JPS6028298A

JPS6028298A - 電子部品搭載装置

Info

Publication number: JPS6028298A
Application number: JP58135718A
Authority: JP
Inventors: 藤田　保彦; 鈴木　高道; 川名　武
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-07-27
Filing date: 1983-07-27
Publication date: 1985-02-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の利用分野〕本発明は、電子部品を無接触で位置決めし、電子部品を
基板上に搭載するようにした電子部品の搭載装置に関す
る。

〔発明の背景〕

電子部品を基板上に搭載する装置には、種々の方式があ
る。その中で、本発明と同方式の装置が特開昭５５−２
４４９１号公報に示されている。

この従来の電子部品搭載装置は、間欠回転するテーブル
の下面に多数の搭載ヘッドを配設し、部品供給部から送
られてきた電子部品を搭載ヘッドに吸着後、次のステー
ションで、吸着した電子部品を各種の爪を用いて、４方
から位置決めし、次のステーションで位置決めした電子
部品を、基板上に搭載するようにしていた。

上記電子部品の位置決めは、機械的な機構で行なってい
た。

このように爪状のもので機械的な機構で電子部品を位置
決めすると、電子部品のパリとかモールド部のテーバ等
の形状不良がある場合、位置決め不良や、部品の落下、
破損、などのトラブルを起すという技術的な問題がおっ
た。

又テップ抵抗の如きセラミック部品を位置決めする爪は
、摩耗が激しくて定期的な交換と調整が必要であるので
、多くの時間が労資されること又形状の異る電子部品に
対しては、同一の爪では対応できないので、その都度取
換え−る必要があり多くの時間が労費されること、又搭
載ヘッドは、回転機能を有しており、多数の搭載ヘッド
に対して、回転駆動源が１個であるので、部品の搭載姿
勢が種々変る場合は、全ての搭載ヘッドが、今搭載しよ
うとしている電子部品の姿勢に合せて変えられてしまう
ことになる。そのため、電子部品の位置決め時には、部
品の方向が種々の方向を向くことになシ、電子部品の位
置決めが非常に困雉になること等から、生産性が非常に
悪いという欠点があった。

又一般的に、テーピング部品の送り機構は、テ−グの種
類によって専用化されているので、テープの送シピツチ
が同じであっても、搭載パターンを変更した場合（断面
形状が異る）は、その都度テープ（テーピング部品）を
入れ替えねばならないという不便さがある。

〔発明の目的〕

本発明は、上記従来の欠点を解決し、電子部品の落下、
破損もなく、正確な位置決めを可能にすると共に、生産
性をも向上した電子部品搭載装置を提供せんとするもの
である。

〔発明の概要〕

即ち本発明は、従来のように電子部品の位置決めに際し
て、爪などのような機械的な機構によって行なうのでは
なく、電子部品に無接触で位置決めしたものであり、そ
の第１の発明は、部品供給部によってテーピングされた
電子部品を吸着ヘッドの下方に搬入し、この部品を吸着
ヘッドで吸着した状態で吸着ヘッドを自転することによ
り、電子部品を回転してその姿勢を調整すると共に部品
供給部から基板上に移載し搭載する機能を備えた搭載ヘ
ッドを設け、上記吸着ヘッドに吸着された部品を光学的
に監視して、吸着ヘッドの自転を自動調節する視覚認識
部を設け、電子部品を搭載する基板のＸ−Ｙ方向の位置
決めをすると共に上記吸着ヘッドの下方所定位置に基板
を配置するためのＸ−Ｙテーブルを設けたことを特徴と
するものでおる。

第２の発明としては、上記搭載ヘッドにおいて、中空状
の主軸の下端にテーブルを設け、このテーブルに上下動
可能に複数の吸着ヘッドを取付け、一方上記主軸の中空
部に吸着ヘッドを自転させるための吸着ヘッド回転軸を
挿通し、伝達機構を介して２個１対の吸着ヘッドを自転
するようにし、この吸着ヘッドの自転によって部品の姿
勢を調整すると共に、上記テーブルを回転することによ
って吸着ヘッドを公転させ、部品供給部から基板上へ部
品を移載するようにし次ものである。

第３の発明は、第１の発明の部品供給部において、頭部
にテープ送り孔に嵌合する突起を有し、上下動可能に送
力係止部材をテーブルに固定し、−万頭部にテープの送
り孔に嵌合する突起を有し、上下動可能に送り駆動部材
をスライダに固定し、この送り係止部材と送シ駆動部材
をそれぞれレバーの両端にピン連結すると共にレバーの
中央部に支点を設け、この支点を中心にレバーを回動し
て、上記レバーの両端にビン連結した送り係止部材と送
り駆動部材を交互に上下動すると共に、スライダーを介
して送り駆動部材を水平移動させ、テープの種類にかか
わらず、部品を供給するようにしたものである。

第４の発明は、第１発明のＸ−Ｙテーブルにおいて、基
板のＸ−Ｙ方向の位置を決めるテーブルを設け、このテ
ーブルのＸ又はＹ方向の一方を固定ガイドにて固定踵上
記テーブルをＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動モータ
を固定ペースに固定することによって慣性力を小さくし
、テーブルの高速移動を可能にしたものである。

第５の発明は、第１発明の視覚認識部において、吸着ヘ
ッドにバックプレートを取付け、吸着した電子部品をシ
ルエツト像としてとらえ、半田面や金属光沢面によるハ
レーションをなくして鮮明な画像を得るようにしたもの
である。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例について詳細に説明する〇先ず第
１図を用いて、本実施例の概要を説明する。

図において、Ａ部は搭載ヘッド部であり、中空の主軸下
端にテーブル７０が取付けられ、このテーブル７０には
、上下動可能に複数の吸着ヘッド５４が取付けられてい
る。Ｂ部は、テーピングされた部品を吸着ヘッド５４の
下方に搬入する部品供給部である。０部は、部品を搭載
する基板のｘ−Ｘ方向の位置決めをすると共に上記吸着
ヘッド５４の下方の所定位置に基板を配置するためのＸ
Ｙテーブルである。Ｄ部は、基板供給部である。Ｅ部は
、吸着ヘッド５４に吸着した部品の姿勢を光学的に監視
し、吸着ヘッド５４の自転を自動調節するための視覚認
識部である。

これらＡ−Ｅ部は、枢体１０の上に増付けられている。

この他、第１図に図示していないものとして制御装置（
別格体）、画像入力処理部、駆動系（枢体１０内）とか
ら成る。基板供給部りでは、コンベア１９１により部品
を搭載する基板８が搬送され、基板供給部りのチャック
Ｄ′でコンベア１９１からＸＹテーブル部Ｃの基板保持
具に移される。この基板８はＸＹテーブルにより搭載ヘ
ッド部Ａの下部に搬送され、搭載ヘッド部人により順次
部品が搭載される。搭載完了後再びＸＹテーブルにより
基板８は基板供給部りに搬送され、チャックＤ″によシ
コンベア２０１に移され、次工程に送られる。

一方、搭載ヘッド部Ａにより搭載される部品は部品供給
部Ｂにテーピングされた状態でリール３に巻れて収納さ
れておシ、これを部品供給部Ｂのテープ送りビンにより
吸着ヘッド５４の直下まで搬送し、これを吸着ノズル５
４が下降して吸着して取シ上げる。次いで吸着ヘッド５
４はインデックスユニット１２により間欠的に回転させ
られ、視覚認識部Ｅへ送られる。視覚認識部Ｅではカメ
ラにより部品の位置（吸着ノズル５４に対する位置づれ
）を検出し、そのデータ（ΔＸ、ΔＹ、Δθ）を制御装
置へフィードバックする。制御装置は、あらかじめ指示
されたプログラムに従って部品を搭載させる位置に移動
させるデータをＸＹテーブル部Ｃのモータに指令を出す
がこの時、視覚認識ｍＥからの位置ずれデータ（ΔＸ、
ΔＹ、Δθ）を加味した移動データを指示する。これに
従いＸＹテーブル部Ｃは移動する。吸着へラド５４は再
びインデックスユニット１２によシ１ピッチ送られ、基
板８の直下に部品１を搬送してくる。ここで吸着ノズル
図が下降して部品１を基板８に搭載する。概略上記手順
をくシ返して部品が基板８に搭載される。

以下各部分毎に更に詳細に説明する。

（搭載ヘッド部Ａについて）第４図乃至第８図により搭載ヘッド部の詳細を説明する
。第４図は、搭載ヘッド部Ａの正面図、第５図は第４図
のＡ−Ａ線矢視図、第６図は搭載ヘッドを示す垂直断面
図、第７図は第６図のＢ−Ｂ断面図、第８図は同じ（Ｃ
−Ｃ断面図である。

第４図及び第５図に於て、コラム１１上にインデックス
装置１２が固定されている。インデックス装置１２は、
入力軸１３にタイミングベルト１５、タイミングベルト
１６等を介して連続回転を与えると、出力軸３０（第６
図参照）が間欠的に駆動されて回転する機能を有してい
る。第６図において、出力軸間に主軸あがポル）３５で
固定され、主軸あの下端にテーブル７０が固定されてい
る。またテーブル７０の外方向には部品１（第２図参照
）を吸着するための吸着ヘッド５４を含めた機構が４ケ
配置されている。主軸あの中心部は中空となっており、
この中空内に中空状の吸着ヘッド回転軸７２と吸着ヘッ
ド回転軸５５が２重に通っておυ、主軸あと中空状の吸
着ヘッド回転軸７２、及び中空状の吸着ヘッド回転軸７
２と吸着ヘッド回転軸５５間に各々ギャップを設けであ
るため、上記３本の軸は単独で動作する。

中空状の吸着ヘッド回転軸７２の下部外側はベアリング
７１でラジアル方向を受け、さらに下端部には歯車６６
が固定されている。また、吸着ヘッド回転軸５５の下端
はブツシュ６４で回転自在に支持しており、最下端部に
歯車６７がナツト６５で固定されている。また、吸着ヘ
ッド回転軸５５の上端には歯車５６が固定されており、
パルスモータ６０の軸に固定されている歯車５９とタイ
ミングベルト５８で連結されている。一方、中空状の吸
着ヘッド回転軸７２の上端も同様な歯車５７が固定され
ており、タイミングベルト６１と連結してパルスモータ
６３と連動している。なお、インデックス装置１２の出
力軸（９）は上端から下端まで中空部が貫通しており、
この中空部を前記中空状の吸着ヘッド回転軸７２及び吸
着ヘッド回転軸５５が通っている。

次にノズルホルダー４３はガイド４４により上下動と回
転が自在に保持されている。またノズルホルタ−４３Ｕ
ブツシュ５２に上下スライド自在に係合し、回転方向は
キー５１により規正されている。ブツシュ５２はテーブ
ル７０とベアリング５０を介して回転自在に保持されて
いる。ブツシュ５２の下部外側には歯車５３ａが固定さ
れている。また、前記ノズルホルダー４３の７ランク部
に圧縮ノくネ４７が組込まれており、ノズルホルダー４
３は常に上方に持上がろうとする力が付与されている。

またノズルホルダー４３の中空部４８に圧縮バネ４９が
組込まれており、吸着ノズル５４ａの上端部を常に下方
に押し下げている。吸着ノズル５４ａはノズルホルダー
４３内を上下自在にスライドする。また前記ガイド４４
はテーブル７０に固定されている。前記歯車５３ｍは歯
車６６と係合しているためパルスモータ６３の回転は、
ブツシュ５２、ノズルホルダー４３を介して吸着ノズル
５４ａに伝達され、吸着ノズル５４ａはパ／’スモ−１
６３の回転により任意の回転角が得られる。

次に部品を吸着するための真空回路の構成について説明
する。主軸あの外周に溝３６ａ・・・３６ｄが削設され
ており、この溝と３６ａとつながった縦穴３８ａが主軸
３４の下方へ削設されてお＃）（第７図参照）シールリ
ング３１の下端をすぎた位置から再び主軸あの外周へ抜
は出ている。シールリング３１はボルト３２によりイン
デックス装置１２のフレームに固定されておシ、内径は
主軸３４と回転自在に接している。このため主軸Ｕの外
径とシールリング３１の内径は若干のギャップがあり、
真空のエアー洩れを防止するため、０リング３７を主軸
あ側に装着している。一方ノズルホルダー４３の上方外
周部に溝４５を削設し、この溝４５の一部から中空部４
８に横穴４６を通し、ガイド４４には、前記溝４５と一
致する位置にパイプ４０ａの一端を接続している。パイ
プ４０ａの他端は、主軸３４の縦穴３８ａに接続さ扛て
いる。

これによりニップル３３ａを真空ポンプ（図示せず）な
どへ接続する事により、溝３６ａ、縦穴３８ａ、パイプ
４０ａ１横穴４６、溝４５、中空部４８、吸着ノズル５
４ａを通して真空回路が構成され、吸着ノズル５４ａの
先端に部品１を吸着させることができる。部品１の吸着
及び搭載時の吸着ノ、“、ル５４ａ〜５４ｄの上下動作
は、加圧レバー２２ａ〜２２ｂが揺動しカムホロワ４１
ａで牛ヤツプ４２を押し下げるとノズルホルダー４３と
共に吸着ノズル５４ａが下降する事により行なわれる。

上昇は、加圧レバー２２＆が上方に揺動し、圧縮バネ４
７によシ吸着ノズル５４ａはノズルホルダー４３と共に
上方へ持上げられる。加圧レバー２２ａの動作に、第４
図及び第５図に示す如く、カム１７ａ　、　１７ｂによ
９行なわれる。加圧レバーｎａは軸２１ａに固定され、
軸２１ａＵプラケッ）　２０ａニヨり回転自在に支持さ
れている。軸２１ａの他端ｎ　レバー　１９ａ　上固定
され、レバー１９ａ　トレバー５ａはロッドＩＳａで回
動自在に接続されている。またレバー２５ｍの他端に固
定されたカムホロワ２６ａはカム１７＆に轟接し、引張
バネ２８ａによシ常にカム１７Ｌに接触している。これ
により、カム１７ａの変位を加圧レバー２２Ｌに伝達し
、吸曾ヘッド５４ａ〜５４ｄを上下させ部品１の吸着及
び搭載（搭載時は真空源をＯＦＦとし大気へ開放する）
動作が行なわれる。また、吸着ヘッド５４を含む吸着機
構が９ｃｙ１１′ピツチで４ケ、テーブル７０上に配置
されている。

歯車６６は各々対向する歯車５３ａ及び５３ｂに係合し
ている。また、歯車６７は９０°位置を変えた歯車５３
ｃと５３ｄに係合している。また第６図に示す如く部品
１を吸着する位置と、搭載する位置は、主軸３４を対称
として１８０°対向した位置に配置されている。

１５従って吸着ノズル５４ｂで部品１を吸着後、基板８
上へ搭載する間にパルスモータ６３が必要量回転して、
部品１の搭載姿勢を変更した場合、他方の吸着ノズル５
４ａも同じ量だけ回転する。しかしすでに吸着ノズル５
４ａ　Ｋは部品１がないので（搭載部２０みである）回
転角には無関係となる。すなわち、テーブル７０の下面
に２ケの歯車６６　、６７を設置し、互いに対向する歯
車５３ａと５３ｂを歯車６６にかみ合せ、歯車５３ｃ　
、　５３ｄを歯車６７にかみ合せ、２ケのパルスモータ
６３　、６０で順次部品１に回転角を与える事により、
他の部品１の回転角が累積する事なく、搭載姿勢を任意
に制御し得る。

以上のように構成した部品搭載部において、第４図に示
すタイミングベルト１６、タイミングベルト１５及び入
力軸１３を介して第６図に示す主軸あに間欠的な回転力
が与えられ、テーブル７０が間欠的に回転する。このテ
ーブル７０の回転によって、吸着ヘッド５４ａ〜５４ｄ
は公転する。

一方中空状の吸着ヘッド回転軸７２と、吸着ヘッド回転
軸５５を介して、パルスモータ６０　、６３にょシ吸着
ヘッド５４ａ〜５４ｄが自転する。この吸着ヘッド５４
１Ｌ〜５４ｄの自転により、吸着した部品を回転し、姿
勢を調節する。

文部品供給部Ａから部品を吸着する時及び基板上に部品
を搭載する時は、カム１７ａ　、　１７ｂによってタイ
ミングが計られて、吸着ヘッド５４ａ〜５４ｄを押し下
げて行なう。

又部品供給部Ｂから基板８上への部品の移載は１吸着ヘ
ッド５４ａ〜５４ｄの上記公転によって行なわれる。

このようにして、吸着ヘッド５４ａ〜５４ｄの公転。

自転、上下動の動作の組合せによシ、部品供給部Ｂに供
給されてきた部品を吸着し、部品の姿勢を調整し、基板
上に搭載する。

（部品供給部Ｂについて）次に部品供給部Ｂについて説明する。第２図に示す如く
、テープ２内に収納された状態の部品１をテープごと吸
着ノズル５４の直下まで送る機構に関するもので、その
構成を第９図〜第１５図に示す。

第９図に於て、テープ２は、テープリール３ごとリール
支え８２にセットされる。リール支え８２はバー８１を
介してブラケット８０に固定されている。テープ２Ｆｉ
テープリール３から引き出し、部品供給テーブル８１部
の所定の位置へ配置する。

部品供給テーブルＢ′は第１０図に示す如く、複数個（
本例では８ケ）のテープを供給できる構造となっており
、２本のガイドバー１０３上を摺動自在にスライドする
。ガイドバー１０３はブラケット１１３及び１１４に固
定されている。部品供給テーブルＢ′の下部にランク８
８がポル）　１３２　（第１２図参照）で固定されてお
り、ランク８８はビニオンギア８７と係合し、ピニオン
ギア８７はモータ８５とカップリング８６を介して接続
されている。ブラケット１５５はベース８０に固定され
、ビニオンギア８７を回転自在に支持している。モータ
８５はブラケット８４に固定されている。このためモー
タ８５の回転により、ビニオンギア８７、ランク８８を
介して部品供給テーブルＢ′が、２本のガイドバー１０
３を案内として任意の位置に移動する事ができ、これに
より次に吸着−搭載すべき部品１を吸着ノズル５４の直
下へ移動させている。

次にテープ２の送り機構について説明する。テープ２は
第１２図に示すようにテーブル１３１の所定の溝１２１
＆を通ってテープ２に収納されている部品１が吸着ノズ
ル５４ｂの直下に来るように配置する。

ローラ１２４ａ〜１２４Ｃはレバー１２５に回転自在に
支持されて、レバー１２５はブラケット１５２にビン１
５３を介して回転自在に支持されている。また引張シバ
ネ１５４の一端はレバー１２５に、他端はボルト１５６
に固定され、常にレバー１２５を介してロー５１２４ａ
　〜１２４ｃがテープ２を押え溝１２１ａからテープ２
が浮上るのを防止している。テープ２は第１図に示す如
く送り孔２′を有し、この送り孔２′に係合するビン状
の突起１４０及び１３４を固着した送シ係止部材１３５
と同形の送ｐ駆動部材１５０とを構成する。本実施例で
は上記双方の部材１５０　、１３５はそれぞれ２本づつ
のビン１４０　、１３４をテープ２の送り孔のピッチに
合わせて固定しである。本発明を実施する場合、ビン１
４０　、１３４の数は任意に設定し得る。また送り係止
部材１３５と送り駆動部材１５０とは必らずしも同形に
構成しなくてもよい。

本例に於てはこれらの部材を上下方向に案内するため、
その本体部分を円柱状に形成し、これに外嵌する円筒状
のガイド１３３　、１４９を設けている。

一方、テーブル１３１にアーム１２６を固定し、前記の
送シ係止部材１３５に外嵌したガイド１３３をこのアー
ム１２６に固定する。これにより送り係止部材１３５は
テープ２に対して垂直方向の往復摺動自在に案内される
。上記のアーム１２６に対してテープ送り方向（ｘ　−
ｘ’方向）に摺動自在にスライダ１４７を支承し、前記
の送り駆動部材１５０に外嵌したガイド１４９をこのス
ライダ１４７に固着する。これにより送シ駆動部材１５
０はテープ２に対して垂直方向に摺動自在に案内され、
かつテープ２の送シ方向（ｘ　−ｘ’方向）に、スライ
ダ１４７と共に摺動し得る。上記のスライダ１４７にブ
ラケット部分を形成してビン１４３を固定し、このビン
１４３を支点としてレバー１４５を回動自在に支承する
。本実施例に於ては上記のレバー１４５を丁字形状に構
成して中心付近をビン１４２で支承すると共に長辺の両
端部に長孔１４１　、１４６を設け、これらの長孔と前
記の送シ係止部材１３５、送シ駆動部材１５０をそれぞ
れビン−長孔結合する。これにより、Ｔ字状のレバー１
４５の垂直辺の先端部にＸ方向の力とＸ′方向の力とを
交互に加えると該レバー１４５はビン１４３の回りに往
復回動しつつスライダ１４７と共にｘ　−ｘ’方向に往
復摺動する。上記のレバー１４５の回動により送り係止
部材１３５と送シ駆動部材１５０とが交互罠上下に摺動
せしめられ、その上端に固着したピン１３４　、１４０
がテープ２の送り孔に挿脱される。また同レバー１４５
がスライダ１４７と共にｘ　−ｘ’方向に往復平行移動
せしめられる。１４４゜１４４′は上記のレバー１４５
の回転角を規制するためのストッパボルトである。この
ストッパボルトによってレバー１４５０回転角を加減す
ると、前記のピン１３４　、１４０がそれぞれテープ２
の送り孔に係合する深さを調整し得る。前記のスライダ
１４７のｘ　−ｘ’方向摺動ストロークを規制するため
該スライダ１４７に切欠溝１４８を形成すると共に、こ
の切欠溝１４８に対してボール１３６をバネ１３７で押
付ける構造のストローク調整手段１３８をアーム１２６
に固定する。このボール・バネ−切欠溝よシなるストロ
ーク調整手段は、弾性的にスライダ１４７の位置を係止
し、係子力よυも強い力を受けるとスライダ１４７の摺
動を許容する。前記のレバー１４５の垂直辺の先端をｘ
　−ｘ’方向に往復駆動するため、ドグ９０とカム７オ
ロワ１２７とを設け、上記のカム７オロワ１２７を支承
するロッド１２９を構成してその一端をピン１４２でレ
バー１４５に回動自在に軸着する。１２８は上記のロッ
ド１２９を摺動自在に支承するブツシュ、１３０は該ロ
ッド１２９を図の右方に向けて付勢してカム７オロワ１
２７をドグ９０に当接せしめているバネである。ドグ９
０は第９図に示す如くブラケット８９により摺動自在に
支承されている。レバー１００はピン９２を支点として
揺動し、一端はドグ９０の下面に固着されたＴ溝をもつ
係止部材９１と摺動自在に係合し、他端は引張クバネ１
０１により下向へ引張られている。また、ロッド９３は
、レバー１００と回転自在に係合している。これにより
、ロッド９３のＹ−Ｙ’方向の動作がレバー１００゜係
止部材９１を介してドグ９０に伝達されカム７オロワ１
２７を介してロッド１２９をｘ　−ｘ’方向に摺動せし
める。

次に以上のように構成した送り機構の作動を第１３図か
ら第１５図について説明する。第１３図はロッド１２９
が右方に動いた状態を示している。この状態でレバー１
４５は図示左回り方向に回動すると共に、スライダ１４
９と共に右方へ引き寄せられている。このため、送り係
止部材１３５は上昇してピン１３４をテープ２の送シ孔
に係合せしめる。この送り係止部材１３５はアーム１２
６に固着したガイド１３３に嵌合しているのでｘ　−ｘ
’方向には動かずテープ２がｘ　−ｘ’方向に動かない
よう係止している。

次にロッド１２９が左方に動くと、第１４図に示したよ
うにレバー１４５が図示の右回りに回動して送り係止部
材１３５を下降せしめると共に送り駆動部材１５０を上
昇させる。これにより、送シ係止部材１３５のピン１３
４はテープ２の送９孔から抜去され、送り駆動部材１５
０のピン１４０がテープ２の送り孔に係合する。図示の
ごとくストッパボルト１４４がスライダ１４７に当接し
てレバー１４５の回動が係止された後、ロッド１２９が
図の左方にさらに動くと、スライダ１４７はレバー１４
５と共に左方に摺動する。

このとき、スライダ１４７に固定したガイド１４９に嵌
合した送り駆動部材１５０は図の左方に動かされ、テー
プ２を図の左方へ送る。再びロッド１２９が右方に動く
際は第１５図の如く前記と反対に、送シ係止部材１３５
が上昇してテープ２のｘ　−ｘ’方向の動きを係止し、
送り駆動部材１５０は下降した後、右方に引き寄せられ
、第１３図の如くボール１３６がスライダ１４７の切欠
溝１４８に係合したときスライダ１４７のＸ方向（右方
向）摺動が停止せしめられる。

第１２図を参照して容易に理解されるように、ロッド１
２９の右方移動中にスライダ１４７の摺動が係止される
とドグ９０とカム７才ロワ１２７０間に空隙を生じてロ
ッド１２９が停止する。上述の本実施例の如くスライダ
１４７の摺動ストロークを規制する手段（上例に於ける
ボール・バネと切欠）を設けておくと、ドグ９０の揚程
を変えずにテープ２の送りピッチを調整することができ
る。第１３図から第１５図について説明した作動から明
らかなように、本実施例の送υ係止部材１３５はテープ
２に対して垂直方向にのみ摺動し、ピン１３４をテープ
２の送り孔に対して真直に挿入、抜去せしめる。また、
送り駆動部材１５０も同様にピン１４０をテープ２の送
り孔に対して真直に挿入、抜去せしめる。この送り駆動
部材１５０はｘ　−ｘ’方向の運動もするが、送シ係止
部材１３５の下降が終るまで（即ち、送り駆動部材１５
０の上昇が終るまで）、スライダ１４７がボール１３６
と切欠溝１４８とによって保止されているため、ピン１
４０が、送り孔に対して斜めに進入することは無い。そ
の理由は、レバー１４５の右回り方向の回動がストッパ
ボルト１４４によって制動された後でないとスライダ１
４７がボールと切欠による係止力に打ち勝って左方に摺
動する力を受けないからである。上記のようにして、送
り駆動部材１５０のピ／１４０が確実にテープの送り孔
に挿入された後、送り駆動部材１５０によって所定のス
トロークだけ送られその他の期間は送り係止部材１３５
によってテープ２を係止しているのでテープ２の送りピ
ッチを正確に一定に保ち得る。

又送り係止部材１３５と送υ駆動部材１５０は、垂直方
向に上下動すると共に、ストッパポル）　１４４゜１４
４′によシ上下方向のストロークをテープ２の種類によ
って調整し、各種のテープ２に対応させる。

以上説明した動作によりテープ２は送られるが第２図に
示す如く、テープ２に収納された部品１を取出すために
は、アッパテープ４を剥す必要がある。次に、このアッ
パテープの引き剥し及び巻取シ機構について説明する。

第１２図に於てアッパテープ４はテープガイド１５６ａ
を過ぎた点からテープ２の送り方向とは反対方向に引張
られる事によｐ１テーグ２から剥離される。剥離された
アッパテープ４は巻取リール１１１により巻取られる。

巻取リール１１１は第９図に於て支持ローラ１０９、駆
動ロー２１１０の２点に当接するよう押付ローラ１０７
によシ押付けられている。押付ローラ１０７はレバー１
０６に回転自在に支持され、レバー１０６はブラケット
１０４にビン１０５で支持されている。

駆動ローラ１１０の断面構造を第１１図に示す。駆動ロ
ーラの本体１１５はベアリング１１８によりブラケット
１１７に回転自在に支承されており、回転はモータ１１
２（第１０図参照）によりスプライン軸１１６、ブツシ
ュ１１９を介してロー２本体１１５に伝達される。ブラ
ケット１１７はテーブル１３１に固定されている。従っ
て、先に述べた如く、テーブル１３１がモータ８５によ
シ左右方向にスライドした場合、当然ブラケット１１７
も左右方向にスライドする。このため、スプライン軸１
１６とブツシュ１１９の関係は回転のみを伝達し、軸方
向への移動は自由に行なえるものとする。１本の駆動ロ
ー２１１０に対してセットされたテープ２の数だけ巻取
り一ル１１１が接する事となシ、このため、駆動ローラ
１１０と巻取リール１１１の間は常にスリラグしており
、テープ２が送られた時だけ、その余長分を巻取る動作
を行なう。また、第９図に示した固定カッタ９７はブラ
ケット９５、支柱９４を介してベース７に固定されてお
り、可動カッタ９６は、固定カッタ９７と一定の間隙を
保ちながら、ロンド９８の上下動作により、ピッチ送り
されるテープ２を順次にピッチ寸法に切断して落下させ
る。

（ｘｙテーブルＣについて）次に基板８を位置決めし、所定の位置に部品１が搭載さ
れるようＸ方向、Ｙ方向に移動するＸＹテーブル部Ｃに
ついて説明する。第１６図はＸＹテーブル部の平面図、
第１７図は第１６図のＦ−Ｆ断面図、第１８図は第１６
図のＧ−Ｇ断面図を示す。

第１６図においてテーブル１６３はガイド１６９　、１
７０にガイドされ、フレーム１６２に保持されている。

フレーム１６２にはラック１６４が固定され、モータ１
６６からカップリング１６８を介して軸１８５に固定さ
れているビニオン１６５が、前記ランク１６４とかみ合
っている。従ってモータ１６６を回転させると、ランク
１６４を介してテーブル１６３はＹ　−Ｙ’方向に移動
する。更にテーブル１６３の両側面には第１７図に示す
ようにステー１８６　、１８６’がテーブル１６３に固
定されておシ、ステー１８６　、１８６’下端にガイド
バー１７１が保持されている。ガイドバー１７１はロー
ラ１７５　、１７５’によってＸ方向の両サイドからガ
イドされている。ローラ１７５　、１７５’はブラケッ
ト１７８を介してスライドブロック１７９に保持され、
スライドブロック１７９の一端にランク１８１が固定さ
れている。スライドブロック１７９を摺動自在に保持す
るブロック１８０はサブベース１７７に固定されている
。サブベース１７７に保持されているモータプラケット
１４７にモータ１８２が保持され軸１４８を介してピニ
オン１８７が、ラック１８１とかみ合っている。これに
よりモータ１８２の回転によってテーブル１６３はＸ方
向にスライドする。サブベース１７７上には第１７図に
示すようにローラ１７５と同様なローラ１７４　、１７
４’　、　１８９　、１８９’がブロック１７３上に回
転自在に保持されている。ただしブロック１７３に保持
されているローラはＸ、Ｙ方向共移動できない。さらに
サブベース１７７の両端にはサイドブロック１６０ａ　
、　１６０ｂがありＹ方向のスライドシャフト１６１ａ
　、　１６１ｂを保持している。基板８（第１６図参照
）は、第１７図に示すように、基板供給位置（矢印Ｑの
位置）で、ＸＹテーブル上の治具２５１上に供給される
（供給手段は後述する）。第１６図において、基板８の
位置決めは、基板押付ローラ２５７　、２５８が十分量
いた状態で基板が供給された後、ローラ２５７　、２５
８がバネ２５９の力により基板８を基準ローラ２５２ａ
〜２５２ｄに押付ける事により行なわれる。基板８がＸ
Ｙテーブル上に位置決め後、ＸＹテーブルが作業位置（
矢印Ｐの位置）まで移動する。しかるに、ＸＹテーブル
を前述した様な構成とすれば、作業位置Ｐにおいては、
モータ１８２を回転させ、ローラ”１７５　、１７５’
を介してガイドバー１７１と一体となったテーブル１６
３がＸ方向に移動させられ任意の位置決めが可能である
。

またＹ方向に大きく移動して基板供給位置Ｑに移動する
ときは、まず、Ｘ方向の位置をガイドバー１７１がロー
ラ１７４　、１７４’にガイドされる位置に位置決めし
、次いでＹ方向に移動すると、ガイトノく−１７１はロ
ーラ１７５　、１７５’から外れ、順次固定ローラを通
過して固定ローラ２６０　、２６０’にガイドされて基
板供給位置に達する。ここでＹ方向を位置決めすればＸ
方向はすでに固定ローラで位置決めされているので基板
供給に必要な位置決めは完了する０以上述べた如き構成
とすれば、ＸＹ両方向移動用のそれぞれのモータ１８２
及び１６６がサブベース１７７上に固定でき、かつ、作
業位置から基板供給位置までの長いストロークを移動さ
せてもガイドバー１７１は比較的短かくてよい。この事
はテーブルの移動時のイナーシャが少さくて済み、小形
で高速動作をさせる場合、非常に有利である。

次に基板供給部りについて説明する。

第１９図は、基板供給部りの平面図であり、第四図は第
１９図のＨ−Ｈ断面図、第２１図及び第ｎ図は、第１９
図の基板チャック部Ｄ’　、　Ｄ’の詳細を示す。

第１９図に於て基板は０部のＸＹテーブルに保持されて
いる。また基板の供給側コンベア１９１には基板ガイド
１９２　、１９２’及びストッパ１９３が取付いている
。２０１は基板排出側コンベアで矢印方向に駆動する。

基板チャック部Ｄ′とＤ′は、第四図に示すように連結
板２０５によって連結している。第四図に於てブロック
２０２とブロック２１０は連結板２０５により結合され
、さらにガイドシャフト２００に摺動自在に支持されて
いる。ガイドシャフト２００はサブベース１９４に固定
された２ケのブラケット１９５ａ　、　１９５ｂに支持
されている。またブロック２０２及び２１０には軸２０
３及び２１２が摺動自在に係合している。軸２０３の上
端部にグレー）　１９０ｍが、軸２１２の上端部にはプ
レー）　１９０ｂがそれぞれ固着し、グレー）　１９０
１Ｌと１９０ｂは接続板２０８によって各々連結されて
いる。また、連結板２０５の中央部にシリンダ２０７が
取付られておｐ１該シリンダ２０７のロッドは接続板２
０８に固接されている。このため、シリンダ２０７によ
り軸２０３　、２１２を案内としてプレー）　１９０ａ
　、　１９０ｂ　ｔｉ各々上下動作を行なうことができ
る。また、第１９図に示すように、サブベース１９４に
固定されたブラケット１９７に取付いているシリンダ１
９８は、そのロッド先端がＬ金具１９９を介してブロッ
ク２１０に接続されている。

このため、プレー）　１９０ｍ　、　１９０ｂは軸２０
０をガイドとして、シリンダ１９８によ、２ｘ−Ｘ方向
に任意に摺動する。また、１９６ａ　、　１９６ｂはス
トッパボルトでストローク調整を行なう。第四図に示す
２１３゜２１４は、ショックアブソーバでシリンダ１９
８の前進、後退端での衝撃緩和をする。次に第２１図、
２２図に於て歯車２０７　、２０６は互いにかみ合って
おりさらにプレー）　１９０ａに固設された軸２０６’
　、　２０７’に回転自在に係合している。また、歯車
２０７にはレバー２０３が、歯車２０６にはレバー２０
４が各々接続されており、レバー２０３の他端はシリン
ダー２０２のロッドに、回転自在に接続されている。シ
リンダ２０２の他端はブロック２１７に揺動自在に支持
されている。また、爪部２１４　、２１５は軸２１３で
摺動自在に支持され、軸２１３はプレート１９０ａに固
設されたブラケツ）　２１２　、２１１に支持されてい
る。爪部２１４　、２１５にはビン２０８　、２０５が
各々固設され、プレー）　１９０ａの長穴を通って上部
に突き出しておυ、レバー２０３及び２０４に轟接する
。すなわち、シリンダ２０２のロッドが引込んだ時はレ
バー２０３がピン２０８に轟って爪部２１４は開く方向
に移動し、同時にレバー２０３、歯車２０７及び２０６
を介してレバー２０４がビ／２０５に当り爪部２１５も
開く方向に移動する。前記シリンダ２０２のロッドが突
き出した時は上記動作と逆に爪部２１４　、２１５が閉
じる方向に動作し基板をチャックする。尚、爪部２１４
゜２１５の端面にはバネ２１６が取付けられておｐ１爪
部の閉じる力（基板をチャックする力）を附与する。

以上述べた構成の基板チャック機構をＤ′部とＤ“部の
２ケ所に有している。

次に基板供給動作を説明すると、第１９図は基板を供給
、排出する直前の状態を示している。すなわち、供給コ
ンベア１９１上を流れて来た基板はストッパ１９３によ
りストップしている。一方、　ＸＹテーブル上の基板（
部品１の搭載が完了したもの）は、クランプレバ−２６
２がストッパ２６１に当ってクランプを開放した状態と
なっている。また、爪部２１４　、２１５はシリンダ２
０２により開いた状態としておく。上記状態で、シリン
ダ２０７によりチャック部Ｄ’、Ｄ“が各々下降する。

下降端でクランプシリンダ２０２が閉じて、爪部２１４
　、２１５の先端部が、コンベア１９１上の基板、及び
ＸＹテーブル上の基板を同時にチャックする。

次に、シリング゛２０７が働き、チャック部Ｄ’、Ｄ’
を上昇させる。その後、シリンダ１９８が前進し、チャ
ック部Ｄ′はＸＹテーブル上に、チャック部Ｄ′は、排
出コンベア２０ｉ上に移動する。ここで再び、シリンダ
２０７が作動しチャック部Ｄ’　、　Ｄ″を下降させた
後、シリンダ２０２によジ、爪部２１４　、２１５を開
状態として、各々の基板を、ＸＹテーブル上にセツトー
シ、またもう一方では排出コンベア２０１上へ排出する
。このように基板８の供給と排出を同時に行なう事に、
より、基板交換時間の短縮を図っている。

（視覚認識部Ｅについて）次に視覚認識部Ｅについて説明する。

先に述べた部品供給部Ｂで吸着ノズル５４が下降し、テ
ープ２に収納されている部品１を吸着後、吸着ノズル５
４が上昇し、インデックス装置１２により、インデック
スすると部品１は視覚認識部に搬送されて来る。部品１
がテープ２に収納されている状態を第５図に示す。本図
から明らかなように。

部品１はテープ２の凹部６内に間隙を有して収納されて
いるため四部６内を自由に動き得る状態にある。従って
、吸着ノズル５４に吸着された部品１そこで、第ｎ図に
示す如き構成により部品１の姿勢を検出し、修正後搭載
する。

部品１を吸着した吸着ノズル５４ｄの下方に鏡２３２を
もつ反射板２３１がホルダー２３３により光学系の鏡筒
２３４に保持されており、鏡筒２３４の他端には、カメ
ラ２３９が接続され、検出系全体はブラケット２３８に
より、ベース７に固定されている。

この検出系により、部品１の像は鏡２３２で反射して光
学系２３４　、２３７を介してカメラ２３９に達し、こ
の像をＶイクロコンピュータを用いた画像処理装置（図
省略）によって処理することにより、部品１の位置、形
状を認識する。このデータに基き、次の搭載位置にイン
デックスする間に、所定の回−転角になるように角度の
補正量を第５図に示すノくルスモーク６３　、６０に与
えて吸着ヘッド５４を回転させ、同時に、基板８を位置
決めしているＸＹテーブル部Ｃのモータ１６６　、１８
２にＸＹ方向のづれ貴を送り補正量を加えた位置に位置
決めすれば部品１は、基板８の所定の位置に搭載される
。第２４図に示Ｔ如く、ノズルホルダー４３の下面にバ
ンクプレート２３０を設置し、う／グ２３５ａ　、　２
３５ｂを各々バックグレート２３０の斜め下方に設置し
部品１を直接照らさず、バックプレート２３０の下面を
照明することにより、部品１をシルエツト像としてとら
える。これによシ部品１の半田面や、金属光沢面による
ハレーション等を起さず、鮮明な画像が得られる。次に
カメラ２３９に入力された画像は電圧信号に変換されて
画像処理部に送られる。画像処理部では、第が図に示す
如く画面、ＡＢＣＤ内に部品１（４点のコーナをａ、ｂ
、ｃ、ｄとする〕が取り込まれたとき画面の走査方向を
Ａ−＋Ｄの方向として順次上辺より走査し背景部分を白
、部品１を黒の２値で表示した時、黒の生じ始める点ａ
１黒の消える点Ｃ１黒の始まる点が不連続になる点、す
なわち単調増加ないし単調減少が変わる点す。

ｄをめこの４点を部品１の４つの頂点として部品１の位
置を算出する。この結果を元に補正量をめる。令息０を
部品１の像の本来有るべき位置とし、ｘ、ｙ軸に部品１
の像の辺が平行で有るべきものとする。この時点ａ、ｂ
、ａ、ｄの座標を’　（ｘ１＋３’１）　ｂ　（”２＋
３’２）’ｃ（ｘ３．ｙ３）　ｄ（ｘＩＩ　。

ｙｌｌ）とすれば傾きΔθは、る。

ついで回転中心（−吸着ヘッド５４の像中心）０のまわ
りにΔθだけ回転させて回転角の補正をしたと仮定した
とき、部品の像中心の座標Ｐ（ｘＯ。

ｙＯ）はＰ′（ｘｏ′、ｙｏ′）に移る。ｘｏ′、ｙｏ
′はｙｏ′＝艮亜隠ｓｉｎ　（θ。＋θ） θｏ　＝　ｊａｎ−１玉　となる。

ｘＯここでｘＯ＋　’！０は）’１＋７２＋）’う＋ｙロ　でめられる。

以上により、Δθ＋　ｘＱ’　＋　３’Ｏ’を補正値と
して制御用マイクロコンピュータへデータとして送り、
Δθ　は第６図のノ（ルスモータ６３　、６０へＸ。／
　、ｙ　０／は第１８図のモータ１８２　、１６６へ補
正値としてマイクロコンピュータから指令を出し、各々
補正量だけ動作させると、部品１は正しい位置に搭載さ
れる。

このように構成した視覚認識部において、吸着ヘッド５
４にて吸着している部品１の姿勢を光学的に認識し、認
識したデータを電気信号に変換し、この電気信号によっ
て吸着ヘッド５４を回転して部品１の姿勢を調整すると
共に、ＸＹテーブルの位置合せを行なうことにより、非
接触で部品１を正確に基板８上に搭載する。

〔発明の効果〕

以上詳述した通り本発明の電子部品搭載装置によれば、
部品供給部より供給されてきた部品を吸着ヘッドで吸着
し、吸着されたこの部品を視覚認識部で光学的に認識し
、認識したデータを基に上記吸着ヘッドを回転させて部
品の姿勢を調整すると共にＸＹテーブルの位置を決める
ようにしたので、部品にはまったく触れずに非接触の状
態で、部品を正確に基板上に搭載することができ、部品
のバリとか形状不良による位置決め不良がまったくなく
、部品を正確に基板上に搭載することができると共に、
部品の落下及び破損はまったく起らない。

又非接触であるので、従来のような爪部の定期的な検査
、調整、及び取替がまったく不要であるので、これらに
費す時間は皆無となり、生産性を大巾に向上することが
できた。

又部品供給部において、垂直に上下動する送シ係止部材
と送り駆動部材とを設け、レバーを介してテープの送り
ストロークと、上記上下動のストロークとを調整可能に
したので、各種のテープ（部品）に対応させることがで
きて部品供給部の取替えが不要となり、大巾に生産性を
向上することができた。

又搭載ヘッド部において、テーブルを回転する主軸と同
心状に、吸着ヘッド回転軸を設け、２個一対の吸着ヘッ
ドを自転するようにして部品の姿勢を調整するようにす
ると共に、テーブルによって吸着ヘッドを公転して部品
の彰載を行なうようにしたので、部品の姿勢の調整と移
載が敏速に行なわれ、生産性を大巾に向上することがで
きた。

又ｘｙテ丁プルの駆動用え一夕を固定板に取付けて、Ｘ
Ｙテーブルの重量を軽くすると共に、ガイドによってＸ
ＹテーブルのＸ又はＹ方向の一方を固定化して基板の受
入れを容易にしたので、ＸＹのテーブルの移動速度を早
くすることができると共に基板の位置合せを容易にし、
生産性を犬巾罠向上することができた。

又視覚認識部において、部品をシルエツト像としてとら
えたので、部品の半田面や金属光沢面によるハレーショ
ン等が起らず、鮮明な画像が得られ、種々の部品に対す
る適用が可能で６５．、更には、正確な部品の姿勢が得
られるので、部品の位置決めがよυ正確となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による電子部品搭載装置の外観図、第２
図は、電子部品の外観図、第３図は、第２図のＬ−Ｌ断
面図、第４図は、搭載ヘッド部の正面図、第５図は、第
４図のＡ−Ａｉにおける矢視図、第６図は搭載ヘッドの
垂直断面図、第７図は、第６図のＢ−Ｂ断面図、第８図
は第６図のＣ−Ｃ断面図、第９図は部品供給部の側面図
、第１０図は第９図のＤ−ＤＩにおける矢視図、第１１
図は第１０図のＥ−Ｅ断面図、第１２図は、第１０図Ｂ
′部の断面図、第１３図〜第１５図は第１２図の動作工
程図、第１６図はＸＹテーブルの平面図、第１７図は第
１６図のＦ−Ｆ断面図、第１８図は第１６図のＧ−Ｃ断
面図、第１９図は基板供給部の平面図、第２０図は第１
９図のＨ−ＦＩ断面図、第２１図は第１９図に示すＤ’
、Ｄ“部を部分拡大して示した平面図、第２２図は第２
１図の縦断面図、第β図は視覚認識部の全体を示す側面
図、第Ｕ図は、照明部分を拡大して示した側面図、第５
図は部品の状態を示す平面図、第が図は部品検出を説明
するために示した説明用図である。 ■・・・部品、２・・・テープ、３・・・チーブリール
、８・・・基板、１２・・・インデックス装置、加重出
力軸、讃・・・中空状の主軸、５４ａ〜５４ｄ・・・吸
着ヘッド、５３゜６６　、６７・・・歯車（伝達機構）
、５５・・・吸着ヘッド回転軸、７２・・・中空状の吸
着ヘッド回転軸、２３０・・・バックプレート、２３１
・・・反射板、２３２・・・鏡、２３９・・・カメラ。Ａ・・・搭載ヘッド部Ｂ・・・部品供給部Ｃ・・・ＸＹテーブルＤ・・・基板供給部Ｅ・・・視覚認識部代理人　弁理士　秋　本　正　実第１図第２図第３図１第７図３８ａ　３６ａ第８図第２１図第２２図と１４３５ｂ〆第２５図第２６図

Claims

【特許請求の範囲】１、　テーピングされた電子部品を吸着ヘッドの下方に
搬入する部品供給部と、供給されてきた部品を吸着し、
吸着した状態で電子部品を回動して電子部品の姿勢を調
整すると共にその電子部品を上記部品供給部から基板上
に移載し搭載する搭載ヘッド部と、上記吸着ヘッドに吸
着した電子部品の姿勢を光学的に監視し吸着ヘッドの自
転を自動調節する視覚認識部と、電子部品を搭載する基
板のＸ−Ｙ方向の位置決めをすると共に上記吸着ヘッド
の下方の所定位置に基板を配置するＸ−Ｙテーブルとか
ら成る電子部品搭載装置。２　テーピングされた電子部品を吸着ヘッドの下方に搬
入する部品供給部と、中空状の主軸の下端に取付けられ
複数個の吸着ヘッドを同時に公転させるテーブルを設け
、このテーブルに上下動可能なように複数個の吸着ヘッ
ドを設け、上記主軸の中空部に挿通し伝達機構を介して
２個１対の吸着ヘッドを自転させる吸着ヘッド回転軸を
設けた搭載ヘッド部と、上記吸着ヘッドに吸着した電子
部品の姿勢を光学的に監視し吸着ヘッドの自転を自動調
節する視覚認識部と、電子部品を搭載する基板のｘ−Ｙ
方向の位置決めをすると共に上記吸着ヘッドの下方の所
定位置に基板を配置するＸ−Ｙテーブルとから成る電子
部品搭載装置。３、特許請求の範囲第２項記載の電子部品搭載装置にお
いて、ヘッド部はその主軸の外周に溝を設け、該溝に連
通ずるように主軸の壁内に縦穴を設け、該縦穴と吸着ヘ
ッドの中空部とをパイプによって連通し、一方主軸の外
周にシールリングを嵌装し、該シールリングを貫通し上
記溝を介して縦穴に連通し、シールリングの貫通孔から
吸着ヘッドの中空部に連通ずる真空回路を形成したこと
を特徴とする電子部品搭載装置。４、頭部にテープの送り孔に嵌合する突起を有し上下動
可能に送り係止部材をテーブルに固定し、一方頭部にテ
ープの送り孔に嵌合する突起を有し上下動可能に送ｐ駆
動部材をスライダに固定し、該送り駆動部材と上記送り
係止部材をレバーの両端にピン連結すると共に該レバー
の中央部に支点を設け、該支点を中心にレバーを回動し
て送り係止部材と送り駆動部材とを交互に上下動すると
共にスライダを介して送シ駆動部材を水平移動するよう
にした部品供給部と、供給されてきた部品を吸着し、吸
着した状態で電子部品を回動して電子部品の姿勢を調整
すると共にその電子部品を上記部品供給部から基板上に
移載し搭載する搭載ヘッド部と、上記吸着ヘッドに吸着
した電子部品の姿勢を光学的に監視し吸着ヘッドの自転
を自動調節する視覚認識部と、電子部品を搭載する基板
のＸ−Ｙ方向の位置決めをすると共に上記吸着ヘッド下
方の所定位置に基板を配置するＸ−Ｙテーブルとから成
る電子部品搭載装置。５、　テーピングされた電子部品を吸着ヘッドの下方に
搬入する部品供給部と、供給されてきた部品を吸着し、
吸着した状態で電子部品を回動して電子部品の姿勢を調
整すると共にその電子部品を上記部品供給部から基板上
に移載する搭載ヘッド部と、上記吸着ヘッドに吸着した
電子部品の姿勢を光学的に監視し吸着ヘッドの自転を自
動調節する視覚認識部上、基板のＸ−Ｙ方向の位置を決
めるテーブルを設け、該テーブルのＸ又はＹ方向の一方
を固定ガイドにて固定し、上記テーブルをＸ方向及びＹ
方向に移動させる駆動モータを固定ベースに固定しｆｃ
Ｘ−Ｙテーブルとから成る電子部品の搭載装置。６、　テーピングされた電子部品を吸着ヘッドの下方に
搬入する部品供給部と、供給されてきた部品を吸着し、
吸着した状態で電子部品を回動して電子部品の姿勢を調
整すると共にその電子部品を上記部品供給部から基板上
に移載し搭載する搭載ヘッドと、上記吸着ヘッドにバッ
クプレートを取付は吸着した電子部品をシルエツト像と
してとらえ、この像を電気信号に変換し、この信号によ
って吸着ヘッドの自転を自動調節する視覚認識部と、電
子部品を搭載する基板のＸ−Ｙ方向の位置決めをすると
共に上記吸着ヘッドの下方の所定位置に基板を配置する
Ｘ−Ｙテーブルとから成る電子部品搭載装置。