KR100528706B1 - Tray Transfer for Semi-conductor Test Handler - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것으로, 트레이를 이송하는 과정에서 반도체 소자가 뒤집어지거나 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 것이다. The present invention relates to a tray transfer apparatus of a semiconductor device test handler, and to prevent the semiconductor device from being flipped or detached during the tray transfer.
이를 위해 본 발명은, 핸들러 본체에 선형 운동 장치에 의해 이동가능하게 설치되어 복수개의 반도체 소자가 안착된 트레이를 핸들러 본체의 일측에서 타측으로 이송하여 주는 트레이 이송장치에 있어서, 핸들러 본체에 선형 이동 가능하게 설치된 가동판과; 상기 가동판에 측방으로 신축 가능하게 설치되어 상기 가동판의 아래쪽에서 트레이의 양측부를 고정 및 해제하는 한 쌍의 그립퍼와; 상기 그립퍼를 좌우로 신축시키기 위한 구동수단과; 상기 가동판 하부에 탄력적으로 설치되어, 상기 그립퍼에 트레이가 고정되었을 때 트레이 상에 안착된 각 반도체 소자를 아래쪽으로 탄성적으로 가압하여 주는 가압부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.To this end, the present invention, in the tray transfer device which is installed to be moved by the linear motion device in the handler body to transfer the tray on which the plurality of semiconductor elements are seated from one side of the handler body to the other side, the linear movement to the handler body And movable plate installed; A pair of grippers installed on the movable plate so as to be stretchable laterally and fixing and releasing both sides of the tray under the movable plate; Drive means for stretching the gripper from side to side; And a pressing member elastically installed under the movable plate to elastically press each semiconductor element seated on the tray downward when the tray is fixed to the gripper. Provide a tray feeder.
Description
본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 트레이를 이송하는 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 소자를 수납하는 트레이를 핸들러 베이스 내의 일측 스택커 위치에서 타측 스택커 위치로 이송할 때 트레이 상의 반도체 소자를 안정적으로 지지하여 줄 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for transporting a tray in a handler for testing a semiconductor device, and more particularly, to stably transport a semiconductor device on a tray when a tray containing a semiconductor device is transported from one stacker position to another stacker position in a handler base. The present invention relates to a tray feeder of a semiconductor device test handler which can be supported.
일반적으로, 생산라인에서 생산 완료된 반도체 소자들은 출하전에 양품인지 혹은 불량품인지의 여부를 판별하기 위한 테스트를 거치게 되는 바, 핸들러는 이러한 반도체 소자들을 테스트하는데 이용되는 장비로서, 반도체 소자 이송장치를 사용하여 트레이에 담겨진 반도체 소자를 공정간에 자동으로 이송시키면서 테스트사이트의 테스트소켓에 이들을 장착하여 원하는 테스트를 실시한 후 테스트 결과에 따라 여러 등급으로 분류하여 다시 트레이에 언로딩하는 과정을 순차적으로 반복 수행하며 테스트를 실행하도록 된 장비이다.In general, the semiconductor devices produced in the production line are tested to determine whether they are good or defective before shipping, and the handler is a device used to test these semiconductor devices. The semiconductor devices contained in the trays are automatically transferred between processes, mounted on the test sockets of the test site, the desired tests are carried out, and the tests are performed by sequentially classifying the classes into different grades and unloading them again. It's the equipment that is supposed to run.
첨부된 도면의 도 1을 참조하여, 핸들러에서 이루어지는 테스트과정에 대해 좀 더 구체적으로 설명하면, 핸들러의 베이스(1) 하부에 설치된 로딩스택커(5)에 테스트할 반도체 소자를 수납하는 트레이(T)들을 적재하고, 로딩스택커(5)의 일측에 설치된 언로딩스택커(6)에는 테스트 완료된 반도체 소자를 수납하게 되는 빈 트레이(T)들을 적재한 후 핸들러를 가동시키면, 소자 이송장치(8a, 8b)가 로딩부(2)로 이송되어 놓여진 트레이(T)에서 반도체 소자들을 픽업하여 핸들러 후방의 테스트 사이트(미도시)로 공급하고, 테스트 사이트에서는 인덱스장치(미도시)가 공급된 반도체 소자들을 테스트소켓(미도시)으로 이송하여 전기적으로 접속시킴으로써 소정의 테스트를 수행한다. Referring to FIG. 1 of the accompanying drawings, the test process performed in the handler will be described in more detail. The tray T for accommodating the semiconductor device to be tested in the loading stacker 5 installed under the base 1 of the handler T ), The unloading stacker 6 installed on one side of the loading stacker 5 is loaded with empty trays T for storing the tested semiconductor elements, and then the handler is operated. , 8b) picks up the semiconductor devices from the tray T transported to the loading unit 2 and supplies them to a test site (not shown) behind the handler, and at the test site, an index device (not shown) is supplied. These tests are carried out by transferring them to a test socket (not shown) and electrically connecting them.
테스트소켓에서 테스트 완료된 반도체 소자들은 소자 이송장치(8a, 8b)에 의해 픽업되어 언로딩부(3)에 위치된 트레이(T)에 테스트 결과별로 분류되어 재수납된다. The semiconductor devices tested in the test sockets are picked up by the device transfer devices 8a and 8b and sorted by the test results in the tray T located in the unloading unit 3 for re-storage.
한편, 상기 로딩스택커(5)와 언로딩스택커(6)의 바로 상측에는 트레이(T)들을 픽업하여 이송하여 주는 트레이 이송장치(9)가 수평이동하도록 설치되어 있다. 상기 트레이 이송장치(9)들은 로딩스택커(5)와 언로딩스택커(6)의 트레이(T)들을 픽업하여 상측의 로딩부(2)와 언로딩부(3)에 설치된 승강판(4)으로 공급함과 더불어, 로딩부(2)에서 반도체 소자가 모두 이송되어 빈 트레이(T)들을 로딩스택커(5) 일측에 마련된 트레이 스택커(7)로 이송하여 적재하여 주는 역할을 수행한다.On the other hand, just above the loading stacker 5 and the unloading stacker 6, a tray feeder 9 for picking up and transporting the trays T is installed to move horizontally. The tray conveying apparatuses 9 pick up the trays T of the loading stacker 5 and the unloading stacker 6, and the elevating plate 4 installed at the upper loading part 2 and the unloading part 3. In addition to supplying), all of the semiconductor elements are transferred from the loading unit 2 to transfer and load the empty trays T into the tray stacker 7 provided on one side of the loading stacker 5.
최근에는 반도체 소자들이 더욱 고밀도화되고 고집적화됨에 따라 반도체 소자의 크기가 매우 작아지는 추세에 있다. Recently, as semiconductor devices become more dense and highly integrated, the size of semiconductor devices tends to be very small.
그런데, 종래의 핸들러에서 상기와 같이 매우 작은 반도체 소자들을 테스트할 경우, 트레이 이송장치는 매우 빠른 속도로 트레이를 이송하기 때문에 트레이를 이송하는 과정에서 반도체 소자들이 충격이나 관성력 등에 의해 뒤집어지거나 제 위치에서 이탈하게 되는 문제가 종종 발생한다. However, when testing a very small semiconductor device as described above in the conventional handler, because the tray feeder transfers the tray at a very high speed, the semiconductor elements are turned upside down due to impact or inertia, etc. Problems often arise.
이 경우, 반도체 소자가 소자 이송장치에 제대로 흡착되지 않게 되므로 에러가 발생하게 되고, 핸들러의 가동이 중지되어 테스트 생산성이 저하되는 문제가 있다. In this case, since the semiconductor element is not properly adsorbed by the element transfer device, an error occurs, and the operation of the handler is stopped, which causes a problem in that test productivity is lowered.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 트레이를 이송할 때 트레이 상의 반도체 소자를 안정적으로 지지하여 줌으로써 트레이를 이송하는 과정에서 반도체 소자가 뒤집어지거나 이탈되는 것을 방지할 수 있도록 한 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, by stably supporting the semiconductor device on the tray when the tray is transported to prevent the semiconductor device from being flipped or detached in the process of transporting the tray. It is an object of the present invention to provide a tray feeder of a semiconductor device test handler.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 핸들러 본체에 선형 운동 장치에 의해 이동가능하게 설치되어 복수개의 반도체 소자가 안착된 트레이를 핸들러 본체의 일측에서 타측으로 이송하여 주는 트레이 이송장치에 있어서, 핸들러 본체에 선형 이동 가능하게 설치된 가동판과; 상기 가동판에 측방으로 신축 가능하게 설치되어 상기 가동판의 아래쪽에서 트레이의 양측부를 고정 및 해제하는 한 쌍의 그립퍼와; 상기 그립퍼를 좌우로 신축시키기 위한 구동수단과; 상기 가동판 하부에 탄력적으로 설치되어, 상기 그립퍼에 트레이가 고정되었을 때 트레이 상에 안착된 각 반도체 소자를 아래쪽으로 탄성적으로 가압하여 주는 가압부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치를 제공한다.In the present invention for achieving the above object, in the tray transfer apparatus is installed in the handler body to be movable by a linear motion device to transfer the tray on which the plurality of semiconductor elements are seated from one side of the handler body to the other side, A movable plate mounted to the handler body so as to be linearly movable; A pair of grippers installed on the movable plate so as to be stretchable laterally and fixing and releasing both sides of the tray under the movable plate; Drive means for stretching the gripper from side to side; And a pressing member elastically installed under the movable plate to elastically press each semiconductor element seated on the tray downward when the tray is fixed to the gripper. Provide a tray feeder.
이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 테스트 핸들러의 트레이 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of a tray transfer apparatus of a semiconductor device test handler according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2와 도 3은 발명에 따른 트레이 이송장치(90)의 구조를 상세히 나타내는 도면으로, 핸들러의 로딩스택커(5)(도 1참조) 및 언로딩스택커(6)(도 1참조)의 바로 상측에 볼스크류와 같은 선형 운동 시스템에 의해 좌우 및 상하로 수평하게 이동가능하도록 가동판(91)이 설치되고, 상기 가동판(91)의 양측에는 좌우로 벌어졌다 오므려졌다하면서 트레이의 양측면부를 홀딩 및 해제하도록 한 쌍의 그립퍼(92a, 92b)가 좌우로 이동가능하게 대향 설치된다. 2 and 3 are views showing in detail the structure of the tray conveying apparatus 90 according to the invention, the loading stacker 5 (see FIG. 1) and the unloading stacker 6 (see FIG. 1) of the handler. The movable plate 91 is installed on the upper side so as to be movable horizontally horizontally from side to side and up and down by a linear motion system such as a ball screw, and both sides of the tray are opened and retracted from both sides of the movable plate 91, respectively. A pair of grippers 92a and 92b are provided so as to be movable left and right so as to hold and release a part.
그리고, 상기 가동판(91)의 상부면에는 상기 각 그립퍼(92a, 92b)를 동시에 좌우로 이동시키기 위한 공압실린더(93)가 설치되고, 이 공압실린더(93)의 전후방 각각에는 고정블럭(94a, 94b)이 설치되며, 이 고정블럭(94a, 94b)에는 양측 그립퍼(92a, 92b)를 관통하면서 결합되어 그립퍼(92a, 92b)의 좌우 이동을 안내하는 가이드샤프트(95a, 95b)들이 결합된다. In addition, a pneumatic cylinder 93 for moving the grippers 92a and 92b to the left and right at the same time is provided on an upper surface of the movable plate 91, and a fixed block 94a is provided in front and rear of the pneumatic cylinder 93, respectively. 94b are installed, and guide shafts 95a and 95b are coupled to the fixed blocks 94a and 94b to penetrate both grippers 92a and 92b to guide the left and right movements of the grippers 92a and 92b. .
상기 그립퍼(92a, 92b)는 양단부가 대략 'L'형으로 절곡된 형태로 이루어져 트레이(T)의 양측 가장자리 하단부를 걸어서 고정하도록 되어 있다. The grippers 92a and 92b are formed in a form in which both ends are bent in a substantially 'L' shape to fix the lower ends of both edges of the tray T.
한편, 상기 가동판(91)의 하부에는 상기 그립퍼(92a, 92b)가 트레이(T)를 고정하고 있을 때 트레이 상의 각 반도체 소자들을 아래쪽으로 눌러주도록 복수개의 포고핀(96)이 소정 간격으로 배열된다. On the other hand, a plurality of pogo pins 96 are arranged at predetermined intervals in the lower portion of the movable plate 91 so as to press each semiconductor element on the tray downward when the grippers 92a and 92b hold the tray T. do.
상기 포고핀(96)은 원통형 몸체(96a) 내부에 압축스프링(96c)와 같은 탄성체가 내장되고, 이 압축스프링(96c)에 의해 핀(96b)이 탄성적으로 지지되면서 반도체 소자(S)를 가압하는 구조로 이루어진다. The pogo pin 96 has an elastic body such as a compression spring 96c embedded in the cylindrical body 96a, and the pin 96b is elastically supported by the compression spring 96c to support the semiconductor element S. It consists of a structure to pressurize.
상기와 같이 구성된 트레이 이송장치는 다음과 같이 작동한다. The tray feeder configured as described above operates as follows.
상기 공압실린더(93)의 작동에 의해 양측 그립퍼(92a, 92b)가 측방으로 벌어졌다 오므려지면서 트레이(T)의 양측 모서리 부분을 고정하게 되면, 상기 가동판(91)의 하부면에 설치된 포고핀(96)들이 트레이(T)의 위쪽에서 트레이(T) 상의 반도체 소자(S)들을 눌러주게 된다. 따라서, 상기 그립퍼(92a, 92b)에 의해 트레이(T)가 고정된 상태에서 상기 가동판(91)이 고속으로 이동하다가 정지하거나 충격이 가해져도 반도체 소자(S)들이 뒤집어지거나 원래 위치에서 이탈되는 현상이 없어지게 된다. When both grippers 92a and 92b are opened and retracted by the operation of the pneumatic cylinder 93 to fix both edge portions of the tray T, the pogo is installed on the lower surface of the movable plate 91. The pins 96 press the semiconductor elements S on the tray T above the tray T. Accordingly, even when the movable plate 91 is moved at a high speed while the tray T is fixed by the grippers 92a and 92b, the semiconductor elements S may be turned upside down or separated from their original positions even when the movable plate 91 is stopped or impacted. The phenomenon disappears.
도 4는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 다른 실시예를 나타낸 도면으로, 이 실시예의 트레이 이송장치는 상기 트레이(T) 상의 반도체 소자(S)들을 가압하기 위하여 가동판(91)의 하부에 압축스프링(197)이 복수의 열(列)을 이루도록 배열되고, 상기 각 압축스프링(192)의 하부에 기다란 바아형태의 복수개의 푸쉬바아(196)가 소정 간격으로 설치된다. 4 is a view showing another embodiment of the tray feeder according to the present invention, in which the tray feeder is compressed under the movable plate 91 to pressurize the semiconductor elements S on the tray T. The springs 197 are arranged to form a plurality of rows, and a plurality of push bars 196 in the form of elongated bars are disposed at predetermined intervals below the respective compression springs 192.
여기서, 상기 푸쉬바아(196)는 복수개가 각각 개별체로 분리되어 구성되거나, 이와 다르게 복수개가 일체로 연결되게 구성될 수 있다. Here, the push bar 196 may be configured to be separated into a plurality of individual pieces, or alternatively, may be configured to be connected to a plurality of pieces integrally.
따라서, 양측 그립퍼(92a, 92b)가 트레이(T)를 파지하면, 각각의 푸쉬바아(196)가 트레이(T) 상의 반도체 소자(S)들을 탄성적으로 가압하게 되고, 가동판(91)이 고속으로 이동하는 과정에서 반도체 소자들이 뒤집어지거나 제 위치에서 이탈되는 현상이 방지된다. Therefore, when both grippers 92a and 92b hold the tray T, each push bar 196 elastically presses the semiconductor elements S on the tray T, and the movable plate 91 In the process of moving at a high speed, the semiconductor devices are prevented from being flipped or out of position.
전술한 실시예에서는 바아형태의 푸쉬바아가 탄성적으로 지지되면서 트레이 상의 반도체 소자들을 가압하도록 구성되어 있으나, 이와는 다르게 가동판 하부에서 복수개의 플레이트 또는 단일한 플레이트가 압축스프링과 같은 탄성체에 의해 탄성적으로 지지되면서 여러개의 반도체 소자들을 한꺼번에 가압하도록 구성할 수도 있을 것이다. In the above-described embodiment, the bar-shaped push bar is configured to press the semiconductor elements on the tray while being elastically supported. Alternatively, a plurality of plates or a single plate is elastically supported by an elastic body such as a compression spring under the movable plate. It may be configured to press several semiconductor devices at once while being supported by.
또한, 전술한 실시예에서는 푸쉬바아(196)를 탄성적으로 지지하여 주는 탄성체로서 압축스프링(197)이 사용되었으나, 이외에도 판스프링 또는 기타 공지된 탄성체를 사용할 수도 있다. In addition, although the compression spring 197 is used as the elastic body that elastically supports the push bar 196 in the above-described embodiment, a plate spring or other known elastic body may be used.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 트레이 이송장치에 트레이가 고정되었을 때 트레이 상의 각 반도체 소자들이 탄성적으로 가압되면서 지지되므로 트레이가 이동하는 과정에서 반도체 소자들이 뒤집어지거나 이탈되는 현상이 없어지게 되고, 따라서 에러 발생이 현저히 줄어들게 되어 테스트 생산성이 향상되는 효과를 얻을 수 있다. As described above, according to the present invention, since the semiconductor elements on the tray are supported while being elastically pressed when the tray is fixed to the tray conveying apparatus, there is no phenomenon that the semiconductor elements are turned over or dislodged during the tray movement. As a result, error occurrence is significantly reduced, thereby improving test productivity.
도 1은 본 발명에 따른 트레이 이송장치를 나타내는 핸들러의 전체 구성도1 is an overall configuration diagram of a handler showing a tray conveying apparatus according to the present invention
도 2는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 일 실시예를 개략적으로 나타내는 사시도Figure 2 is a perspective view schematically showing one embodiment of the tray transport apparatus according to the present invention
도 3은 도 2의 트레이 이송장치의 개략적인 요부 단면도Figure 3 is a schematic cross-sectional view of the main portion of the tray feeder of FIG.
도 4는 본 발명에 따른 트레이 이송장치의 다른 실시예를 나타내는 개략적인 요부 단면도Figure 4 is a schematic cross-sectional view showing the main portion of another embodiment of the tray transport apparatus according to the present invention
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
90 : 트레이 이송장치 91 : 가동판90: tray feeder 91: movable plate
92a, 92b : 그립퍼 93 : 공압실린더92a, 92b: gripper 93: pneumatic cylinder
94a, 94b : 고정블럭 96 : 포고핀94a, 94b: Fixed block 96: Pogo pin
196 : 푸쉬바아 197 : 압축스프링196: push bar 197: compression spring
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