KR101036700B1 - Vacuume sealing apparauts - Google Patents

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오상준
안중호
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안동대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 진공 밀폐 장치를 제공한다. 이 장치는 관통홀(32)을 포함하는 플랜지(30)의 상기 관통홀(32)에 삽입되고 돌출부(12)을 포함하는 전극봉(10), 상기 전극봉(10)을 감싸고 상기 관통홀(32)의 내부에 삽입되는 제1 절연 실리더부(22), 상기 플랜지(30) 상에 배치되는 제1 절연 와셔부(26), 및 상기 제1 절연 와셔부(26)와 상기 제1 절연 실린더부(24)가 접촉하는 영역에 배치된 함몰된 실링 턱(24)을 포함하는 제1 절연 스페이서부(20), 상기 제1 절연 스페이서부(20) 상에 배치되는 제2 절연 와셔부(42)를 포함하는 제2 절연 스페이서부(40), 상기 제2 절연 스페이서부(40) 상에 배치되는 금속 와셔부(50), 상기 제1 절연 실린더부(22)와 상기 제1 절연 와셔부(24)의 경계면 주위의 상기 플랜지(30) 상에 배치되는 제1 리듐 와이어 링(80), 및 상기 실링 턱(24)과 상기 돌출부(12) 사이에 배치되는 제2 리듐 와이어 링(70)을 포함한다.The present invention provides a vacuum closure device. The device is inserted into the through hole 32 of the flange 30 including the through hole 32, the electrode rod 10 including the projection 12, the electrode rod 10 wraps around the through hole 32 A first insulating cylinder part 22 inserted into the inner part, a first insulating washer part 26 disposed on the flange 30, and the first insulating washer part 26 and the first insulating cylinder part. A first insulating spacer portion 20 including a recessed sealing jaw 24 disposed in an area in which the 24 contacts, and a second insulating washer portion 42 disposed on the first insulating spacer portion 20. A second insulating spacer portion 40, a metal washer portion 50 disposed on the second insulating spacer portion 40, the first insulating cylinder portion 22, and the first insulating washer portion 24. A first lithium wire ring 80 disposed on the flange 30 around the boundary surface of the < RTI ID = 0.0 >), < / RTI > and a second lithium wire ring 70 disposed between the sealing jaw 24 and the protrusion 12. The.

리듐 와이어 링, 진공 밀폐, 극저온 Iridium wiring, vacuum seal, cryogenic

Description

진공 밀폐 장치{VACUUME SEALING APPARAUTS}Vacuum sealing device {VACUUME SEALING APPARAUTS}

본 발명은 진공 밀폐 장치에 관한 것이다. 더 구체적으로, 극저온의 진공 밀폐 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum sealing device. More specifically, it relates to a cryogenic vacuum sealing device.

통상적인 진공 밀폐 장치는 구리 가스켓(Cupper Gasket)이나 오링(O-ring)을 사용한다. 그러나, 영하 200 도 이하의 극저온에서 통상적인 진공 밀폐 장치는 사용될 수 없다. 구리 가스켓은 열팽창률 차이에 의하여 극저온에서 사용될 수 없으며, 오링은 극저온에서 깨지기 쉽다.Conventional vacuum seal devices use copper gaskets or O-rings. However, at cryogenic temperatures below minus 200 degrees, conventional vacuum seal devices cannot be used. Copper gaskets cannot be used at cryogenic temperatures due to differences in thermal expansion rates, and O-rings are fragile at cryogenic temperatures.

본 발명이 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 극저온에서 사용가능한 진공 밀폐 장치를 제공하는 것이다.One technical problem to be solved by the present invention is to provide a vacuum sealing device that can be used at cryogenic temperatures.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 밀폐 장치는 관통홀(32)을 포함하는 플랜지(30)의 상기 관통홀(32)에 삽입되고 돌출부(12)을 포함하는 전극봉(10), 상기 전극봉(10)을 감싸고 상기 관통홀(32)의 내부에 삽입되는 제1 절연 실리더부(22), 상기 플랜지(30) 상에 배치되는 제1 절연 와셔부(26), 및 상기 제1 절연 와셔부(26)와 상기 제1 절연 실린더부(22)가 접촉하는 영역에 배치된 함몰된 실링 턱(24)을 포함하는 제1 절연 스페이서부(20), 상기 제1 절연 스페이서부(20) 상에 배치되는 제2 절연 와셔부(42)를 포함하는 제2 절연 스페이서부(40), 상기 제2 절연 스페이서부(40) 상에 배치되는 금속 와셔부(50), 상기 제1 절연 실린더부(22)와 상기 제1 절연 와셔부(24)의 경계면 주위의 상기 플랜지(30) 상에 배치되는 제1 리듐 와이어 링(80), 및 상기 실링 턱(24)과 상기 돌출부(12)에 배치되는 제2 리듐 와이어 링(70)을 포함한다.Vacuum sealing apparatus according to an embodiment of the present invention is inserted into the through hole 32 of the flange 30 including the through hole 32 and the electrode rod 10 including the protrusion 12, the electrode rod 10 ), A first insulating cylinder part 22 inserted into the through hole 32, a first insulating washer part 26 disposed on the flange 30, and the first insulating washer part ( A first insulating spacer portion 20 including a recessed sealing jaw 24 disposed in an area in which the first insulating cylinder portion 22 is in contact with the first insulating cylinder portion 22, and disposed on the first insulating spacer portion 20. A second insulating spacer part 40 including a second insulating washer part 42, a metal washer part 50 disposed on the second insulating spacer part 40, and the first insulating cylinder part 22. And a first lithium wire ring 80 disposed on the flange 30 around the boundary of the first insulating washer portion 24, and the sealing jaw 24 and the protrusion 12. Includes a second lithium wire ring 70.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 상기 실링 턱에 배치될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the protrusion may be disposed on the sealing jaw.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 리듐 와이어 링에 압력을 인가하여 상기 플랜지와 상기 제1 절연 스페이서를 실링하고, 상기 제2 리듐 와어어 링에 압 력을 인가하여 상기 전극봉과 상기 제1 절연 스페이서를 실링하는 가압부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, by applying pressure to the first lithium wire ring to seal the flange and the first insulating spacer, and applying pressure to the second lithium wire ring, the electrode and the first 1 may further include a pressing unit for sealing the insulating spacer.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 리튬 와이어 링 및 상기 제2 리튬 와이어 링은 절단된 리듐 와이어의 양단을 서로 연결하여 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first lithium wire ring and the second lithium wire ring may be formed by connecting both ends of the cut lithium wire.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 절연 스페이서 및 상기 제2 절연 스페이서는 유리섬유강화플라스틱일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first insulating spacer and the second insulating spacer may be glass fiber reinforced plastic.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 절연 스페이서부는 상기 전극 봉의 둘레에 배치되는 제2 절연 실린더부를 더 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the second insulating spacer portion may further include a second insulating cylinder portion disposed around the electrode rod.

본 발명의 일 실시예에 따른 진공 밀폐 장치는 영하 200 도 이하의 극저온에서 사용 가능한 진공 밀폐 장치를 제공한다. 상기 진공 밀폐 장치는 일회용의 리듐 와이어를 사용하여 전극에 전류 또는 전압을 제공할 수 있다. 상기 진공 밀폐 장치는 진공을 요하는 초전도 응용 부품의 전기적 특성을 측정하기 위하여 사용될 수 있다.Vacuum sealing device according to an embodiment of the present invention provides a vacuum sealing device that can be used at cryogenic temperatures below minus 200 degrees. The vacuum sealing device can use a disposable lithium wire to provide current or voltage to the electrode. The vacuum closure device can be used to measure the electrical properties of a superconducting application component requiring a vacuum.

초전도 선재의 응용의 경우에는 실제로 수백 암페어(Ampere)급의 선재가 사용될 수 있다. 실제 응용 환경 하에서의 선재의 특성 분석을 위해서는 초전도 현상이 일어나는 영하 200 도 이하의 극저온에서 각도의 변화가 가능함과 동시에 수백 암페어의 인가전류에 따른 전압의 변화를 측정할 필요가 있다. 상기 초전도 선재는 진공 용기의 내부에 배치되고, 상기 진공 용기는 헬륨 냉매에 삽입될 수 있다. 이 경우, 상기 초전도 선재의 제공되는 전류 또는 전압은 상기 진공 용기를 관통하는 전극을 통하여 제공될 수 있다. 그러나, 통상의 진공 밀폐 장치는 극저온에서 신뢰성을 상실한다.In the case of superconducting wire applications, hundreds of amperes of wire can actually be used. In order to analyze the characteristics of wire rod under the actual application environment, it is necessary to measure the change of voltage according to the applied current of several hundred amps and the change of angle at cryogenic temperature below 200 degrees below which superconductivity occurs. The superconducting wire may be disposed inside the vacuum container, and the vacuum container may be inserted into the helium refrigerant. In this case, the provided current or voltage of the superconducting wire may be provided through an electrode passing through the vacuum vessel. However, conventional vacuum seal devices lose reliability at cryogenic temperatures.

첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소들은 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure may be made thorough and complete, and to fully convey the spirit of the invention to those skilled in the art. In the drawings, the components are exaggerated for clarity. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 밀폐 장치(100)를 설명하는 단면도 및 사시도이다.1 and 2 are a cross-sectional view and a perspective view illustrating a vacuum sealing device 100 according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 진공 밀폐 장치(100)는 냉각 장치(170)의 내부에 삽입될 수 있다. 상기 냉각 장치(170)는 헬륨 등의 냉매로 채워질 수 있다. 진공 용기(34)는 플랜지(30)를 포함할 수 있다. 상기 진공 용기(34)의 내부는 진공일 수 있다. 상기 진공 용기(34)의 외부는 대기압일 수 있다. 상기 진공 용기(34)의 내부에 시료(미도시)가 배치될 수 있다.1 and 2, the vacuum sealing device 100 may be inserted into the cooling device 170. The cooling device 170 may be filled with a refrigerant such as helium. The vacuum vessel 34 may include a flange 30. The interior of the vacuum vessel 34 may be a vacuum. The outside of the vacuum vessel 34 may be atmospheric pressure. A sample (not shown) may be disposed in the vacuum container 34.

상기 진공 밀폐 장치(100)는 진공을 유지하는 내측(inside)과 대기압을 유지하는 외측(outside) 사이에 진공을 유지하면서, 상기 플랜지(30)와 전극봉(10)을 전기적으로 절연하는 수단일 수 있다. 상기 플랜지(30)는 암나사(38)를 포함할 수 있다. 상기 플랜지(30)는 관통홀(32)을 포함할 수 있다. 상기 암나사(38)는 상기 관통홀(32) 주위에 규칙적으로 배치될 수 있다. 상기 암나사(38)는 상기 플랜지(30)를 관통하지 않는다.The vacuum sealing device 100 may be a means for electrically insulating the flange 30 and the electrode 10 while maintaining a vacuum between an inside for maintaining a vacuum and an outside for maintaining an atmospheric pressure. have. The flange 30 may include a female thread 38. The flange 30 may include a through hole 32. The female screw 38 may be regularly arranged around the through hole 32. The female thread 38 does not penetrate the flange 30.

전극봉(10)은 상기 관통홀(32)에 삽입될 수 있다. 상기 전극봉(10)은 돌출부(12)을 포함할 수 있다. 상기 돌출부(12)는 와셔 형태일 수 있다. 상기 전극봉(10)과 상기 돌출부(12)는 한 몸체일 수 있다. 상기 전극봉(10)은 구리일 수 있다. The electrode rod 10 may be inserted into the through hole 32. The electrode rod 10 may include a protrusion 12. The protrusion 12 may be in the form of a washer. The electrode 10 and the protrusion 12 may be one body. The electrode rod 10 may be copper.

제1 절연 스페이서부(20)는 상기 전극봉(10)을 감싸고 상기 관통홀(32)의 내부에 삽입되는 제1 절연 실리더부(22), 상기 플랜지(30) 상에 배치되는 제1 절연 와셔부(26), 및 상기 제1 절연 와셔부(26)와 상기 제1 절연 실린더부(22)가 접촉하는 영역에 배치된 함몰된 실링(sealing) 턱(24)을 포함한다. 상기 제1 절연 실린더부(22)는 원통 형상일 수 있다. 상기 제1 절연 실린더부(22)의 내경은 상기 전극봉(10)의 외경과 실질적으로 같을 수 있다. 상기 제1 절연 와셔부(26)는 와셔 형태일 수 있다. 상기 실링 턱(24)에 상기 돌출부(12)가 배치될 수 있다. 상기 돌출부(12)의 두께(t)는 상기 실링 턱(24)의 높이(h)와 실질적으로 동일할 수 있다. 상기 실링 턱(24)의 직경(D)은 상기 돌출부(12)의 외경(d)보다 클 수 있다. 상기 제1 절연 스페이서부(20)는 절연체일 수 있다. 상기 제1 절연 스페이서부(20)는 유리섬유강화플라스틱일 수 있다. 상기 제1 절연 와셔부(26)와 상기 제1 절연 실린더부(22)는 일체형일 수 있다. 상기 제1 절연 스페이서부(20)는 제1 절연 스페이서 관통홀(28)을 포함할 수 있다. 상기 제1 절연 스페이서 관통홀(28)은 상기 암나사(38)와 정렬될 수 있다.The first insulating spacer 20 surrounds the electrode 10 and the first insulating cylinder 22 inserted into the through hole 32 and the first insulating washer disposed on the flange 30. A portion 26 and a recessed sealing jaw 24 disposed in an area where the first insulating washer portion 26 and the first insulating cylinder portion 22 contact each other. The first insulating cylinder part 22 may have a cylindrical shape. The inner diameter of the first insulating cylinder 22 may be substantially the same as the outer diameter of the electrode 10. The first insulating washer 26 may be in the form of a washer. The protrusion 12 may be disposed on the sealing jaw 24. The thickness t of the protrusion 12 may be substantially the same as the height h of the sealing jaw 24. The diameter D of the sealing jaw 24 may be larger than the outer diameter d of the protrusion 12. The first insulating spacer 20 may be an insulator. The first insulating spacer 20 may be glass fiber reinforced plastic. The first insulating washer 26 and the first insulating cylinder 22 may be integrated. The first insulating spacer 20 may include a first insulating spacer through hole 28. The first insulating spacer through hole 28 may be aligned with the female screw 38.

제2 절연 스페이서부(40)는 상기 제1 절연 스페이서부(20) 상에 배치되는 제2 절연 와셔부(42)를 포함한다. 상기 제2 절연 스페이서부(40)는 상기 전극봉(10)의 둘레에 배치되는 제2 절연 실린더부(44)를 더 포함할 수 있다. 상기 제2 절연 실린더부(44)의 내경은 상기 전극봉(10)의 외경과 실질적으로 같을 수 있다. 상기 제2 절연 실린더부(44)는 상기 돌출부(12) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서부(40)는 제2 절연 스페이서 관통홀(48)을 포함할 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서 관통홀(48)은 상기 암나사(38)와 정렬될 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서부(40)는 절연체일 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서부(40)는 유리섬유강화플라스틱일 수 있다. 상기 제2 절연 와셔부(42)와 상기 제2 절연 실린더부(44)는 일체형일 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서부(40)는 제2 절연 스페이서 관통홀(48)을 포함할 수 있다. 상기 제2 절연 스페이서 관통홀(48)은 상기 암나사(38)와 정렬될 수 있다.The second insulating spacer portion 40 includes a second insulating washer portion 42 disposed on the first insulating spacer portion 20. The second insulating spacer part 40 may further include a second insulating cylinder part 44 disposed around the electrode rod 10. The inner diameter of the second insulating cylinder 44 may be substantially the same as the outer diameter of the electrode 10. The second insulating cylinder 44 may be disposed on the protrusion 12. The second insulating spacer part 40 may include a second insulating spacer through hole 48. The second insulating spacer through hole 48 may be aligned with the female screw 38. The second insulating spacer 40 may be an insulator. The second insulating spacer 40 may be glass fiber reinforced plastic. The second insulating washer 42 and the second insulating cylinder 44 may be integrated. The second insulating spacer part 40 may include a second insulating spacer through hole 48. The second insulating spacer through hole 48 may be aligned with the female screw 38.

금속 와셔부(50)는 상기 제2 절연 스페이서부(40) 상에 배치된다. 상기 금속 와셔부(50)의 내경은 상기 제2 절연 스페이서부(40)의 외경보다 클 수 있다. 상기 금속 와셔부(50)의 재질은 금속일 수 있다. 상기 금속 와셔부(50)는 금속 와셔 관통홀(58)을 포함할 수 있다. 상기 금속 와셔 관통홀(58)은 상기 암나사(38)와 정렬될 수 있다. 상기 금속 와셔부(50)는 중심 관통홀(52)을 포함할 수 있다. 상기 중심 관통홀(52)의 직경은 상기 제2 절연 실린더부(44)의 외경보다 크다.The metal washer part 50 is disposed on the second insulating spacer part 40. An inner diameter of the metal washer portion 50 may be larger than an outer diameter of the second insulating spacer portion 40. The material of the metal washer 50 may be a metal. The metal washer 50 may include a metal washer through-hole 58. The metal washer through-hole 58 may be aligned with the female screw 38. The metal washer 50 may include a center through hole 52. The diameter of the center through hole 52 is larger than the outer diameter of the second insulating cylinder portion 44.

제1 리듐 와이어 링(80)은 상기 제1 절연 실린더부(22)와 상기 제1 절연 와 셔부(24)의 경계면 주위의 상기 플랜지(30) 상에 배치된다. 상기 제1 리듐 와이어 링(80)은 리륨 와이어를 절단하고, 절단된 리듐 와이어의 양단을 서로 접합하여 형성할 수 있다. 상기 리튬 와이어는 열 패창율이 적고, 연성이 우수하다. A first lithium wire ring 80 is disposed on the flange 30 around the interface between the first insulating cylinder portion 22 and the first insulating washer portion 24. The first lithium wire ring 80 may be formed by cutting a lithium wire and bonding both ends of the cut lithium wire to each other. The lithium wire has a low thermal peel rate and excellent ductility.

제2 리튬 와이어 링(70)은 상기 실링 턱(24)과 상기 돌출부(12) 사이에 개재될 수 있다.The second lithium wire ring 70 may be interposed between the sealing jaw 24 and the protrusion 12.

가압부(60)는 상기 금속 와셔부(50) 상에 배치될 수 있다. 상기 가압부(60)는 상기 제1 리듐 와이어 링(80)에 압력을 인가하여 상기 플랜지(30)와 상기 제1 절연 스페이서부(20)를 실링할 수 있다. 상기 가압부(60)는 상기 제2 리듐 와어어 링(70)에 압력을 인가하여 상기 전극봉(10)과 상기 제1 절연 스페이서부(20)를 실링할 수 있다. 상기 가압부(60)는 숫나사일 수 있다. 상기 가압부(60)는 상기 제1 절연 스페이서 관통홀(28), 제2 절연 스페이서 관통홀(48), 및 상기 금속 와셔 관통홀(58)을 관통하여 상기 암나사(38)와 나사 결합할 수 있다.The pressing unit 60 may be disposed on the metal washer unit 50. The pressing unit 60 may seal the flange 30 and the first insulating spacer 20 by applying pressure to the first lithium wire ring 80. The pressing unit 60 may seal the electrode rod 10 and the first insulating spacer 20 by applying pressure to the second lithium wire ring 70. The pressing unit 60 may be a male screw. The pressing part 60 may be screwed into the female screw 38 by passing through the first insulating spacer through hole 28, the second insulating spacer through hole 48, and the metal washer through hole 58. have.

상기 제1 리듐 와이어 링(80)은 상기 가압부(60)에 의하여 변형되어 상기 플랜지(30)와 상기 제1 절연 스페이서부(20) 사이의 공간을 채울 수 있다. 이에 따라, 상기 플랜지(30)와 상기 제1 절연 스페이서부(20)는 실링될 수 있다.The first lithium wire ring 80 may be deformed by the pressing part 60 to fill a space between the flange 30 and the first insulating spacer part 20. Accordingly, the flange 30 and the first insulating spacer 20 may be sealed.

상기 제2 리듐 와이러 링(70)은 상기 가압부(60)에 의하여 변형되어 상기 제1 절연 스페이서부(20)와 상기 전극봉(10) 사이의 공간을 채울 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 절연 스페이서부(20)와 상기 제1 전극봉(10)은 실링될 수 있다.The second lithium wire ring 70 may be deformed by the pressing unit 60 to fill a space between the first insulating spacer unit 20 and the electrode rod 10. Accordingly, the first insulating spacer 20 and the first electrode 10 may be sealed.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 리듐 와이어 링을 설명하는 도면들이다.3A and 3B are diagrams illustrating a lithium wire ring according to an embodiment of the present invention.

상기 리듐 와이어 링(70,80)의 단면은 원형일 수 있다. 상기 리듐 와이어 링(70,80)의 단면은 원형에 한정되는 것은 아니다. 상기 리듐 와이어 링(70,80)은 리듐 와이어를 절단하여, 리듐 와이어의 양단을 접착하여 사용할 수 있다. 상기 절단된 리듐와이어 양단은 경사지게 절단될 수 있다. 상기 리듐 와이러 링(70,80)은 일회용일 수 있다. 따라서, 플랜지와 진공 밀폐 장치가 서로 분리된 후, 다시 결합하는 경우, 상기 리듐 와이어 링(70,80)은 교환될 수 있다.Cross sections of the lithium wire rings 70 and 80 may be circular. The cross section of the lithium wire rings 70 and 80 is not limited to a circle. The lithium wire rings 70 and 80 may be used by cutting the lithium wire and bonding both ends of the lithium wire. Both ends of the cut lithium wire may be diagonally cut. The lithium wire ring 70 and 80 may be disposable. Therefore, when the flange and the vacuum sealing device are separated from each other and then refitted, the lithium wire rings 70 and 80 can be exchanged.

이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 예들를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.So far I looked at the center of the preferred embodiment for the present invention. Those skilled in the art will appreciate that the present invention can be implemented in a modified form without departing from the essential features of the present invention. Therefore, the disclosed embodiments should be considered in descriptive sense only and not for purposes of limitation. The scope of the present invention is shown in the claims rather than the foregoing description, and all differences within the scope will be construed as being included in the present invention.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 밀폐 장치(100)를 설명하는 단면도 및 사시도이다.1 and 2 are a cross-sectional view and a perspective view illustrating a vacuum sealing device 100 according to an embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 리듐 와이어 링을 설명하는 사시도들이다.3A and 3B are perspective views illustrating a lithium wire ring according to an embodiment of the present invention.

Claims (6)

관통홀을 포함하는 플랜지의 상기 관통홀에 삽입되고 돌출부을 포함하는 전극봉;An electrode rod inserted into the through hole of the flange including the through hole and including a protrusion; 상기 전극봉을 감싸고 상기 관통홀의 내부에 삽입되는 제1 절연 실리더부, 상기 플랜지 상에 배치되는 제1 절연 와셔부, 및 상기 제1 절연 와셔부와 상기 제1 절연 실린더부가 접촉하는 영역에 배치된 함몰된 실링 턱을 포함하는 제1 절연 스페이서부;A first insulating cylinder part surrounding the electrode rod and inserted into the through hole, a first insulating washer part disposed on the flange, and a region in contact with the first insulating washer part and the first insulating cylinder part; A first insulating spacer portion including a recessed sealing jaw; 상기 제1 절연 스페이서부 상에 배치되는 제2 절연 와셔부를 포함하는 제2 절연 스페이서부;A second insulating spacer part including a second insulating washer part disposed on the first insulating spacer part; 상기 제2 절연 스페이서부 상에 배치되는 금속 와셔부;A metal washer portion disposed on the second insulating spacer portion; 상기 제1 절연 실린더부와 상기 제1 절연 와셔부의 경계면 주위의 상기 플랜지 상에 배치되는 제1 리듐 와이어 링; 및A first lithium wire ring disposed on the flange around an interface between the first insulating cylinder portion and the first insulating washer portion; And 상기 실링 턱과 상기 돌출부 사이에 배치되는 제2 리듐 와이어 링을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 밀폐 장치.And a second lithium wire ring disposed between the sealing jaw and the protrusion. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 돌출부는 상기 실링 턱에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 밀폐 장치.And the protrusion is disposed in the sealing jaw. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 리듐 와이어 링에 압력을 인가하여 상기 플랜지와 상기 제1 절연 스페이서를 실링하고, 상기 제2 리듐 와어어 링에 압력을 인가하여 상기 전극봉과 상기 제1 절연 스페이서를 실링하는 가압부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 밀폐 장치.And a pressurizing part configured to apply pressure to the first lithium wire ring to seal the flange and the first insulating spacer, and to apply pressure to the second lithium wire ring to seal the electrode rod and the first insulating spacer. Vacuum sealing device characterized in that. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 리튬 와이어 링 및 상기 제2 리튬 와이어 링은 절단된 리듐 와이어의 양단을 서로 연결하여 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 밀폐 장치.And the first lithium wire ring and the second lithium wire ring are formed by connecting both ends of the cut lithium wire to each other. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 절연 스페이서 및 상기 제2 절연 스페이서는 유리섬유강화플라스틱인 것을 특징으로 하는 진공 밀폐 장치.And said first insulating spacer and said second insulating spacer are glass fiber reinforced plastics. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제2 절연 스페이서부는 상기 전극 봉의 둘레에 배치되는 제2 절연 실린더부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 밀폐장치.And the second insulating spacer part further comprises a second insulating cylinder part disposed around the electrode rod.
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