JPS61101520A - Sealing resin composition - Google Patents

Sealing resin composition

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JPS61101520A
JPS61101520A JP22136284A JP22136284A JPS61101520A JP S61101520 A JPS61101520 A JP S61101520A JP 22136284 A JP22136284 A JP 22136284A JP 22136284 A JP22136284 A JP 22136284A JP S61101520 A JPS61101520 A JP S61101520A
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resin
resin composition
molding
sealing resin
inorganic filler
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Masayuki Kochiyama
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  • Epoxy Resins (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:A semiconductor-sealing resin composition which scarcely forms fins and is excellent in flow, containing an epoxy resin, a novolak phenolic resin, a silicon oil of a specified composition and an inorganic filler as essential components. CONSTITUTION:The purpose sealing resin composition is formed by using an epoxy resin, a novolak phenolic resin, 0.01-5wt% silicon oil comprising a silicon/polyalkylene oxide copolymer [e.g., a compound of formula I (wherein Y is a group of formula II, R is a group of formula III and l, m and n are each at least 1] and 30-90wt% inorganic filler (e.g., silica powder or alumina) as essential components. If desired, a mold release, a colorant, etc., may be added to the composition. A molding freed from unfilled part and deformation of bonding wires can be obtained by molding with the above resin composition by, for example, low-pressure transfer molding.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は、パリの発生が少なく ft動性の優れた封止
用゛樹脂組成物に1311する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field of the Invention] The present invention provides a resin composition for sealing with less generation of paris and excellent ft mobility.

[発明の技術的背景とその問題点] 現在、ダイオード、トランジスタ、集積回路等の半導体
素子を封止する方法として、エポキシ樹脂やシリコーン
樹脂を用いた低圧トランスファー成形による樹脂封止が
一般的に行われている。
[Technical background of the invention and its problems] Currently, resin encapsulation by low-pressure transfer molding using epoxy resin or silicone resin is generally used as a method for encapsulating semiconductor elements such as diodes, transistors, and integrated circuits. It is being said.

この理由としては、(1)封止樹脂の改良やパッシベー
ション技術の進歩によってIJ頼性が向上したこと、(
2)材料費が比較的安いこと、そ1ノてR産性が良いこ
とにある。 低圧トランス7?−成形による量産メリッ
トを出すためには、成形1ショット当りの製品の取り数
を多くすることか行われており、近年成形機と金型はま
すます大型化、多数個取りを指向するようになってきて
いる。
The reasons for this are (1) improved IJ reliability due to improvements in sealing resin and advances in passivation technology;
2) The material cost is relatively low, and the R productivity is good. Low voltage transformer 7? - In order to achieve the benefits of mass production through molding, the number of products that can be removed per molding shot has been increased, and in recent years, molding machines and molds have become increasingly larger, and the trend has been to create multiple products. It has become to.

これに伴ない、封止用樹脂に対する要求も厳しくなり、
例えば、(イ)流動性が良く未充填がないこと、(ロ)
溶融粘度が低くボンディングワイヤの変形がないこと、
(ハ)リードフレームに発生する樹脂パリが少ないこと
等、成形性に関して問題のないことが要求されてきた。
Along with this, the requirements for sealing resins have also become stricter.
For example, (a) good fluidity and no unfilling; (b)
Low melt viscosity and no deformation of the bonding wire,
(c) Lead frames have been required to have no problems with moldability, such as less resin particles.

ところが、封止用樹脂の流動性や溶融粘度と、リードフ
レームや金型の接合面に発生する樹脂パリの市とは相反
する傾向がある。 例えば、樹脂量を増加したり、低粘
度の樹脂を用いると流動性は良くなる。 しかし、樹脂
パリの発生は、流動性がよくなればなるほど多くなり、
このためリードフレーム等に発生するパリ塩りに手間が
かかったり、金型に付者したパリは、金型の精度を悪く
する欠点がある。 一方、樹脂パリは、前述の方法と逆
の方法を用いたり、無機質充填材の粒度分布を考慮する
ことによって、ある程度まで抑えることができる。 し
かし、樹脂パリの発生を抑えようとづると流動性が悪く
なり未充填となったり、溶融粘度の増加に伴って、ボン
ディングワイヤの変形が生じたりする等の欠点が多かっ
た。
However, there is a tendency for the fluidity and melt viscosity of the sealing resin to conflict with the appearance of resin flakes on the joint surfaces of lead frames and molds. For example, fluidity can be improved by increasing the amount of resin or using a resin with low viscosity. However, the occurrence of resin particles increases as fluidity improves.
For this reason, there is a drawback that it takes time and effort to deal with the dust buildup on the lead frame, etc., and the dust attached to the mold impairs the accuracy of the mold. On the other hand, resin spalling can be suppressed to a certain extent by using a method opposite to the above-described method or by considering the particle size distribution of the inorganic filler. However, attempts to suppress the occurrence of resin flakes have had many drawbacks, such as poor fluidity resulting in unfilling, and deformation of the bonding wire as the melt viscosity increases.

[発明の目的] 本発明の目的は、上記の欠点に鑑みてなされたもので、
樹脂パリの発生が少なく、しかも流動性の優れた封止用
樹脂組成物を提供しようとするものである。
[Object of the invention] The object of the present invention has been made in view of the above drawbacks, and
It is an object of the present invention to provide a sealing resin composition that is less likely to generate resin flakes and has excellent fluidity.

[発明の概要] 本発明者は、上記の目的を達成すべく鋭倉研究を重ねた
結果、特定のシリコーンオイルを添加すると樹脂パリの
発生が少なくかつ流動性が良好となって、上記目的を達
成し、封止用樹脂組成物に好適していることを見いだし
たものである。 即ら、本発明は、 (A)エポキシ樹脂 <8)ノボラック型フェノール樹脂 (C)シリコーンとポリアルキレンオキサイドの共重合
体からなるシリコーンオイルおよび(D)無機質充填材 を必須成分とすることを特徴とする封止用樹脂組成物で
ある。
[Summary of the Invention] As a result of repeated research in order to achieve the above object, the present inventor found that adding a specific silicone oil reduces the occurrence of resin flakes and improves fluidity, thereby achieving the above object. The inventors have found that the present invention is suitable for use in sealing resin compositions. That is, the present invention is characterized in that (A) an epoxy resin <8) a novolak type phenolic resin, (C) a silicone oil made of a copolymer of silicone and polyalkylene oxide, and (D) an inorganic filler as essential components. This is a sealing resin composition.

本発明に用いる(A>エポキシ樹脂は、その分子中にエ
ポキシ基を少なくとも2個有する化合物で必る限り、分
子構造、分子量等に特にホ11限はなく、一般に使用さ
れているものを広く包含することができる。 例えばヒ
スフェノール型の芳香族系、シクロヘキサン誘導体等の
脂環族系、さらに次の一般式で示されるエポキシノボラ
ック系等の樹脂が挙げられる。
The epoxy resin used in the present invention (A>Epoxy resin is a compound having at least two epoxy groups in its molecule, and is not particularly limited in molecular structure, molecular weight, etc.), and includes a wide range of commonly used resins. Examples include aromatic hisphenol type resins, alicyclic resins such as cyclohexane derivatives, and epoxy novolak resins represented by the following general formula.

(但し、式中R1は水素原子、ハロゲン原子又はアルキ
ル基を、R2は水素原子又はアルキル基を、nは 1以
上の整数をそれぞれ表す) これらのエポキシ樹脂は1種又は2種以上混合して使用
することができる。
(However, in the formula, R1 represents a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group, R2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and n represents an integer of 1 or more.) These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. can be used.

本発明に用いる(B)ノボラック型フェノール樹脂とし
ては、フェノール、アルキルフェノール等のフェノール
類とホルムアルデヒドあるいはバラホルムアルデヒドを
反応させて1!7られるノボラック型フェノール樹脂お
よびこれらの変性樹脂、例えばエポキシ化もしくはブチ
ル化ノボラック型フェノール樹脂等が挙げられ、これら
は単独又は2種以上混合して使用される。
The novolak phenolic resin (B) used in the present invention includes novolak phenol resins produced by reacting phenols such as phenol and alkylphenols with formaldehyde or paraformaldehyde, and modified resins thereof, such as epoxidized or butylated resins. Examples include novolac type phenolic resins, which may be used alone or in combination of two or more.

本発明に用いる(C)シリコーンとポリアルキレンオキ
サイドの共重合体からなるシリコーンオイルとしては、
もとのシリコーンの構造や官能基の種類及びポリアルキ
レンオキサイドの炭素数などに特に制限はない。 具体
的に例えば、次に示すような構造式をもつ化合物を挙げ
ることができる。
The silicone oil (C) made of a copolymer of silicone and polyalkylene oxide used in the present invention includes:
There are no particular limitations on the structure of the original silicone, the type of functional group, the number of carbon atoms in the polyalkylene oxide, etc. Specific examples include compounds having the following structural formulas.

−R−COOI七 −R−NH2,−R−OH,−R−
CN。
-R-COOI7 -R-NH2, -R-OH, -R-
C.N.

R: →CH2←  。R: →CH2←.

R′ コ H,C)−13又はアルキル基。R′ Co H,C)-13 or an alkyl group.

1は0以上の整数、lおよびn は1以上の整数をそれ
ぞれ表ず)シリコーンとポリアルキレンオキサイドの共
重合体からなるシリコーンオイルの配合量は特に制限は
ないが樹脂組成物に対して0.01〜5.0重量%含有
することが必要である。  o、o1重量%未満では樹
脂パリの減少或いは流動性に効果なく、またs、ol 
1%を超えるとコスト高となり好ましくない。 従って
前記の範囲内であることが必要である。
(1 is an integer greater than or equal to 0, l and n are integers greater than or equal to 1, respectively)) There is no particular restriction on the amount of silicone oil made of a copolymer of silicone and polyalkylene oxide, but the amount is 0. It is necessary to contain 01 to 5.0% by weight. If o, o is less than 1% by weight, it will have no effect on reducing resin spall or fluidity;
If it exceeds 1%, the cost will increase, which is not preferable. Therefore, it is necessary that it be within the above range.

本発明に用いる(D)無機質充填材としては、シリカ粉
末、アルミナ、三酸化アンチモン、タルク、炭酸カルシ
ウム、チタンボワイ1〜、クレー、アスベスト、マイカ
、ベンガラ、ガラス繊維、炭素繊維等が挙げられ、単独
又は211以上混合して使用される。 これらのうち特
にシリカ粉末又はアルミナが好ましい。 無機質充填材
の配合量は、樹M[酸物に対して30〜90m 吊%含
有することが必要である。 30重量%未満あるいは9
0重置火を超えると成形性が悪く実用に適さない。
Examples of the inorganic filler (D) used in the present invention include silica powder, alumina, antimony trioxide, talc, calcium carbonate, titanium oxide 1~, clay, asbestos, mica, red iron, glass fiber, carbon fiber, etc. Or a mixture of 211 or more is used. Among these, silica powder or alumina is particularly preferred. The amount of the inorganic filler to be blended must be 30 to 90% based on the acid. Less than 30% by weight or 9
If the temperature exceeds 0, the moldability is poor and it is not suitable for practical use.

本発明の封止用樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(
B)ノボラック型フェノール樹脂、(C)シリコーンオ
イル、(D)無機質充填材を必須成分とするが必要に応
じて、例えば天然ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂
肪酸の金、9142、酸アミドもしくはエステル類又は
パラフィン類などの離型剤、塩素化パラフィン、ブロム
トルエン、ヘキサブロムベンゼン、三酸化アンチモン等
の難燃剤、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、シ
ランカップリング剤、種々の硬化促進剤等を適宜添加配
合することができる。
The sealing resin composition of the present invention comprises (A) an epoxy resin, (
B) novolak type phenolic resin, (C) silicone oil, and (D) inorganic filler are essential components, but if necessary, for example, natural waxes, synthetic waxes, straight chain fatty acid gold, 9142, acid amide, or Mold release agents such as esters or paraffins, flame retardants such as chlorinated paraffin, bromotoluene, hexabromobenzene, and antimony trioxide, colorants such as carbon black and red iron oxide, silane coupling agents, various curing accelerators, etc. can be added and blended as appropriate.

本発明の封止用樹脂組成物を成形材料として調製する場
合の一般的な方法としては、前述のエポキシ樹脂A脂、
ノボラック型フェノール樹脂、シリコ、−ンオイル、無
機質充填材その他を配合し、ミキサー等によって十分均
一に混合した襖、更に熱ロールによる溶融混合処理、又
はニーダ等による混合処理を行い、次いで冷却固化させ
適当な大ぎさに粉砕して成形材料とすることができる。
As a general method for preparing the sealing resin composition of the present invention as a molding material, the above-mentioned epoxy resin A resin,
Novolac-type phenolic resin, silico, oil, inorganic filler, etc. are blended, and the fusuma is thoroughly and uniformly mixed with a mixer, etc., and then melted and mixed with hot rolls, or mixed with a kneader, etc., and then cooled and solidified as appropriate. It can be crushed to a large size and used as a molding material.

 そしてこの成形材料を電子部品あるいは電気部品の封
止、被覆、絶縁等に適用し、優れた特性と信頼性を付与
させることができる。
This molding material can be applied to sealing, covering, insulating, etc. electronic or electrical components to impart excellent properties and reliability.

[発明の効果] 本発明の封止用樹脂組成物は、樹脂パリの発生が少なく
、しかも流動性に優れているため、低圧、 トランスフ
ァー成形等で成形すれば、未充填のない、ボンディング
ワイヤの変形のない、信頼性の高い成形品を得ることが
できる。
[Effects of the Invention] The encapsulating resin composition of the present invention has less occurrence of resin flakes and has excellent fluidity, so when molded by low pressure, transfer molding, etc., it can be used to form bonding wires without unfilled parts. A highly reliable molded product without deformation can be obtained.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明は以
下の実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be specifically explained with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples.

以下実施例および比較例において「%Jとあるのは「M
m%」を意味する。
In the following Examples and Comparative Examples, "%J" means "M
m%".

実施例 1 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当121
5) 18%、ノボラック型フェノール樹脂10%、次
式で示されるシリコーンオイル(粘度1200センチス
トークス) 1%、シリカ粉末10%、および高級脂肪
酸エステル1%を常温で混合し、ざらに90〜95℃で
混練冷却した後、粉砕して成形材料を得た。
Example 1 Cresol novolak epoxy resin (121
5) Mix 18%, novolak type phenolic resin, 1% silicone oil (viscosity 1200 centistokes) shown by the following formula, 10% silica powder, and 1% higher fatty acid ester at room temperature, and give a roughness of 90 to 95%. After kneading and cooling at °C, the mixture was pulverized to obtain a molding material.

(但し、式中 R: →CH2←。(However, during the ceremony R: →CH2←.

Jl、 ta 、 nは1叙上の整数をそれぞれ表す)
得られた成形材料の粘度、流動性、トランスフ、・・−
成形で成形品を作った場合の樹脂パリの発生、K械的特
性、ガラス転移点、J5よび耐湿性を試験した。 その
結果を第1表に示した。
Jl, ta, and n each represent an integer on the 1st scale)
The viscosity, fluidity, transfer, etc. of the obtained molding material
When a molded article was made by molding, the occurrence of resin flakes, K mechanical properties, glass transition point, J5, and moisture resistance were tested. The results are shown in Table 1.

実施例 2 実施例1のシリコーンオイルの代わりに次式で示される
エポキシ変性シリコーンオイル(粘度3000センチス
トークス)1%を添加し実施例1と同様に成形材料を得
た。
Example 2 A molding material was obtained in the same manner as in Example 1 except that 1% of an epoxy-modified silicone oil (viscosity: 3000 centistokes) represented by the following formula was added in place of the silicone oil in Example 1.

(但し、式中 1ぺ、 →CH2←。(However, during the ceremony 1pe, →CH2←.

R’  :  H又はアルキル基。R': H or alkyl group.

7、m 、nは0以上の整数をそれぞれ表す)(aられ
た成形材料の粘、度、流動性、トランスファ7−成形で
成形品を作った場合の樹脂パリの光牛、低域的特性、ガ
ラス転移点、および耐湿性を試験した。 その結果を第
1表に示した。
7, m and n each represent an integer greater than or equal to 0) (viscosity, strength, fluidity of the molding material, light weight of the resin when molded products are made by transfer molding, low range characteristics) , glass transition point, and moisture resistance were tested.The results are shown in Table 1.

実施例 3 実施例1のシリコーンオイルの代わりに次式で示される
シリコーンオイル(粘度2000センチストークス)1
%を添加したほかは、実施例1と同様にして成形材料を
得た。
Example 3 Silicone oil (viscosity 2000 centistokes) 1 represented by the following formula was used instead of the silicone oil of Example 1.
A molding material was obtained in the same manner as in Example 1 except that % was added.

(但し、式中z、m、nは0以上の整数を表ず)得られ
た成形材料の粘度、流動性、トランスフ?−成形で作っ
た場合の樹脂パリの発生、礪械的特性、ガラス転移点、
および耐湿性を試験した。
(However, in the formula, z, m, and n do not represent integers greater than or equal to 0.) The viscosity, fluidity, and transferability of the obtained molding material. - Occurrence of resin flakes when made by molding, mechanical properties, glass transition point,
and moisture resistance were tested.

その結果を第1表に示した。The results are shown in Table 1.

比較例 クレゾールノボラック(1脂くエポキシ当fi 215
)18%、ノボラック型エポキシ樹脂10%、シリカ粉
末71%、d3よび高級脂肪酸エステル1%を実施例1
と同様にして成形材料を得た。 得られた成形材料の粘
度、流動性、トランスファー成形で作った場合の樹脂パ
リの発生、機械的特性、ガラス転移点、および耐湿性を
試験した。 その結果を第1表に示した。
Comparative Example Cresol Novolac (1 fat epoxy fi 215
) 18%, novolac type epoxy resin 10%, silica powder 71%, d3 and higher fatty acid ester 1% in Example 1
A molding material was obtained in the same manner as above. The resulting molding material was tested for viscosity, fluidity, occurrence of resin flakes when made by transfer molding, mechanical properties, glass transition point, and moisture resistance. The results are shown in Table 1.

第1表 :l:l  :EMMl−1−66に基く:):2 ;
10μmのスリットの溝を流れるパリの長さを測定*3
:成形材料を用いて2本のアルミニウム配線を有づ“る
電気部品を170℃で3分間トランスファー成形し、そ
のF2180℃で8時間硬化させた。 こうして得た封
止電気部品100個について、120°Cの高圧水蒸気
中で耐湿試験を行い、アルミニウム腐食による50%の
断線(不良発生)の起こる時間を評価した。
Table 1: l:l: Based on EMMl-1-66:):2;
Measure the length of Paris flowing through the 10 μm slit groove *3
: Using the molding material, an electrical component having two aluminum wirings was transfer molded at 170°C for 3 minutes, and then cured at F2180°C for 8 hours. A moisture resistance test was conducted in high-pressure steam at °C, and the time required for 50% wire breakage (defect occurrence) due to aluminum corrosion was evaluated.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1(A)エポキシ樹脂 (B)ノボラック型フェノール樹脂 (C)シリコーンとポリアルキレンオキサイドの共重合
体からなるシリコーンオイルおよび (D)無機質充填材 を必須成分とすることを特徴とする封止用樹脂組成物。 2 シリコーンとポリアルキレンオキサイドの共重合体
からなるシリコーンオイルが樹脂組成物の0.01〜5
.0重量%含有することを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の封止用樹脂組成物。 3 無機質充填材が樹脂組成物に対して30〜90重量
%含有することを特徴とする特許請求の範囲第1項又は
第2項記載の封止用樹脂組成物。
[Scope of Claims] 1. It is characterized by having (A) an epoxy resin, (B) a novolak type phenolic resin, (C) a silicone oil made of a copolymer of silicone and polyalkylene oxide, and (D) an inorganic filler as essential components. A sealing resin composition. 2 Silicone oil consisting of a copolymer of silicone and polyalkylene oxide is 0.01 to 5% of the resin composition.
.. The sealing resin composition according to claim 1, characterized in that it contains 0% by weight. 3. The sealing resin composition according to claim 1 or 2, wherein the inorganic filler is contained in an amount of 30 to 90% by weight based on the resin composition.
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