JPH11203723A - Substrate for disk-like recording medium and disk device - Google Patents
Substrate for disk-like recording medium and disk deviceInfo
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- JPH11203723A JPH11203723A JP10001798A JP179898A JPH11203723A JP H11203723 A JPH11203723 A JP H11203723A JP 10001798 A JP10001798 A JP 10001798A JP 179898 A JP179898 A JP 179898A JP H11203723 A JPH11203723 A JP H11203723A
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光を使用して記録
及び/又は再生が行われるディスク状記録媒体に用いら
れるディスク状記録媒体用基板及びこのディスク状記録
媒体用基板を用いたディスク状記録媒体に対して記録及
び/又は再生を行うディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk-shaped recording medium substrate used for a disk-shaped recording medium on which recording and / or reproduction is performed using light, and a disk-shaped substrate using the disk-shaped recording medium substrate. The present invention relates to a disk device that performs recording and / or reproduction on a recording medium.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、再生専用光ディスク、光磁気
ディスク、相変化型光ディスク等のように、光を用いて
情報信号の書き込みや読み取りが行われるディスク状記
録媒体が普及している。2. Description of the Related Art Conventionally, disk-shaped recording media in which information signals are written or read using light, such as read-only optical disks, magneto-optical disks, and phase-change optical disks, have been widely used.
【0003】これらのディスク状記録媒体に対して情報
信号の記録及び/又は再生を行うディスク装置は、例え
ば再生時においては、半導体レーザからレーザビームを
出射して、このレーザビームを光学系を用いて絞り込
み、装着されたディスク状記録媒体の信号記録面上に焦
点を合わせて照射し、その反射光を検出することによ
り、ディスク状記録媒体に記録された情報信号を読み取
るようにしている。[0003] A disk device for recording and / or reproducing information signals on or from these disk-shaped recording media emits a laser beam from a semiconductor laser at the time of reproduction, for example, and uses the laser beam by an optical system. The information signal recorded on the disk-shaped recording medium is read out by irradiating the light with focusing on the signal recording surface of the mounted disk-shaped recording medium and detecting the reflected light.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
光を用いてディスク状記録媒体に対して情報信号の書き
込みや読み出しを行うシステムが普及する中で、このシ
ステムに用いられるディスク状記録媒体は、記録密度の
向上と信頼性の向上とが求められている。By the way, while a system for writing and reading information signals to and from a disk-shaped recording medium using such light has become widespread, a disk-shaped recording medium used in this system has been developed. Therefore, there is a demand for improvement in recording density and reliability.
【0005】しかしながら、このようなシステムにおい
ては、記録密度の向上を図るべく、光学ヘッドとしてデ
ィスク状記録媒体上を僅かな浮上量で浮上する浮上型光
学ヘッドを採用した場合に、光学ヘッドとディスク状記
録媒体とが衝突してしまう可能性があり、このような光
学ヘッドとディスク状記録媒体との衝突がディスク状記
録媒体の信頼性を損う大きな要因となっていた。[0005] However, in such a system, in order to improve the recording density, a floating type optical head which floats on a disk-shaped recording medium with a small flying height is employed as the optical head. There is a possibility that the optical recording medium collides with the disk-shaped recording medium, and such collision between the optical head and the disk-shaped recording medium has been a major factor that impairs the reliability of the disk-shaped recording medium.
【0006】そこで、本発明は、高密度で信頼性の高い
ディスク状記録媒体を得ることができるディスク状記録
媒体用基板及びこのディスク状記録媒体用基板を用いた
ディスク状記録媒体に対して記録及び/又は再生を行う
ディスク装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention provides a disk-shaped recording medium substrate capable of obtaining a high-density and highly reliable disk-shaped recording medium and a disk-shaped recording medium using the disk-shaped recording medium substrate. And / or to provide a disk device for performing reproduction.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係るディスク状
記録媒体用基板は、上述した課題を解決すべく創案され
たものであって、ディスク状記録媒体上を浮上しながら
光源からの光を集束して上記ディスク状記録媒体に照射
する浮上型光学ヘッドにより情報信号の書き込み又は読
み取りが行われるディスク状記録媒体に用いられるディ
スク状記録媒体用基板において、少なくとも信号が記録
される領域には、波長が上記浮上型光学ヘッドの走行方
向の長さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波長の1/
4以上となるうねりが形成されていないことを特徴とす
るものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION A disk-shaped recording medium substrate according to the present invention has been developed in order to solve the above-described problems, and emits light from a light source while floating on the disk-shaped recording medium. In a disc-shaped recording medium substrate used for a disc-shaped recording medium in which an information signal is written or read by a floating optical head that irradiates and irradiates the disc-shaped recording medium, at least an area where a signal is recorded is provided. The wavelength is equal to or less than the length of the floating optical head in the traveling direction, and the maximum amplitude is 1/1 / the wavelength of the light.
It is characterized in that undulations of 4 or more are not formed.
【0008】ディスク状記録媒体は、このディスク状記
録媒体用基板を基板として用いることにより、少なくと
も信号が記録される領域を、波長が浮上型光学ヘッドの
走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の
波長の1/4以上となるうねりのない平滑な平面とする
ことができ、浮上型光学ヘッドを僅かな浮上量で浮上さ
せた場合であっても、浮上型光学ヘッドとの衝突が回避
され、信頼性の向上及び高密度記録が可能となる。By using the substrate for a disk-shaped recording medium as a substrate, the disk-shaped recording medium has at least a region where a signal is recorded, a wavelength of which is equal to or less than a length in a traveling direction of the flying optical head and a maximum. It is possible to provide a smooth flat surface having an amplitude of not less than 1/4 of the wavelength of the light to be used, and even if the floating type optical head is floated with a small floating amount, Collision can be avoided, and reliability can be improved and high-density recording can be performed.
【0009】特に、近年、ニアフィールド記録と呼ばれ
る記録再生方式を用いて、レーザビームのスポット径を
小さくし、ディスク状記録媒体の高密度記録化を図るよ
うにしたシステムが提案されている。In particular, in recent years, a system has been proposed in which a recording / reproducing method called near-field recording is used to reduce the spot diameter of a laser beam to achieve high-density recording on a disk-shaped recording medium.
【0010】このニアフィールド記録は、レーザビーム
が屈折率nの高いレンズを透過したときに、このレンズ
から極めて近接した領域において得られる、スポットが
1/nに絞られた漏れ光を利用して記録再生を行うもの
である。このとき、記録再生を行うために必要な出力を
もつ漏れ光が得られるのは、レンズからの距離がλ/4
程度までの領域である。[0010] This near-field recording utilizes leaked light whose spot is narrowed to 1 / n, which is obtained in a region very close to the lens when the laser beam passes through a lens having a high refractive index n. It performs recording and reproduction. At this time, leakage light having an output necessary for performing recording and reproduction is obtained when the distance from the lens is λ / 4.
To the extent.
【0011】したがって、例えばディスク状記録媒体に
対して記録及び/又は再生を行うために使用される光の
波長λが約659nmである場合、ニアフィールド記録
により高密度記録を図るためには、浮上型光学ヘッドを
ディスク状記録媒体の信号記録面から約165nm(λ
/4)以内の浮上量で浮上させて、記録及び/又は再生
を行う必要がある。Therefore, for example, when the wavelength λ of the light used for recording and / or reproducing on the disk-shaped recording medium is about 659 nm, it is necessary to fly up to achieve high-density recording by near-field recording. Type optical head is moved about 165 nm (λ) from the signal recording
It is necessary to perform recording and / or reproduction by levitating with a flying height within / 4).
【0012】このとき、ディスク状記録媒体の信号が記
録される領域に浮上型光学ヘッドの走行方向の長さより
も波長が短いうねりが存在すると、浮上型光学ヘッドは
このうねりに追従できない。そして、このうねりの最大
振幅が約165nm(λ/4)以上であると、浮上型光
学ヘッドとディスク状記録媒体とが衝突し、浮上型光学
ヘッドの損傷あるいはディスク状記録媒体自体の損傷を
招いてしまう場合がある。At this time, if a swell having a wavelength shorter than the length of the flying optical head in the traveling direction is present in the area of the disk-shaped recording medium where the signal is recorded, the flying optical head cannot follow the swell. If the maximum amplitude of the undulation is about 165 nm (λ / 4) or more, the floating optical head collides with the disk-shaped recording medium, causing damage to the floating optical head or the disk-shaped recording medium itself. In some cases.
【0013】浮上型光学ヘッドの走行方向の長さよりも
波長が短く、最大振幅が約165nm以上のうねりが形
成されたディスク状記録媒体の信号が記録される領域
を、任意の方向に4000μmに亘って走査して得たデ
ィスク状記録媒体表面の様子を図1に示す。なお、図1
において、縦軸はディスク状記録媒体の基準面を0とし
たときの、ディスク状記録媒体表面の基準面からの距離
を示し、横軸は走査した位置を示している。A region where a signal is recorded on a disk-shaped recording medium having a swell having a wavelength shorter than the length of the flying type optical head in the traveling direction and a maximum amplitude of about 165 nm or more extends over 4000 μm in an arbitrary direction. FIG. 1 shows the state of the surface of the disk-shaped recording medium obtained by scanning with the laser beam. FIG.
In the graph, the vertical axis represents the distance from the reference surface of the disk-shaped recording medium when the reference surface of the disk-shaped recording medium is set to 0, and the horizontal axis represents the scanned position.
【0014】また、図1において、ディスク状記録媒体
の実際の表面は実線で表しており、このディスク状記録
媒体の平均面を仮想線(一点鎖線)で表している。実線
で表されたディスク状記録媒体表面の微細な凹凸は、デ
ィスク状記録媒体表面に予め形成されたサーボパターン
である。In FIG. 1, the actual surface of the disk-shaped recording medium is represented by a solid line, and the average surface of the disk-shaped recording medium is represented by a virtual line (dashed line). The fine irregularities on the surface of the disk-shaped recording medium represented by solid lines are servo patterns formed in advance on the surface of the disk-shaped recording medium.
【0015】また、浮上型光学ヘッドを図1中に波線で
示している。なお、この浮上型光学ヘッドの走行方向の
長さは、約2mmとされている。The floating optical head is shown by a broken line in FIG. The length of the flying optical head in the running direction is about 2 mm.
【0016】このディスク状記録媒体には、図1に示す
ように、半径方向の位置が3000〜4000μmの領
域において、最大振幅が165nm以上であるうねりが
形成されている。そして、このうねりは、波長が浮上型
光学ヘッドの走行方向の長さよりも短い。したがって、
浮上型光学ヘッドは、このうねりに追従することができ
ずに衝突してしまうことになる。As shown in FIG. 1, in this disk-shaped recording medium, undulations having a maximum amplitude of 165 nm or more are formed in a region where the radial position is 3000 to 4000 μm. The wavelength of the undulation is shorter than the length of the flying optical head in the traveling direction. Therefore,
The flying type optical head cannot collaborate with the undulation and will collide.
【0017】本発明に係るディスク状記録媒体用基板を
用いたディスク状記録媒体は、少なくとも信号が記録さ
れる領域が、波長が浮上型光学ヘッドの走行方向の長さ
以下で、且つ、最大振幅が光の波長の1/4以上となる
うねりのない平滑な平面とされるので、このニアフィー
ルド記録により記録及び/又は再生を行うようにしても
光学ヘッドとの衝突が回避され、信頼性を損なうことな
く記録密度を大幅に向上させることができる。In the disk-shaped recording medium using the disk-shaped recording medium substrate according to the present invention, at least a signal recording area is such that the wavelength is equal to or less than the length in the traveling direction of the flying optical head and the maximum amplitude is attained. Is a smooth plane having no undulation which is 1/4 or more of the wavelength of light. Therefore, even if recording and / or reproduction is performed by this near-field recording, collision with the optical head is avoided, and reliability is reduced. The recording density can be greatly improved without any loss.
【0018】また、本発明に係るディスク状記録媒体用
基板は、樹脂を射出成形することにより形成されている
ことが望ましい。The substrate for a disk-shaped recording medium according to the present invention is preferably formed by injection molding a resin.
【0019】ディスク状記録媒体用樹脂基板は、樹脂を
射出成形して形成されることにより、ディスク表面にヘ
ッド位置決め情報やアドレス情報のための凹部が設けら
れたディスク状記録媒体やトラック間にグルーブを有す
るディスク状記録媒体用の基板として、精度良く且つ容
易に形成することができ、ハードディスク等で用いられ
ているアルミニウム基板に比べて生産性良く且つ低コス
トで製造することができる。The resin substrate for a disk-shaped recording medium is formed by injection-molding a resin to form a groove between a disk-shaped recording medium and a track having a concave portion for head positioning information and address information on the disk surface. It can be formed accurately and easily as a substrate for a disk-shaped recording medium having the above, and can be manufactured with higher productivity and lower cost than an aluminum substrate used for a hard disk or the like.
【0020】なお、この射出成形の際には、成形面に直
接転写パターンが形成された成形用金型を用いることが
望ましい。このように、成形面に直接転写パターンが形
成された成形用金型を用いて射出成形を行うことによ
り、振幅の大きなうねりの発生を抑制することができ
る。In this injection molding, it is desirable to use a molding die having a transfer pattern formed directly on the molding surface. As described above, by performing injection molding using the molding die in which the transfer pattern is directly formed on the molding surface, it is possible to suppress the occurrence of undulation having a large amplitude.
【0021】また、本発明に係るディスク状記録媒体用
基板は、熱可塑性ノルボルネン系樹脂を射出成形するこ
とにより形成されていることが、より望ましい。It is more preferable that the substrate for a disk-shaped recording medium according to the present invention is formed by injection molding of a thermoplastic norbornene resin.
【0022】ディスク状記録媒体用基板の材料として、
例えばポリカーボネートやメチルメタクリレート等を用
いた場合、吸湿によりディスク状記録媒体用基板に大き
な変形を生じさせてしまうことがあり、光学ヘッドを近
接させて記録及び/又は再生を行うディスク状記録媒体
に用いる基板の材料としては必ずしも適当とはいえな
い。また、低吸湿性のプラスチック材料を用いた場合で
あっても、ポリメチルペンテンやポリスチレン等では、
結晶性を有するために、成形後にディスク状記録媒体用
基板に変形を生じさせてしまう場合があり、さらには耐
熱性が不十分である等の問題がある。As a material of a substrate for a disk-shaped recording medium,
For example, when polycarbonate, methyl methacrylate, or the like is used, the substrate for a disk-shaped recording medium may be greatly deformed due to moisture absorption, and is used for a disk-shaped recording medium that performs recording and / or reproduction by bringing an optical head close to the substrate. It is not always suitable as a material for the substrate. Also, even when using a low hygroscopic plastic material, polymethylpentene, polystyrene, etc.
Due to the crystallinity, the substrate for a disk-shaped recording medium may be deformed after molding, and there is a problem that heat resistance is insufficient.
【0023】これに対して、ディスク状記録媒体用基板
の材料として、熱可塑性ノルボルネン系樹脂を用いた場
合は、十分な耐熱性が得られ、吸湿や結晶性による変形
もほとんどなく、浮上型光学ヘッドを近接させて記録及
び/又は再生を行うディスク状記録媒体用の基板として
最適なディスク状記録媒体用基板が得られる。On the other hand, when a thermoplastic norbornene-based resin is used as the material of the substrate for a disk-shaped recording medium, sufficient heat resistance is obtained, there is almost no deformation due to moisture absorption or crystallinity, and a floating optical system is used. An optimal substrate for a disk-shaped recording medium is obtained as a substrate for a disk-shaped recording medium on which recording and / or reproduction is performed with the head close to the recording medium.
【0024】また、本発明に係るディスク装置は、ディ
スク状記録媒体を回転駆動させるモータと、このモータ
により回転駆動されるディスク状記録媒体上を、使用す
る光の波長の1/4以内の浮上量で浮上して、このディ
スク状記録媒体に対して情報信号の書き込み又は読み取
りを行う浮上型光学ヘッドとを備え、上記ディスク状記
録媒体の少なくとも信号が記録される領域には、波長が
浮上型光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大
振幅が上記光の波長の1/4以上となるうねりが形成さ
れていないことを特徴としている。Further, the disk device according to the present invention has a motor for rotating a disk-shaped recording medium, and a floating within a quarter of the wavelength of the light to be used on the disk-shaped recording medium rotated by the motor. A floating optical head that floats by an amount and writes or reads an information signal to or from the disk-shaped recording medium, and at least an area of the disk-shaped recording medium where a signal is recorded has a floating-type optical head. It is characterized in that no undulations are formed below the length of the optical head in the traveling direction and the maximum amplitude is not less than 4 of the wavelength of the light.
【0025】このディスク装置によれば、浮上型光学ヘ
ッドが、モータにより回転駆動されるディスク状記録媒
体上を使用される光の波長の1/4以内の浮上量で浮上
して、このディスク状記録媒体に対して情報信号の書き
込み又は読み出しを行う。According to this disk device, the floating optical head floats on the disk-shaped recording medium rotated by the motor with a floating amount within one-fourth of the wavelength of the light to be used. Writing or reading of an information signal is performed on a recording medium.
【0026】このとき、ディスク状記録媒体の少なくと
も信号が記録される領域には、波長が浮上型光学ヘッド
の走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波
長の1/4以上となるうねりが形成されていないので、
浮上型光学ヘッドとディスク状記録媒体との衝突が回避
され、信頼性の高い記録及び/又は再生を行うことがで
きる。At this time, at least the signal recording area of the disc-shaped recording medium has a wavelength equal to or less than the length in the traveling direction of the flying optical head and has a maximum amplitude equal to or more than 1 / of the wavelength of the light. Is not formed,
Collision between the flying optical head and the disk-shaped recording medium is avoided, and highly reliable recording and / or reproduction can be performed.
【0027】[0027]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0028】本発明に係るディスク状記録媒体用基板
(以下、ディスク基板という。)は、再生専用光ディス
ク、光磁気ディスク、相変化型光ディスク等のように、
光を使用して記録及び/又は再生が行われるディスク状
記録媒体に用いられる基板であって、少なくともディス
ク状記録媒体の信号が記録される領域には、浮上型光学
ヘッドの走行方向の長さよりも波長が短く且つ最大振幅
が上記光の波長の1/4以上となるうねりが形成されて
いないことを特徴としている。The substrate for a disk-shaped recording medium according to the present invention (hereinafter, referred to as a disk substrate) may be a read-only optical disk, a magneto-optical disk, a phase-change optical disk, or the like.
A substrate used for a disc-shaped recording medium on which recording and / or reproduction is performed using light, and at least a region of the disc-shaped recording medium where a signal is recorded has a length longer than the length of the flying optical head in the traveling direction. This is characterized in that no undulations are formed in which the wavelength is short and the maximum amplitude is 1/4 or more of the wavelength of the light.
【0029】そして、このディスク基板は、特に、ニア
フィールド記録と呼ばれる、近接場の漏れ光を利用して
記録再生を行う方式により情報信号の書き込み又は読み
取りが行われるディスク状記録媒体の基板として好適で
ある。This disk substrate is particularly suitable as a substrate for a disk-shaped recording medium on which an information signal is written or read by a method called near-field recording, in which recording and reproduction is performed by using near-field leakage light. It is.
【0030】ニアフィールド記録は、屈折率nの高いレ
ンズを有する光学ヘッドを、ディスク状記録媒体の信号
記録面に近接させて、このディスク状記録媒体の信号記
録面上にスポット径が1/nに絞られたレーザビームを
照射し、ディスク状記録媒体に情報信号を書き込み、又
はディスク状記録媒体から情報信号を読み取る方式であ
り、スポット径を小さくすることにより、高密度記録を
実現するものである。In near-field recording, an optical head having a lens having a high refractive index n is brought close to a signal recording surface of a disk-shaped recording medium, and a spot diameter of 1 / n is formed on the signal recording surface of the disk-shaped recording medium. It is a system that irradiates a laser beam focused on, writes an information signal on a disk-shaped recording medium, or reads an information signal from a disk-shaped recording medium, and realizes high-density recording by reducing the spot diameter. is there.
【0031】このニアフィールド記録により、情報信号
の書き込み又は読み取りを行う場合、必要とされる出力
を得ることができるのは、光学ヘッドからの距離が使用
する光の波長の1/4以内の範囲である。When writing or reading an information signal by this near-field recording, the required output can be obtained only when the distance from the optical head is within 1 / of the wavelength of the light used. It is.
【0032】そこで、ニアフィールド記録により情報信
号の書き込み又は読み取りを行う場合は、光学ヘッド
を、ハードディスク装置等で採用される浮上型ヘッドの
技術を用いた浮上型光学ヘッドとして構成し、この浮上
型光学ヘッドをディスク状記録媒体の信号記録面から使
用する光の波長の1/4以内の高さで浮上させて、情報
信号の書き込み又は読み取りを行うようにしている。Therefore, when writing or reading an information signal by near-field recording, the optical head is configured as a floating optical head using a floating head technology employed in a hard disk device or the like. The optical head is floated from the signal recording surface of the disk-shaped recording medium at a height within one-fourth of the wavelength of the light used to write or read information signals.
【0033】本発明に係るディスク基板は、信号が記録
される領域に、浮上型光学ヘッドの走行方向の長さより
も波長が短く且つ最大振幅が上記光の波長の1/4以上
となるうねりが形成されていないので、ニアフィールド
記録により情報信号の書き込み又は読み取りを行うよう
にしても、浮上型光学ヘッドとの衝突が回避され、信頼
性が向上する。In the disk substrate according to the present invention, in a region where a signal is recorded, a swell in which the wavelength is shorter than the length of the floating optical head in the traveling direction and the maximum amplitude is 1/4 or more of the wavelength of the light. Since it is not formed, even if the information signal is written or read by near-field recording, collision with the flying optical head is avoided and reliability is improved.
【0034】以下、このディスク基板を樹脂を用いて成
形し、光磁気記録層を有する光磁気ディスクの基板とし
て用いて、浮上型光学ヘッドでニアフィールド記録によ
りこの光磁気ディスクに対して情報信号の書き込み又は
読み取りを行うようにした例について説明する。Hereinafter, this disk substrate is molded using a resin, and is used as a substrate of a magneto-optical disk having a magneto-optical recording layer. An example in which writing or reading is performed will be described.
【0035】光磁気ディスク10は、例えば図2に示す
ように、ディスク基板11上に光磁気記録層12が形成
されている。The magneto-optical disk 10 has a magneto-optical recording layer 12 formed on a disk substrate 11, as shown in FIG. 2, for example.
【0036】光磁気記録層12は、Al反射膜13と、
第1の誘電体膜14と、記録膜15と、第2の誘電体膜
16とが順次積層されてなる。The magneto-optical recording layer 12 includes an Al reflecting film 13,
The first dielectric film 14, the recording film 15, and the second dielectric film 16 are sequentially laminated.
【0037】記録膜15は、光磁気効果を発揮する膜で
あり、その材料としては、例えば、希土類としてTb、
遷移金属としてFeを用いたTb−Feアモルファス系
の材料等が用いられる。The recording film 15 is a film exhibiting a magneto-optical effect, and is made of, for example, rare earth elements such as Tb,
A Tb-Fe amorphous material using Fe as a transition metal is used.
【0038】Al反射膜13は、光磁気記録層12の反
射率を向上させるためのものである。The Al reflective film 13 is for improving the reflectivity of the magneto-optical recording layer 12.
【0039】また、第1及び第2の誘電体膜14,16
は、記録膜15の耐湿性の向上やディスク基板11の熱
変形を防止を図るとともに、記録膜15による光の吸収
を増大させるといった光学的な効率の向上を図るための
ものであり、その材料としては、例えば、ZnS−Si
O2系の材料等が用いられる。Further, the first and second dielectric films 14 and 16
Is for improving the moisture resistance of the recording film 15 and preventing thermal deformation of the disk substrate 11 and for improving optical efficiency such as increasing light absorption by the recording film 15. Is, for example, ZnS-Si
An O 2 -based material or the like is used.
【0040】光磁気ディスク10は、ディスク基板11
上に、上述した光磁気記録層12を構成する各膜が、例
えばスパッタリング等により成膜されることにより製造
される。The magneto-optical disk 10 includes a disk substrate 11
Each of the above-described films constituting the magneto-optical recording layer 12 is formed by, for example, sputtering or the like.
【0041】なお、光磁気ディスク10は、光磁気記録
層12上に、光磁気記録層12を保護するための保護層
17や、浮上型光学ヘッドが光磁気ディスク10に接触
した際の衝撃を緩和するための、図示しない潤滑剤層が
形成されていることが望ましい。The magneto-optical disk 10 has a protective layer 17 for protecting the magneto-optical recording layer 12 on the magneto-optical recording layer 12 and a shock when a floating optical head comes into contact with the magneto-optical disk 10. It is desirable that a lubricant layer (not shown) be formed for relaxation.
【0042】保護層17は、例えばカーボンやSiO2
等がスパッタリング等により光磁気記録層12上に成膜
されることにより形成される。The protective layer 17 is made of, for example, carbon or SiO 2
Are formed on the magneto-optical recording layer 12 by sputtering or the like.
【0043】また、潤滑剤層は、例えばパーフルオロポ
リエーテル等がスピンコート法等により保護層17上に
塗布されることにより形成される。The lubricant layer is formed by applying, for example, perfluoropolyether on the protective layer 17 by spin coating or the like.
【0044】一方、浮上型光学ヘッド20は、図3に示
すように、半導体レーザから出射されるレーザビームを
集光するプリフォーカスレンズ21と、このプリフォー
カスレンズ21により集光されたレーザビームをさらに
絞り込んでビームスポットを形成するフォーカスレンズ
22との2種類のレンズを備え、これらがレンズホルダ
23に支持されてなる。On the other hand, as shown in FIG. 3, the floating optical head 20 includes a prefocus lens 21 for condensing a laser beam emitted from a semiconductor laser, and a laser beam condensed by the prefocus lens 21. Further, two types of lenses, a focus lens 22 for forming a beam spot by narrowing down, are provided, and these are supported by a lens holder 23.
【0045】2種類のレンズのうち、フォーカスレンズ
22は、屈折率の高い材料が例えば半球状に成形されて
なり、円形平面が光磁気ディスク10の光磁気記録層1
2側の面と対向するように、レンズホルダ23に支持さ
れている。Of the two types of lenses, the focus lens 22 is formed by molding a material having a high refractive index into, for example, a hemispherical shape, and a circular plane is formed on the magneto-optical recording layer 1 of the magneto-optical disk 10.
It is supported by the lens holder 23 so as to face the surface on the second side.
【0046】また、この浮上型光学ヘッド20には、磁
界変調用の薄膜コイル24が、フォーカスレンズ22の
外周側に位置して、レンズホルダ23に支持された状態
で設けられている。そして、この浮上型光学ヘッド20
は、走行方向の長さLが例えば約2mmとされている。The floating optical head 20 is provided with a thin-film coil 24 for modulating a magnetic field, which is located on the outer peripheral side of the focus lens 22 and supported by a lens holder 23. The floating optical head 20
Has a length L in the traveling direction of, for example, about 2 mm.
【0047】以上のように構成される浮上型光学ヘッド
20は、回転する光磁気ディスク10上を浮上しなが
ら、半導体レーザから出射されたレーザビームを集光し
て光磁気ディスク10の光磁気記録層12に照射させ
る。また、この浮上型光学ヘッド20は、記録時におい
ては、薄膜コイル24が所定の強度の磁界を発生して、
この磁界を光磁気記録層12のレーザビームが照射され
た箇所に印加する。The floating optical head 20 configured as described above converges a laser beam emitted from a semiconductor laser while flying above the rotating magneto-optical disk 10 to perform magneto-optical recording on the magneto-optical disk 10. The layer 12 is irradiated. Also, in this floating optical head 20, during recording, the thin film coil 24 generates a magnetic field of a predetermined strength,
This magnetic field is applied to the portion of the magneto-optical recording layer 12 irradiated with the laser beam.
【0048】このような構成の浮上型光学ヘッド20を
用いた場合、ニアフィールド記録により光磁気ディスク
10に対して情報信号の記録及び再生を行うことができ
る。すなわち、浮上型光学ヘッド20は、光磁気ディス
ク10に極めて近接しながら、屈折率nの高い材料から
なるフォーカスレンズ22を透過したレーザビームを光
磁気ディスク10の光磁気記録層12に照射させて情報
信号の記録及び再生を行うようになされているので、情
報信号の記録及び再生にスポットが1/nに絞られた漏
れ光を利用することができる。When the flying optical head 20 having such a configuration is used, recording and reproduction of information signals on the magneto-optical disk 10 can be performed by near-field recording. That is, the flying optical head 20 irradiates the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 with a laser beam transmitted through the focus lens 22 made of a material having a high refractive index n while being very close to the magneto-optical disk 10. Since the recording and reproduction of the information signal are performed, the leakage light whose spot is narrowed to 1 / n can be used for the recording and reproduction of the information signal.
【0049】詳述すると、対物レンズがディスクからあ
る程度離れた位置に配置される光学系を用いて波長がλ
のレーザビームを集光した場合、レーザビームのスポッ
ト径は、λ/NA(NAは光学系の開口数)となるが、
浮上型光学ヘッド20を用いて波長がλのレーザビーム
を集光した場合、フォーカスレンズ22に極めて近接し
た領域においては、径が1/n×λ/NA(nはフォー
カスレンズ22の屈折率、NAは浮上型光学ヘッド20
の開口数)と絞られたレーザビームのスポットを得るこ
とができる。More specifically, the wavelength is set to λ by using an optical system in which the objective lens is arranged at a certain distance from the disk.
When the laser beam is focused, the spot diameter of the laser beam becomes λ / NA (NA is the numerical aperture of the optical system),
When a laser beam having a wavelength of λ is condensed using the floating optical head 20, the diameter is 1 / n × λ / NA (n is the refractive index of the focus lens 22, NA is a floating optical head 20
Numerical aperture) and a focused laser beam spot can be obtained.
【0050】このとき、情報信号の記録及び再生を行う
ために必要な出力をもつ漏れ光が得られるのは、レンズ
からの距離がλ/4程度までの領域である。At this time, the leaked light having an output necessary for recording and reproducing the information signal is obtained in an area whose distance from the lens is about λ / 4.
【0051】したがって、この浮上型光学ヘッド20
を、光磁気ディスク10の光磁気記録層12からλ/4
以内の浮上量で浮上させて、光磁気ディスク10に対し
て記録及び再生を行うことにより、対物レンズがディス
クからある程度離れた位置に配置される光学系を用いた
場合に比べて光磁気ディスク10の記録容量をn倍程度
にまで向上させることができる。Therefore, the floating type optical head 20
From the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10
By performing recording and reproduction with respect to the magneto-optical disk 10 while flying with a flying height within the range, the objective lens is compared with a case where an optical system in which the objective lens is disposed at a certain distance from the disk is used. Can be improved up to about n times.
【0052】ところで、ディスク基板11には、成形の
際の金型の表面精度等が反映されて、表面にうねりが生
じている場合がある。そして、このディスク基板11の
うねりは、そのまま光磁気ディスク10のうねりとして
現れる。なお、ここでうねりとは、成形の際に生じるデ
ィスク基板11の表面の起伏であって、核となる異物粒
子等が存在しないディスク基板11の表面の起伏をい
う。By the way, the disk substrate 11 may have undulation on the surface, reflecting the surface accuracy of the mold at the time of molding. The undulation of the disk substrate 11 appears as the undulation of the magneto-optical disk 10 as it is. Here, the undulation refers to the undulation of the surface of the disk substrate 11 that occurs during molding, and refers to the undulation of the surface of the disk substrate 11 where there are no foreign particles serving as nuclei.
【0053】浮上型光学ヘッド20は、図4に示すよう
に、光磁気ディスク10のうねりが、波長bが長い大き
なうねりである場合には、そのうねりに追従して、光磁
気ディスク10上を所定の浮上量hで浮上する。As shown in FIG. 4, when the undulation of the magneto-optical disk 10 is a large undulation having a long wavelength b, the flying optical head 20 follows the undulation and moves on the magneto-optical disk 10. It floats with a predetermined flying height h.
【0054】しかしながら、図5に示すように、浮上型
光学ヘッド20は、光磁気ディスク10のうねりの波長
bが短くなるに従って、次第にこのうねりに追従できな
くなり、浮上量hにΔh分だけ変動が生じる。そして、
うねりの波長bが浮上型光学ヘッド20の走行方向の長
さLよりも短くなると、浮上型光学ヘッド20は、この
うねりに全く追従することができず、浮上量hの変動量
Δhがうねりの最大振幅aに一致するようになる。However, as shown in FIG. 5, the flying optical head 20 cannot gradually follow the undulation as the wavelength b of the undulation of the magneto-optical disk 10 becomes shorter, and the flying height h fluctuates by Δh. Occurs. And
If the wavelength b of the undulation becomes shorter than the length L of the floating optical head 20 in the traveling direction, the floating optical head 20 cannot follow the undulation at all, and the fluctuation amount Δh of the floating amount h becomes the undulation. It becomes equal to the maximum amplitude a.
【0055】光磁気ディスク10のうねりの波長bと浮
上型光学ヘッド20の浮上変動量Δhとの関係を図6に
示す。なお、図6において、縦軸は(浮上型光学ヘッド
20の浮上変動量Δh)/(光磁気ディスク10のうね
りの最大振幅a)を示し、横軸は(光磁気ディスク10
のうねりの波長b)/(浮上型光学ヘッド20の走行方
向の長さL)を示している。FIG. 6 shows the relationship between the waviness wavelength b of the magneto-optical disk 10 and the flying fluctuation amount Δh of the flying optical head 20. In FIG. 6, the vertical axis represents (floating fluctuation amount Δh of flying type optical head 20) / (maximum amplitude a of undulation of magneto-optical disk 10), and the horizontal axis represents (magnetic disk 10
Wavelength b) / (Length L in the running direction of the flying optical head 20) is shown.
【0056】図6から分かるように、光磁気ディスク1
0のうねりの波長bが浮上型光学ヘッド20の走行方向
の長さLに対して十分に長い場合、すなわち、(光磁気
ディスク10のうねりの波長b)/(浮上型光学ヘッド
20の走行方向の長さL)の値が大きい場合は、(浮上
型光学ヘッド20の浮上変動量Δh)/(光磁気ディス
ク10のうねりの最大振幅a)の値が小さくなる。そし
て、(光磁気ディスク10のうねりの波長b)/(浮上
型光学ヘッド20の走行方向の長さL)の値が大きくな
ればなるほど、(浮上型光学ヘッド20の浮上変動量Δ
h)/(光磁気ディスク10のうねりの最大振幅a)の
値は0に近づき、浮上型光学ヘッド20は、光磁気ディ
スク10のうねりに追従して走行する。As can be seen from FIG. 6, the magneto-optical disk 1
When the undulation wavelength b of 0 is sufficiently longer than the length L of the flying optical head 20 in the traveling direction, that is, (the undulation wavelength b of the magneto-optical disk 10) / (the traveling direction of the flying optical head 20) When the value of (length L) is large, the value of (floating fluctuation amount Δh of flying optical head 20) / (maximum amplitude a of undulation of magneto-optical disk 10) becomes small. The larger the value of (wavelength b of the undulation of the magneto-optical disk 10) / (length L of the flying optical head 20 in the running direction) becomes, the larger the (floating fluctuation amount Δ of the flying optical head 20).
h) / (the maximum amplitude a of the undulation of the magneto-optical disk 10) approaches 0, and the flying optical head 20 travels following the undulation of the magneto-optical disk 10.
【0057】一方、光磁気ディスク10のうねりの波長
bが浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さL以下であ
る場合、すなわち、(光磁気ディスク10のうねりの波
長b)/(浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さL)
の値が1以下の場合は、(浮上型光学ヘッド20の浮上
変動量Δh)/(光磁気ディスク10のうねりの最大振
幅a)の値は約1であり、浮上型光学ヘッド20が光磁
気ディスク10のうねりに全く追従していないことが分
かる。On the other hand, when the undulation wavelength b of the magneto-optical disk 10 is equal to or less than the length L in the traveling direction of the flying optical head 20, that is, (wavelength b of undulation of the magneto-optical disk 10) / (floating optics Length L in the traveling direction of the head 20)
Is less than or equal to 1, the value of (floating fluctuation amount Δh of floating type optical head 20) / (maximum amplitude a of undulation of magneto-optical disk 10) is about 1, and floating type optical head 20 is It can be seen that the disk 10 does not follow the undulation at all.
【0058】ニアフィールド記録により、光磁気ディス
ク10に対して情報信号の記録及び再生を行う場合、記
録及び再生に必要な出力を得るためには、上述したよう
に、浮上型光学ヘッド20を、光磁気ディスク10の光
磁気記録層12からλ/4以内の浮上量で浮上させて、
光磁気ディスク10に対して記録及び再生を行う必要が
ある。When recording and reproducing an information signal on and from the magneto-optical disk 10 by near-field recording, in order to obtain an output required for recording and reproduction, as described above, the flying optical head 20 is used. By floating from the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 with a floating amount within λ / 4,
It is necessary to perform recording and reproduction on the magneto-optical disk 10.
【0059】このとき、光磁気ディスク10の信号記録
領域に、最大振幅がλ/4以上の浮上型光学ヘッド20
が全く追従できないうねりが存在すると、このうねりが
原因となって光磁気ディスク10と浮上型光学ヘッド2
0とが衝突してしまい、光磁気ディスク10あるいは浮
上型光学ヘッド20の損傷を招いてしまうことになる。At this time, the floating optical head 20 having a maximum amplitude of λ / 4 or more is recorded in the signal recording area of the magneto-optical disk 10.
If there is a swell that cannot be tracked at all, the swell causes the magneto-optical disk 10 and the floating type optical head 2.
0 collides with each other, resulting in damage to the magneto-optical disk 10 or the flying optical head 20.
【0060】そこで、ディスク基板11は、少なくとも
光磁気ディスク10の信号が記録される領域に、波長が
浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さL以下で、且
つ、最大振幅がレーザビームの波長の1/4以上となる
うねりが形成されないようにしている。Therefore, the disk substrate 11 has at least an area of the magneto-optical disk 10 where a signal is recorded where the wavelength is equal to or less than the length L in the traveling direction of the flying optical head 20 and the maximum amplitude is the wavelength of the laser beam. The swell that becomes 1/4 or more of the above is not formed.
【0061】ここで、本発明に係るディスク基板11の
製造方法について説明する。このディスク基板11は、
例えば成形面に転写パターンが形成された成形用金型を
用い、樹脂材料が例えば射出成形されることにより製造
される。Here, a method of manufacturing the disk substrate 11 according to the present invention will be described. This disk substrate 11
For example, a resin material is manufactured by, for example, injection molding using a molding die having a transfer pattern formed on a molding surface.
【0062】このディスク基板11の材料として使用す
る樹脂材料としては、耐熱性、精密成形性、低吸湿変形
性、高弾性率等に優れた熱可塑性樹脂が好ましい。As the resin material used as the material of the disk substrate 11, a thermoplastic resin excellent in heat resistance, precision moldability, low hygroscopic deformation, high elastic modulus and the like is preferable.
【0063】さらに詳しくは、耐熱性の観点から、ガラ
ス転移温度が50℃以上、好ましくは70℃以上、より
好ましくは100℃以上、精密成形性の観点から、非晶
性樹脂でガラス転移温度が300℃以下、好ましくは2
50℃以下、より好ましくは200℃以下、低吸湿性の
観点から、吸水率(25℃、24時間浸漬後)が0.2
%以下、好ましくは0.1%以下の非晶質熱可塑性樹脂
が好ましく、これらのバランスがよい点で、熱可塑性ノ
ルボルネン系樹脂が最も好ましい。More specifically, from the viewpoint of heat resistance, the glass transition temperature is 50 ° C. or higher, preferably 70 ° C. or higher, more preferably 100 ° C. or higher. 300 ° C or less, preferably 2
50 ° C. or less, more preferably 200 ° C. or less, and from the viewpoint of low moisture absorption, the water absorption (at 25 ° C., after immersion for 24 hours) is 0.2
% Or less, preferably 0.1% or less amorphous thermoplastic resin is preferable, and a thermoplastic norbornene-based resin is most preferable in terms of a good balance between them.
【0064】ディスク基板11の射出成形に用いられる
成形用金型50は、例えば図7に示すように、一対の固
定金型51及び可動金型52と、これら固定金型51及
び可動金型52に取り付けられディスク基板11の外周
端部を成形する図示しない環状型体とを備えている。こ
れら固定金型51及び可動金型52と環状金型は、それ
ぞれ図示しない冷却機構により冷却されるようになされ
ている。As shown in FIG. 7, for example, a molding die 50 used for injection molding of the disk substrate 11 includes a pair of fixed dies 51 and movable dies 52, and these fixed dies 51 and movable dies 52. And an annular mold (not shown) for molding the outer peripheral end of the disk substrate 11. The fixed mold 51, the movable mold 52, and the annular mold are cooled by a cooling mechanism (not shown).
【0065】成形用金型50は、可動金型52が固定金
型51に突き合わされたときに、両者間に樹脂材料が充
填されるキャビティが形成される。そして、この成形用
金型50は、キャビディを構成する固定金型51と可動
金型52のそれぞれの対向面51a,52aがディスク
成形面とされており、これらの対向面51a,52a
に、例えば、所望のトラックパターンやサーボパターン
に対応した転写パターンが形成されている。When the movable mold 52 is brought into contact with the fixed mold 51, the molding die 50 has a cavity filled with a resin material therebetween. In the molding die 50, the opposing surfaces 51a, 52a of the fixed die 51 and the movable die 52 forming the cavities are disk forming surfaces, and these opposing surfaces 51a, 52a are formed.
For example, a transfer pattern corresponding to a desired track pattern or servo pattern is formed.
【0066】ここで、固定金型51と可動金型52のそ
れぞれの対向面51a,52aに転写パターンを形成す
る工程について説明する。Here, a process of forming a transfer pattern on the opposing surfaces 51a and 52a of the fixed mold 51 and the movable mold 52 will be described.
【0067】まず、図8に示すように、固定金型51と
可動金型52の転写パターンが形成されるそれぞれの対
向面51a,52aに、めっき処理や鏡面仕上げ加工等
の表面処理が施され、それぞれの対向面51a,52a
に形成されたピンホール等の穴や間隙等が埋められる。First, as shown in FIG. 8, the opposite surfaces 51a, 52a on which the transfer patterns of the fixed mold 51 and the movable mold 52 are formed are subjected to a surface treatment such as plating or mirror finishing. , The respective opposing surfaces 51a, 52a
The holes, such as pinholes, gaps, etc. formed in the holes are filled.
【0068】次に、図9に示すように、表面処理が施さ
れた固定金型51と可動金型52のそれぞれの対向面5
1a,52aに、レジスト53が塗布される。Next, as shown in FIG. 9, each of the opposing surfaces 5 of the fixed mold 51 and the movable mold 52 having been subjected to the surface treatment.
A resist 53 is applied to 1a and 52a.
【0069】次に、図10に示すように、レジスト53
が塗布された固定金型51と可動金型52のそれぞれの
対向面51a,52aに、転写パターンに対応してレー
ザ光が照射され、所定の箇所のレジストが露光される。Next, as shown in FIG.
The opposite surfaces 51a and 52a of the fixed mold 51 and the movable mold 52 coated with are irradiated with laser light corresponding to the transfer pattern, and a predetermined portion of the resist is exposed.
【0070】次に、図11に示すように、レーザ光が照
射されたレジストが現像され、除去される。Next, as shown in FIG. 11, the resist irradiated with the laser beam is developed and removed.
【0071】次に、図12に示すように、除去されずに
残ったレジストをマスクとして、固定金型51と可動金
型52のそれぞれの対向面51a,52aに、例えばア
ルゴンイオン等のガスによりエッチング処理が施され
る。Next, as shown in FIG. 12, using the remaining resist as a mask, the opposing surfaces 51a and 52a of the fixed mold 51 and the movable mold 52 are coated with a gas such as argon ion. An etching process is performed.
【0072】最後に、図13に示すように、マスクとさ
れたレジストが洗浄除去され、固定金型51と可動金型
52のそれぞれの対向面51a,52aに、所望の転写
パターンが形成される。Finally, as shown in FIG. 13, the resist used as the mask is washed and removed, and a desired transfer pattern is formed on the opposing surfaces 51a and 52a of the fixed mold 51 and the movable mold 52, respectively. .
【0073】以上のように転写パターンが形成された成
形用金型50は、図示しない射出成形装置に装着され
る。そして、ディスク基板11を製造する際は、まず、
可動金型52が移動操作され、固定金型51に突き合わ
されて、可動金型52と固定金型51のそれぞれの対向
面51a,52a間にキャビティが形成される。The molding die 50 on which the transfer pattern is formed as described above is mounted on an injection molding apparatus (not shown). Then, when manufacturing the disk substrate 11, first,
The movable mold 52 is moved and abutted against the fixed mold 51 to form a cavity between the opposing surfaces 51a, 52a of the movable mold 52 and the fixed mold 51.
【0074】次に、この成形用金型50のキャビティ内
に、溶融された樹脂材料が、所定の圧力で注入され、充
填される。キャビティ内に充填された樹脂材料は、キャ
ビティ内で冷却固化されることにより、ディスク基板1
1として成形される。このとき、固定金型51と可動金
型52のそれぞれの対向面51a,52aに形成された
転写パターンが、ディスク基板11の表面に転写され、
ディスク基板11の表面に所望のトラックパターンやサ
ーボパターンが形成される。Next, the molten resin material is injected and filled into the cavity of the molding die 50 at a predetermined pressure. The resin material filled in the cavity is cooled and solidified in the cavity, so that the disk substrate 1
Molded as 1. At this time, the transfer patterns formed on the opposing surfaces 51a and 52a of the fixed mold 51 and the movable mold 52 are transferred to the surface of the disk substrate 11,
A desired track pattern or servo pattern is formed on the surface of the disk substrate 11.
【0075】ディスク基板11は、以上のように製造さ
れることにより、少なくとも光磁気ディスク10の信号
記録領域となる領域に、波長が浮上型光学ヘッドの走行
方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用されるレーザ
ビームの波長の1/4以上となるうねりが形成されてい
ない平面が得られる。The disk substrate 11 is manufactured as described above, so that the wavelength is at least equal to or less than the length of the flying optical head in the traveling direction at least in the region where the signal is recorded on the magneto-optical disk 10. It is possible to obtain a flat surface in which no undulation is formed in which the amplitude is at least 1 / of the wavelength of the laser beam used.
【0076】実際に、以上のように製造されたディスク
基板11の信号記録領域となる領域を半径方向に400
0μm走査し、ディスク基板11のうねりの状態を調べ
た。このディスク基板11の表面の様子を図14に示
す。なお、図14において、縦軸はディスク基板11の
基準面を0としたときの、ディスク基板11表面の基準
面からの距離を示し、横軸はディスク基板11の半径方
向の位置を示している。Actually, an area to be a signal recording area of the disk substrate 11 manufactured as described above is
Scanning was performed at 0 μm, and the state of the undulation of the disk substrate 11 was examined. FIG. 14 shows the state of the surface of the disk substrate 11. In FIG. 14, the vertical axis indicates the distance of the surface of the disk substrate 11 from the reference surface when the reference surface of the disk substrate 11 is 0, and the horizontal axis indicates the position of the disk substrate 11 in the radial direction. .
【0077】また、図14において、ディスク基板11
の実際の表面は実線で表しており、このディスク基板1
1の平均面を仮想線(一点鎖線)で表している。実線で
表されたディスク基板11表面の微細な凹凸は、ディス
ク基板11表面に予め形成されたサーボパターンであ
る。In FIG. 14, the disk substrate 11
The actual surface of the disk substrate 1 is represented by a solid line.
The average plane of No. 1 is represented by a virtual line (dashed line). Fine irregularities on the surface of the disk substrate 11 represented by solid lines are servo patterns formed in advance on the surface of the disk substrate 11.
【0078】このディスク基板11には、図14に示す
ように、波長が浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さ
以下であるうねりは確認されなかった。波長が浮上型光
学ヘッド20の走行方向の長さに対して十分に長い、大
きなうねりは確認されたが、この大きなうねりに対して
は、浮上型光学ヘッド20が追従するので問題はない。
なお、浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さは、約2
mmとされている。As shown in FIG. 14, no waviness of the disk substrate 11 having a wavelength equal to or shorter than the length of the floating optical head 20 in the traveling direction was observed. Although a large undulation having a wavelength sufficiently longer than the length of the floating optical head 20 in the traveling direction was confirmed, there is no problem since the floating optical head 20 follows the large undulation.
The length of the flying optical head 20 in the traveling direction is about 2
mm.
【0079】光磁気ディスク10は、このディスク基板
11上に光磁気記録層12が形成されて製造されること
により、少なくとも信号記録領域を、波長が上記浮上型
光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が
上記光の波長の1/4以上となるうねりのない平滑な面
とすることができ、浮上型光学ヘッド20でニアフィー
ルド記録により記録再生を行う際に、浮上型光学ヘッド
20と衝突するという不都合が回避され、信頼性が向上
する。The magneto-optical disk 10 is manufactured by forming the magneto-optical recording layer 12 on the disk substrate 11, so that at least the signal recording area has a wavelength equal to or less than the length of the floating optical head in the running direction. In addition, it is possible to provide a smooth surface having no undulation with a maximum amplitude of 1/4 or more of the wavelength of the light. The inconvenience of colliding with the head 20 is avoided, and the reliability is improved.
【0080】なお、以上は、本発明を光磁気記録層12
を有する光磁気ディスク10用のディスク基板11に適
用した例について説明したが、本発明はこの例に限定さ
れるものではなく、再生専用の光ディスク用のディスク
基板や相変化型の光ディスク用のディスク基板に適用す
ることもできる。The present invention has been described with reference to the magneto-optical recording layer 12.
An example in which the present invention is applied to the disk substrate 11 for the magneto-optical disk 10 having the structure described above is described. However, the present invention is not limited to this example, and a disk substrate for a read-only optical disk or a disk for a phase-change optical disk. It can also be applied to a substrate.
【0081】以上のようなディスク基板11を用いた光
磁気ディスク10は、例えば図15及び図16に示すよ
うなディスク装置30に装着されて記録及び再生が行わ
れる。なお、図15は、このディスク装置30の概略構
成を示すブロック図であり、図16は、このディスク装
置30の要部の縦断面図である。The magneto-optical disk 10 using the disk substrate 11 as described above is mounted on a disk device 30 as shown in FIGS. 15 and 16 for recording and reproducing. FIG. 15 is a block diagram showing a schematic configuration of the disk device 30, and FIG. 16 is a longitudinal sectional view of a main part of the disk device 30.
【0082】このディスク装置30は、光磁気ディスク
10を回転駆動させるスピンドルモータ31と、このス
ピンドルモータ31により回転駆動される光磁気ディス
ク10に対して情報信号の書き込み又は読み出しを行う
ヘッド機構32と、ヘッド機構32から供給された受光
信号に基づいてMO再生信号及び制御信号を生成する信
号処理部33と、スピンドルモータ31及びヘッド機構
32の動作を制御するシステムコントローラ34とを備
えている。The disk drive 30 includes a spindle motor 31 for driving the magneto-optical disk 10 to rotate, a head mechanism 32 for writing or reading information signals to or from the magneto-optical disk 10 driven to rotate by the spindle motor 31. A signal processing unit 33 for generating an MO reproduction signal and a control signal based on a light receiving signal supplied from the head mechanism 32, and a system controller 34 for controlling operations of the spindle motor 31 and the head mechanism 32.
【0083】スピンドルモータ31は、システムコント
ローラ34の制御により、保持した光磁気ディスク10
を所定の速度で回転駆動させる。The spindle motor 31 controls the held magneto-optical disk 10 under the control of the system controller 34.
Is driven to rotate at a predetermined speed.
【0084】ヘッド機構32は、図16に示すように、
浮上型光学ヘッド20と、この浮上型光学ヘッド20を
駆動させるヘッド駆動部40と、光磁気ディスク10に
向けてレーザビームを出射するとともに光磁気ディスク
10にて反射されたレーザビーム(戻り光)を受光する
発光/受光部44とを備えている。The head mechanism 32, as shown in FIG.
A floating optical head 20, a head drive unit 40 for driving the floating optical head 20, a laser beam that emits a laser beam toward the magneto-optical disk 10 and is reflected by the magneto-optical disk 10 (return light) And a light emitting / receiving section 44 for receiving the light.
【0085】浮上型光学ヘッド20は、先に図3で示し
たように、プリフォーカスレンズ21とフォーカスレン
ズ22とがレンズホルダ23に支持されてなり、フォー
カスレンズ22の外周側には磁界変調用の薄膜コイル2
4が設けられている。なお、この浮上型光学ヘッド20
の詳細は上述した通りであるので、ここでは説明を省略
する。As shown in FIG. 3, the floating type optical head 20 has a prefocus lens 21 and a focus lens 22 supported by a lens holder 23. Thin film coil 2
4 are provided. In addition, this floating type optical head 20
Is as described above, and the description is omitted here.
【0086】ヘッド駆動部40は、回動軸43に回動可
能に取り付けられてその一端側にて浮上型光学ヘッド2
0を支持する支持アーム41と、この支持アーム41の
他端側に設けられこの支持アーム41を回動させるボイ
スコイルモータ42とを備えている。The head drive unit 40 is rotatably mounted on a rotation shaft 43 and has a floating optical head 2 at one end.
0, and a voice coil motor 42 provided on the other end of the support arm 41 to rotate the support arm 41.
【0087】このヘッド駆動部40は、システムコント
ローラ34の制御により、ボイスコイルモータ42に所
定の電流が供給されると、ボイスコイルモータ42が支
持アーム41を回動軸43を回動中心として回動させ、
支持アーム41の一端側に取り付けられた浮上型光学ヘ
ッド20を、回転する光磁気ディスク10の光磁気記録
層12から所定量浮上させた状態で、光磁気ディスク1
0の径方向に移動させる。When a predetermined current is supplied to the voice coil motor 42 under the control of the system controller 34, the head driving unit 40 rotates the support arm 41 about the rotation shaft 43 as the rotation center. Move
The floating optical head 20 attached to one end of the support arm 41 is lifted from the magneto-optical recording layer 12 of the rotating magneto-optical disk 10 by a predetermined amount.
0 in the radial direction.
【0088】発光/受光部44は、図示を省略するが、
光磁気ディスク10の光磁気記録層12に向けて所定の
波長のレーザビームを出射する半導体レーザと、光磁気
ディスク10の光磁気記録層12からの戻り光を受光
し、受光した光を電気信号(受光信号)に変換してこの
受光信号を信号処理部33に供給するフォトディテクタ
とを備えている。また、半導体レーザから出射され光磁
気ディスク10の光磁気記録層12で反射されてフォト
ディテクタで受光されるレーザビームの光路上には、図
5に示すようなレーザビームを反射させて光路を折り曲
げるミラー45,46や、図示を省略するが、レーザビ
ームを分離するビームスプリッタ等の光学素子が配置さ
れている。The light-emitting / light-receiving section 44 is not shown, but
A semiconductor laser that emits a laser beam of a predetermined wavelength toward the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10; a return light from the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 is received; And a photodetector that converts the received light signal to a signal processing unit 33. On the optical path of the laser beam emitted from the semiconductor laser, reflected by the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 and received by the photodetector, a mirror for reflecting the laser beam and bending the optical path as shown in FIG. Although not shown, optical elements such as a beam splitter 45 and 46 for separating a laser beam are arranged.
【0089】信号処理部33は、ヘッド機構32の発光
/受光部44のフォトディテクタから供給される受光信
号に基づいて、MO再生信号を生成してこのMO再生信
号を出力するとともに、トラッキングエラー信号等の制
御信号を生成してこの制御信号をシステムコントローラ
34に供給する。The signal processing section 33 generates an MO reproduction signal based on the light receiving signal supplied from the photodetector of the light emitting / receiving section 44 of the head mechanism 32, outputs this MO reproduction signal, and outputs a tracking error signal and the like. , And supplies the control signal to the system controller 34.
【0090】システムコントローラ34は、スピンドル
モータ31の動作を制御して光磁気ディスク10を所定
の速度で回転させる。また、システムコントローラ34
は、図示しない装置から供給される記録信号に基づいて
ヘッド機構32に記録動作を行わせるとともに、ヘッド
機構32に再生動作を行わせる。このとき、システムコ
ントローラ34は、信号処理部33から供給される制御
信号に基づいてヘッド機構32にトラッキング制御を行
わせる。The system controller 34 controls the operation of the spindle motor 31 to rotate the magneto-optical disk 10 at a predetermined speed. Also, the system controller 34
Causes the head mechanism 32 to perform a recording operation based on a recording signal supplied from a device (not shown), and causes the head mechanism 32 to perform a reproducing operation. At this time, the system controller 34 causes the head mechanism 32 to perform tracking control based on the control signal supplied from the signal processing unit 33.
【0091】以上のように構成されるディスク装置30
は、記録時においては、システムコントローラ34の制
御により、スピンドルモータ31が、装着された光磁気
ディスク10を所定の速度で回転させる。また、発光/
受光部44の半導体レーザが、例えば波長が659nm
の赤色レーザビームを出射する。The disk device 30 configured as described above
In recording, the spindle motor 31 rotates the mounted magneto-optical disk 10 at a predetermined speed under the control of the system controller 34 during recording. In addition,
The semiconductor laser of the light receiving section 44 has a wavelength of, for example, 659 nm.
Out of the red laser beam.
【0092】半導体レーザから出射されたレーザビーム
は、ミラー45,46により曲折され、浮上型光学ヘッ
ド20に入射される。The laser beam emitted from the semiconductor laser is bent by mirrors 45 and 46 and is incident on the floating optical head 20.
【0093】浮上型光学ヘッド20は、ヘッド駆動部4
0の支持アーム41に支持されて、回転する光磁気ディ
スク10上を、例えば光磁気記録層12から165nm
以内の浮上量で浮上した状態で、入射したレーザビーム
を収束して光磁気ディスク10の光磁気記録層12に照
射させる。このとき、光磁気ディスク10の表面には、
波長が浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さ以下で、
且つ最大振幅が165nm以上のうねりが形成されてい
ないので、浮上型光学ヘッド20が光磁気ディスク10
の突起に衝突する不都合が回避される。The flying type optical head 20 includes a head driving unit 4
0 on the rotating magneto-optical disk 10 supported by the support arm 41 of, for example, 165 nm from the magneto-optical recording layer 12.
The laser beam incident on the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 is converged and radiated to the magneto-optical recording layer 12 in a state where the laser beam floats with the flying height within the range. At this time, the surface of the magneto-optical disk 10
The wavelength is equal to or less than the length of the floating optical head 20 in the traveling direction,
In addition, since no waviness having a maximum amplitude of 165 nm or more is formed, the flying optical head 20
The inconvenience of colliding with the projection is avoided.
【0094】また、浮上型ヘッド20は、システムコン
トローラ34の制御により、薄膜ヘッド24が記録信号
に対応した強度の磁界を発生し、この磁界を光磁気記録
層12のレーザビームが照射された箇所に印加する。In the flying head 20, under the control of the system controller 34, the thin-film head 24 generates a magnetic field having an intensity corresponding to the recording signal, and this magnetic field is applied to a portion of the magneto-optical recording layer 12 where the laser beam is irradiated. Is applied.
【0095】以上のようにして、ディスク装置30は、
光磁気ディスク10の光磁気記録層12に所定の情報信
号を記録する。なお、この記録時においても、後述する
再生時と同様にトラッキング制御が行われる。As described above, the disk device 30
A predetermined information signal is recorded on the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10. Note that, also at the time of this recording, tracking control is performed in the same manner as at the time of reproduction described later.
【0096】ディスク装置30は、再生時においては、
システムコントローラ34の制御により、スピンドルモ
ータ31が、装着された光磁気ディスク10を所定の速
度で回転させる。また、発光/受光部44の半導体レー
ザが、例えば波長が659nmの赤色レーザビームを出
射する。[0096] During playback, the disk device 30
Under the control of the system controller 34, the spindle motor 31 rotates the mounted magneto-optical disk 10 at a predetermined speed. The semiconductor laser of the light emitting / receiving unit 44 emits a red laser beam having a wavelength of, for example, 659 nm.
【0097】半導体レーザから出射されたレーザビーム
は、ミラー45,46にて反射され、浮上型光学ヘッド
20に入射される。[0097] The laser beam emitted from the semiconductor laser is reflected by mirrors 45 and 46 and is incident on the floating optical head 20.
【0098】浮上型光学ヘッド20は、ヘッド駆動部4
0の支持アーム41に支持されて、回転する光磁気ディ
スク10上を、例えば光磁気記録層12から165nm
以内の浮上量で浮上した状態で、入射したレーザビーム
を収束して光磁気ディスク10の光磁気記録層12に照
射させる。The flying type optical head 20 includes a head driving unit 4
0 on the rotating magneto-optical disk 10 supported by the support arm 41 of, for example, 165 nm from the magneto-optical recording layer 12.
The laser beam incident on the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 is converged and radiated to the magneto-optical recording layer 12 in a state where the laser beam floats with the flying height within the range.
【0099】このとき、光磁気ディスク10の表面に
は、波長が浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さ以下
で、且つ最大振幅が165nm以上のうねりが形成され
ていないので、浮上型光学ヘッド20が光磁気ディスク
10の突起に衝突する不都合が回避される。At this time, since the surface of the magneto-optical disk 10 has no undulation whose wavelength is less than the length in the traveling direction of the floating optical head 20 and whose maximum amplitude is 165 nm or more, the floating optical head The inconvenience that the projection 20 collides with the projection of the magneto-optical disk 10 is avoided.
【0100】光磁気ディスク10の光磁気記録層12に
照射されたレーザビームは、この光磁気記録層12で反
射され、信号成分を含んだ戻り光となる。そして、この
戻り光は、浮上型光学ヘッド20を透過し、ミラー4
5,46にて反射されて、発光/受光部44のフォトデ
ィテクタにより受光される。The laser beam applied to the magneto-optical recording layer 12 of the magneto-optical disk 10 is reflected by the magneto-optical recording layer 12 to become return light containing a signal component. Then, the return light passes through the floating optical head 20 and is reflected by the mirror 4.
The light is reflected at 5 and 46 and received by the photodetector of the light emitting / receiving unit 44.
【0101】フォトディテクタは、受光した戻り光を電
気信号(受光信号)に変換して、信号処理部33に供給
する。The photo detector converts the received return light into an electric signal (light receiving signal) and supplies the electric signal to the signal processing unit 33.
【0102】信号処理部33は、フォトディテクタから
供給された受光信号に基づいてMO再生信号を生成して
出力するとともに、フォトディテクタから供給された受
光信号に基づいてトラッキングエラー信号等の制御信号
を生成し、この制御信号をシステムコントローラ34に
供給する。The signal processing section 33 generates and outputs an MO reproduction signal based on the received light signal supplied from the photodetector, and generates a control signal such as a tracking error signal based on the received light signal supplied from the photodetector. The control signal is supplied to the system controller 34.
【0103】システムコントローラ34は、信号処理部
33より供給された制御信号に基づいてヘッド駆動部4
0のボイスコイルモータ43を制御して、支持アーム4
1に支持された浮上型光学ヘッド20を光磁気ディスク
10の径方向に移動させ、トラッキング制御を行う。The system controller 34 controls the head driving unit 4 based on the control signal supplied from the signal processing unit 33.
0 by controlling the voice coil motor 43
The floating type optical head 20 supported by 1 is moved in the radial direction of the magneto-optical disk 10 to perform tracking control.
【0104】以上のようにして、ディスク装置30は、
光磁気ディスク10に記録された情報信号を適切に再生
する。As described above, the disk device 30
The information signal recorded on the magneto-optical disk 10 is appropriately reproduced.
【0105】このディスク装置30は、浮上型光学ヘッ
ド20が、光磁気ディスク10の光磁気記録層12から
の離間距離がレーザビームの波長の1/4以内の範囲で
浮上しながら、光磁気ディスク10の光磁気記録層12
にレーザビームを照射するようにしているので、レーザ
ビームのスポット径を小さくすることができ、光磁気デ
ィスク10に対して高密度で情報信号を記録し、また
は、高密度で情報信号が記録された光磁気ディスク10
の情報信号を再生することができる。In the disk drive 30, the floating type optical head 20 floats within a range in which the distance between the magneto-optical disk 10 and the magneto-optical recording layer 12 is within 1 / of the wavelength of the laser beam. 10 magneto-optical recording layers 12
Since the laser beam is applied to the optical disk 10, the spot diameter of the laser beam can be reduced, and an information signal can be recorded on the magneto-optical disk 10 at a high density. Magneto-optical disk 10
Can be reproduced.
【0106】また、このディスク装置30は、基板表面
に、波長が浮上型光学ヘッド20の走行方向の長さ以下
で、且つ最大振幅がレーザビームの波長の1/4以上と
なるうねりが形成されていないディスク基板11を用い
た光磁気ディスク10に対して情報信号の記録及び再生
を行うようにしているので、浮上型光学ヘッド20が光
磁気ディスク10の表面の突起に衝突して、浮上型光学
ヘッド20あるいは光磁気ディスク10の損傷を招いて
しまうという不都合が回避され、信頼性の高い記録及び
再生動作を行うことができる。In the disk device 30, a waviness is formed on the surface of the substrate so that the wavelength is equal to or less than the length of the flying optical head 20 in the traveling direction and the maximum amplitude is equal to or more than 1/4 of the wavelength of the laser beam. Since the recording and reproduction of the information signal are performed on the magneto-optical disk 10 using the disk substrate 11 which is not used, the floating type optical head 20 collides with the projection on the surface of the magneto-optical disk 10 and The inconvenience of causing damage to the optical head 20 or the magneto-optical disk 10 is avoided, and highly reliable recording and reproducing operations can be performed.
【0107】なお、以上は、光磁気ディスク10に対し
て記録及び再生を行うディスク装置30を例に説明した
が、本発明は、この例に限定されるものではなく、再生
専用の光ディスクに対して再生を行うディスク装置や、
相変化型の光ディスクに対して記録及び再生を行うディ
スク装置にも適用することができる。Although the above description has been made with reference to the disk device 30 for recording and reproducing data on and from the magneto-optical disk 10, the present invention is not limited to this example. Disk devices that perform playback
The present invention can also be applied to a disk device that performs recording and reproduction on a phase change optical disk.
【0108】[0108]
【発明の効果】本発明に係るディスク状記録媒体用基板
は、少なくともディスク状記録媒体の信号が記録される
領域に対応した領域には、波長が浮上型光学ヘッドの走
行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の波
長の1/4以上となるうねりが形成されていない。した
がって、この基板を用いたディスク状記録媒体は、光学
ヘッドとの衝突等が回避され、信頼性が大幅に向上す
る。According to the substrate for a disk-shaped recording medium of the present invention, at least the region corresponding to the region where the signal of the disk-shaped recording medium is recorded has a wavelength not longer than the length of the flying optical head in the running direction. In addition, no swell having a maximum amplitude of 1/4 or more of the wavelength of the light used is formed. Therefore, a disc-shaped recording medium using this substrate avoids collision with the optical head and the like, and greatly improves reliability.
【0109】また、この基板を用いたディスク状記録媒
体は、浮上型光学ヘッドを信号記録層から使用する光の
波長の1/4以内の浮上量で浮上させて記録及び/又は
再生を行うようにしても、浮上型光学ヘッドとの衝突が
回避されるので、高密度な記録及び/又は再生が可能と
なる。Further, the disc-shaped recording medium using this substrate is designed to perform recording and / or reproduction by causing the floating optical head to fly from the signal recording layer with a flying height of not more than 波長 of the wavelength of the light used. In any case, since collision with the floating optical head is avoided, high-density recording and / or reproduction can be performed.
【0110】さらに、このディスク状記録媒体用基板
は、成形面に転写パターンが形成された成形用金型を用
い、樹脂を射出成形して形成するようにすれば、ディス
ク表面にヘッド位置決め情報やアドレス情報のための凹
部が設けられたディスク状記録媒体やトラック間にグル
ーブを有するディスク状記録媒体用の基板として、精度
良く且つ容易に形成することができ、ハードディスク等
で用いられているアルミニウム基板に比べて生産性良く
且つ低コストで製造することができる。Further, if the substrate for a disk-shaped recording medium is formed by injection molding a resin using a molding die having a transfer pattern formed on a molding surface, head positioning information and information can be obtained on the disk surface. Aluminum substrate which can be formed accurately and easily as a substrate for a disk-shaped recording medium provided with a concave portion for address information or a disk-shaped recording medium having grooves between tracks, and which is used for a hard disk or the like. It can be manufactured with high productivity and at low cost as compared with.
【0111】また、本発明に係るディスク装置は、信号
が記録される領域に、波長が浮上型光学ヘッドの走行方
向の長さ以下で、且つ、最大振幅が使用する光の波長の
1/4以上となるうねりが形成されていないディスク状
記録媒体に対して情報信号の記録及び再生を行うように
しているので、使用する光の波長の1/4以内の浮上量
で浮上する浮上型光学ヘッドが、ディスク状記録媒体に
衝突して、浮上型光学ヘッドあるいはディスク状記録媒
体の損傷を招いてしまうという不都合が回避され、信頼
性の高い記録及び再生動作を行うことができる。Further, in the disk device according to the present invention, in the area where the signal is recorded, the wavelength is equal to or less than the length in the traveling direction of the flying optical head and the maximum amplitude is 1 / of the wavelength of the light used. Since the recording and reproduction of the information signal are performed on the disk-shaped recording medium in which the undulation is not formed as described above, the floating type optical head which floats with a floating amount within 1/4 of the wavelength of the light to be used. However, the inconvenience of colliding with the disk-shaped recording medium and causing damage to the floating optical head or the disk-shaped recording medium can be avoided, and highly reliable recording and reproducing operations can be performed.
【0112】さらに、このディスク装置は、浮上型光学
ヘッドが、使用する光の波長の1/4以内の浮上量で浮
上しながら、ディスク状記録媒体に対して情報信号の書
き込み又は読み出しを行うようにしているので、光のス
ポット径を小さくすることができ、ディスク状記録媒体
に対して高密度で情報信号を記録し、または、高密度で
情報信号が記録されたディスク状記録媒体の情報信号を
再生することができる。Further, in this disk device, the floating optical head writes or reads an information signal on or from the disk-shaped recording medium while floating with a floating amount within 1 / of the wavelength of the light to be used. Therefore, the spot diameter of light can be reduced, and information signals are recorded at a high density on the disk-shaped recording medium, or the information signals of the disk-shaped recording medium on which the information signals are recorded at a high density Can be played.
【図1】ディスク状記録媒体のうねりの状態を説明する
図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a state of undulation of a disk-shaped recording medium.
【図2】光磁気ディスクの要部を示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a main part of the magneto-optical disk.
【図3】光磁気ディスク上を浮上する浮上型光学ヘッド
を示す縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a flying optical head that floats on a magneto-optical disk.
【図4】浮上型光学ヘッドが光磁気ディスクのうねりに
追従している状態を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which a flying optical head follows the undulation of a magneto-optical disk.
【図5】浮上型光学ヘッドが光磁気ディスク基板のうね
りに追従しない状態を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the flying optical head does not follow the undulation of the magneto-optical disk substrate.
【図6】光磁気ディスクのうねりの波長と浮上型光学ヘ
ッドの浮上変動量との関係を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating the relationship between the wavelength of the undulation of the magneto-optical disk and the amount of fluctuation in the flying of the flying optical head.
【図7】本発明に係るディスク基板を製造する際に使用
される成形用金型の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of a molding die used when manufacturing the disk substrate according to the present invention.
【図8】固定金型及び可動金型のそれぞれの対向面に表
面処理を施す工程を説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a step of performing a surface treatment on each of opposing surfaces of a fixed mold and a movable mold.
【図9】表面処理が施された固定金型及び可動金型のそ
れぞれの対向面にレジストを塗布する工程を説明する図
である。FIG. 9 is a diagram illustrating a step of applying a resist to each of the opposed surfaces of the fixed mold and the movable mold that have been subjected to the surface treatment.
【図10】レジストが塗布された固定金型及び可動金型
のそれぞれの対向面に、転写パターンに対応してレーザ
光を照射して、所定の箇所のレジストを露光する工程を
説明する図である。FIG. 10 is a view for explaining a process of irradiating a laser beam corresponding to a transfer pattern to each of opposing surfaces of a fixed mold and a movable mold on which a resist is applied, thereby exposing the resist at a predetermined location. is there.
【図11】露光されたレジストを現像し、除去する工程
を説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a process of developing and removing the exposed resist.
【図12】除去されずに残ったレジストをマスクとし
て、固定金型及び可動金型のそれぞれの対向面に、エッ
チング処理を施す工程を説明する図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a process of performing an etching process on each of the opposing surfaces of the fixed mold and the movable mold using the resist remaining without being removed as a mask.
【図13】マスクとしたレジストを洗浄除去し、固定金
型及び可動金型のそれぞれの対向面に、所望の転写パタ
ーンを形成する工程を説明する図である。FIG. 13 is a view for explaining a step of cleaning and removing a resist used as a mask and forming a desired transfer pattern on each of opposing surfaces of a fixed mold and a movable mold.
【図14】本発明に係るディスク基板のうねりの状態を
説明する図である。FIG. 14 is a diagram illustrating a state of undulation of a disk substrate according to the present invention.
【図15】光ディスク装置の概略構成を示すブロック図
である。FIG. 15 is a block diagram illustrating a schematic configuration of an optical disk device.
【図16】光ディスク装置の要部を示す縦断面図であ
る。FIG. 16 is a longitudinal sectional view showing a main part of the optical disk device.
10 光磁気ディスク、11 ディスク基板、12 光
磁気ディスク層、17保護層、20 浮上型光学ヘッ
ド、30 ディスク装置、31 スピンドルモータReference Signs List 10 magneto-optical disk, 11 disk substrate, 12 magneto-optical disk layer, 17 protective layer, 20 floating optical head, 30 disk device, 31 spindle motor
Claims (7)
源からの光を集束して上記ディスク状記録媒体に照射す
る浮上型光学ヘッドにより情報信号の書き込み又は読み
取りが行われるディスク状記録媒体に用いられるディス
ク状記録媒体用基板において、 少なくとも信号が記録される領域には、波長が上記浮上
型光学ヘッドの走行方向の長さ以下で、且つ、最大振幅
が上記光の波長の1/4以上となるうねりが形成されて
いないことを特徴とするディスク状記録媒体用基板。The present invention is applied to a disk-shaped recording medium on which information signals are written or read by a floating-type optical head that focuses light from a light source and irradiates the disk-shaped recording medium while floating on the disk-shaped recording medium. In the disk-shaped recording medium substrate to be recorded, at least in a region where a signal is recorded, the wavelength is equal to or less than the length in the traveling direction of the floating optical head, and the maximum amplitude is equal to or more than 4 of the wavelength of the light. A substrate for a disk-shaped recording medium, wherein no waviness is formed.
なくとも信号記録層と保護層とが順次積層されてなり、
上記保護層を透過した光が上記信号記録層上に照射され
ることにより情報信号の書き込み又は読み取りが行われ
るディスク状記録媒体であることを特徴とする請求項1
記載のディスク状記録媒体用基板。2. The disc-shaped recording medium has a structure in which at least a signal recording layer and a protective layer are sequentially laminated on a substrate,
2. A disc-shaped recording medium on which information signals are written or read by irradiating the signal recording layer with light transmitted through the protective layer.
The substrate for a disk-shaped recording medium according to the above.
用金型を用い、樹脂を射出成形することにより形成され
ていることを特徴とする請求項1記載のディスク状記録
媒体用基板。3. The disk-shaped recording medium substrate according to claim 1, wherein the substrate is formed by injection molding a resin using a molding die having a transfer pattern formed on a molding surface.
であることを特徴とする請求項3記載のディスク状記録
媒体用基板。4. The substrate for a disk-shaped recording medium according to claim 3, wherein said resin is a thermoplastic norbornene-based resin.
ータと、 上記モータにより回転駆動されるディスク状記録媒体上
を、使用する光の波長の1/4以内の浮上量で浮上し
て、このディスク状記録媒体に対して情報信号の書き込
み又は読み取りを行う浮上型光学ヘッドとを備え、 上記ディスク状記録媒体の少なくとも信号が記録される
領域には、波長が上記浮上型光学ヘッドの走行方向の長
さ以下で、且つ、最大振幅が上記光の波長の1/4以上
となるうねりが形成されていないことを特徴とするディ
スク装置。5. A motor for rotationally driving a disk-shaped recording medium, and a disk floating on the disk-shaped recording medium rotationally driven by the motor with a floating amount within 1 / of a wavelength of light to be used. A floating optical head that writes or reads an information signal to or from a disk-shaped recording medium, wherein at least a signal recording area of the disk-shaped recording medium has a wavelength that is equal to the length of the floating optical head in the traveling direction. A disk drive, wherein no waviness having a maximum amplitude of 1/4 or more of the wavelength of the light is formed.
面に転写パターンが形成された成形用金型を用い、樹脂
を射出成形することにより成形されていることを特徴と
する請求項5記載のディスク装置。6. The substrate of the disk-shaped recording medium is formed by injection-molding a resin using a molding die having a transfer pattern formed on a molding surface. Disk unit.
塑性ノルボルネン系樹脂からなることを特徴とする請求
項5記載のディスク装置。7. The disk device according to claim 5, wherein the substrate of the disk-shaped recording medium is made of a thermoplastic norbornene resin.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10001798A JPH11203723A (en) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | Substrate for disk-like recording medium and disk device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10001798A JPH11203723A (en) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | Substrate for disk-like recording medium and disk device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11203723A true JPH11203723A (en) | 1999-07-30 |
Family
ID=11511600
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10001798A Abandoned JPH11203723A (en) | 1998-01-07 | 1998-01-07 | Substrate for disk-like recording medium and disk device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11203723A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010153036A (en) * | 2000-06-26 | 2010-07-08 | Tdk Corp | Optical information medium and method of manufacturing the same |
-
1998
- 1998-01-07 JP JP10001798A patent/JPH11203723A/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010153036A (en) * | 2000-06-26 | 2010-07-08 | Tdk Corp | Optical information medium and method of manufacturing the same |
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