, 도데실기)로 치환된 알킬렌기, 알케닐기(예를 들면, 비닐기, 알릴기)로 치환된 알킬렌기, 아릴기(예를 들면, 페닐기, p-톨릴기, 크실릴기, 쿠메닐기, 나프틸기, 안트릴기, 페난트릴기, 스티릴기)로 치환된 알킬렌기가 바람직하다.Among them, A is an unsubstituted alkylene group, an alkylene group substituted with an alkyl group (e.g., methyl group, ethyl group, tert-butyl group, dodecyl group) and alkenyl group from the viewpoint of enhancing sensitivity and suppressing coloration due to heating over time. (E.g., vinyl group, allyl group) substituted alkylene group, aryl group (e.g., phenyl group, p-tolyl group, xylyl group, cumenyl group, naphthyl group, anthryl group, phenanthryl group, sty Aryl group) substituted alkylene group is preferable.
상기 Ar로 나타내어지는 아릴기로서는 탄소수 6~30개의 아릴기가 바람직하고, 또한 치환기를 갖고 있어도 좋다. 치환기로서는 앞서 치환기를 갖고 있어도 좋은 아릴기의 구체예로서 열거한 치환 아릴기에 도입된 치환기와 같은 것을 예시할 수 있다.The aryl group represented by Ar is preferably an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, and may further have a substituent. Examples of the substituent include the same substituents introduced in the substituted aryl groups listed above as specific examples of the aryl groups which may have a substituent.
그 중에서도 감도를 높이고, 가열 경시에 의한 착색을 억제하는 점으로부터 치환 또는 무치환의 페닐기가 바람직하다.Among them, a substituted or unsubstituted phenyl group is preferable from the viewpoint of increasing the sensitivity and suppressing coloration due to elapse of heating.
식(1)에 있어서는 상기 Ar과 인접하는 S와 형성되는 「SAr」의 구조가 이하에 나타내는 구조인 것이 감도의 점에서 바람직하다. 또한, Me는 메틸기를 나타내고, Et는 에틸기를 나타낸다.In formula (1), it is preferable from the viewpoint of sensitivity that the structure of "SAr" formed with S adjacent to Ar is a structure shown below. In addition, Me represents a methyl group, and Et represents an ethyl group.
옥심 화합물은 하기 식(2)으로 나타내어지는 화합물인 것이 바람직하다.It is preferable that the oxime compound is a compound represented by the following formula (2).
[식(2) 중 R 및 X는 각각 독립적으로 1가의 치환기를 나타내고, A 및 Y는 각각 독립적으로 2가의 유기기를 나타내고, Ar은 아릴기를 나타내고, n은 0~5의 정수이다][In formula (2), R and X each independently represent a monovalent substituent, A and Y each independently represent a divalent organic group, Ar represents an aryl group, and n is an integer of 0-5]
식(2)에 있어서의 R, A 및 Ar은 상기 식(1)에 있어서의 R, A 및 Ar과 동의이며, 바람직한 예도 마찬가지이다.R, A, and Ar in formula (2) have the same meaning as R, A, and Ar in formula (1), and preferred examples are also the same.
상기 X로 나타내어지는 1가의 치환기로서는 알킬기, 아릴기, 알콕시기, 아릴옥시기, 아실옥시기, 아실기, 알콕시카르보닐기, 아미노기, 복소환기, 할로겐 원자를 들 수 있다. 또한, 이들 기는 1 이상의 치환기를 갖고 있어도 좋다. 치환기로서는 상술한 치환기를 예시할 수 있다. 또한, 상술한 치환기는 다른 치환기로 더 치환되어 있어도 좋다.Examples of the monovalent substituent represented by X include an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxy group, an acyl group, an alkoxycarbonyl group, an amino group, a heterocyclic group, and a halogen atom. Moreover, these groups may have one or more substituents. As a substituent, the substituent mentioned above can be illustrated. In addition, the above-described substituent may be further substituted with another substituent.
이들 중에서도 X로서는 용제 용해성과 장파장 영역의 흡수 효율 향상의 점으로부터 알킬기가 바람직하다.Among these, X is preferably an alkyl group from the viewpoint of solvent solubility and improvement of absorption efficiency in a long wavelength region.
또한, 식(2)에 있어서의 n은 0~5의 정수를 나타내고, 0~2의 정수가 바람직하다.In addition, n in Formula (2) represents the integer of 0-5, and the integer of 0-2 is preferable.
상기 Y로 나타내어지는 2가의 유기기로서는 이하에 나타내는 구조를 들 수 있다. 또한, 이하에 나타내어지는 기에 있어서 「」는 상기 식(2)에 있어서 Y와 인접하는 탄소 원자의 결합 위치를 나타낸다.The structure shown below is mentioned as the divalent organic group represented by the said Y. In addition, in the group shown below, "" represents a bonding position of a carbon atom adjacent to Y in the formula (2).
그 중에서도 고감도화의 관점으로부터 하기에 나타내는 구조가 바람직하다.Among them, the structure shown below is preferable from the viewpoint of high sensitivity.
또한, 옥심 화합물은 하기 식(3)으로 나타내어지는 화합물인 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the oxime compound is a compound represented by the following formula (3).
[식(3) 중 R 및 X는 각각 독립으로 1가의 치환기를 나타내고, A는 2가의 유기기를 나타내고, Ar은 아릴기를 나타내고, n은 0~5의 정수이다][In formula (3), R and X each independently represent a monovalent substituent, A represents a divalent organic group, Ar represents an aryl group, and n is an integer of 0-5]
식(3)에 있어서의 R, X, A, Ar 및 n은 상기 식(2)에 있어서의 R, X, A, Ar 및 n과 각각 동의이며, 바람직한 예도 마찬가지이다.R, X, A, Ar, and n in formula (3) have the same meaning as R, X, A, Ar, and n in formula (2), respectively, and preferred examples are also the same.
이하 적합하게 사용되는 옥심 화합물의 구체예(C-4)~(C-13)를 이하에 나타내지만, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.Specific examples (C-4) to (C-13) of the oxime compound suitably used below are shown below, but the present invention is not limited thereto.
옥심 화합물은 350㎚~500㎚의 파장 영역에 극대 흡수 파장을 갖는 것이며, 360㎚~480㎚의 파장 영역에 흡수 파장을 갖는 것이 바람직하고, 365㎚ 및 455㎚의 흡광도가 높은 것이 특히 바람직하다.The oxime compound has a maximum absorption wavelength in a wavelength range of 350 nm to 500 nm, preferably an absorption wavelength in a wavelength range of 360 nm to 480 nm, and particularly preferably a high absorbance of 365 nm and 455 nm.
옥심 화합물은 365㎚ 또는 405㎚에 있어서의 몰 흡광 계수는 감도의 관점으로부터 1,000~300,000인 것이 바람직하고, 2,000~300,000인 것이 보다 바람직하고, 5,000~200,000인 것이 특히 바람직하다.As for the oxime compound, the molar extinction coefficient at 365 nm or 405 nm is preferably 1,000 to 300,000 from the viewpoint of sensitivity, more preferably 2,000 to 300,000, and particularly preferably 5,000 to 200,000.
화합물의 몰 흡광 계수는 공지의 방법을 사용할 수 있지만, 구체적으로는 예를 들면 자외 가시 분광 광도계(Varian Medical Systems, Inc.제 Carry-5 spectrophotometer)에서 아세트산 에틸 용제를 사용하여 0.01g/L의 농도로 측정하는 것이 바람직하다.The molar extinction coefficient of the compound can be determined using a known method, but specifically, a concentration of 0.01 g/L using ethyl acetate solvent in an ultraviolet visible spectrophotometer (Varian Medical Systems, Inc., Carry-5 spectrophotometer). It is preferable to measure as.
본 발명에 사용되는 중합 개시제는 필요에 따라서 2종 이상을 조합시켜서 사용해도 좋다.The polymerization initiator used in the present invention may be used in combination of two or more as necessary.
중합 개시제의 착색 감방사선성 조성물 중에 있어서의 함유량(2종 이상의 경우에는 총 함유량)으로서는 감방사선성 조성물의 전체 고형분에 대하여 0.1~20질량%의 범위가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5~10질량%의 범위, 특히 바람직하게는 1~8질량%의 범위이다. 이 범위 내이면 양호한 감도와 패턴 형성성이 얻어진다.The content of the polymerization initiator in the colored radiation-sensitive composition (total content in the case of two or more types) is preferably in the range of 0.1 to 20% by mass, more preferably 0.5 to 10% by mass with respect to the total solid content of the radiation-sensitive composition. %, particularly preferably 1 to 8 mass%. If it is within this range, good sensitivity and pattern formation are obtained.
본 발명에서는 중합 개시제의 라디칼 발생 효율의 향상, 감광 파장의 장파장화의 목적에서 증감제를 함유하고 있어도 좋다. 본 발명에 사용할 수 있는 증감제로서는 중합 개시제에 대하여 전자 이동 기구 또는 에너지 이동 기구에서 증감시키는 것이 바람직하다.In the present invention, a sensitizer may be contained for the purpose of improving the radical generation efficiency of the polymerization initiator and increasing the wavelength of the photosensitive wavelength. As a sensitizer that can be used in the present invention, it is preferable to increase or decrease the polymerization initiator by an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism.
증감제로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 2008-32803호 공보의 단락 번호 0101~0154에 기재되는 화합물을 들 수 있다.Examples of the sensitizer include compounds described in paragraphs 0101 to 0154 of JP 2008-32803 A.
본 발명의 조성물 중에 있어서의 증감제의 함유량은 배합할 경우 심부로의 광 흡수 효율과 개시 분해 효율의 관점으로부터 고형분 환산으로 0.1질량%~20질량%인 것이 바람직하고, 0.5질량%~15질량%가 보다 바람직하다.The content of the sensitizer in the composition of the present invention is preferably 0.1% by mass to 20% by mass in terms of solid content from the viewpoint of the light absorption efficiency to the core and the starting decomposition efficiency when blended, and 0.5% by mass to 15% by mass Is more preferable.
증감제는 1종 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 병용해도 좋다.A sensitizer may be used alone or in combination of two or more.
(e) 착색제(e) colorant
본 발명에 사용되는 착색제는 특별히 한정되는 것은 아니고, 종래 공지의 여러 가지 염료나 안료를 1종 또는 2종 이상 혼합해서 사용할 수 있고, 이들은 본 발명의 조성물의 용도에 따라 적당하게 선택된다. 본 발명의 조성물을 컬러 필터 제조에 사용할 경우이면 컬러 필터의 색 화소를 형성하는 적색, 마젠타색, 황색, 청색, 시안색 및 녹색 등의 유채색계의 착색제(유채색 착색제) 및 블랙 매트릭스 형성용에 일반적으로 사용되고 있는 흑색계의 착색제(흑색 착색제) 중 어느 하나를 사용할 수 있다. 본 발명에서는 착색제가 적색, 마젠타색, 황색, 청색, 시안색 및 녹색으로부터 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하다.The colorant used in the present invention is not particularly limited, and conventionally known various dyes or pigments may be used alone or in combination of two or more, and these are appropriately selected according to the use of the composition of the present invention. When the composition of the present invention is used in the manufacture of a color filter, it is generally used for chromatic colorants (chromic colorants) such as red, magenta, yellow, blue, cyan and green that form color pixels of a color filter and for forming a black matrix. Any one of the black colorants (black colorants) used as can be used. In the present invention, it is preferable that the colorant is at least one selected from red, magenta, yellow, blue, cyan and green.
이하 착색제에 대해서 컬러 필터 용도에 적합한 착색제를 예로 상세하게 설명한다.Hereinafter, a colorant suitable for use in color filters will be described in detail with respect to the colorant.
유채색계의 안료로서는 종래 공지의 여러 가지 무기 안료 또는 유기 안료를 사용할 수 있다. 또한, 무기 안료이든 유기 안료이든 고투과율인 것이 바람직한 것을 고려하면 되도록이면 가는 것의 사용이 바람직하고, 핸들링성도 고려하면 상기 안료의 평균 1차 입자 지름은 0.01㎛~0.1㎛가 바람직하고, 0.01㎛~0.05m가 보다 바람직하다.As the chromatic pigment, various conventionally known inorganic pigments or organic pigments can be used. In addition, considering that whether it is an inorganic or organic pigment having a high transmittance, it is preferable to use a thin one. Considering handling properties, the average primary particle diameter of the pigment is preferably 0.01 μm to 0.1 μm, and 0.01 μm to 0.05m is more preferable.
무기 안료로서는 금속 산화물, 금속 착염 등으로 나타내어지는 금속 화합물을 들 수 있고, 구체적으로는 철, 코발트, 알루미늄, 카드뮴, 납, 구리, 티탄, 마그네슘, 크롬, 아연, 안티모니, 은 등의 금속 산화물 및 상기 금속의 복합 산화물을 들 수 있다. 티탄의 질화물은 주석 화합물, 은 화합물 등도 사용할 수 있다.Examples of inorganic pigments include metal compounds represented by metal oxides and metal complex salts. Specifically, metal oxides such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and silver And composite oxides of the above metals. As the nitride of titanium, a tin compound, a silver compound, or the like can also be used.
본 발명에 있어서 바람직하게 사용할 수 있는 안료로서 이하의 것을 들 수 있다. 단, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.The following are mentioned as a pigment which can be used preferably in this invention. However, the present invention is not limited to these.
C.I.피그먼트 옐로 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37 :1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214 등,C.I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35 :1, 36, 36:1, 37, 37 :1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94 , 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137 , 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176 , 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214, etc.,
C.I.피그먼트 오렌지 2, 5, 13, 16, 17:1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64, 71, 73 등,C.I. Pigment Orange 2, 5, 13, 16, 17:1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 55, 59, 60, 61, 62, 64 , 71, 73, etc.,
C. I. 피그먼트 레드 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 52:1, 52:2, 53:1, 57:1, 60:1, 63:1, 66, 67, 81:1, 81:2, 81:3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279CI Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48:1, 48:2, 48:3, 48: 4, 49, 49:1, 49:2, 52:1, 52:2, 53:1, 57:1, 60:1, 63:1, 66, 67, 81:1, 81:2, 81: 3, 83, 88, 90, 105, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 155, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 220, 224, 226, 242, 246, 254, 255, 264, 270, 272, 279
C. I. 피그먼트 그린 7, 10, 36, 37, 58C. I. Pigment Green 7, 10, 36, 37, 58
C. I. 피그먼트 바이올렛 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42C. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 32, 37, 42
C. I. 피그먼트 블루 1, 2, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 22, 60, 64, 66, 79, 80
C. I. 피그먼트 블랙 1C. I. Pigment Black 1
이들 유기 안료는 단독 또는 색 순도를 높이기 위해서 여러 가지로 조합시켜서 사용할 수 있다.These organic pigments can be used alone or in various combinations to increase color purity.
착색제가 염료일 경우에는 조성물 중에 균일하게 용해된 상태의 착색 조성물을 얻을 수 있다.When the colorant is a dye, it is possible to obtain a colored composition uniformly dissolved in the composition.
착색 감방사선성 조성물에 함유되는 착색제로서 사용할 수 있는 염료는 특별히 제한은 없고, 종래 컬러 필터용으로서 공지의 염료를 사용할 수 있다. 예를 들면, 피라졸아조계, 아닐리노아조계, 트리페닐메탄계, 안트라퀴논계, 안트라피리돈계, 벤질리덴계, 옥소놀계, 피라졸로트리아졸아조계, 피리돈아조계, 시아닌계, 페노티아진계, 피롤로피라졸아조메틴계, 크산텐계, 프탈로시아닌계, 벤조피란계, 인디고계, 피로메텐계 등의 염료를 사용할 수 있다. 또한, 이들 염료의 다량체를 사용해도 좋다.The dye that can be used as the colorant contained in the colored radiation-sensitive composition is not particularly limited, and conventionally known dyes for color filters can be used. For example, pyrazole azo system, anilino azo system, triphenylmethane system, anthraquinone system, anthrapyridone system, benzylidene system, oxonol system, pyrazolotriazol azo system, pyridone azo system, cyanine system, phenothiazine system, blood Dyes such as rolopyrazole azomethine-based, xanthene-based, phthalocyanine-based, benzopyran-based, indigo-based, and pyromethene-based dye can be used. Moreover, you may use a multimer of these dyes.
또한, 물 또는 알칼리 현상을 행할 경우 현상에 의해 광 미조사부의 바인더 및/또는 염료를 완전히 제거한다는 관점에서는 산성 염료 및/또는 그 유도체가 적합하게 사용할 수 있을 경우가 있다.In addition, when developing with water or alkali, from the viewpoint of completely removing the binder and/or the dye of the unirradiated portion by development, the acidic dye and/or its derivative may be suitably used in some cases.
기타 직접 염료, 염기성 염료, 매염 염료, 산성 매염 염료, 아조익 염료, 분산 염료, 유용 염료, 식품 염료 및/또는 이들의 유도체 등도 유용하게 사용할 수 있다.Other direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acidic mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, useful dyes, food dyes, and/or derivatives thereof can also be usefully used.
이하에 산성 염료의 구체예를 들지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면,Although specific examples of the acidic dye are given below, it is not limited to these. For example,
acid alizarin violet N; acid 블랙 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 15, 18, 23, 25, 27, 29, 40~45, 62, 70, 74, 80, 83, 86, 87, 90, 92, 103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 158, 171, 182, 192, 243, 324:1; acid chrome violet K; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57,66,73,80,87,88,91,92,94,97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274;acid violet 6B, 7, 9, 17, 19; acid yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116, 184, 243; Food Yellow 3; 및 이들 염료의 유도체를 들 수 있다.acid alizarin violet N; acid black 1, 2, 24, 48; acid blue 1, 7, 9, 15, 18, 23, 25, 27, 29, 40~45, 62, 70, 74, 80, 83, 86, 87, 90, 92, 103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 158, 171, 182, 192, 243, 324:1; acid chrome violet K; acid Fuchsin; acid green 1, 3, 5, 9, 16, 25, 27, 50; acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 50, 51, 52, 56, 63, 74, 95; acid red 1, 4, 8, 14, 17, 18, 26, 27, 29, 31, 34, 35, 37, 42, 44, 50, 51, 52, 57,66,73,80,87,88, 91,92,94,97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 183, 198, 211, 215, 216, 217, 249, 252, 257, 260, 266, 274; acid violet 6B, 7, 9, 17, 19; acid yellow 1, 3, 7, 9, 11, 17, 23, 25, 29, 34, 36, 42, 54, 72, 73, 76, 79, 98, 99, 111, 112, 114, 116, 184, 243; Food Yellow 3; And derivatives of these dyes.
또한, 상기 이외의 아조계, 크산텐계, 프탈로시아닌계의 산성 염료도 바람직하고, C. I. Solvent Blue 44, 38; C. I. Solvent orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110 등의 산성 염료 및 이들 염료의 유도체도 바람직하게 사용된다.Further, azo-based, xanthene-based, and phthalocyanine-based acid dyes other than the above are also preferable, and C. I. Solvent Blue 44, 38; C. I. Solvent orange 45; Acid dyes such as Rhodamine B and Rhodamine 110, and derivatives of these dyes are also preferably used.
그 중에서도 착색제로서는 트리아릴메탄계, 안트라퀴논계, 아조메틴계, 벤질리덴계, 옥소놀계, 시아닌계, 페노티아진계, 피롤로피라졸아조메틴계, 크산텐계, 프탈로시아닌계, 벤조피란계, 인디고계, 피라졸아조계, 아닐리노아조계, 피라졸로트리아졸아조계, 피리돈아조계, 안트라피리돈계 피로메텐계로부터 선택되는 착색제인 것이 바람직하다.Among them, triarylmethane-based, anthraquinone-based, azomethine-based, benzylidene-based, oxonol-based, cyanine-based, phenothiazine-based, pyrrolopyrazole azomethine-based, xanthene-based, phthalocyanine-based, benzopyran-based, indigo It is preferable that it is a coloring agent selected from a pyrazole azo system, an anilino azo system, a pyrazolo triazol azo system, a pyridone azo system, and an anthrapyridone pyromethene system.
또한, 안료와 염료를 조합시켜서 사용해도 좋다.Moreover, you may use it combining a pigment and a dye.
본 발명에서는 특히, C. I. 피그먼트 레드 122, C. I. 피그먼트 옐로 185가 바람직하다.In the present invention, C. I. Pigment Red 122 and C. I. Pigment Yellow 185 are particularly preferred.
착색 감방사선성 조성물에 있어서 사용할 수 있는 착색제는 염료 또는 안료인 것이 바람직하다. 특히, 평균 입자 지름(r)이 20㎚≤r≤300㎚, 바람직하게는 125㎚≤r≤250㎚, 특히 바람직하게는 30㎚≤r≤200㎚를 충족시키는 안료가 바람직하다. 이러한 평균 입자 지름의 안료를 사용함으로써 고콘트라스트비이고, 또한 고광투과율의 화소를 얻을 수 있다. 여기서 말하는 「평균 입자 지름」이란 안료의 1차 입자(단미결정)가 집합된 2차 입자에 대한 평균 입자 지름을 의미한다. 평균 1차 입자 지름은 SEM 또는 TEM에서 관찰하고, 입자가 응집되지 않는 부분에서 입자 사이즈를 100개 계측하고, 평균값을 산출함으로써 구할 수 있다.It is preferable that the colorant which can be used in the colored radiation-sensitive composition is a dye or a pigment. Particularly, a pigment having an average particle diameter (r) of 20 nm≦r≦300 nm, preferably 125 nm≦r≦250 nm, and particularly preferably 30 nm≦r≦200 nm is preferable. By using a pigment having such an average particle diameter, a pixel having a high contrast ratio and a high light transmittance can be obtained. The "average particle diameter" as used herein refers to the average particle diameter of the secondary particles in which primary particles (single microcrystals) of the pigment are collected. The average primary particle diameter can be determined by observing by SEM or TEM, measuring 100 particle sizes at a portion where particles do not aggregate, and calculating an average value.
또한, 본 발명에 있어서 사용할 수 있는 안료의 2차 입자의 입자 지름 분포(이하 간단히 「입자 지름 분포」라고 칭함)는 (평균 입자 지름±100)㎚에 들어가는 2차 입자가 전체의 70질량% 이상, 바람직하게는 80질량% 이상인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서는 입자 지름 분포는 산란 강도 분포를 사용하여 측정했다.In addition, the particle diameter distribution of the secondary particles of the pigment that can be used in the present invention (hereinafter simply referred to as ``particle diameter distribution'') is (average particle diameter ± 100) that the secondary particles entering the nm are not less than 70% by mass of the total. , Preferably it is preferably 80 mass% or more. In addition, in this invention, the particle diameter distribution was measured using the scattering intensity distribution.
상기 평균 입자 지름 및 입자 지름 분포를 갖는 안료는 시판의 안료를 경우에 따라 사용되는 다른 안료(평균 입자 지름은 통상 300㎚를 초과함)와 함께 바람직하게는 분산제 및 용제와 혼합한 안료 혼합액으로서, 예를 들면 비드밀, 롤밀 등의 분쇄기를 사용하여 분쇄하면서 혼합·분산시킴으로써 조제할 수 있다. 이렇게 해서 얻어지는 안료는 통상 안료 분산액의 형태를 취한다.The pigment having the average particle diameter and particle diameter distribution is a pigment mixture obtained by mixing a commercially available pigment with other pigments (average particle diameter usually exceeds 300 nm), preferably with a dispersant and a solvent, For example, it can be prepared by mixing and dispersing while pulverizing using a grinder such as a bead mill or a roll mill. The pigment thus obtained usually takes the form of a pigment dispersion.
-안료의 미세화--Miniaturization of pigments-
본 발명에 있어서는 필요에 따라서 미세하고, 또한 정립화된 유기 안료를 사용할 수 있다. 안료의 미세화는 안료와 수용성 유기 용제와 수용성 무기 염류와 함께 고점도인 액상 조성물을 조제하고, 습식 분쇄 장치 등을 사용하여 응력을 부가해서 마쇄하는 공정을 거침으로써 달성된다.In the present invention, a fine and sized organic pigment can be used as necessary. Refinement of the pigment is achieved by preparing a liquid composition having a high viscosity together with the pigment, a water-soluble organic solvent, and a water-soluble inorganic salt, and subjecting it to a step of grinding by applying stress using a wet grinding device or the like.
안료의 미세화 공정에 사용되는 수용성 유기 용제로서는 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, n-프로판올, 이소부탄올, n-부탄올, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 프로필렌글리콜, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 아세테이트 등을 들 수 있다.Water-soluble organic solvents used in the pigment refining process include methanol, ethanol, isopropanol, n-propanol, isobutanol, n-butanol, ethylene glycol, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, and diethylene glycol monoethyl ether. Ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol, propylene glycol monomethyl ether acetate, etc. are mentioned.
또한, 소량 사용함으로써 안료에 흡착되고, 폐수 중에 유실되지 않는 한에 있어서는 수용성은 낮거나 또는 수용성을 갖지 않는 기타 용제, 예를 들면 벤젠, 크실렌, 에틸벤젠, 클로로벤젠, 니트로벤젠, 아닐린, 피리딘, 퀴놀린, 테트라히드로푸란, 디옥산, 아세트산 에틸, 아세트산 이소프로필, 아세트산 부틸, 헥산, 헵탄, 옥탄, 노난, 데칸, 운데칸, 도데칸, 시클로헥산, 메틸시클로헥산, 할로겐화 탄화수소, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 시클로헥산온, 디메틸포름아미드, 디메틸술폭시드, N-메틸피롤리돈 등을 사용해도 좋다.In addition, other solvents that have low or no water solubility, such as benzene, xylene, ethylbenzene, chlorobenzene, nitrobenzene, aniline, pyridine, as long as they are adsorbed to the pigment and are not lost in wastewater by using a small amount. Quinoline, tetrahydrofuran, dioxane, ethyl acetate, isopropyl acetate, butyl acetate, hexane, heptane, octane, nonane, decane, undecane, dodecane, cyclohexane, methylcyclohexane, halogenated hydrocarbon, acetone, methylethylketone , Methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, N-methylpyrrolidone, or the like may be used.
안료의 미세화 공정에 사용하는 용제는 1종뿐이어도 좋고, 필요에 따라서 2종류 이상을 혼합해서 사용해도 좋다.Only one solvent may be used in the pigment refining step, or two or more solvents may be mixed and used as necessary.
본 발명에 있어서 안료의 미세화 공정에 사용되는 수용성 무기염으로서는 염화나트륨, 염화칼륨, 염화칼슘, 염화바륨, 황산 나트륨 등을 들 수 있다.In the present invention, examples of the water-soluble inorganic salt used in the pigment refining step include sodium chloride, potassium chloride, calcium chloride, barium chloride, sodium sulfate, and the like.
미세화 공정에 있어서의 수용성 무기염의 사용량은 안료의 1~50질량배이며, 많은 편이 마쇄 효과는 있지만, 보다 바람직한 양은 생산성의 점에서 1~10질량배이다. 또한, 수분이 1% 이하인 무기 염류를 사용하는 것이 바람직하다.The amount of the water-soluble inorganic salt used in the micronization step is 1 to 50 mass times that of the pigment, and a larger one has a grinding effect, but a more preferable amount is 1 to 10 mass times from the viewpoint of productivity. In addition, it is preferable to use inorganic salts having a moisture content of 1% or less.
미세화 공정에 있어서의 수용성 유기 용제의 사용량은 안료 100질량부에 대하여 50질량부~300질량부의 범위이며, 바람직하게는 100질량부~200질량부의 범위이다.The amount of the water-soluble organic solvent used in the refining step is in the range of 50 parts by mass to 300 parts by mass, and preferably in the range of 100 parts by mass to 200 parts by mass per 100 parts by mass of the pigment.
안료의 미세화 공정에 있어서의 습식 분쇄 장치의 운전 조건에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 분쇄 미디어에 의한 마쇄를 효과적으로 진행시키기 위해서 장치가 니더인 경우의 운전 조건은 장치 내의 블레이드의 회전수는 10~200rpm이 바람직하고, 또한 2축의 회전비가 상대적으로 큰 편이 마쇄 효과가 커서 바람직하다. 운전 시간은 건식 분쇄 시간과 더불어 1시간~8시간이 바람직하고, 장치의 내부 온도는 50~150℃가 바람직하다. 또한, 분쇄 미디어인 수용성 무기염은 분쇄 입도가 5~50㎛로 입자 지름의 분포가 샤프하고, 또한 구형이 바람직하다.There is no particular limitation on the operating conditions of the wet grinding device in the pigment refining process, but in order to effectively proceed grinding by the grinding media, the operating conditions when the device is a kneader is the rotation speed of the blade in the device of 10 to 200 rpm. It is preferable, and a relatively large rotational ratio of the two axes is preferable because the grinding effect is large. The operating time is preferably 1 to 8 hours in addition to the dry grinding time, and the internal temperature of the device is preferably 50 to 150°C. Further, the water-soluble inorganic salt, which is a pulverizing medium, has a pulverized particle size of 5 to 50 µm, a sharp particle diameter distribution, and a spherical shape is preferable.
-안료의 조합(색 조합)--Pigment combination (color combination)-
이들 유기 안료는 단독 또는 색 순도를 높이기 위해서 여러 가지로 조합시켜서 사용할 수 있다. 상기 조합의 구체예를 이하에 나타낸다. 예를 들면, 적색 안료로서 안트라퀴논계 안료, 페릴렌계 안료, 디케토피롤로피롤계 안료 단독 또는 그들의 적어도 1종과, 디스아조계 황색 안료, 이소인돌린계 황색 안료, 퀴노프탈론계 황색 안료 또는 페릴렌계 적색 안료, 안트라퀴논계 적색 안료, 디케토피롤로피롤계 적색 안료의 혼합 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 안트라퀴논계 안료로서는 C. I. 피그먼트·레드 177을 들 수 있고, 페릴렌계 안료로서는 C. I. 피그먼트·레드 155, C. I. 피그먼트·레드 224를 들 수 있고, 디케토피롤로피롤계 안료로서는 C. I. 피그먼트·레드 254를 들 수 있고, 색 재현성의 점에서 C. I. 피그먼트·옐로 83, C. I. 피그먼트·옐로 139 또는 C. I. 피그먼트·레드 177과의 혼합이 바람직하다. 또한, 적색 안료와 다른 안료의 질량비는 100:5~100:80이 바람직하다. 이 범위에 있어서는 400㎚~500㎚의 광투과율을 억제하여 색 순도의 향상이 도모되고, 또한 충분한 발색력이 달성된다. 특히, 상기 질량비로서는 100:10~100:65의 범위가 최적이다. 또한, 적색 안료끼리의 조합의 경우에는 색도에 맞춰서 조정할 수 있다.These organic pigments can be used alone or in various combinations to increase color purity. Specific examples of the combination are shown below. For example, as a red pigment, anthraquinone pigment, perylene pigment, diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them, disazo yellow pigment, isoindolin yellow pigment, quinophthalone yellow pigment, or Mixing of a perylene-based red pigment, an anthraquinone-based red pigment, and a diketopyrrolopyrrole-based red pigment can be used. For example, CI pigment red 177 is mentioned as an anthraquinone pigment, CI pigment red 155 and CI pigment red 224 are mentioned as a perylene pigment, and CI pigment red 224 is mentioned as a diketopyrrolopyrrole pigment Pigment red 254 is mentioned, and a mixture of CI pigment yellow 83, CI pigment yellow 139, or CI pigment red 177 is preferable from the viewpoint of color reproducibility. Further, the mass ratio of the red pigment and other pigments is preferably 100:5 to 100:80. In this range, the light transmittance of 400 nm to 500 nm is suppressed to improve color purity, and sufficient color development power is achieved. In particular, as the mass ratio, the range of 100:10 to 100:65 is optimal. Moreover, in the case of a combination of red pigments, it can be adjusted according to the chromaticity.
또한, 녹색의 안료로서는 할로겐화 프탈로시아닌계 안료를 1종 단독으로 또는 이것과 디스아조계 황색 안료, 퀴노프탈론계 황색 안료, 아조메틴계 황색 안료 또는 이소인돌린계 황색 안료의 혼합을 사용할 수 있다. 예를 들면, 이러한 예 로서는 C. I. 피그먼트·그린 7, 36, 37, 58과 C. I. 피그먼트·옐로 83, C. I. 피그먼트·옐로 138, C. I. 피그먼트·옐로 139, C. I. 피그먼트·옐로 150, C. I. 피그먼트·옐로 180 또는 C. I. 피그먼트·옐로 185의 혼합이 바람직하다. 녹색 안료와 황색 안료의 질량비는 100:5~100:200이 바람직하다. 질량비 상기 범위에 있어서 400~450㎚의 광투과율을 억제할 수 있어 색 순도의 향상이 도모되고, 또한 주파장이 장파장에 가까워질 일이 없고, 섭가 위치대로의 NTSC 목표 색상 근방의 색상을 얻을 수 있다. 상기 질량비로서는 100:20~100:150의 범위가 특히 바람직하다.In addition, as the green pigment, a halogenated phthalocyanine-based pigment may be used alone or a mixture of this and a disazo-based yellow pigment, a quinophthalone-based yellow pigment, an azomethine-based yellow pigment, or an isoindolin-based yellow pigment. For example, as such examples, CI pigment green 7, 36, 37, 58 and CI pigment yellow 83, CI pigment yellow 138, CI pigment yellow 139, CI pigment yellow 150, CI pigment Mixture of pigment yellow 180 or CI pigment yellow 185 is preferable. The mass ratio of the green pigment and the yellow pigment is preferably 100:5 to 100:200. Mass ratio In the above range, the light transmittance of 400 to 450 nm can be suppressed, so that the color purity is improved, and the dominant wavelength does not become close to a long wavelength, and a color near the NTSC target color at the sub-position can be obtained. have. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100:20 to 100:150.
청색 안료로서는 프탈로시아닌계 안료를 1종 단독으로 또는 이것과 디옥사딘계 자색 안료의 혼합을 사용할 수 있다. 특히, 바람직한 예로서 프탈로시아닌 금속 착체(예를 들면, 알루미늄프탈로시아닌)와, C. I. 피그먼트·블루 15:6이나 C. I. 피그먼트·바이올렛 23의 혼합을 들 수 있고, 알루미늄프탈로시아닌과 C. I. 피그먼트·블루 15:6의 조합이 보다 바람직하다.As the blue pigment, it is possible to use a phthalocyanine-based pigment alone or a mixture of this and a dioxadine-based purple pigment. Particularly preferred examples include a mixture of a phthalocyanine metal complex (e.g., aluminum phthalocyanine) and CI pigment blue 15:6 or CI pigment violet 23, aluminum phthalocyanine and CI pigment blue 15: The combination of 6 is more preferable.
청색 안료와 자색 안료의 질량비는 100:0~100:100이 바람직하고, 보다 바람직하게는 100:70 이하이다.The mass ratio of the blue pigment and the purple pigment is preferably 100:0 to 100:100, more preferably 100:70 or less.
본 발명의 착색제로서 사용하는 안료로서는 녹색 안료인 것이 바람직하다.The pigment used as the colorant of the present invention is preferably a green pigment.
안료로서는 무기 안료를 사용해도 좋고, 무기 안료로서는, 예를 들면 금속 안료, 금속 화합물이나 금속 산화물 등으로 이루어지는 금속 함유 무기 안료, 카본 블랙 등을 들 수 있다.As the pigment, an inorganic pigment may be used, and examples of the inorganic pigment include a metal pigment, a metal-containing inorganic pigment composed of a metal compound or a metal oxide, and carbon black.
또한, 본 발명의 조성물은 컬러 필터의 착색 영역(화소)의 형성 뿐만 아니라 블랙 매트릭스의 형성에 사용해도 좋고, 블랙 매트릭스 형성용 조성물에 사용되는 흑색 안료로서는 카본, 티탄 블랙, 산화철, 산화티탄, 은주석, 은 등의 이외에 산화티탄 등의 금속 산화물을 함유하는 금속 혼합물 등으로 이루어지는 안료를 사용할 수 있다.In addition, the composition of the present invention may be used not only to form a colored region (pixel) of a color filter, but also to form a black matrix. As a black pigment used in the composition for forming a black matrix, carbon, titanium black, iron oxide, titanium oxide, silver In addition to tin, silver, etc., a pigment made of a metal mixture containing a metal oxide such as titanium oxide may be used.
이하에 티탄 블랙 분산물에 대해서 상세하게 설명한다.Hereinafter, the titanium black dispersion will be described in detail.
티탄 블랙 분산물이란 색재로서 티탄 블랙을 함유하는 분산물이다.The titanium black dispersion is a dispersion containing titanium black as a coloring material.
본 발명의 조성물에 티탄 블랙을 미리 조제된 티탄 블랙 분산물로서 포함함으로써 티탄 블랙의 분산성, 분산 안정성이 향상된다.The dispersibility and dispersion stability of titanium black are improved by including titanium black as a pre-prepared titanium black dispersion in the composition of the present invention.
이하 티탄 블랙에 대해서 설명한다.Hereinafter, titanium black will be described.
-티탄 블랙--Titanium black-
티탄 블랙이란 티탄 원자를 갖는 흑색 입자이다. 바람직하게는 저차 산화티탄이나 산질화티탄 등이다. 티탄 블랙 입자는 분산성 향상, 응집성 억제 등의 목적으로 필요에 따라 표면을 수식하는 것이 가능하다. 산화규소, 산화티탄, 산화게르마늄, 산화알루미늄, 산화마그네슘, 산화지르코늄으로 피복하는 것이 가능하고, 또한 일본 특허 공개 2007-302836호 공보에 나타나 있는 바와 같은 발수성 물질에서의 처리도 가능하다.Titanium black is a black particle having titanium atoms. Preferably, they are low-order titanium oxide or titanium oxynitride. The titanium black particles can be modified on the surface as necessary for the purpose of improving dispersibility and suppressing cohesion. It is possible to coat with silicon oxide, titanium oxide, germanium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide, and zirconium oxide, and treatment with a water-repellent material as shown in Japanese Patent Laid-Open No. 2007-302836 is also possible.
티탄 블랙의 입자의 입자 지름은 특별히 제한은 없지만, 분산성, 착색성의 관점으로부터 3~2000㎚인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10~500㎚이며, 더욱 바람직하게는 20~200㎚이다.The particle diameter of the particles of titanium black is not particularly limited, but from the viewpoint of dispersibility and colorability, it is preferably 3 to 2000 nm, more preferably 10 to 500 nm, and still more preferably 20 to 200 nm.
티탄 블랙의 비표면적은 특별히 한정이 없지만, 이러한 티탄 블랙을 발수화제로 표면 처리한 후의 발수성이 소정의 성능이 되기 위해서 BET법으로 측정한 값이 통상 5~150㎡/g 정도, 특히 20~100㎡/g 정도인 것이 바람직하다.The specific surface area of titanium black is not particularly limited, but in order to obtain a predetermined performance after surface treatment of such titanium black with a water repellent, the value measured by the BET method is usually about 5 to 150 m 2 /g, especially 20 to 100 It is preferably about m2/g.
티탄 블랙의 시판품의 예로서는, 예를 들면 Mitsubishi Materials Corporation제 티탄 블랙 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N, Ako Kasei Co., Ltd. 티랙(Tilack)D 등을 들 수 있지만, 본 발명은 이들에 한정되지 않는다.As an example of a commercially available product of titanium black, for example, titanium black 10S, 12S, 13R, 13M, 13M-C, 13R, 13R-N manufactured by Mitsubishi Materials Corporation, Ako Kasei Co., Ltd. Tilack D and the like may be mentioned, but the present invention is not limited thereto.
착색 감방사선성 조성물에 함유되는 착색제의 함유량(농도)으로서는 착색 감방사선성 조성물의 전체 고형분 중 10질량% 이상인 것이 바람직하고, 15질량% 이상이 보다 바람직하고, 20질량%가 더욱 바람직하다. 상한에 대해서는 특별히 제한은 없지만, 바람직하게는 45질량% 이하이다.As the content (concentration) of the colorant contained in the colored radiation-sensitive composition, it is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, and even more preferably 20% by mass, based on the total solid content of the colored radiation-sensitive composition. Although there is no restriction|limiting in particular about an upper limit, Preferably it is 45 mass% or less.
착색제의 함유량을 상기 범위로 함으로써 착색 감방사선성 조성물에 의해 컬러 필터를 제작했을 때에 적당한 색도가 얻어진다. 또한, 광경화가 충분히 진행되어 막으로서의 강도를 유지할 수 있기 때문에 알칼리 현상 시의 현상 래티튜드가 좁아지는 것을 방지할 수 있다.By setting the content of the colorant in the above range, when a color filter is produced from the colored radiation-sensitive composition, an appropriate chromaticity is obtained. In addition, since photocuring proceeds sufficiently to maintain the strength as a film, it is possible to prevent the development latitude at the time of alkali development from narrowing.
본 발명의 착색 감방사선성 조성물은 기타 성분을 함유시킬 수도 있다. 기타 성분으로서는 용제, 계면활성제, UV 흡수제, 중합 금지제, 밀착 향상제 등을 들 수 있다.The colored radiation-sensitive composition of the present invention may contain other components. Examples of other components include solvents, surfactants, UV absorbers, polymerization inhibitors, and adhesion enhancers.
<용제><solvent>
본 발명의 착색 감방사선성 조성물은 일반적으로는 용제를 사용하여 구성할 수 있다. 용제는 각 성분의 용해성이나 착색 감방사선성 조성물의 도포성을 만족하면 기본적으로는 특별히 제한은 없지만, 특히 자외선 흡수제, 바인더 수지의 용해성, 도포성, 안전성을 고려해서 선택되는 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에 있어서의 착색 감방사선성 조성물을 조제할 때는 적어도 2종류의 용제를 포함하는 것이 바람직하다.The colored radiation-sensitive composition of the present invention can be generally constituted using a solvent. The solvent is basically not particularly limited as long as it satisfies the solubility of each component and the applicability of the colored radiation-sensitive composition, but it is particularly preferably selected in consideration of the solubility, coatability and safety of the ultraviolet absorber and the binder resin. Moreover, when preparing the colored radiation-sensitive composition in this invention, it is preferable to contain at least two types of solvent.
용제로서는 에스테르류로서, 예를 들면 아세트산 에틸, 아세트산-n-부틸, 아세트산 이소부틸, 포름산 아밀, 아세트산 이소아밀, 아세트산 이소부틸, 프로피온산 부틸, 부티르산 이소프로필, 부티르산 에틸, 부티르산 부틸, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 옥시아세트산 알킬(예: 옥시아세트산 메틸, 옥시아세트산 에틸, 옥시아세트산 부틸(예를 들면, 메톡시아세트산 메틸, 메톡시아세트산 에틸, 메톡시아세트산 부틸, 에톡시아세트산 메틸, 에톡시아세트산 에틸 등)), 3-옥시프로피온산 알킬 에스테르류(예: 3-옥시프로피온산 메틸, 3-옥시프로피온산 에틸 등(예를 들면, 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸 등)), 2-옥시프로피온산 알킬에스테르류(예: 2-옥시프로피온산 메틸, 2-옥시프로피온산 에틸, 2-옥시프로피온산 프로필 등(예를 들면, 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸)), 2-옥시-2-메틸프로피온산 메틸 및 2-옥시-2-메틸프로피온산 에틸(예를 들면, 2-메톡시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산 에틸 등), 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-옥소부탄산 메틸, 2-옥소부탄산 에틸 등 및 에테르류로서, 예를 들면 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 테트라히드로푸란, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르 아세테이트, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르 아세테이트 등 및 케톤류로서, 예를 들면 메틸에틸케톤, 시클로헥산온, 2-헵탄온, 3-헵탄온 등 및 방향족 탄화수소류로서, 예를 들면 크실렌 등을 적합하게 들 수 있다.Examples of the solvent include ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, methyl lactate, and lactic acid. Ethyl, alkyl oxyacetate (e.g. methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate (e.g., methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc.) ), 3-oxypropionate alkyl esters (eg, 3-oxypropionate methyl, 3-oxypropionate ethyl, etc. (eg, 3-methoxypropionate methyl, 3-methoxypropionate ethyl, 3-ethoxypropionate methyl, 3-ethoxypropionate ethyl, etc.), 2-oxypropionic acid alkyl esters (e.g. 2-oxypropionate methyl, 2-oxypropionate ethyl, 2-oxypropionate propyl, etc.) (e.g., 2-methoxypropionate methyl, Ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate)), 2-oxy-2-methylpropionate methyl and 2-oxy-2-methylpropionate ethyl ( For example, 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-ethoxy-2-methylpropionate, etc.), methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, 2-oxobutanoic acid As methyl, ethyl 2-oxobutanoate, etc. and ethers, for example, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, methyl cellosolve Acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene As glycol monopropyl ether acetate and the like and ketones, for example, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc. and aromatic hydrocarbons , For example, xylene etc. are mentioned suitably.
이들 용제는 자외선 흡수제 및 알칼리 가용성 수지의 용해성, 도포면 상의 개량 등의 관점으로부터 2종 이상을 혼합하는 것도 바람직하다. 이 경우 특히 바람직하게는 상기 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에틸셀로솔브아세테이트, 락트산 에틸, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 아세트산 부틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 2-헵탄온, 시클로헥산온, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르 아세테이트, 프로필렌글리콜메틸에테르 및 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트로부터 선택되는 2종 이상으로 구성되는 혼합 용액이다.It is also preferable to mix two or more types of these solvents from a viewpoint of solubility of an ultraviolet absorber and an alkali-soluble resin, improvement on a coating surface, etc. In this case, particularly preferably, the above methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone , Cyclohexanone, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol methyl ether, and propylene glycol methyl ether acetate.
용제의 착색 감방사선성 조성물 중에 있어서의 함유량은 도포성의 관점으로부터 조성물의 전체 고형분 농도가 5~80질량%가 되는 양으로 하는 것이 바람직하고, 5~60질량%가 더욱 바람직하고, 10~50질량%가 특히 바람직하다.The content of the solvent in the colored radiation-sensitive composition is preferably an amount such that the total solid content concentration of the composition is 5 to 80% by mass, more preferably 5 to 60% by mass, and 10 to 50% by mass from the viewpoint of applicability. % Is particularly preferred.
<계면활성제><Surfactant>
본 발명의 조성물에는 도포성을 보다 향상시키는 관점으로부터 각종 계면활성제를 첨가해도 좋다. 계면활성제로서는 불소계 계면활성제, 비이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 음이온계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 등의 각종 계면활성제를 사용할 수 있다.Various surfactants may be added to the composition of the present invention from the viewpoint of further improving the coating properties. As the surfactant, various surfactants such as a fluorine-based surfactant, a nonionic surfactant, a cationic surfactant, an anionic surfactant, and a silicone surfactant can be used.
특히, 본 발명의 조성물은 불소계 계면활성제를 함유함으로써 도포액으로서 조제했을 때의 액 특성(특히, 유동성)이 보다 향상되는 점으로부터 도포 두께의 균일성이나 액절약성을 보다 개선할 수 있다.In particular, since the composition of the present invention further improves the liquid properties (especially fluidity) when prepared as a coating liquid by containing a fluorine-based surfactant, uniformity of the coating thickness and liquid saving properties can be further improved.
즉, 불소계 계면활성제를 함유하는 조성물을 적용한 도포액을 사용하여 막 형성할 경우에 있어서는 피도포면과 도포액의 계면 장력을 저하시킴으로써 피도포면으로의 젖음성이 개선되어 피도포면으로의 도포성이 향상된다. 이 때문에 소량의 액량으로 수㎛ 정도의 박막을 형성했을 경우이어도 두께 불균일이 작은 균일 두께의 막 형성을 더 적합하게 행할 수 있는 점에서 유효하다.That is, in the case of forming a film using a coating liquid to which a composition containing a fluorine-based surfactant is applied, the wettability to the surface to be coated is improved by reducing the interfacial tension between the surface to be coated and the liquid to be coated, thereby improving the coating property to the surface to be coated. . For this reason, even when a thin film of about several µm is formed with a small amount of liquid, it is effective in that it is possible to more suitably form a film having a uniform thickness with small thickness irregularities.
불소계 계면활성제 중의 불소 함유율은 3질량%~40질량%가 적합하고, 보다 바람직하게는 5질량%~30질량%이며, 특히 바람직하게는 7질량%~25질량%이다. 불소 함유율이 이 범위 내인 불소계 계면활성제는 도포막의 두께의 균일성이나 액절약성의 점에서 효과적이며, 조성물 중에 있어서의 용해성도 양호하다.The fluorine content in the fluorine-based surfactant is preferably 3% by mass to 40% by mass, more preferably 5% by mass to 30% by mass, and particularly preferably 7% by mass to 25% by mass. A fluorine-based surfactant having a fluorine content within this range is effective in terms of uniformity of the thickness of the coating film and liquid saving property, and has good solubility in the composition.
불소계 계면활성제로서는, 예를 들면 메가팩 F171, 동 F172, 동 F173, 동 F176, 동 F177, 동 F141, 동 F142, 동 F143, 동 F144, 동 R30, 동 F437, 동 F475, 동 F479, 동 F482, 동 F554, 동 F780, 동 F781(이상, DIC Corporation제), 플루오라드 FC430, 동 FC431, 동 FC171(이상, Sumimoto 3M Ltd.제), 서플론 S-382, 동 SC-101, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC1068, 동 SC-381, 동 SC-383, 동 S393, 동 KH-40(이상, Asahi Glass Co., Ltd.제), PF636, PF656, PF6320, PF6520, PF7002(OMNOVA Solutions Inc.제) 등을 들 수 있다.As a fluorine-based surfactant, for example, Megapack F171, Copper F172, Copper F173, Copper F176, Copper F177, Copper F141, Copper F142, Copper F143, Copper F144, Copper R30, Copper F437, Copper F475, Copper F479, and F482 , F554, F780, F781 (above, manufactured by DIC Corporation), Fluorad FC430, FC431, FC171 (above, manufactured by Sumimoto 3M Ltd.), Suflon S-382, SC-101, SC- 103, SC-104, SC-105, SC1068, SC-381, SC-383, S393, KH-40 (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), PF636, PF656, PF6320 , PF6520, PF7002 (manufactured by OMNOVA Solutions Inc.), and the like.
비이온계 계면활성제로서 구체적으로는 글리세롤, 트리메틸롤프로판, 트리메틸롤에탄 및 그들의 에톡실레이트 및 프로폭실레이트(예를 들면, 글리세롤프로폭실레이트, 글리세린에톡실레이트 등), 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리에틸렌글리콜디라우레이트, 폴리에틸렌글리콜디스테아레이트, 소르비탄 지방산 에스테르(BASF Ltd.제의 플루로닉 L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2, 테트로닉 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, 파이오닌 D-6112-W(Takemoto Oil&Fat Co., Ltd.제), 솔스퍼스 20000(Lubrizol Corporation Japan 제) 등을 들 수 있다.Specific examples of nonionic surfactants include glycerol, trimethylolpropane, trimethylolethane, and their ethoxylates and propoxylates (eg, glycerol propoxylate, glycerin ethoxylate, etc.), polyoxyethylene lauryl ether. , Polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene nonylphenyl ether, polyethylene glycol dilaurate, polyethylene glycol distearate, sorbitan fatty acid ester (manufactured by BASF Ltd.) Of Pluronic L10, L31, L61, L62, 10R5, 17R2, 25R2, Tetronic 304, 701, 704, 901, 904, 150R1, Pionine D-6112-W (manufactured by Takemoto Oil & Fat Co., Ltd.), Solspurs 20000 (made by Lubrizol Corporation Japan), etc. are mentioned.
양이온계 계면활성제로서 구체적으로는 프탈로시아닌 유도체(상품명: EFKA-745, 모리시타산교 카부시키가이샤제), 오르가노실록산 폴리머 KP341(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제), (메타)아크릴산계(공)중합체 폴리플로우 No. 75, N. 90, No. 95(Kyoeisha Chemical Co., Ltd.제) W001(Yusho Co., Ltd.제) 등을 들 수 있다.Specifically as a cationic surfactant, a phthalocyanine derivative (trade name: EFKA-745, manufactured by Morishita Sangyo Co., Ltd.), an organosiloxane polymer KP341 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), (meth)acrylic acid (co-operated) )Polymer polyflow No. 75, N. 90, No. 95 (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) W001 (manufactured by Yusho Co., Ltd.), and the like.
음이온계 계면활성제로서 구체적으로는 W004, W005, W017(Yusho Co., Ltd.제) 등을 들 수 있다.Specific examples of the anionic surfactant include W004, W005, and W017 (manufactured by Yusho Co., Ltd.).
실리콘계 계면활성제로서는, 예를 들면 Dow Corning Toray Co.,Ltd제 「도레이 실리콘 DC3PA」, 「도레이 실리콘 SH7PA」, 「도레이 실리콘 DC11PA」, 「도레이 실리콘 SH21PA」, 「도레이 실리콘 SH28PA」, 「도레이 실리콘 SH29PA」, 「도레이 실리콘 SH30PA」, 「도레이 실리콘 SH8400」, Momentive Performance Materials Inc.제 「TSF-4440」, 「TSF-4300」, 「TSF-4445」, 「TSF-4460」, 「TSF-4452」, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 「KP341」, 「KF6001」, 「KF6002」, BYK Co., Ltd.제 「BYK307」, 「BYK323」, 「BYK330」 등을 들 수 있다.As a silicone surfactant, for example, Dow Corning Toray Co., Ltd. "Toray Silicon DC3PA", "Toray Silicon SH7PA", "Toray Silicon DC11PA", "Toray Silicon SH21PA", "Toray Silicon SH28PA", "Toray Silicon SH29PA" '', ``Toray Silicon SH30PA'', ``Toray Silicon SH8400'', Momentive Performance Materials Inc. ``TSF-4440'', ``TSF-4300'', ``TSF-4445'', ``TSF-4460'', ``TSF-4452'', Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KP341", "KF6001", "KF6002", BYK Co., Ltd. "BYK307", "BYK323", "BYK330", etc. are mentioned.
계면활성제는 1종만을 사용해도 좋고, 2종류 이상을 조합시켜도 좋다.Only one type of surfactant may be used, or two or more types may be combined.
계면활성제의 첨가량은 배합할 경우 조성물의 전체 질량에 대하여 0.001질량%~2.0질량%가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.005질량%~1.0질량%이다.When blending, the amount of surfactant added is preferably 0.001% by mass to 2.0% by mass, and more preferably 0.005% by mass to 1.0% by mass with respect to the total mass of the composition.
<중합 금지제><Polymerization inhibitor>
본 발명의 조성물에 있어서는 상기 조성물의 제조 중 또는 보존 중에 있어서 다관능 모노머의 불필요한 열 중합을 저지하기 위해서 소량의 중합 금지제를 첨가하는 것이 바람직하다.In the composition of the present invention, it is preferable to add a small amount of a polymerization inhibitor to prevent unnecessary thermal polymerization of the polyfunctional monomer during preparation or storage of the composition.
본 발명에 사용할 수 있는 중합 금지제로서는 하이드로퀴논, p-메톡시페놀, o-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로갈롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4'-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), N-니트로소페닐히드록시아민 제 1 세륨염 등을 들 수 있다.As a polymerization inhibitor that can be used in the present invention, hydroquinone, p-methoxyphenol, o-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4 '-Thiobis(3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis(4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt, etc. Can be mentioned.
또한, 감방사선성 조성물은 증감 색소나 개시제의 활성 방사선에 대한 감도를 한층 더 향상시키거나 또는 산소에 의한 다관능 모노머의 중합 저해를 억제하는 등의 목적에서 공증감제를 함유해도 좋다. 또한, 경화 피막의 물성을 개량하기 위해서 희석제, 가소제, 감지화제 등의 공지의 첨가제를 필요에 따라서 첨가해도 좋다.Further, the radiation-sensitive composition may contain a synergistic sensitizer for the purpose of further improving the sensitivity of the sensitizing dye or the initiator to active radiation, or inhibiting polymerization of the polyfunctional monomer by oxygen. Further, in order to improve the physical properties of the cured film, known additives such as a diluent, a plasticizer, and a sensing agent may be added as necessary.
중합 금지제를 사용할 경우의 첨가량으로서는 본 발명에 사용되는 착색 감광성 수지 조성물 중의 전체 고형분 중 0.001질량%~0.015질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.03질량%~0.09질량%가 보다 바람직하다.When using the polymerization inhibitor, it is preferably in the range of 0.001% by mass to 0.015% by mass, more preferably 0.03% by mass to 0.09% by mass, based on the total solids in the colored photosensitive resin composition used in the present invention.
<밀착 향상제><Adhesion improver>
본 발명의 조성물에는 기판 등의 경질 표면과의 밀착성을 향상시키기 위해서 밀착 향상제를 첨가할 수 있다.An adhesion improving agent may be added to the composition of the present invention in order to improve adhesion to a hard surface such as a substrate.
밀착 향상제로서는 실란계 커플링제, 티탄 커플링제 등을 들 수 있다.Examples of the adhesion improving agent include a silane coupling agent and a titanium coupling agent.
실란 커플링제는 무기 재료와 화학 결합 가능한 가수 분해성 기로서 알콕시실릴기를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 유기 수지와의 사이에서 상호 작용 또는 결합 형성해서 친화성을 나타내는 기를 갖는 것이 바람직하고, 그러한 기로서는 (메타)아크릴로일기, 페닐기, 메르캅토기, 글리시딜기, 옥세타닐기를 갖는 것이 바람직하고, 그 중에서도 (메타)아크릴로일기 또는 글리시딜기를 갖는 것이 바람직하다.It is preferable that the silane coupling agent has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group capable of chemical bonding with an inorganic material. In addition, it is preferable to have a group exhibiting affinity by interacting or forming a bond with an organic resin, and as such a group, one having a (meth)acryloyl group, a phenyl group, a mercapto group, a glycidyl group, and an oxetanyl group It is preferable, and among them, it is preferable to have a (meth)acryloyl group or a glycidyl group.
즉, 본 발명에 사용하는 실란 커플링제로서는 알콕시실릴기와, (메타)아크릴로일기 또는 에폭시기를 갖는 화합물인 것이 바람직하고, 구체적으로는 하기 구조의 (메타)아크릴로일-트리메톡시실란 화합물, 글리시딜-트리메톡시실란 화합물 등을 들 수 있다.That is, the silane coupling agent used in the present invention is preferably a compound having an alkoxysilyl group, a (meth)acryloyl group or an epoxy group, and specifically, a (meth)acryloyl-trimethoxysilane compound having the following structure, And glycidyl-trimethoxysilane compounds.
또한, 본 발명에 있어서의 실란 커플링제는 1분자 중에 적어도 2종의 반응성이 다른 관능기를 갖는 실란 화합물도 바람직하고, 특히 관능기로서 아미노기와 알콕시기를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 실란 커플링제로서는, 예를 들면 N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-메틸디메톡시실란(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 상품명 KBM-602), N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-트리메톡시실란(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 상품명 KBM-603, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제), N-β-아미노에틸-γ-아미노프로필-트리에톡시실란(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 상품명 KBE-602), γ-아미노프로필-트리메톡시실란(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 상품명 KBM-903), γ-아미노프로필-트리에톡시실란(Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.제 상품명 KBE-903) 등이 있다.Further, the silane coupling agent in the present invention is also preferably a silane compound having at least two functional groups having different reactivity per molecule, and particularly preferably having an amino group and an alkoxy group as the functional group. Examples of such silane coupling agents include N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-methyldimethoxysilane (trade name KBM-602 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and N-β-aminoethyl-γ -Aminopropyl-trimethoxysilane (trade name KBM-603 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), N-β-aminoethyl-γ-aminopropyl-trier Toxisilane (trade name KBE-602 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), γ-aminopropyl-trimethoxysilane (trade name KBM-903 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), γ-aminopropyl- Triethoxysilane (trade name KBE-903 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and the like.
실란 커플링제를 사용할 경우의 첨가량으로서는 본 발명에 사용되는 착색 감광성 수지 조성물 중의 전체 고형분 중 0.1질량%~5.0질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.2질량%~3.0질량%가 보다 바람직하다.When using a silane coupling agent, it is preferable that it is in the range of 0.1 mass%-5.0 mass% with respect to the total solid content in the colored photosensitive resin composition used for this invention, and 0.2 mass%-3.0 mass% is more preferable.
<자외선 흡수제><Ultraviolet absorber>
본 발명의 조성물은 자외선 흡수제를 함유해도 좋다.The composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber.
자외선 흡수제로서는 살리실레이트계, 벤조페논계, 벤조트리아졸계, 치환 아크릴로니트릴계, 트리아진계의 자외선 흡수제를 사용할 수 있다.As the ultraviolet absorber, salicylate-based, benzophenone-based, benzotriazole-based, substituted acrylonitrile-based, and triazine-based ultraviolet absorbers can be used.
살리실레이트계 자외선 흡수제의 예로서는 페닐살리실레이트, p-옥틸페닐살리실레이트, p-t-부틸페닐살리실레이트 등을 들 수 있고, 벤조페논계 자외선 흡수제의 예로서는 2,2'-디히드록시-4-메톡시벤조페논, 2,2'-디히드록시-4,4'-디메톡시벤조페논, 2,2',4,4'-테트라히드록시벤조페논, 2-히드록시-4-메톡시벤조페논, 2,4-디히드록시벤조페논, 2-히드록시-4-옥톡시벤조페논 등을 들 수 있다. 또한, 벤조트리아졸계 자외선 흡수제의 예로서는 2-(2'-히드록시-3',5'-디-tert-부틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-3'-tert-부틸-5'-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-3'-tert-아밀-5'-이소부틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-3'-이소부틸-5'-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-3'-이소부틸-5'-프로필페닐)-5-클로로벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-3',5'-디-tert-부틸페닐)벤조트리아졸, 2-(2'-히드록시-5'-메틸페닐)벤조트리아졸, 2-[2'-히드록시-5'-1,1,3,3-테트라메틸)페닐]벤조트리아졸 등을 들 수 있다.Examples of salicylate ultraviolet absorbers include phenyl salicylate, p-octylphenyl salicylate, pt-butylphenyl salicylate, and the like, and examples of benzophenone ultraviolet absorbers include 2,2'-dihydroxy- 4-methoxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4,4'-dimethoxybenzophenone, 2,2',4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-me Oxybenzophenone, 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-octoxybenzophenone, and the like. Further, examples of the benzotriazole-based ultraviolet absorber include 2-(2'-hydroxy-3',5'-di-tert-butylphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2-(2'-hydroxy-3' -tert-butyl-5'-methylphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2-(2'-hydroxy-3'-tert-amyl-5'-isobutylphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2 -(2'-hydroxy-3'-isobutyl-5'-methylphenyl)-5-chlorobenzotriazole, 2-(2'-hydroxy-3'-isobutyl-5'-propylphenyl)-5 -Chlorobenzotriazole, 2-(2'-hydroxy-3',5'-di-tert-butylphenyl)benzotriazole, 2-(2'-hydroxy-5'-methylphenyl)benzotriazole, 2-[2'-hydroxy-5'-1,1,3,3-tetramethyl)phenyl]benzotriazole, and the like.
치환 아크릴로니트릴계 자외선 흡수제의 예로서는 2-시아노-3,3-디페닐아크릴산 에틸, 2-시아노-3,3-디페닐아크릴산2-에틸헥실 등을 들 수 있다. 또한, 트리아진계 자외선 흡수제의 예로서는 2-[4-[(2-히드록시-3-도데실옥시프로필)옥시]-2-히드록시페닐]-4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진, 2-[4-[(2-히드록시-3-트리데실옥시프로필)옥시]-2-히드록시페닐]-4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진, 2-(2,4-디히드록시페닐)-4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진 등의 모노(히드록시페닐)트리아진 화합물; 2,4-비스(2-히드록시-4-프로필옥시페닐)-6-(2,4-디메틸 페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(2-히드록시-3-메틸-4-프로필옥시페닐)-6- (4-메틸페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(2-히드록시-3-메틸-4-헥실옥시페닐)-6-(2,4-디메틸 페닐)-1,3,5-트리아진 등의 비스(히드록시페닐)트리아진 화합물; 2,4-비스(2-히드록시-4-부톡시페닐)-6-(2,4-디부톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4,6-트리스(2-히드록시-4-옥틸옥시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4,6-트리스[2-히드록시-4-(3-부톡시-2-히드록시프로필옥시)페닐]-1,3,5-트리아진 등의 트리스(히드록시페닐)트리아진 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the substituted acrylonitrile ultraviolet absorber include ethyl 2-cyano-3,3-diphenylacrylate, 2-ethylhexyl 2-cyano-3,3-diphenylacrylate, and the like. In addition, as an example of the triazine-based ultraviolet absorber, 2-[4-[(2-hydroxy-3-dodecyloxypropyl)oxy]-2-hydroxyphenyl]-4,6-bis(2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, 2-[4-[(2-hydroxy-3-tridecyloxypropyl)oxy]-2-hydroxyphenyl]-4,6-bis(2,4-dimethyl Mono, such as phenyl)-1,3,5-triazine, 2-(2,4-dihydroxyphenyl)-4,6-bis(2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazine (Hydroxyphenyl) triazine compound; 2,4-bis(2-hydroxy-4-propyloxyphenyl)-6-(2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazine, 2,4-bis(2-hydroxy-3 -Methyl-4-propyloxyphenyl)-6- (4-methylphenyl)-1,3,5-triazine, 2,4-bis(2-hydroxy-3-methyl-4-hexyloxyphenyl)-6 Bis(hydroxyphenyl)triazine compounds such as -(2,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazine; 2,4-bis(2-hydroxy-4-butoxyphenyl)-6-(2,4-dibutoxyphenyl)-1,3,5-triazine, 2,4,6-tris(2-hydroxyl Roxy-4-octyloxyphenyl)-1,3,5-triazine, 2,4,6-tris[2-hydroxy-4-(3-butoxy-2-hydroxypropyloxy)phenyl]-1 And tris(hydroxyphenyl)triazine compounds such as ,3,5-triazine, and the like.
본 발명에 있어서는 상기 각종 자외선 흡수제는 1종을 단독으로 사용해도 좋고, 2종 이상을 조합시켜서 사용해도 좋다.In the present invention, the various ultraviolet absorbers may be used singly or in combination of two or more.
본 발명의 조성물은 자외선 흡수제를 포함해도 포함하지 않아도 좋지만, 포함할 경우 자외선 흡수제의 함유량은 본 발명의 조성물의 전체 고형분 질량에 대하여 0.001질량% 이상 1질량% 이하인 것이 바람직하고, 0.01질량% 이상 0.1질량% 이하인 것이 보다 바람직하다.The composition of the present invention may or may not contain an ultraviolet absorber, but when it is included, the content of the ultraviolet absorber is preferably 0.001% by mass or more and 1% by mass or less, and 0.01% by mass or more and 0.1% by mass based on the total solids mass of the composition of the present invention. It is more preferable that it is mass% or less.
<착색 감방사선성 조성물의 조제><Preparation of colored radiation-sensitive composition>
본 발명의 착색 감방사선성 조성물의 조제 형태에 대해서는 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면 본 발명의 필수 성분 및 소망에 의해 병용되는 각종 첨가제를 혼합하여 조제할 수 있다.Although it does not specifically limit about the preparation form of the colored radiation-sensitive composition of this invention, For example, it can prepare by mixing the essential component of this invention and various additives used in combination as desired.
본 발명의 착색 감방사선성 조성물은 이물의 제거나 결함의 저감 등의 목적으로 필터에서 여과하는 것이 바람직하다. 종래부터 여과 용도 등에 사용되고 있는 것이면 특별하게 한정되는 일 없이 사용할 수 있다.The colored radiation-sensitive composition of the present invention is preferably filtered with a filter for the purpose of removing foreign matters or reducing defects. It can be used without any particular limitation as long as it has been conventionally used for filtration purposes.
상기 「필터 여과에 의해 탁도가 30ppm 이하가 되도록 조정하는 방법」은 바꾸어 말하면 색소를 포함하는 중합 용액을 필터 여과함으로써 탁도가 30ppm 이하이며, 색소를 포함하는 중합 용액을 제작하는 방법이다. 이 방법에서는 중합 용액의 탁도가 30ppm 이하가 되는 정도에 중합 용액으로부터 색소의 응집물이 제거된다.The "method of adjusting the turbidity to be 30 ppm or less by filter filtration" is, in other words, a method of producing a polymerization solution having a turbidity of 30 ppm or less by filtering a polymerization solution containing a dye. In this method, aggregates of the dye are removed from the polymerization solution so that the turbidity of the polymerization solution becomes 30 ppm or less.
이 방법은 색소에 대한 용제의 선택의 폭이 넓다는 이점을 갖는다.This method has the advantage that the choice of solvent for the pigment is wide.
필터 여과에 사용하는 필터로서는 종래부터 여과 용도 등에 사용되고 있는 필터이면 특별하게 한정되는 일 없이 사용할 수 있다.The filter used for filter filtration can be used without any particular limitation as long as it is a filter conventionally used for filtration applications and the like.
상기 필터의 재질의 예로서는 PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 등의 불소 수지; 나일론-6, 나일론-6,6 등의 폴리아미드계 수지; 폴리에틸렌, 폴리프로필렌(PP) 등의 폴리올레핀 수지(고밀도, 초고분자량을 포함함); 등을 들 수 있다. 이들 소재 중에서도 폴리프로필렌(고밀도 폴리프로필렌을 포함함)이 바람직하다.Examples of the material of the filter include fluororesins such as PTFE (polytetrafluoroethylene); Polyamide resins such as nylon-6 and nylon-6,6; Polyolefin resins such as polyethylene and polypropylene (PP) (including high density and ultra-high molecular weight); And the like. Among these materials, polypropylene (including high-density polypropylene) is preferable.
상기 필터의 구멍 지름에는 특별하게 한정은 없지만, 예를 들면 0.01~20.0㎛ 정도이며, 바람직하게는 0.01~5㎛ 정도이며, 더욱 바람직하게는 0.01~2.0㎛ 정도이다.There is no particular limitation on the pore diameter of the filter, but is, for example, about 0.01 to 20.0 µm, preferably about 0.01 to 5 µm, and more preferably about 0.01 to 2.0 µm.
필터의 구멍 지름을 상기 범위로 함으로써 미세한 입자를 더 효과적으로 제거할 수 있어 탁도를 보다 저감할 수 있다.By setting the pore diameter of the filter within the above range, fine particles can be removed more effectively, and turbidity can be further reduced.
여기서 필터의 구멍 지름은 필터 메이커의 공칭값을 참조할 수 있다. 시판의 필터로서는, 예를 들면 Pall Corporation, Toyo Roshi Kaisha, Ltd., Entegris Japan Co., Ltd.(구 니혼 마이크로리스 카부시키가이샤) 또는 Kitz Micro Filter Corporation 등이 제공하는 각종 필터 중으로부터 선택할 수 있다.Here, the pore diameter of the filter can be referred to the nominal value of the filter manufacturer. As a commercially available filter, for example, Pall Corporation, Toyo Roshi Kaisha, Ltd., Entegris Japan Co., Ltd. (formerly Nippon Microless Co., Ltd.) or Kitz Micro Filter Corporation can select from various filters provided by, for example. .
상기 필터 여과에서는 2종 이상의 필터를 조합시켜서 사용해도 좋다.In the filter filtration, two or more types of filters may be used in combination.
예를 들면, 우선 제 1 필터를 사용하여 여과를 행하고, 이어서 제 1 필터와는 구멍 지름이 다른 제 2 필터를 사용하여 여과를 행할 수 있다.For example, first, filtration can be performed using a first filter, and then filtration can be performed using a second filter having a different pore diameter from that of the first filter.
그 때 제 1 필터에서의 필터링 및 제 2 필터에서의 필터링은 각각 1회뿐이어도 좋고, 2회 이상 행해도 좋다.In that case, filtering by the first filter and filtering by the second filter may be performed only once, or may be performed twice or more.
제 2 필터는 상기 제 1 필터와 마찬가지의 재료 등으로 형성된 것을 사용할 수 있다.The second filter may be formed of the same material as the first filter.
본 발명의 조성물은 잉크젯으로 도포되기 위한 것이 바람직하고, 잉크젯 기록 장치에 적용하는데도 적합한 물성을 갖는 것이 바람직하다.The composition of the present invention is preferably for application by ink jet, and preferably has physical properties suitable for application to an ink jet recording apparatus.
즉, 본 발명의 조성물을 잉크젯 기록 방법에 사용할 경우에는 토출성(토출성)을 고려하여 토출시의 온도에서의 잉크 점도가 100㎫·s 이하인 것이 바람직하고, 50㎫·s 이하인 것이 보다 바람직하고, 상기 범위가 되도록 적당하게 조성비를 조정해 결정하는 것이 바람직하다.That is, when the composition of the present invention is used in an inkjet recording method, the ink viscosity at the temperature at the time of discharge is preferably 100 MPa·s or less, more preferably 50 MPa·s or less, taking into account discharge properties (discharge properties). , It is preferable to determine by appropriately adjusting the composition ratio so as to be within the above range.
또한, 25℃(실온)에서의 착색 감방사선성 조성물의 점도는 0.5㎫·s 이상 200㎫·s 이하, 바람직하게는 1㎫·s 이상 100㎫·s 이하이며, 보다 바람직하게는 2㎫·s 이상 50㎫·s 이하이다. 실온에서의 점도를 높게 설정함으로써 요철이 있는 기판에 적용한 경우에도 감방사선성 조성물의 액흘림이 방지되어 그 결과적으로 균일한 차광막의 형성이 가능해진다. 25℃에서의 점도가 200㎫·s보다 클 때는 감방사선성 조성물의 반송(장치 내에서의 액의 수송 상태)에 문제가 발생하는 경우가 있다.In addition, the viscosity of the colored radiation-sensitive composition at 25°C (room temperature) is 0.5 MPa·s or more and 200 MPa·s or less, preferably 1 MPa·s or more and 100 MPa·s or less, and more preferably 2 MPa·s. It is not less than s and not more than 50 MPa·s. By setting the viscosity at room temperature to be high, liquid spillage of the radiation-sensitive composition is prevented even when applied to a substrate with irregularities, and as a result, a uniform light-shielding film can be formed. When the viscosity at 25° C. is greater than 200 MPa·s, a problem may occur in conveyance of the radiation-sensitive composition (transporting state of the liquid in the apparatus).
본 발명의 조성물의 표면 장력은 바람직하게는 20mN/m~40mN/m, 보다 바람직하게는 23mN/m~35mN/m이다. 실리콘 기판이나 금속 배선 표면에 적용할 경우, 액흘림 억제의 관점으로부터 20mN/m 이상이 바람직하고, 기판 등과의 밀착성, 친화성의 관점으로부터 35mN/m 이하가 바람직하다.The surface tension of the composition of the present invention is preferably 20 mN/m to 40 mN/m, more preferably 23 mN/m to 35 mN/m. When applied to a silicon substrate or a metal wiring surface, 20 mN/m or more is preferable from the viewpoint of suppressing liquid spillage, and 35 mN/m or less is preferable from the viewpoint of adhesion and affinity to a substrate or the like.
본 발명의 착색 감방사선성 조성물은 경화막, 고체 촬상 소자용의 컬러 필터, 액정 표시 장치용의 컬러 필터, 유기 EL 표시 장치용의 컬러 필터, 인쇄용 잉크, 잉크젯용 잉크 등의 각종 용도에 적용할 수 있다.The colored radiation-sensitive composition of the present invention can be applied to various applications such as cured films, color filters for solid-state imaging devices, color filters for liquid crystal displays, color filters for organic EL displays, printing inks, inkjet inks, etc. I can.
경화막 및 그 제조 방법:Cured film and its manufacturing method:
본 발명의 조성물을 경화해서 이루어지는 경화막은 색 순도가 높고, 박층에서 높은 흡광 계수가 얻어지고, 견뢰성(특히, 내열성 및 내광성)이 양호하다. 또한, 백라이트로서 백색 LED를 사용했을 경우에도 양호한 색상의 착색 화소를 형성할 수 있는 점으로부터 백색 LED를 구비하는 액정 표시 장치에 적용해서 그 효과가 현저하고, 액정 표시 장치용의 컬러 필터에 있어서의 착색 화소의 형성에 사용된다.The cured film obtained by curing the composition of the present invention has high color purity, a high absorption coefficient is obtained in a thin layer, and has good fastness (in particular, heat resistance and light resistance). In addition, even when a white LED is used as a backlight, the effect is remarkable when applied to a liquid crystal display device including a white LED because it is possible to form colored pixels of good color, and the effect is remarkable in a color filter for a liquid crystal display device. Used for formation of colored pixels.
경화막의 제조 방법은 착색 감방사선성 조성물을 기판 상에 적용하는 공정과, 상기 착색 감방사선성 조성물을 노광하는 공정을 포함한다. 구체적으로는 임의의 기판 또는 기재 상에 경화막을 형성할 때는 착색 감방사선성 조성물을 도포하거나 또는 기판 등을 착색 감방사선성 조성물에 침지해서 착색 감방사선성 조성물층을 형성하고, 이것을 경화시켜도 좋다. 또한, 패턴상의 경화막을 형성할 경우 기판 상에 잉크젯 기록 방법에 의해 적용해도 좋고, 날염이나 오프셋 인쇄 등의 공지의 인쇄법을 적용해도 좋지만, 고정밀한 패턴을 형성할 수 있다는 관점으로부터는 후술하는 기판 상에 착색 감방사선성 조성물층을 형성하고, 패턴상으로 노광한 후 현상해서 착색 감방사선성 조성물층의 미노광부를 제거하는 방법이 바람직하다.The method for producing a cured film includes a step of applying a colored radiation-sensitive composition on a substrate, and a step of exposing the colored radiation-sensitive composition to light. Specifically, when forming a cured film on an arbitrary substrate or substrate, a colored radiation-sensitive composition may be applied, or a substrate or the like may be immersed in a colored radiation-sensitive composition to form a colored radiation-sensitive composition layer and cured. In addition, when forming a pattern-shaped cured film, it may be applied on the substrate by an inkjet recording method, or a known printing method such as printing or offset printing may be applied, but from the viewpoint of forming a high-precision pattern, the substrate described later A method of forming a colored radiation-sensitive composition layer on the top and developing after exposing in a pattern shape to remove the unexposed portion of the colored radiation-sensitive composition layer is preferred.
본 발명에 있어서의 경화막의 막두께는, 예를 들면 0.5~1.5㎛로 할 수 있다.The film thickness of the cured film in the present invention can be, for example, 0.5 to 1.5 µm.
컬러 필터 및 그 제조 방법:Color filter and its manufacturing method:
본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은 착색 감방사선성 조성물을 기판 상에 적용하는 공정과, 상기 착색 감방사선성 조성물을 패턴 노광하는 공정을 포함한다. 구체적으로는 지지체 상에 상술한 본 발명의 착색 감방사선성 조성물을 적용해서 착색 감방사선성 조성물층을 형성하는 공정(이하 「착색 감방사선성 조성물층 형성 공정」이라고도 칭함)과, 상기 착색 감방사선성 조성물층을 마스크를 개재해서 패턴 노광하는 공정(이하 「노광 공정」이라고도 칭함)과, 노광 후의 착색 감방사선성 조성물층을 현상해서 착색 패턴(이하 「착색 화소」라고도 칭함)을 형성하는 공정(이하 「현상 공정」이라고도 칭함)을 포함한다.The manufacturing method of the color filter of this invention includes a process of applying a colored radiation-sensitive composition on a substrate, and a process of pattern exposure of the said colored radiation-sensitive composition. Specifically, a step of forming a colored radiation-sensitive composition layer by applying the above-described colored radiation-sensitive composition of the present invention on a support (hereinafter also referred to as ``a colored radiation-sensitive composition layer forming step''), and the colored radiation-sensitive A step of exposing the composition layer to a pattern through a mask (hereinafter, also referred to as ``exposure step''), and a step of developing a colored radiation-sensitive composition layer after exposure to form a colored pattern (hereinafter also referred to as ``colored pixel'') ( Hereinafter, also referred to as "development process") is included.
또한, 본 발명의 컬러 필터는 본 발명의 컬러 필터의 제조 방법에 의해 제조된 것이 예시된다.In addition, it is exemplified that the color filter of the present invention is manufactured by the method of manufacturing the color filter of the present invention.
<착색 감방사선성 조성물층 형성 공정><Colored radiation-sensitive composition layer formation process>
착색 감방사선성 조성물층 형성 공정에서는 지지체 상에 본 발명의 착색 감방사선성 조성물을 적용해서 착색 감방사선성 조성물층을 형성한다.In the process of forming a colored radiation-sensitive composition layer, a colored radiation-sensitive composition layer is formed by applying the colored radiation-sensitive composition of the present invention on a support.
본 공정에 사용할 수 있는 지지체로서는, 예를 들면 기판(예를 들면, 실리콘 기판) 상에 CCD(Charge Coupled Device)나 CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor) 등의 촬상 소자(수광 소자)이 설치된 고체 촬상 소자용 기판을 사용할 수 있다.As a support that can be used in this process, for example, a solid-state imaging device (light-receiving device) such as a CCD (Charge Coupled Device) or CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor) is installed on a substrate (for example, a silicon substrate). An element substrate can be used.
본 발명에 있어서의 착색 패턴은 고체 촬상 소자용 기판의 촬상 소자 형성면측(표면)에 형성되어도 좋고, 촬상 소자 비형성면측(이면)에 형성되어도 좋다.The colored pattern in the present invention may be formed on the imaging device formation surface side (surface) of the solid-state imaging device substrate, or may be formed on the imaging device non-formation surface side (rear surface).
고체 촬상 소자용 기판에 있어서의 각 촬상 소자간이나 고체 촬상 소자용 기판의 이면에는 차광막이 설치되어 있어도 좋다.A light-shielding film may be provided between the respective imaging elements in the solid-state imaging element substrate or on the back surface of the solid-state imaging element substrate.
또한, 지지체 상에는 필요에 따라 상부의 층과의 밀착 개량, 물질의 확산 방지 또는 기판 표면의 평탄화를 위하여 언더코팅층을 형성해도 좋다.In addition, an undercoat layer may be formed on the support as necessary to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or planarize the surface of the substrate.
지지체 상으로의 본 발명의 착색 감방사선성 조성물의 적용 방법으로서는 슬릿 도포, 잉크젯법, 회전 도포, 유연 도포, 롤 도포, 스크린 인쇄법 등의 각종 도포 방법을 적용할 수 있다.As a method of applying the colored radiation-sensitive composition of the present invention onto a support, various coating methods such as slit coating, ink jet method, rotation coating, casting coating, roll coating, and screen printing method can be applied.
착색 감방사선성 조성물층의 막두께로서는 0.1㎛~10㎛가 바람직하고, 0.2㎛~5㎛가 보다 바람직하고, 0.2㎛~3㎛가 더욱 바람직하다.The film thickness of the colored radiation-sensitive composition layer is preferably 0.1 µm to 10 µm, more preferably 0.2 µm to 5 µm, and still more preferably 0.2 µm to 3 µm.
지지체 상에 도포된 착색 감방사선성 조성물층의 건조(프리베이킹)는 핫플레이트, 오븐 등에서 50℃~140℃의 온도에서 10초~300초로 행할 수 있다.Drying (pre-baking) of the colored radiation-sensitive composition layer applied on the support may be performed in a hot plate, oven, or the like at a temperature of 50° C. to 140° C. for 10 seconds to 300 seconds.
<노광 공정><Exposure process>
노광 공정에서는 착색 감방사선성 조성물층 형성 공정에 있어서 형성된 착색 감방사선성 조성물층을, 예를 들면 스텝퍼 등의 노광 장치를 사용하여 소정의 마스크 패턴을 갖는 마스크를 개재해서 패턴 노광한다.In the exposure process, the colored radiation-sensitive composition layer formed in the colored radiation-sensitive composition layer forming process is pattern-exposed through a mask having a predetermined mask pattern using an exposure apparatus such as a stepper.
노광시에 사용할 수 있는 방사선(광)으로서는, 특히 g선, i선 등의 자외선이 바람직하게(특히, 바람직하게는 i선) 사용된다. 조사량(노광량)은 30~1500mJ/㎠가 바람직하고, 50~1000mJ/㎠가 보다 바람직하고, 80~500mJ/㎠가 가장 바람직하다.As the radiation (light) that can be used at the time of exposure, ultraviolet rays such as g-rays and i-rays are particularly preferably used (especially, preferably i-rays). The irradiation amount (exposure amount) is preferably 30 to 1500 mJ/cm 2, more preferably 50 to 1000 mJ/cm 2, and most preferably 80 to 500 mJ/cm 2.
<현상 공정><Development process>
이어서, 알칼리 현상 처리 등의 현상을 행함으로써 노광 공정에 있어서의 광미조사 부분의 착색 감방사선성 조성물층이 알칼리 수용액에 용출되고, 광경화된 부분만이 남는다.Subsequently, by performing development such as an alkali development treatment, the colored radiation-sensitive composition layer of the unirradiated portion in the exposure step is eluted in an aqueous alkali solution, and only the photocured portion remains.
현상액으로서는 하지의 촬상 소자나 회로 등에 대미지를 일으키지 않는 유기 알칼리 현상액이 바람직하다. 현상 온도로서는 통상 20℃~30℃이며, 현상 시간은, 예를 들면 20초~90초이다. 보다 잔사를 제거하기 위해서 최근에는 120초~180초 실시하는 경우도 있다. 또한, 보다 잔사 제거성을 향상시키기 위해서 현상액을 60초 마다 흔들어 더 추가적으로 현상액을 공급하는 공정을 수회 반복하는 경우도 있다.As the developer, an organic alkali developer that does not cause damage to the underlying imaging element or circuit is preferable. The developing temperature is usually 20°C to 30°C, and the developing time is, for example, 20 seconds to 90 seconds. In order to further remove the residue, in recent years, it may be performed for 120 seconds to 180 seconds. In addition, in order to further improve the residue removal property, the step of further supplying the developer by shaking the developer every 60 seconds may be repeated several times.
현상액에 사용하는 알칼리제로서는, 예를 들면 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 1,8-디아자비시클로-[5,4,0]-7-운데센 등의 유기 알칼리성 화합물을 들 수 있고, 이들 알칼리제를 농도가 0.001~10질량%, 바람직하게는 0.01~1질량%가 되도록 순수에서 희석한 알칼리성 수용액이 현상액으로서 바람직하게 사용된다.Examples of the alkali agent used in the developer include aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-dia And organic alkaline compounds such as zabicyclo-[5,4,0]-7-undecene, and these alkali agents are diluted in pure water to a concentration of 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution is preferably used as a developer.
또한, 현상액에는 무기 알칼리를 사용해도 좋고, 무기 알칼리로서는, 예를 들면 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산 나트륨, 탄산수소나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨 등이 바람직하다.In addition, an inorganic alkali may be used for the developer, and examples of the inorganic alkali include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, and the like.
또한, 이러한 알칼리성 수용액으로 이루어지는 현상액을 사용했을 경우에는 일반적으로 현상 후 순수로 세정(린싱)한다.In addition, when a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.
이어서, 건조를 실시한 후에 가열 처리(포스트베이킹)를 행하는 것이 바람직하다. 다색의 착색 패턴을 형성하는 것이면 각 색마다에 상기 공정을 순차적으로 반복해서 경화 피막을 제조할 수 있다. 이에 의해 컬러 필터가 얻어진다.Next, it is preferable to perform heat treatment (post-baking) after drying. If it is to form a multicolored colored pattern, a cured film can be produced by sequentially repeating the above process for each color. Thereby, a color filter is obtained.
포스트베이킹은 경화를 완전한 것으로 하기 위한 현상 후의 가열 처리이며, 통상 100℃~240℃, 바람직하게는 200℃~240℃의 열경화 처리를 행한다.Post-baking is a heat treatment after development for complete curing, and a heat curing treatment of usually 100°C to 240°C, preferably 200°C to 240°C is performed.
이 포스트베이킹 처리는 현상 후의 도포막을 상기 조건이 되도록 핫플레이트나 컨벡션 오븐(열풍 순환식 건조기), 고주파 가열기 등의 가열 수단을 사용하여 연속식 또는 배치식으로 행할 수 있다.This post-baking treatment can be carried out continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), or a high-frequency heater so that the coating film after development becomes the above conditions.
또한, 본 발명의 제조 방법은 필요에 따라 상기 이외의 공정으로서 컬러 필터의 제조 방법으로서 공지의 공정을 갖고 있어도 좋다. 예를 들면, 상기 착색 감방사선성 조성물층 형성 공정, 노광 공정 및 현상 공정을 행한 후에 필요에 따라 형성된 착색 패턴을 가열 및/또는 노광에 의해 경화하는 경화 공정을 포함하고 있어도 좋다.In addition, the manufacturing method of the present invention may have a known process as a manufacturing method of a color filter as a process other than the above, if necessary. For example, after performing the said colored radiation-sensitive composition layer formation process, an exposure process, and a developing process, you may include a curing process of hardening the colored pattern formed as needed by heating and/or exposure.
또한, 본 발명에 의한 착색 감방사선성 조성물을 사용할 경우, 예를 들면 도포 장치 토출부의 노즐이나 배관부의 막힘이나 도포기 내로의 착색 감방사선성 조성물이나 안료의 부착·침강·건조에 의한 오염 등이 생기는 경우가 있다. 그래서 본 발명의 착색 감방사선성 조성물에 의해 초래된 오염을 세정해도 좋다.In addition, when the colored radiation-sensitive composition according to the present invention is used, for example, clogging of the nozzle or pipe portion of the discharging portion of the coating device, or contamination due to adhesion, sedimentation, and drying of the colored radiation-sensitive composition or pigment into the applicator It may occur. Therefore, you may wash the contamination caused by the colored radiation-sensitive composition of the present invention.
컬러 필터에 있어서의 착색 패턴(착색 화소)의 막두께로서는 2.0㎛ 이하가 바람직하고, 1.0㎛ 이하가 보다 바람직하다.The film thickness of the colored pattern (colored pixel) in the color filter is preferably 2.0 µm or less, and more preferably 1.0 µm or less.
또한, 착색 패턴(착색 화소)의 사이즈(패턴 폭)로서는 2.5㎛ 이하가 바람직하고, 2.0㎛ 이하가 보다 바람직하고, 1.7㎛ 이하가 특히 바람직하다.In addition, as the size (pattern width) of the colored pattern (colored pixel), 2.5 µm or less is preferable, 2.0 µm or less is more preferable, and 1.7 µm or less is particularly preferable.
본 발명의 컬러 필터는 액정 표시 장치나 고체 촬상 소자나 유기 EL 장치에 사용할 수 있고, 특히 고체 촬상 용도에 적합하다. 액정 표시 장치에 사용했을 경우 분광 특성 및 내열성이 우수한 금속 착체 색소를 착색제로서 함유하면서도 비저항의 저하에 수반하는 액정 분자의 배향 불량이 적고, 표시 화상의 색조가 양호해서 표시 특성이 우수하다.The color filter of the present invention can be used for a liquid crystal display device, a solid-state imaging device, or an organic EL device, and is particularly suitable for solid-state imaging applications. When used in a liquid crystal display device, a metal complex dye having excellent spectral characteristics and heat resistance is contained as a colorant, but there is little misalignment of the liquid crystal molecules accompanying a decrease in specific resistance, and the color tone of a display image is good, so that display characteristics are excellent.
<액정 표시 장치><Liquid crystal display device>
본 발명의 컬러 필터는 색상이 우수하고, 또한 내광성이 우수한 착색 화소를 갖는 점으로부터 특히 액정 표시 장치용의 컬러 필터로서 적합하다. 이러한 컬러 필터를 구비한 액정 표시 장치는 표시 화상의 색조가 양호해서 표시 특성이 우수한 고화질 화상을 표시할 수 있다.The color filter of the present invention is particularly suitable as a color filter for a liquid crystal display device because it has a color pixel excellent in hue and excellent light resistance. A liquid crystal display device equipped with such a color filter can display a high-quality image excellent in display characteristics because the color tone of the displayed image is good.
표시 장치의 정의나 각 표시 장치의 상세에 대해서는, 예를 들면 「전자 디스플레이 디바이스(사사키 테루오 저, Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd. 1990년 발행)」, 「디스플레이 디바이스(이부키 스미아키 저, Sangyo Tosho Publishing Co., Ltd. 1989년 발행)」 등에 기재되어 있다. 또한, 액정 표시 장치에 대해서는, 예를 들면 「차세대 액정 디스플레이 기술(우치다 타츠오 편집, Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd. 1994년 발행)」에 기재되어 있다. 본 발명을 적용할 수 있는 액정 표시 장치에 특별히 제한은 없고, 예를 들면 상기 「차세대 액정 디스플레이 기술」에 기재되어 있는 여러 가지 방식의 액정 표시 장치에 적용할 수 있다.For the definition of the display device and the details of each display device, for example, "Electronic Display Device (Teruo Sasaki, Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd. published in 1990)" and "Display Device (Sumiaki Ibuki, Sangyo)", for example Tosho Publishing Co., Ltd. published in 1989). In addition, about a liquid crystal display device, it describes in "next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published in Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd. 1994)", for example. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to, for example, various types of liquid crystal display devices described in the above "next-generation liquid crystal display technology".
본 발명의 컬러 필터는 그 중에서도 특히 컬러 TFT 방식의 액정 표시 장치에 대하여 유효하다. 컬러 TFT 방식의 액정 표시 장치에 대해서는, 예를 들면 「컬러 TFT 액정 디스플레이(KYORITSU SHUPPAN CO., LTD. 1996년 발행)」에 기재되어 있다. 또한, 본 발명은 IPS 등의 횡전계 구동 방식, MVA 등의 화소 분할 방식 등의 시야각이 확대된 액정 표시 장치나 STN, TN, VA, OCS, FFS 및 R-OCB 등에도 적용할 수 있다.The color filter of the present invention is particularly effective for a liquid crystal display device of a color TFT system. About the color TFT type liquid crystal display device, it is described in "color TFT liquid crystal display (KYORITSU SHUPPAN CO., LTD. published in 1996)", for example. In addition, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with an enlarged viewing angle, such as a transverse electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA, or to STN, TN, VA, OCS, FFS and R-OCB.
또한, 본 발명의 컬러 필터는 밝고 고선명인 COA(Color-filter On Array) 방식에도 제공하는 것이 가능하다. COA 방식의 액정 표시 장치에 있어서는 컬러 필터층에 대한 요구 특성은 상기와 같은 일반적인 요구 특성에 추가하여 층간 절연막에 대한 요구 특성, 즉 저유전율 및 박리액 내성이 필요로 되는 경우가 있다. 본 발명의 컬러 필터에 있어서는 상기 (A) 금속 착체 색소와 함께 상기 (B) 본 발명에 있어서의 착체 형성성 화합물을 상기 비율로 함유해서 경화시켜서 얻어지는 것이며, 액정 재료의 비저항의 저하가 비약적으로 방지되고, 액정 분자의 배향 저해, 즉 표시 특성의 저하가 해소되는 것으로 고려된다. 이것에 의해 색 순도 등의 좋은 색조가 우수하므로 해상도가 높고 장기 내구성이 우수한 COA 방식의 액정 표시 장치를 제공할 수 있다. 또한, 저유전율의 요구 특성을 만족시키기 위해서는 컬러 필터층 상에 수지 피막을 형성해도 좋다.In addition, the color filter of the present invention can be provided to a bright and high-definition color-filter on array (COA) method. In the liquid crystal display of the COA system, in addition to the general required characteristics as described above, the required characteristics for the interlayer insulating film, that is, the low dielectric constant and resistance to the stripping solution are sometimes required. In the color filter of the present invention, it is obtained by curing by containing and curing the complex-forming compound of the (B) present invention together with the (A) metal complex dye in the above ratio, and a decrease in the specific resistance of the liquid crystal material is drastically prevented. Therefore, it is considered that the inhibition of the alignment of the liquid crystal molecules, that is, the deterioration of display characteristics, is eliminated. As a result, it is possible to provide a COA liquid crystal display device having high resolution and excellent long-term durability because good color tone such as color purity is excellent. Further, in order to satisfy the required characteristics of a low dielectric constant, a resin film may be formed on the color filter layer.
또한, COA 방식에 의해 형성되는 착색층에는 착색층 상에 배치되는 ITO 전극과 착색층의 하방의 구동용 기판의 단자를 도통시키기 위해서 한 변의 길이가 1~15㎛ 정도인 직사각형의 스루홀 또는 コ자형의 구덩이 등의 도통로를 형성할 필요가 있고, 도통로의 치수(즉, 한 변의 길이)를 특히 5㎛ 이하로 하는 것이 바람직하지만, 본 발명을 사용함으로써 5㎛ 이하의 도통로를 형성하는 것도 가능하다. 이들 화상 표기 방식에 대해서는, 예를 들면 「EL, PDP, LCD 디스플레이-기술과 시장의 최신 동향-(Toray Research Center, Inc. 조사 연구 부문 2001년 발행)」의 43페이지 등에 기재되어 있다.In addition, in the colored layer formed by the COA method, in order to conduct the ITO electrode disposed on the colored layer and the terminal of the driving substrate under the colored layer, a rectangular through hole having a side length of about 1 to 15 μm or a co It is necessary to form a conductive path such as a shaped pit, and it is particularly preferable that the dimension (ie, the length of one side) be 5 μm or less, but by using the present invention, a conductive path of 5 μm or less is formed. It is also possible. These image notation methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD Display-Latest Trends in Technology and Market-(Toray Research Center, Inc. Research and Research Section 2001)".
본 발명의 액정 표시 장치는 본 발명의 컬러 필터 이외에 전극 기판, 편광 필름, 위상차 필름, 백라이트, 스페이서, 시야각 보장 필름 등 여러 가지 부재로 구성된다. 본 발명의 컬러 필터는 이들 공지의 부재로 구성되는 액정 표시 장치에 적용할 수 있다. 이들 부재에 대해서는, 예를 들면 「'94 액정 디스플레이 주변 재료·케미컬의 시장(시마 켄타로 CMC Publishing Co., Ltd. 1994년 발행)」, 「2003 액정 관련 시장의 현재의 상태와 장래 전망(하권)(오모테 료키치 Fuji Chimera Research Institute, Inc., 2003년 발행)」에 기재되어 있다.In addition to the color filter of the present invention, the liquid crystal display device of the present invention is composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle guarantee film. The color filter of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. Regarding these members, for example, "The market for materials and chemicals around the '94 liquid crystal display (Kentaro Shima CMC Publishing Co., Ltd. published in 1994)" and "The current state and future prospects of the 2003 liquid crystal-related market (second volume)" (Ryokichi Omote Fuji Chimera Research Institute, Inc., published in 2003).
백라이트에 관해서는 SID meeting Digest 1380(2005)(A. Konno et. al)이나 월간 디스플레이 2005년 12월호의 18~24페이지(시마 야스히로), 동 25~30페이지(야기 타카아키) 등에 기재되어 있다.The backlight is described in SID Meeting Digest 1380 (2005) (A. Konno et. al), pages 18 to 24 (Yasuhiro Shima) and pages 25 to 30 (Takaaki Yagi) of the December 2005 issue of Monthly Display.
본 발명의 컬러 필터를 액정 표시 장치에 사용하면 종래 공지의 냉음극관의 3파장관과 조합시켰을 때에 높은 콘트라스트를 실현할 수 있지만, 적색, 녹색, 청색 LED 광원(RGB-LED)을 백라이트로 함으로써 더 휘도가 높고, 또한 색 순도가 높은 색 재현성이 양호한 액정 표시 장치를 제공할 수 있다.When the color filter of the present invention is used in a liquid crystal display device, high contrast can be achieved when combined with a conventionally known three-wavelength tube of a cold cathode tube, but more luminance by using red, green, and blue LED light sources (RGB-LEDs) as backlights. It is possible to provide a liquid crystal display device having high color purity and excellent color reproducibility.
<고체 촬상 소자><Solid image sensor>
본 발명의 고체 촬상 소자는 상술한 본 발명의 고체 촬상 소자용 컬러 필터를 구비한다. 본 발명의 고체 촬상 소자의 구성으로서는 본 발명의 고체 촬상 소자용 컬러 필터가 구비된 구성이며, 고체 촬상 소자로서 기능하는 구성이면 특별히 한정은 없지만, 예를 들면 이하와 같은 구성을 들 수 있다.The solid-state image pickup device of the present invention includes the color filter for solid-state image pickup devices of the present invention described above. The configuration of the solid-state imaging device of the present invention is a configuration provided with the color filter for a solid-state imaging device of the present invention, and there is no particular limitation as long as it functions as a solid-state imaging device, but examples include the following configurations.
지지체 상에 고체 촬상 소자(CCD 이미지 센서, CMOS 이미지 센서 등)의 수광 영역을 구성하는 복수의 포토다이오드 및 폴리실리콘 등으로 이루어지는 전송 전극을 갖고, 상기 포토다이오드 및 상기 전송 전극 상에 포토다이오드의 수광부만 개구된 텅스텐 등으로 이루어지는 차광막을 갖고, 차광막 상에 차광막 전면 및 포토다이오드 수광부를 덮도록 형성된 질화실리콘 등으로 이루어지는 디바이스 보호막을 갖고, 상기 디바이스 보호막 상에 본 발명의 고체 촬상 소자용 컬러 필터를 갖는 구성이다.A plurality of photodiodes constituting a light-receiving region of a solid-state image sensor (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.) on a support and a transfer electrode made of polysilicon, etc., and a light receiving unit of the photodiode on the photodiode and the transfer electrode It has a light-shielding film made of tungsten or the like that is only open, and has a device protective film made of silicon nitride or the like formed so as to cover the entire surface of the light-shielding film and the photodiode light-receiving portion on the light-shielding film, and a color filter for a solid-state image pickup device of the present invention on the device protective film. Configuration.
또한, 상기 디바이스 보호층 상이며, 컬러 필터의 아래(지지체에 가까운 측)에 집광 수단(예를 들면, 마이크로 렌즈 등. 이하 동일함)을 갖는 구성이나 컬러 필터 상에 집광 수단을 갖는 구성 등이어도 좋다.Further, it may be a configuration having a condensing means (for example, a microlens, etc. hereinafter) on the device protective layer and below the color filter (the side close to the support), a configuration having condensing means on the color filter, or the like. good.
실시예Example
이하 본 발명을 실시예에 의해 더욱 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 그 주지를 넘지 않는 한 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 특별히 기재하지 않는 한 「부」, 「%」는 질량 기준이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it goes beyond the gist. In addition, unless otherwise specified, "parts" and "%" are based on mass.
[안료 분산액(Y)의 조제][Preparation of pigment dispersion (Y)]
하기 조성의 혼합액을 0.3㎜ 지름의 산화지르코늄 비즈를 사용하여 비드밀(감압 기구가 부착된 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이 카부시키가이샤제))에서 3시간 혼합 분산시켜 안료 분산액(Y)을 조제했다.The mixture of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 with a pressure reducing mechanism (manufactured by Nippon Biei Co., Ltd.)) using 0.3 mm diameter zirconium oxide beads. ) Was prepared.
·C. I. 피그먼트 옐로 185 18.0부·C. I. Pigment Yellow 185 18.0 copies
·분산제((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): BYK Co., Ltd.제 BYK-2001 1.8부Dispersant ((b) polymer without polymerizable group): 1.8 parts of BYK-2001 manufactured by BYK Co., Ltd.
·수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체(=70/30몰비, Mw: 30000, 산가: 110㎎KOH/g) 9.9부Resin 1 ((b) polymer having no polymerizable group): 9.9 parts of benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer (=70/30 molar ratio, Mw: 30000, acid value: 110 mgKOH/g)
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 70.3부Solvent: 70.3 parts of propylene glycol methyl ether acetate
[안료 분산액(M)의 조제][Preparation of pigment dispersion (M)]
하기 조성의 혼합액을 0.3㎜ 지름의 산화지르코늄 비드를 사용하여 비드밀(감압 기구가 부착된 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이 카부시키가이샤제))에서 3시간 혼합 분산시켜서 안료 분산액(M) 조제했다.The mixture of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 with a pressure reducing mechanism (manufactured by Nippon Biei Co., Ltd.)) using 0.3 mm diameter zirconium oxide beads. ) Prepared.
·C. I. 피그먼트 레드 122(마젠타색) 18.0부·C. I. Pigment Red 122 (magenta) 18.0 parts
·분산제((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): BYK Co., Ltd.제 BYK-2001 1.8부Dispersant ((b) polymer without polymerizable group): 1.8 parts of BYK-2001 manufactured by BYK Co., Ltd.
·수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체(=70/30몰비, Mw: 30000) 9.9부Resin 1 ((b) polymer having no polymerizable group): 9.9 parts of benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer (=70/30 molar ratio, Mw: 30000)
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 70.3부Solvent: 70.3 parts of propylene glycol methyl ether acetate
[안료 분산액(Cy)의 조제][Preparation of pigment dispersion (Cy)]
하기 조성의 혼합액을 0.3㎜ 지름의 산화지르코늄 비드를 사용하여 비드밀(감압 기구가 부착된 고압 분산기 NANO-3000-10(니혼 비이이 카부시키가이샤제))에서 3시간 혼합 분산시켜서 안료 분산액(M)조제했다.The mixture of the following composition was mixed and dispersed for 3 hours in a bead mill (high-pressure disperser NANO-3000-10 with a pressure reducing mechanism (manufactured by Nippon Biei Co., Ltd.)) using 0.3 mm diameter zirconium oxide beads. ) Prepared.
·C. I. 피그먼트 블루 15: 67.4부·C. I. Pigment Blue 15: 67.4 parts
·알루미늄 프탈로시아닌 10.6부・10.6 parts of aluminum phthalocyanine
·분산제((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): BYK Co., Ltd.제 BYK-2001Dispersant ((b) polymer without polymerizable group): BYK-2001 manufactured by BYK Co., Ltd.
1.8부 Part 1.8
·수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머): 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체(=70/30몰비, Mw: 30000) 9.9부Resin 1 ((b) polymer having no polymerizable group): 9.9 parts of benzyl methacrylate/methacrylic acid copolymer (=70/30 molar ratio, Mw: 30000)
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 70.3부Solvent: 70.3 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 1)(Example 1)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Y-1)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Y-1).
·안료 분산액(Y) 36.1부Pigment dispersion (Y) 36.1 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 0.6부(A) 0.6 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 4.5부4.5 parts of alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group))
·중합성 화합물 1: 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트(Nippon Kayaku Co., Ltd.제 상품명 카야래드 DPHA) 2.0부-Polymerizable compound 1: dipentaerythritol hexaacrylate (Nippon Kayaku Co., Ltd. product name Kayarad DPHA) 2.0 parts
·중합성 화합물 2: 펜타에리스리톨에틸렌옥사이드 변성 테트라아크릴레이트(Nippon Kayaku Co., Ltd.제 상품명 RP-1040) 6.0부Polymerizable compound 2: pentaerythritol ethylene oxide-modified tetraacrylate (product name RP-1040 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 6.0 parts
·중합 개시제 1: 하기의 구조(BASF Ltd.제, IRGACURE-OXE01) 1.2부Polymerization initiator 1: 1.2 parts of the following structure (manufactured by BASF Ltd., IRGACURE-OXE01)
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 49.6부Solvent: 49.6 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 2)(Example 2)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Y-2)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Y-2).
·안료 분산액(Y) 36.1부Pigment dispersion (Y) 36.1 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 1.05부(A) 1.05 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 4.05부-Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group)) 4.05 parts
·중합성 화합물 1 2.0부-2.0 parts of polymerizable compound 1
·중합성 화합물 2 6.0부-Polymerizable compound 2 6.0 parts
·중합 개시제 11.2부·Polymerization initiator 11.2 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 49.6부Solvent: 49.6 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 3)(Example 3)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물 Y-3을 조제했다.The following components were mixed and colored radiation-sensitive composition Y-3 was prepared.
·안료 분산액 Y 36.1부Pigment dispersion Y 36.1 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 1.2부(A) 1.2 parts of an acrylic polymer having a polymerizable group (Cychromer P, manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 3.9부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group)) 3.9 parts
·중합성 화합물 1 2.0부-2.0 parts of polymerizable compound 1
·중합성 화합물 2 6.0부-Polymerizable compound 2 6.0 parts
·중합 개시제 1 1.2부·Polymerization initiator 1 1.2 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 49.6부Solvent: 49.6 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 4)(Example 4)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
실시예 1의 중합성 화합물 1 및 2를 Toagosei Co., Ltd.제 M-510으로 변경한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 조성비로 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Y-4)을 조제했다.Except having changed the polymerizable compounds 1 and 2 of Example 1 to M-510 manufactured by Toagosei Co., Ltd., they were mixed in the same composition ratio as in Example 1 to prepare a colored radiation-sensitive composition (Y-4).
[바인더의 합성예][Synthesis Example of Binder]
(바인더 1의 합성)(Synthesis of Binder 1)
모노머의 적하용 용기에 이하의 조성의 용액을 준비했다.A solution having the following composition was prepared in a container for dropping a monomer.
·디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트(이하 「DM」이라고 칭함) 20부-Dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate (hereinafter referred to as "DM") 20 parts
·벤질메타크릴레이트(BzMA) 70부-Benzyl methacrylate (BzMA) 70 parts
·메틸메타아크릴레이트(MMA) 10부10 parts of methyl methacrylate (MMA)
·메타아크릴산(MAA) 30부30 parts of methacrylic acid (MAA)
·t-부틸퍼옥시-2-에틸헥사노에이트 2부2 parts of t-butylperoxy-2-ethylhexanoate
·디에틸렌글리콜디메틸에테르 25부25 parts of diethylene glycol dimethyl ether
연쇄 이동제의 적하용 용기에 이하의 조성의 용액을 준비했다.A solution having the following composition was prepared in a container for dropping a chain transfer agent.
·n-도데칸티올 6부6 parts of n-dodecanethiol
·디에틸렌글리콜디메틸에테르 20부20 parts of diethylene glycol dimethyl ether
반응 용기(냉각관이 부착된 세퍼러블 플라스크)에 디에틸렌글리콜디메틸에테르 157부를 첨가하고, N2 가스로 치환 후 가열해서 반응 용기의 온도를 90℃로 올렸다.157 parts of diethylene glycol dimethyl ether was added to the reaction vessel (separable flask with a cooling tube), replaced with N 2 gas, and heated to raise the temperature of the reaction vessel to 90°C.
온도 안정을 확인한 후 모노머 적하 용기와 연쇄 이동제 적하 용기로부터 각각 적하를 개시하고, 90℃의 온도를 유지한 채 140분간으로 모노머 및 연쇄 이동제의 적하를 종료했다. 적하 종료 후로부터 60분 후에 승온을 더 행하고, 반응 용기의 온도를 110℃로 올려서 그대로 110℃로 180분간 유지했다. 그 후 반응 용기 내를 공기로 치환했다.After confirming temperature stability, dropping was started from the monomer dropping container and the chain transfer agent dropping container, respectively, and dropping of the monomer and chain transfer agent was completed in 140 minutes while maintaining the temperature at 90°C. After completion of the dropwise addition, the temperature was further increased 60 minutes, the temperature of the reaction vessel was raised to 110°C, and maintained at 110°C for 180 minutes. After that, the inside of the reaction vessel was replaced with air.
이어서, 반응 용기에 이하의 조성의 조성물을 투입하고, 110℃의 온도 그대로 9시간 반응시켰다.Then, the composition of the following composition was put into the reaction container, and it was made to react at the temperature of 110 degreeC for 9 hours.
·GMA(글리시딜메타크릴레이트) 35부GMA (glycidyl methacrylate) 35 parts
·2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀) 0.2부0.2 parts of 2,2'-methylenebis(4-methyl-6-t-butylphenol)
·트리에틸아민 0.4부・0.4 parts of triethylamine
반응 종료 후 실온으로 냉각했다.After completion of the reaction, it was cooled to room temperature.
이렇게 하여 바인더 1의 용액(고형분 농도 40%)을 얻었다.In this way, a solution of binder 1 (solid content concentration 40%) was obtained.
얻어진 바인더 1의 각 모노머 유래의 성분에 대해서 1H-NMR을 사용하여 해석했다. 또한, 중량 분자량에 대해서는 GPC에서 측정했다(중량 평균 분자량: 11000).The component derived from each monomer of the obtained binder 1 was analyzed using 1 H-NMR. In addition, about the weight molecular weight, it measured by GPC (weight average molecular weight: 11000).
(실시예 5)(Example 5)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Y-5)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Y-5).
·안료 분산액(Y) 36.1부Pigment dispersion (Y) 36.1 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(상기 합성 바인더 1의 용액) 1.5부(A) 1.5 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (solution of the synthetic binder 1)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1 ((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 4.5부4.5 parts of alkali-soluble resin (the above resin 1 ((b) polymer not having a polymerizable group))
·중합성 화합물 1 2.0부-2.0 parts of polymerizable compound 1
·중합성 화합물 2 6.0부-Polymerizable compound 2 6.0 parts
·중합 개시제 1 1.2부·Polymerization initiator 1 1.2 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 48.7부Solvent: 48.7 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 6)(Example 6)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(M-1)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (M-1).
·안료 분산액(M) 43.06부Pigment dispersion (M) 43.06 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 0.6부(A) 0.6 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 2.6부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer not having a polymerizable group)) 2.6 parts
·중합성 화합물 1 2.1부·Polymerizable compound 1 2.1 parts
·중합성 화합물 2 6.3부-Polymerizable compound 2 6.3 parts
·중합 개시제 1 0.6부-Polymerization initiator 1 0.6 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 44.7부Solvent: 44.7 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 7)(Example 7)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(M-2)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (M-2).
·안료 분산액(M) 43.06부Pigment dispersion (M) 43.06 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 0.9부(A) 0.9 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 2.3부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group)) 2.3 parts
·중합성 화합물 1 2.1부·Polymerizable compound 1 2.1 parts
·중합성 화합물 2 6.3부-Polymerizable compound 2 6.3 parts
·중합 개시제 1 0.6부-Polymerization initiator 1 0.6 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 44.7부Solvent: 44.7 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 8)(Example 8)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(M-3)을 조제했다.The following components were mixed and the colored radiation-sensitive composition (M-3) was prepared.
·안료 분산액(M) 43.06부Pigment dispersion (M) 43.06 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 1.0부(A) 1.0 part of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 2.2부2.2 parts of alkali-soluble resin (the resin 1 ((b) polymer without polymerizable group))
·중합성 화합물 1 2.1부·Polymerizable compound 1 2.1 parts
·중합성 화합물 2 6.3부-Polymerizable compound 2 6.3 parts
·중합 개시제 1 0.6부-Polymerization initiator 1 0.6 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 44.7부Solvent: 44.7 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 9)(Example 9)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
실시예 6의 중합성 화합물 1 및 2를 Toagosei Co., Ltd.제 M-510으로 변경한 것 이외에는 실시예 6과 동일한 조성비로 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(M-4)을 조제했다.Except having changed the polymerizable compounds 1 and 2 of Example 6 to M-510 manufactured by Toagosei Co., Ltd., they were mixed in the same composition ratio as in Example 6 to prepare a colored radiation-sensitive composition (M-4).
(실시예 10)(Example 10)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(M-5)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (M-5).
·안료 분산액(M) 43.06부Pigment dispersion (M) 43.06 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(상기 합성 바인더 1의 용액) 1.5부(A) 1.5 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (solution of the synthetic binder 1)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 2.6부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer not having a polymerizable group)) 2.6 parts
·중합성 화합물 1 2.1부·Polymerizable compound 1 2.1 parts
·중합성 화합물 2 6.3부-Polymerizable compound 2 6.3 parts
·중합 개시제 1 0.6부-Polymerization initiator 1 0.6 parts
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 43.8부Solvent: 43.8 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 11)(Example 11)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Cy-1)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Cy-1).
·안료 분산액(Cy) 27.8부Pigment dispersion (Cy) 27.8 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 0.6부(A) 0.6 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 6.8부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group)) 6.8 parts
·중합성 화합물 1 6.3부-Polymerizable compound 1 6.3 parts
·중합성 화합물 2 2.1부-Polymerizable compound 2 2.1 parts
·중합 개시제 1 1.0부·Polymerization initiator 1 1.0 part
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 55.4부Solvent: 55.4 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 12)(Example 12)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Cy-2)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Cy-2).
·안료 분산액(Cy) 27.8부Pigment dispersion (Cy) 27.8 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 1.15부(A) 1.15 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 6.25부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer not having a polymerizable group)) 6.25 parts
·중합성 화합물 1 6.3부-Polymerizable compound 1 6.3 parts
·중합성 화합물 2 2.1부-Polymerizable compound 2 2.1 parts
·중합 개시제 1 1.0부·Polymerization initiator 1 1.0 part
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 55.4부Solvent: 55.4 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 13)(Example 13)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Cy-3)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Cy-3).
·안료 분산액(Cy) 27.8부Pigment dispersion (Cy) 27.8 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(Daicel Corporation제 상품명 사이크로머P) 1.4부(A) 1.4 parts of acrylic polymer having a polymerizable group (trade name Cychromer P manufactured by Daicel Corporation)
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 6.0부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer not having a polymerizable group)) 6.0 parts
·중합성 화합물 1 6.3부-Polymerizable compound 1 6.3 parts
·중합성 화합물 2 2.1부-Polymerizable compound 2 2.1 parts
·중합 개시제 1 1.0부·Polymerization initiator 1 1.0 part
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 55.4부Solvent: 55.4 parts of propylene glycol methyl ether acetate
(실시예 14)(Example 14)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
실시예 6의 중합성 화합물 1 및 2를 Toagosei Co., Ltd.제 M-510으로 변경한 것 이외에는 실시예 11과 동일한 조성비로 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Cy-4)을 조제했다.Except having changed the polymerizable compounds 1 and 2 of Example 6 to M-510 manufactured by Toagosei Co., Ltd., they were mixed in the same composition ratio as in Example 11 to prepare a colored radiation-sensitive composition (Cy-4).
(실시예 15)(Example 15)
[착색 감방사선성 조성물의 조제][Preparation of colored radiation-sensitive composition]
하기의 성분을 혼합하여 착색 감방사선성 조성물(Cy-5)을 조제했다.The following components were mixed to prepare a colored radiation-sensitive composition (Cy-5).
·안료 분산액(Cy) 27.8부Pigment dispersion (Cy) 27.8 parts
·(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머(상기 바인더 1의 용액) 1.5부(A) 1.5 parts of acrylic polymer (solution of binder 1) having a polymerizable group
·알칼리 가용성 수지(상기 수지 1((b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머)) 6.8부Alkali-soluble resin (Resin 1 ((b) polymer without polymerizable group)) 6.8 parts
·중합성 화합물 1 6.3부-Polymerizable compound 1 6.3 parts
·중합성 화합물 2 2.1부-Polymerizable compound 2 2.1 parts
·중합 개시제 1 1.0부·Polymerization initiator 1 1.0 part
·용제: 프로필렌글리콜메틸에테르 아세테이트 54.5부Solvent: 54.5 parts of propylene glycol methyl ether acetate
얻어진 각 착색 감방사선성 조성물을 사용하여 분광 특성을 평가했다. 결과를 하기 표에 나타낸다.Spectroscopic properties were evaluated using each of the obtained colored radiation-sensitive compositions. The results are shown in the table below.
[분광 특성][Spectral characteristics]
각 착색 감방사선성 조성물을 유리 기판 상에 스핀코팅하고, 포스트베이킹 후의 막두께가 (1.0)㎛가 되도록 도포하여 100℃ 120초간 핫플레이트에서 건조하고, 건조한 후 200℃의 핫플레이트를 사용하여 300초간 가열 처리(포스트베이킹)를 더 행했다.Each colored radiation-sensitive composition was spin-coated on a glass substrate, applied so that the film thickness after post-baking became (1.0) µm, dried on a hot plate at 100°C for 120 seconds, dried, and then 300°C using a hot plate at 200°C. Secondary heat treatment (post-baking) was further performed.
[컬러 필터의 제작][Production of color filter]
8인치 실리콘 웨이퍼 상에 감광성 투명 조성물인 CT-2010(FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.제)을 스핀코팅에 의해 균일하게 도포해서 도포막을 형성하고, 형성된 도포막을 220℃의 오븐에서 60분간 가열 처리했다. 또한, 스핀코팅의 도포 회전수는 상기 가열 처리 후의 도포막의 막두께가 약 1.0㎛가 되도록 조정했다.On an 8-inch silicon wafer, a photosensitive transparent composition, CT-2010 (manufactured by FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.) is uniformly coated by spin coating to form a coating film, and the formed coating film is heated in an oven at 220°C for 60 minutes. did. Further, the number of rotations of the spin coating application was adjusted so that the film thickness of the coating film after the heat treatment was about 1.0 µm.
이상과 같이 하여 언더코팅층이 부착된 실리콘 웨이퍼를 얻었다.In the manner described above, a silicon wafer with an undercoat layer was obtained.
실시예 1의 착색 감방사선성 조성물을 상기에서 얻은 언더코팅층이 부착된 실리콘 웨이퍼 상에 건조 후의 막두께가 1.0㎛가 되도록 스핀코터를 사용하여 도포하고, 100℃의 핫플레이트를 사용하여 120초간 가열 처리(프리베이킹)를 행했다.The colored radiation-sensitive composition of Example 1 was applied on the silicon wafer with the undercoat layer obtained above with a spin coater so that the thickness after drying became 1.0 µm, and heated for 120 seconds using a hot plate at 100°C. Processing (pre-baking) was performed.
이어서, i선 스텝퍼 노광 장치 FPA-3000 i5+(Canon Inc.제)를 사용하고, 패턴 노광은 21행×19열의 매트릭스상으로 배열된 패턴의 총 399개소에 행했다. 이 때 매트릭스 중 상기 21행은 최소 노광량을 500J/㎡로 하고, 500J/㎡로부터 500J/㎡ 간격으로 1행마다 노광량을 증가시킨 조건이 되어 있고, 한 편의 상기 19열은 초점 거리 최적값(Foucus 0.0㎛)을 중심으로 해서 0.1㎛ 간격으로 초점 거리를 변화시킨 조건이 되어 있다. 즉, 중앙 1열을 초점 거리 최적값으로 해서 1열마다 초점 거리를 변화시킨 조건으로 해서 3.0㎛×3.0㎛의 정사각형 픽셀 패턴이 4㎜×3㎜의 범위 내에 배열되도록 화상 형성되는 포토마스크를 사용했다.Next, the i-line stepper exposure apparatus FPA-3000 i5+ (manufactured by Canon Inc.) was used, and the pattern exposure was performed on a total of 399 locations of patterns arranged in a matrix of 21 rows x 19 columns. At this time, the 21 rows of the matrix have a minimum exposure amount of 500J/m2, and the exposure amount is increased for each row at intervals of 500J/m2 to 500J/m2. 0.0 µm) as the center, and changing the focal length at 0.1 µm intervals. In other words, using a photomask that is imaged so that a square pixel pattern of 3.0 µm × 3.0 µm is arranged within a range of 4 ㎜ × 3 ㎜ under the condition that the focal length is changed for each column with one center column as the optimal focal length value. did.
그 후 노광된 도포막이 형성되어 있는 실리콘 웨이퍼를 스핀·샤워 현상기(DW-30형, Chemitronics Co., Ltd.제)의 수평 회전 테이블 상에 적재하고, CD-2060(FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.제)을 사용하여 23℃에서 60초간 패들 현상을 행하고, 실리콘 웨이퍼 상에 착색 패턴을 형성했다.After that, the silicon wafer on which the exposed coating film was formed is placed on a horizontal rotating table of a spin shower developing device (DW-30 type, manufactured by Chemitronics Co., Ltd.), and CD-2060 (FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.) Agent), paddle development was performed at 23° C. for 60 seconds to form a colored pattern on a silicon wafer.
착색 패턴이 형성된 실리콘 웨이퍼를 순수에서 린스 처리를 행하고, 그 후 스프레이 건조했다.The silicon wafer on which the colored pattern was formed was rinsed with pure water, and then spray dried.
또한, 200℃의 핫플레이트를 사용하여 300초간 가열 처리(포스트베이킹)를 행하여 착색제 대응한 착색 화소를 갖는 실리콘 웨이퍼를 얻었다.Further, heat treatment (post-baking) was performed for 300 seconds using a 200°C hot plate to obtain a silicon wafer having colored pixels corresponding to the colorant.
<평가><Evaluation>
(패턴의 형성성)(Pattern formation)
상기에서 얻어진 웨이퍼 상에 형성되어 있는 착색 패턴을 측장 SEM(Hitachi Ltd.제 S-9260 주사 전자 현미경)을 사용하여 측정하고, 노광부의 착색 패턴의 치수와 미노광부의 현상 잔사의 정도를 SEM상에서 평가했다. 노광부와 미노광부 사이의 현상액 용해도 차가 나고 있어 노광부가 마스크 디자인대로의 치수로 화상 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사가 없는 것이 바람직하다. 결과를 하기 표에 나타낸다. 평가 기준은 하기에 나타내지만, A, B는 실용 레벨이다.The colored pattern formed on the wafer obtained above was measured using a measuring SEM (S-9260 scanning electron microscope manufactured by Hitachi Ltd.), and the dimensions of the colored pattern of the exposed portion and the degree of the developed residue of the unexposed portion were evaluated on the SEM image. did. It is preferable that the solubility of the developer between the exposed portion and the unexposed portion is different, so that the exposed portion is imaged with the dimensions of the mask design, and the unexposed portion has no dissolved residue. The results are shown in the table below. Although the evaluation criteria are shown below, A and B are practical use levels.
<평가 기준><Evaluation criteria>
A: 노광부는 화상이 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사는 없고, 패턴 형상은 양호한 직사각형이었다.A: The exposed portion had an image of 1:1 with respect to the mask size, and the unexposed portion had no dissolution residue, and the pattern shape was a good rectangle.
B: 노광부는 화상이 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있고, 미노광부에는 용해 잔사는 보이지 않았다.B: An image of the exposed portion was formed at 1:1 with respect to the mask size, and no dissolved residue was seen in the unexposed portion.
C: 노광부에서는 패턴은 형성되어 있지만, 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있지 않거나 또는 미노광부에 현상 불량이 보였다.C: Although the pattern was formed in the exposed part, it was not formed at 1:1 with respect to the mask size, or development defect was seen in the unexposed part.
D: 미노광부가 거의 용해되지 않고, 노광부도 마스크 사이즈에 대하여 1:1로 형성되어 있지 않았다.D: The unexposed part was hardly dissolved, and the exposed part was not formed 1:1 with respect to the mask size.
(표면 거침)(Surface roughness)
웨이퍼 상에 형성되어 있는 착색 패턴을 측장 SEM(Hitachi Ltd.제 S-9260 주사 전자 현미경)을 사용하여 관찰하고, 노광부의 착색 패턴의 표면 거침을 SEM 상에서 평가했다. 노광부의 포스트베이킹 후의 열 수축에 의한 표면 거침이 없는 것이 바람직하다. 결과를 하기 표에 나타낸다. 평가 기준은 하기에 나타내지만, A, B, C는 실용 레벨이다.The colored pattern formed on the wafer was observed using a measuring SEM (S-9260 scanning electron microscope manufactured by Hitachi Ltd.), and the surface roughness of the colored pattern of the exposed portion was evaluated on the SEM. It is preferable that the exposed portion does not have surface roughness due to heat shrinkage after post-baking. The results are shown in the table below. Although the evaluation criteria are shown below, A, B, and C are practical use levels.
<평가 기준><Evaluation criteria>
A: 표면 거침은 전혀 보이지 않는다.A: Surface roughness is not seen at all.
B: 표면 거침은 매우 조금 보인다.B: The surface roughness is very slight.
C: 표면 거침은 조금 보인다.C: The surface roughness is slightly seen.
D: 표면 거침이 심각히 보인다.D: Surface roughness is seen seriously.
상기 결과로부터 명백한 바와 같이 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머, (b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머, (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머, (d) 중합 개시제 및 (e) 착색제를 함유하고, (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 1~14질량%인 착색 감방사선성 조성물은 패턴 형성성이 우수하고, 또한 표면 거침이 적은 것을 알았다(각 실시예). 이에 대하여 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 1~14질량%의 범위를 벗어나는 착색 감방사선성 조성물을 사용했을 경우 패턴 형성성이 뒤떨어지고, 표면 거침이 많은 것을 알았다.As evident from the above results, (a) an acrylic polymer having a polymerizable group, (b) a polymer having no polymerizable group, (c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds, (d) a polymerization initiator and (e) ) It was found that the colored radiation-sensitive composition containing a colorant and having a content of (a) an acrylic polymer having a polymerizable group of 1 to 14% by mass of the total polymer component has excellent pattern formation and less surface roughness (each Example). On the other hand, it was found that (a) when a colored radiation-sensitive composition in which the content of the acrylic polymer having a polymerizable group was out of the range of 1 to 14% by mass of the total polymer component was used, pattern formation was poor, and surface roughness was large.
특히, 본 발명의 효과는 (a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량이 전체 폴리머 성분의 5~12질량%인 착색 감방사선성 조성물에 있어서 효과적인 것을 알았다.In particular, the effect of the present invention was found to be effective in a colored radiation-sensitive composition in which (a) the content of the acrylic polymer having a polymerizable group is 5 to 12% by mass of the total polymer component.
[실시예 100][Example 100]
고체 촬상 소자의 제작Fabrication of solid-state imaging device
<언더코팅층이 부착된 실리콘 기판의 제작><Production of a silicon substrate with an undercoat layer attached>
6인치 실리콘 웨이퍼를 오븐 중에서 200℃ 하 30분 가열 처리했다. 이어서, 이 실리콘 웨이퍼 상에 CT-2010(FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.제)을 건조 막두께가 1.0㎛가 되도록 도포하고, 220℃의 오븐 중에서 1시간 더 가열 건조시켜서 언더코팅층을 형성하여 언더코팅층이 부착된 실리콘 웨이퍼 기판을 얻었다.A 6-inch silicon wafer was heated in an oven at 200°C for 30 minutes. Subsequently, CT-2010 (manufactured by FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.) was applied on the silicon wafer to a dry film thickness of 1.0 µm, followed by heating and drying in an oven at 220°C for 1 hour to form an undercoat layer. A silicon wafer substrate with a coating layer was obtained.
<패턴 형성><Pattern formation>
실시예 1의 착색 감방사선성 조성물을 언더코팅층이 부착된 실리콘 웨이퍼의 언더코팅층 상에 도포하여 착색 경화성 조성물층(도포막)을 형성했다. 그리고 이 도포막의 건조 막두께가 1.0㎛가 되도록 100℃의 핫플레이트를 사용하여 120초간 가열 처리(프리베이크)를 행했다.The colored radiation-sensitive composition of Example 1 was applied onto the undercoat layer of a silicon wafer with an undercoat layer attached thereto to form a colored curable composition layer (coating film). Then, heat treatment (prebaking) was performed for 120 seconds using a 100°C hot plate so that the dry film thickness of this coating film was 1.0 µm.
이어서, i선 스텝퍼 노광 장치 FPA-3000i 5+(Canon Inc.제)를 사용해서 365㎚의 파장에서 패턴이 사방이 3.0㎛인 Bayer 패턴 마스크를 통해서 노광했다.Next, the i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i 5+ (manufactured by Canon Inc.) was used to expose the pattern at a wavelength of 365 nm through a Bayer pattern mask having 3.0 µm in all directions.
그 후 조사된 도포막이 형성되어 있는 실리콘 웨이퍼 기판을 스핀·샤워 현상기(DW-30형, Chemitronics Co., Ltd.제)의 수평 회전 테이블 상에 적재하고, CD-2060(FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.제)을 사용하여 23℃에서 60초간 패들 현상을 행하고, 실리콘 웨이퍼 기판에 3.0㎛×3.0㎛의 옐로의 착색 패턴을 형성했다.After that, the silicon wafer substrate on which the irradiated coating film has been formed is mounted on a horizontal rotating table of a spin-shower developing device (DW-30 type, manufactured by Chemitronics Co., Ltd.), and CD-2060 (FUJIFILM Electronic Materials Co., Ltd.) Ltd.) was used for paddle development at 23°C for 60 seconds to form a 3.0 µm×3.0 µm yellow colored pattern on a silicon wafer substrate.
착색 패턴이 형성된 실리콘 웨이퍼 기판을 순수에서 린스 처리를 행하고, 200℃의 핫플레이트를 사용하여 300초간 가열 처리(포스트베이킹)를 더 행하여 착색 화소를 갖는 실리콘 웨이퍼 기판을 얻었다.The silicon wafer substrate on which the colored pattern was formed was rinsed with pure water, and further heat-treated (post-baked) for 300 seconds using a 200°C hot plate to obtain a silicon wafer substrate having colored pixels.
이어서, 실시예 6의 착색 감방사선성 조성물을 사용하여 3.0㎛×3.0㎛ 마젠타색의 착색 패턴을 형성했다.Next, a 3.0 µm x 3.0 µm magenta colored pattern was formed using the colored radiation-sensitive composition of Example 6.
또한, 실시예 11의 착색 감방사선성 조성물을 사용하여 3.0㎛×3.0㎛의 시안색의 착색 패턴을 형성해서 고체 촬상 소자용의 컬러 필터를 제작했다.Further, a cyan colored pattern of 3.0 µm x 3.0 µm was formed using the colored radiation-sensitive composition of Example 11 to prepare a color filter for a solid-state image sensor.
<평가><Evaluation>
풀컬러의 컬러 필터를 고체 촬상 소자에 편입한 결과, 상기 고체 촬상 소자는 고해상도이며 색 분리성이 우수하다는 것이 확인되었다.
As a result of incorporating a full color color filter into a solid-state imaging device, it was confirmed that the solid-state imaging device has high resolution and excellent color separation.
Claims (27)
상기 착색 감방사선성 조성물 중에 있어서의 (c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 0.8~2.0배(질량비)이고,
(c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머로서 하기 일반식(ⅰ)으로 나타내어지는 화합물 및 일반식(ⅱ)으로 나타내어지는 화합물로부터 선택되는 적어도 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.
[일반식(ⅰ) 및 (ⅱ) 중 E는 각각 -((CH2)yCH2O)- 또는 -((CH2)yCH(CH3)O)-를 나타내고, y는 각각 1~10의 정수를 나타내고, X는 각각 수소 원자, 아크릴로일기, 메타크릴로일기 또는 카르복실기를 나타낸다.
일반식(i) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 3개 또는 4개이며, m은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각의 m의 합계는 1~40의 정수이다.
일반식(ⅱ) 중 아크릴로일기 및 메타크릴로일기의 합계는 5개 또는 6개이며, n은 각각 0~10의 정수를 나타내고, 각각 n의 합계는 1~60의 정수이다](a) an acrylic polymer having a polymerizable group, (b) a polymer having no polymerizable group, (c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds, (d) a polymerization initiator and (e) a colorant, (a) The content of the acrylic polymer having a polymerizable group is a colored radiation-sensitive composition that is 1 to 14% by mass of all polymer components,
(C) the content of the monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds in the colored radiation-sensitive composition is 0.8 to 2.0 times (mass ratio) of all polymer components,
(c) a monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds, characterized in that it contains at least one selected from a compound represented by the following general formula (i) and a compound represented by the general formula (ii) Radiation-sensitive composition.
[In general formulas (i) and (ii), E represents -((CH 2 ) y CH 2 O)- or -((CH 2 ) y CH(CH 3 )O)-, respectively, and y is 1~ The integer of 10 is represented, and X represents a hydrogen atom, an acryloyl group, a methacryloyl group, or a carboxyl group, respectively.
In General Formula (i), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 3 or 4, m represents an integer of 0 to 10, respectively, and the total of each m is an integer of 1 to 40.
In General Formula (ii), the total number of acryloyl groups and methacryloyl groups is 5 or 6, n each represents an integer of 0 to 10, and the total of each n is an integer of 1 to 60]
(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 5~12질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 1,
(a) A colored radiation-sensitive composition, wherein the content of the acrylic polymer having a polymerizable group is 5 to 12% by mass of all polymer components.
(e) 착색제는 적색, 마젠타색, 황색, 청색, 시안색 및 녹색으로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 1,
(e) The coloring radiation-sensitive composition, characterized in that the coloring agent is at least one selected from red, magenta, yellow, blue, cyan and green.
(d) 중합 개시제는 옥심계 화합물인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method according to claim 1 or 2,
(d) The polymerization initiator is an oxime-based compound, characterized in that the colored radiation-sensitive composition.
(c) 3개 이상의 에틸렌성 불포화 2중 결합을 갖는 모노머의 함유량은 상기 착색 감방사선성 조성물 중의 전체 고형분의 15~50질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method according to claim 1 or 2,
(c) A colored radiation-sensitive composition, wherein the content of the monomer having three or more ethylenically unsaturated double bonds is 15 to 50% by mass of the total solid content in the colored radiation-sensitive composition.
(b) 중합성 기를 갖지 않는 폴리머로서 알칼리 가용성 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method according to claim 1 or 2,
(b) A colored radiation-sensitive composition comprising an alkali-soluble resin as a polymer having no polymerizable group.
전체 폴리머 성분의 함유량은 상기 착색 감방사선성 조성물 중의 전체 고형분의 10~50질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method according to claim 1 or 2,
The colored radiation-sensitive composition, wherein the content of all polymer components is 10 to 50% by mass of the total solid content in the colored radiation-sensitive composition.
(e) 착색제는 적색, 마젠타색, 황색, 청색, 시안색 및 녹색으로부터 선택되는 적어도 1종인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 2,
(e) The coloring radiation-sensitive composition, characterized in that the coloring agent is at least one selected from red, magenta, yellow, blue, cyan and green.
(a) 중합성 기를 갖는 아크릴계 폴리머의 함유량은 전체 폴리머 성분의 5~9질량%인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 1,
(a) The colored radiation-sensitive composition, wherein the content of the acrylic polymer having a polymerizable group is 5 to 9% by mass of all polymer components.
(e) 착색제는 유채색 색제인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 1,
(e) The colored radiation-sensitive composition, characterized in that the colorant is a chromatic colorant.
유채색 색제의 함유량은 상기 착색 감방사선성 조성물의 전체 고형분 중 10질량% 이상인 것을 특징으로 하는 착색 감방사선성 조성물.The method of claim 26,
The colored radiation-sensitive composition, wherein the content of the chromatic colorant is 10% by mass or more with respect to the total solid content of the colored radiation-sensitive composition.
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