KR100973482B1 - 초음파를 이용한 누설 검사 장치 - Google Patents

초음파를 이용한 누설 검사 장치 Download PDF

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KR100973482B1
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Abstract

초음파 발신 유닛을 통해 초음파를 발신시키는 초음파 발생기; 누설 검사 대상물이 안착될 검사 스테이지; 방음 케이스로 제작되고, 상기 검사 스테이지 상에 안착된 상기 검사 대상물이 밀폐되도록 커버하기 위한 검사 하우징; 상기 초음파 발신 유닛을 상기 검사 대상물의 내부로 자동 삽입시키는 자동 삽입 수단; 상기 초음파 발신 유닛에 의해 상기 검사 대상물의 내부에서 발신되어 상기 검사 대상물의 외부로 누설된 초음파를 검출하는 초음파 검출기; 및 상기 초음파 검출기로부터 수신된 검출 결과에 근거하여 상기 검사 대상물의 누설 여부를 판정하는 누설 판정부를 포함하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치가 제공된다.
초음파 발신, 초음파 검출, 누설, 검사.

Description

초음파를 이용한 누설 검사 장치{A leakage inspection apparatus using ultrasonic waves}
본 발명은 누설 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 초음파를 이용한 누설 검사 장치에 관한 것이다.
연료 탱크, 라디에이터(radiator), 가스 실린더 등과 같은 각종 다양한 용기류는 내부로부터의 기체나 액체의 누설(누출) 여부를 검사할 필요가 있다. 건축용이나 설비용 등의 배관류도 위와 동일하게 내부로부터의 기체나 액체의 누설을 검사할 필요가 있다.
종래 기술에 의할 때, 상기와 같은 누설을 검사하기 위한 방법으로서, 용기류 등의 검사 대상물의 주입구를 통해 에어(air) 또는 질소 등의 기체를 주입하고 그 주입구의 뚜껑을 닫은 후, 검사 대상물의 용접부 또는 이음새 등에 점성의 액을 스프레이(spray)하고, 그 용접부 또는 이음새에 거품이 발생하는지를 확인함으로써, 검사 대상물의 누설 여부를 판단하였다.
그러나 상기와 같은 종래의 방법은, 검사 종료 후에 상기 점성의 액을 닦아 내는 등의 번거로운 후속 작업이 요구되며, 미세한 누설의 경우에는 이에 대한 누설 검출이 어렵다는 문제점이 있다. 또한, 상기 누설 검사의 대부분의 과정이 인력에 의한 수작업에 의해야 한다는 문제점이 있다.
본 발명은, 밀폐를 목적으로 하는 대상품의 누설 여부를 검사하기 위한 방법으로서, 상기 누설 여부의 검사 대상물의 내부에 초음파 발신 유닛을 이용하여 일정 주파수의 초음파를 발신하고 그 검사 대상물의 외부에서 상기 초음파가 수신되는지를 검지함으로써, 상기 검사 대상물의 누설(기밀) 여부 또는/및 누설 부위를 판정하는 장치를 제공하고자 한다.
더 나아가, 본 발명은, 상기 초음파를 이용한 누설 검사 방식을 적용함에 있어서, 상기 누설 검사의 프로세스를 자동화시킴으로써 보다 효율적이고도 간편한 누설 검사 시스템의 구현이 가능한 누설 검사 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 이외의 목적들은 하기의 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 초음파 발신 유닛을 통해 초음파를 발신시키는 초음파 발생기; 누설 검사 대상물이 안착될 검사 스테이지; 방음 케이스로 제작되 고, 상기 검사 스테이지 상에 안착된 상기 검사 대상물이 밀폐되도록 커버하기 위한 검사 하우징; 상기 초음파 발신 유닛을 상기 검사 대상물의 내부로 자동 삽입시키는 자동 삽입 수단; 상기 초음파 발신 유닛에 의해 상기 검사 대상물의 내부에서 발신되어 상기 검사 대상물의 외부로 누설된 초음파를 검출하는 초음파 검출기; 및 상기 초음파 검출기로부터 수신된 검출 결과에 근거하여 상기 검사 대상물의 누설 여부를 판정하는 누설 판정부를 포함하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치가 제공된다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 검사 대상물을 상기 검사 스테이지로 이송시키기 위한 이송 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 검사 스테이지 또는 상기 검사 하우징에는 상기 초음파 발신 유닛의 입출(入出)을 위한 홀이 형성되고, 상기 자동 삽입 수단은 상기 홀을 통해서 상기 초음파 발신 유닛을 상기 검사 대상물의 내부로 삽입시킬 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 검사 대상물의 주입구가 상기 검사 스테이지 또는 상기 검사 하우징에 형성된 상기 홀을 향하도록, 상기 검사 대상물의 자세를 고정시키기 위한 고정 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 검사 대상물의 주입구의 위치를 상기 검사 스테이지 또는 상기 검사 하우징에 형성된 상기 홀의 위치에 상응하여 정렬시키는 위치 정렬 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 초음파 발신 유닛이 상기 검사 대상물의 내부에 삽입된 상태에서 상기 검사 대상물의 주입구를 밀폐시키기 위한 밀폐 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치는, 상기 검사 스테이지와 상기 검사 하우징 간의 결합시 밀폐를 확보하기 위해, 상기 검사 스테이지와 상기 검사 하우징 간의 접촉 부위를 따라 형성되는 기밀 확보 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 검사 스테이지 및 상기 검사 하우징 중 적어도 하나를 가압함으로써, 상기 검사 스테이지와 상기 검사 하우징 간을 상기 밀폐 결합시키는 가압 수단을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명의 상기 누설 검사 장치에서의 상기 누설 판정부는, 상기 초음파 검출기로부터 수신된 검출 결과에서 검출 오차에 해당하는 노이즈를 제거하는 노이즈 제거부를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 검출 오차에 해당하는 노이즈는, 상기 검사 대상물의 내부로부터 발신된 초음파가 상기 검사 대상물의 밀폐 상태의 주입구를 통해 상기 검사 대상물의 외부로 누설됨으로써, 상기 초음파 검출기에 의해 검출될 수 있는 오프셋 검출 결과일 수 있다.
본 발명은, 밀폐를 목적으로 하는 대상품의 누설 여부를 검사하기 위한 방법으로서, 상기 누설 여부의 검사 대상물의 내부에 초음파 발신 유닛을 이용하여 일정 주파수의 초음파를 발신하고 그 검사 대상물의 외부에서 상기 초음파가 수신되 는지를 검지함으로써, 상기 검사 대상물의 누설(기밀) 여부 또는/및 누설 부위를 판정하는 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 상기 초음파를 이용한 누설 검사 방식을 적용함에 있어서, 상기 누설 검사의 프로세스를 자동화시킴으로써 보다 효율적이고도 간편한 누설 검사 시스템의 구현이 가능한 효과가 있다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치에 관하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장 치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치(100)는, 초음파 발신 유닛(115)을 가지는 초음파 발생기(110), 검사 스테이지(120), 검사 하우징(125), 초음파 검출기(140-1, 140-2), 누설 판정부(150)를 포함한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 누설 검사 장치(100)는, 자동화된 시스템으로서 작동되기 위하여, 자동 삽입 수단(130), 이송 수단(160), 고정 수단(170), 가압 수단(190), 위치 정렬 수단(미도시)을 더 포함할 수 있다.
초음파 발생기(110)는 누설 검사에 이용될 초음파를 발생시킬 목적으로 구비된다. 초음파 발생기(110)는 누설 검사에 이용될 소정 주파수의 초음파(즉, 20KHz 이상, 예를 들어, 40KHz의 중심 주파수 대역)를 소정 음압 레벨(예를 들어, 100dB 이상)로 발생시킨다. 상기 초음파 발생기(110)는 상기와 같이 발생된 소정 주파수 및 소정 음압 레벨의 초음파를 예를 들어 초음파 스피커 등과 같은 초음파 발신 유닛(115)을 통해 외부로 발신할 수 있다.
상기 초음파 발신 유닛(115)은 누설 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 통해서 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입됨으로써, 초음파 발생기(110)로부터 발생된 초음파를 상기 검사 대상물(10)의 내부에서 발신시킨다.
초음파 검출기(140-1, 140-2)는, 상기 초음파 발신 유닛(115)에 의해 상기 검사 대상물(10)의 내부에서 발신되어 상기 검사 대상물(10)의 외부로 누설된 초음파를 검출할 목적으로 구비된다. 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)는 초음파 마이크, 초음파 센서 등이 이용될 수 있다.
누설 판정부(150)는 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 수신된 초음파 검출 결과에 근거하여 상기 검사 대상물(10)의 누설 여부를 판정한다. 이를 위해, 상기 누설 판정부(150)는 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 상기 검출 결과에 따른 신호를 수신할 수 있도록, 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)와 유선 결합(도 1 및 도 2 참조)될 수 있다. 도면을 통해 구체적으로 도시하지는 않았지만, 상기 누설 판정부(150)는 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 원격에 위치하여 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)와 무선 결합되어 있을 수도 있다.
이하, 상기 초음파 발생기(110), 초음파 검출기(140-1, 140-2), 누설 판정부(150)를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 누설 검사 장치(100)에서의 누설 검사 방법을 전체 프로세스를 중심으로 각 구성부의 장치적 기능과 연계시켜 설명하면 다음과 같다.
먼저, 검사 대상물(10)을 소정의 고정 수단(170)을 이용하여 고정시킨다. 상기 고정 수단(170)은 상기 검사 대상물(10)을 상기 누설 검사를 받기 위한 정확한 위치 및 자세로 고정시키는 역할을 수행한다. 예를 들어, 상기 고정 수단(100)에는 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 삽입 고정시킬 수 있는 소정의 홀이 형성됨으로써, 도 1에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(10)이 주입구(11)가 상기 홀 내에 삽입될 수 있다.
상기와 같이, 고정 수단(170)에 의해 위치 및 자세가 고정된 검사 대상물(10)은 롤러(roller) 등과 같은 이송 수단(160)을 통해, 도 2에서와 같이, 검사 스테이지(120)로 자동 이송된다.
상기와 같이 이송 수단(160)에 의해 상기 검사 대상물(10)이 검사 스테이지(120) 상에 안착되면, 가압 수단(190)의 로드(rod)가 길이 방향(도 2의 (a) 참조)으로 연장됨으로써, 검사 하우징(125)을 아래 방향으로 가압시켜, 상기 검사 하우징(125)이 상기 검사 스테이지(120)와 밀착될 수 있도록 한다.
상기 검사 하우징(125)의 하단면에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 기밀 수단(122b)(예를 들어, 고무 재질의 실링볼 등)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 검사 하우징(125)의 하단면에 위치한 기밀 수단(122b)의 위치에 상응하여, 상기 검사 스테이지(120)에는 소정의 홈(122a)이 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 가압 수단(190)에 의한 가압에 의해 상기 검사 하우징(125)에 형성된 기밀 수단(122b)이 상기 검사 스테이지(120)에 형성된 홈(122a)에 가압 삽입됨으로써, 상기 검사 하우징(125)과 상기 검사 스테이지(120) 간은 도 2에 도시된 바와 같이 기밀 결합이 확보될 수 있다.
여기서, 상기 홈과 상기 기밀 수단의 설치 위치는 위에서와 반대일 수 있다. 즉, 상기 홈이 상기 검사 하우징(125)에 형성되고, 상기 기밀 수단이 상기 검사 스테이지(120) 상에 형성될 수도 있는 것이다.
또한 이때, 상기 검사 하우징(125)은 방음 재질의 케이스로 제작되기 때문에, 상기 검사 하우징(125)과 상기 검사 케이스(120)의 기밀 결합에 의해 생긴 내부 공간(이하, 이를 '검사 공간'이라 함)에서 발생한 음파는 그 외부 공간으로는 전달될 수 없는 상태에 있게 된다.
상기와 같이, 검사 하우징(125)과 검사 스테이지(120) 간의 기밀 결합이 확 보된 상태에서, 상기 초음파 발신 유닛(115)을 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입시킨다. 이를 위해, 상기 검사 스테이지(120)에는 상기 초음파 발신 유닛(115)의 입출(入出)을 위한 홀(121)이 형성될 수 있다. 상기와 같은 홀(121)을 통해서 상기 초음파 발신 유닛(115)은 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 통해서 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기와 같은 초음파 발신 유닛(115)의 삽입은 자동 삽입 수단(130)을 통해서 자동으로 이루어진다. 상기 자동 삽입 수단(130)은 예를 들어 유압 방식, 모터 방식 등을 통해서, 도 1에서와 같은 위치에 있던 상기 초음파 발신 유닛(115)을 도 2에 도시된 바와 같이 상기 검사 스테이지(120)에 형성된 홀(121) 방향(도 2의 (b) 참조)으로 위쪽으로 끌어올림으로써, 상기 초음파 발신 유닛(115)이 상기 홀(121) 및 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 통해서 검사 대상물(10)의 내부로 삽입될 수 있도록 한다.
이때, 상기 자동 삽입 수단(130)에 의해 수직 방향으로 끌어올려진 초음파 발신 유닛(115)이 그대로 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입될 수 있도록 하기 위해서, 본 발명의 일 실시예에 따른 누설 검사 장치(100)에는 위치 정렬 수단(미도시)이 더 포함될 수 있다. 상기 위치 정렬 수단은 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)가 고정 삽입될 고정 수단(170)의 홀과 상기 검사 스테이지(120)의 홀(121) 간을 위치 정렬시키기 위해 구비되는 수단이다. 예를 들어, 상기 위치 정렬 수단은, 상기 검사 대상물(10)이 탑재될 상기 고정 수단(170)의 위치가 상기 검사 스테이지(120) 상의 특정 위치에 올 수 있도록 조절함으로써, 상기 고정 수단(170)에 형성된 홀과 상기 검사 스테이지(120)의 홀(121)의 위치를 정합시킬 수 있다.
상기 초음파 발신 유닛(115)이 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 통해 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입된 경우, 상기 검사 대상물(10)의 내부에서 발신된 초음파가 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 통해 다시 외부로 새어나오지 못하도록, 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)는 밀폐될 필요가 있다. 이를 위해, 도 1 및 도 2를 참조하면, 초음파 발신 유닛(115)이 상기 검사 대상물(10)의 내부로 삽입된 상태에서, 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)를 밀폐시킬 수 있는 밀폐 수단(181)이 더 구비되어 있다. 상기 밀폐 수단(181)을 통해서, 상기 검사 대상물(10)의 내부에서 발신된 초음파는 상기 검사 대상물(10)의 상기 주입구(11)를 통해서는 외부로 새어나올 수 없게 된다.
상기와 같이, 상기와 같이, 검사 하우징(125)과 검사 스테이지(120) 간의 기밀이 확보되고, 상기 초음파 발신 유닛(115)이 상기 검사 대상물(10)의 내부에 삽입된 상태에서 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)의 밀폐가 확보되면, 상기 초음파 발생기(110)는 소정 주파수 및 소정 음압 레벨의 초음파를 상기 초음파 발신 유닛(115)을 통해서 상기 검사 대상물(10)의 내부에 발신시킨다.
이때, 검사 대상물(10)의 내부에서 발신된 초음파가 상기 검사 대상물의 외부에 설치된 초음파 검출기(140-1, 140-2)에서 검출되면, 상기 검사 대상물(10)은 누설된 부위를 갖는 불량품임이 확인될 수 있다.
도 1 및 도 2에 의할 때, 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)는, 일 실시예에 따라, 그 중 하나(140-1)는 상기 검사 하우징(125)에 직접 설치되어 있고, 다른 하 나(140-2)는 통구가 상기 검사 공간에 위치하도록 이어진 관을 통해서 상기 검사 공간 내의 초음파를 검출할 수 있도록 상기 검사 공간 외부에 설치되어 있다.
이와 같이 초음파 검출기의 설치 위치는 상기 검사 공간 내의 초음파를 검출할 수 있는 위치라면 어디에도 위치 가능하다. 다른 예로서, 도 3 및 도 4의 경우, 초음파 검출기(240-1, 240-2)는 상기 검사 공간 내에 삽입된 형태로 설치되어 있다. 도 1 내지 도 4에서는 상기 초음파 검출기를 각각 2개씩 구비한 경우를 도시하였지만, 이는 일 예에 불과하며, 상기 초음파 검출기의 구비 개수는 장치 설계 사양에 따라 달라질 수 있음은 자명하다.
또한, 상기 초음파 검출기의 구비 위치를 변경할 수 있도록 설치(예를 들어, 상기 초음파 검출기를 상하좌우로 위치 이동시킬 수 있도록 설치)하는 경우에는, 상기 검사 대상물(10)의 누설 여부 외에도 누설 부위까지도 확인 가능할 수 있다.
도 2에서, 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 검출된 검출 결과는 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)와 유선 결합된 누설 판정부(150)로 전송된다. 이에 따라 누설 판정부(150)는 상기 수신된 검출 결과에 근거하여 상기 검사 대상물(10)의 누설 여부를 판정할 수 있다.
이때, 누설 판정부(150)는, 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 검출된 초음파(즉, 초음파 발신 유닛(115)으로부터 발신된 것과 동일한 주파수의 초음파)가 존재하는지 여부를 가지고 상기 검사 대상물(10)의 누설 여부를 판단할 수도 있지만, 검사 오차를 제거하기 위한 판정 방법을 이용할 수도 있다.
예를 들어, 상기 검사 대상물(10)에 누설된 부위가 존재하지 않는 때에도, 경우에 따라서, 검사 오차에 의한 노이즈(즉, 상기 소정 주파수의 초음파)가 상기 초음파 검출기(140-1, 140-2)로부터 검출되는 경우가 존재할 수 있다.
상기 밀폐 수단(181)을 통해서 상기 검사 대상물(10)의 주입구(11)의 밀폐가 확보되어 있기는 하나, 극소량의 초음파가 상기 주입구(11)를 통해서 새어나오는 경우가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 검사 오차에 해당하는 오프셋 검출 결과를 미리 측정해둔 후, 실제 검출 결과에 상기 오프셋 검출 결과를 반영시켜, 상기 오프셋 검출 결과(즉, 노이즈) 이상의 초음파가 검출된 경우에만 검사 대상물(10)에 실제 누설이 발생한 것으로 판단하는 방법이 이용될 수 있다.
이상에서는, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치(100)를 설명하였다. 이하에서는, 상기 도 1 및 도 2에서와는 다른 장치적 구조를 갖는 누설 검사 장치(200)에 대하여 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
다만, 도 3 및 도 4에 도시된 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치(200)도 그 기능적인 측면에서 볼 때에는 앞선 실시예에서와 대동소이한 바, 이하, 앞서 설명한 도 1 및 도 2에서와 동일하거나 중복되는 내용에 관한 설명은 생략하고, 양자의 구조상의 차이점을 중심으로 설명하고자 한다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 누설 검사 장치(200)는, 초음파 발신 유닛(215)을 가지는 초음파 발생기(210), 검사 스테이지(220), 검사 하우징(225), 초음파 검출기(240-1, 240-2), 누설 판정부(250)을 포함한다. 또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 누설 검사 장치(200)는, 자동화된 시스템으로서 작동되기 위하여, 이송 수단(260), 고정 수단(270), 가압 수단(290)을 포함한다. 또한, 도면을 통해 구체적으로 도시하지 않았지만, 도 1 및 도 2에서 설명한 바와 같은, 위치 정렬 수단(미도시) 및 자동 삽입 수단(미도시)이 포함될 수 있음은 물론이다.
또한, 검사 공간의 기밀을 확보하기 위한 수단들로서, 상기 검사 스테이지(220)와 상기 검사 하우징(225) 간을 밀폐시키기 위한 수단으로서, 상기 검사 스테이지(220)에 형성되는 홈(222a)과 상기 검사 하우징(225)의 하단면에 형성되는 기밀 수단(222b), 그리고 상기 검사 대상물(20)의 주입구(21)를 밀폐시킬 목적으로 구비되는 밀폐 수단(281)이 더 포함될 수 있다.
이상의 구성 및 그 구성의 역할 및 기능은 앞선 실시예(도 1 및 도 2 참조)에서와 대동소이하다.
다만, 도 1 및 도 2에서, 초음파 발신 유닛(115)은 검사 스테이지(120)에 형성된 홀(121)을 통해서 검사 대상물(10)의 내부로 삽입되었던 반면, 도 3 및 도 4의 경우, 초음파 발신 유닛(215)은 검사 하우징(225)의 특정 케이스 면을 관통하여 설치된 상태로 구비됨으로써 검사 대상물(20)의 내부로 삽입되고 있다.
상기와 같은 차이는, 검사 대상물의 주입구가 어느 방향에 형성되어 있는지에 따라 결정된다. 예를 들어, 도 1 및 도 2의 경우, 검사 대상물(10)의 주입 구(11)가 아래 방향으로 위치하도록 고정 수단(170)에 삽입 고정시키는 것이 보다 적절한 경우였으므로, 이에 상응하여 검사 스테이지(120)에 홀(121)을 형성해두고 그 홀(121)을 통해 상기 초음파 발신 유닛(115)을 삽입시켰었다. 이에 반해, 도 3 및 도 4의 경우, 검사 대상물(20)의 주입구(21)가 측면 방향으로 위치하도록 고정구(271, 272)를 통해서 고정 수단(270)에 고정시키는 것이 보다 적절한 경우에 해당하므로, 그 측면 방향에 위치한 주입구(21)에 상응하도록 상기 검사 하우징(225)의 특정 케이스 면을 관통시켜 상기 초음파 발신 유닛(215)을 삽입시키고 있는 것이다.
또한, 도 3 및 도 4의 경우, 앞선 실시예(도 1 및 도 2)에서와 달리, 상기 검사 하우징(225) 자체를 움직이기 어려운 장치적 구조를 고려하여, 상기 검사 스테이지(220)를 가압 수단(290)을 통해서 위쪽 방향(도 4의 (a) 참조)으로 상승시킴으로써, 상기 검사 하우징(225)과 상기 검사 스테이지(220) 간의 기밀을 확보하고 있음을 확인할 수 있다.
위와 같이, 본 발명의 누설 검사 장치는 검사 대상물의 형상, 부피, 주입구의 방향 등을 고려하여 또한, 장치 구성의 최적의 형태를 고려하여, 그 구조가 적절히 변경될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 2가지 실시예들(도 1 및 도 2, 도 3 및 도 4)을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 초음파를 이용한 누설 검사 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100, 200 : 누설 검사 장치
110, 210 : 초음파 발생기
115, 215 : 초음파 발신 유닛
120, 220 : 검사 스테이지
125, 225 : 검사 하우징
140, 240 : 초음파 검출기
150, 250 : 누설 판정부

Claims (4)

  1. 초음파 발신 유닛을 통해 초음파를 발신시키는 초음파 발생기;
    누설 검사 대상물이 안착될 검사 스테이지;
    방음 케이스로 제작되고, 상기 검사 스테이지 상에 안착된 상기 검사 대상물이 밀폐되도록 커버하기 위한 검사 하우징;
    상기 초음파 발신 유닛을 상기 검사 대상물의 내부로 자동 삽입시키는 자동 삽입 수단;
    상기 초음파 발신 유닛에 의해 상기 검사 대상물의 내부에서 발신되어 상기 검사 대상물의 외부로 누설된 초음파를 검출하는 초음파 검출기;
    상기 초음파 검출기로부터 수신된 검출 결과에 근거하여 상기 검사 대상물의 누설 여부를 판정하는 누설 판정부;
    상기 검사 스테이지와 상기 검사 하우징 간의 결합시 밀폐를 확보하기 위해, 상기 검사 스테이지와 상기 검사 하우징 간의 접촉 부위를 따라 상기 검사 스테이지 및 상기 검사 하우징 중 어느 하나에 형성되는 기밀 수단과, 상기 검사 스테이지 및 상기 검사 하우징 중 다른 하나에 상기 기밀 수단이 형성된 위치에 대응되어 형성됨으로써 상기 기밀 수단이 가압 삽입될 수 있도록 하는 홈을 포함하는 기밀 확보 수단; 및
    상기 초음파 발신 유닛이 상기 검사 대상물의 내부에 삽입된 상태에서 상기 검사 대상물의 주입구를 밀폐시키기 위한 밀폐 수단
    을 포함하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검사 대상물을 상기 검사 스테이지로 이송시키기 위한 이송 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사 스테이지 또는 상기 검사 하우징에는 상기 초음파 발신 유닛의 입출(入出)을 위한 홀이 형성되고,
    상기 자동 삽입 수단은 상기 홀을 통해서 상기 초음파 발신 유닛을 상기 검사 대상물의 내부로 삽입시키는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 누설 판정부는, 상기 초음파 검출기로부터 수신된 검출 결과에서 검출 오차에 해당하는 노이즈를 제거하는 노이즈 제거부를 포함하되,
    상기 검출 오차에 해당하는 노이즈는, 상기 검사 대상물의 내부로부터 발신된 초음파가 상기 검사 대상물의 밀폐 상태의 주입구를 통해 상기 검사 대상물의 외부로 누설됨으로써, 상기 초음파 검출기에 의해 검출될 수 있는 오프셋 검출 결과인 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 누설 검사 장치.
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