JPH01271356A

JPH01271356A - 薄膜剥離装置

Info

Publication number: JPH01271356A
Application number: JP63101909A
Authority: JP
Inventors: Mitsuhiro Seki; 光博関; Shigeo Sumi; 住　成夫
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1988-04-25
Filing date: 1988-04-25
Publication date: 1989-10-30
Also published as: CA1311642C; ATE112235T1; US5000816A; DE68918491D1; DE68918491T2; EP0339570B1; EP0339570A2; EP0339570A3

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、基板に張り付けられた薄膜を剥離し。

この剥離された薄膜を排出する薄膜剥離技術に適用して
有効な技術に関するものである。

〔従来の技術〕

コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線板
は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の両面（又
は片面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造す
ることができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感光
性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性樹
脂製カバーフィルム（以下。

カバーフィルムという）とからなる積層体を熱圧着ラミ
ネートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び前記カバーフィルムを通し
て、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、カバー
フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂層を現像
してエツチングマスクパターンを形成する。この後、前
記導電層の不必要部分をエツチングにより除去し、さら
に残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線パターン
を有するプリント配線板を形成する。

前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性樹
脂層を露光した後現像するに際して、カバーフィルムを
剥離する工程が必要とされている。

カバーフィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フ
ィルムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂
層の損傷、破壊が生じないようにするため、指先の器用
さ及び非常な熟練を要する。

そこで、前記薄膜剥離工程を機械で自動的に行う自動薄
膜剥離装置が開発されている。この自動薄膜剥離装置は
、基板に張り付けられている積層体のうち、上側のカバ
ーフィルムの一部を針、ブラシ、ローレット等で浮上さ
せ、その浮上した部分に流体を吹き付け、カバーフィル
ムを剥離することを自動的に行ったものである。流体を
吹き付けて剥離されたカバーフィルムは、−旦、剥離方
向設定板に付着保持され、この後、薄膜搬送装置で基板
に張り付けられたカバーフィルムを剥離しながら搬送さ
れる。薄膜搬送装置は、カバーフィルムを基板から剥離
しかつ搬送するため、カバーフィルムを挟持する２個の
搬送用ベルトコンベアで構成されている。この薄膜搬送
装置は自動薄膜剥離装置に接続又は内蔵されている。薄
膜搬送装置の搬送用ベルトコンベアで搬送されたカバー
フィルムは薄膜排出収納容器に排出される。

本願出願人によって先に出願された特願昭６１−３８８
８０号に記載される自動薄膜剥離装置の薄膜排出収納容
器は、基板の搬送経路の上下に夫々薄膜排出収納容器を
設けている。下側の薄膜排出収納容器には基板の下側表
面のカバーフィルムが排出される。上側の薄膜排出収納
容器には基板の上側表面のカバーフィルムが排出される
。このように構成される自動薄膜剥離装置は、薄膜排出
収納容器を立体的に配置したので、装置の小型化を図る
ことができる特徴がある。

前記基板の上側表面のカバーフィルムは、上側の薄膜排
出収納容器の上部の収納口まで薄膜搬送装置の搬送用ベ
ルトコンベアで搬送され、この後に排出される。搬送用
ベルトコンベアはカバーフィルムを挟持した状態で搬送
している。このため、　　１・搬送用ベルトコンベアが
上側の薄膜排出収納容器の高さに相当する分長く構成さ
れるので、カバーフィルムを介在して対向するベルト間
に微小なテンションのずれを生じ易く、カバーフィルム
の搬送不良（ジャム不良）が多発するという問題があっ
た。

また、上側の薄膜排出収納容器は基板の搬送経路よりも
高い位置に配置されるので、排出されたカバーフィルム
の廃棄処理作業等、上側の薄膜排出収納容器の取扱いが
面倒で作業性が低下するという問題があった。特に、薄
膜排出収納容器をステンレス鋼等の金属材料で構成する
場合、薄膜排出収納容器自体の重量が重くなるので、作
業性が著しく低下する。

このような問題を解決するため、本願出願人によって出
願された特願昭６２−３１５５５２号に記載される自動
薄膜剥離装置の薄膜搬送装置は、基板の上側のカバーフ
ィルムを第１及び第２搬送用ヘルドコンベアで搬送及び
排出している。第１搬送用ベルトコンベアは、前記上側
のカバーフィルムを挟持しかつ剥離しながら搬送するよ
うに構成されている。第２搬送用ベルトコンベアは、第
１搬送用ベルトコンベアで搬送されたカバーフィルムを
挾持せず載置した状態で搬送するように構成されている
。第２搬送用ベルトコンベアは基板の搬送方向と交差す
る方向にカバーフィルムを搬送するように構成されてい
る。つまり、この自動薄膜剥離装置は、カバーフィルム
の搬送不良の原因となる第１搬送用ベルトコンベアを短
くすることができる特徴がある。

また、前記第２搬送用ベルトコンベアは基板の搬送経路
と交差する方向にカバーフィルムを搬送しているので、
上側の薄膜排出収納容器はカバーフィルムの搬送終了位
置の近傍の低い位置に配置することができる。つまり、
廃棄処理作業等、上側の薄膜排出収納容器の取扱いの作
業性を向上することができる特徴がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記自動薄膜剥離装置の薄膜搬送装置の第１及び第２搬
送用ベルトコンベアは、複数個のローラ。

複数本のベルト、前記ローラの駆動装置等、構造が複雑
である。このため、自動薄膜剥離装置の製造コストの増
加やメンテナンスが大変になるという問題点があった。

特に、前記特願昭６２−３１５５５２号に記載される薄
膜搬送装置の第２搬送用ベルトコンベアは、メツシュ状
のベルト及びこのベルトを駆動する歯車状のローラで構
成されているので、前述の問題が顕著に生じる。

本発明の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離しな
がら搬送しかつ排出する薄膜剥離装置において、剥離さ
れた薄膜の搬送不良を低減すると共に、そのための構造
を簡単にすることが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記目的を達成し、薄膜剥離装置
のコストを低減し、又メンテナンス作業を簡単に行うこ
とが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、基板に張り付けられた薄膜を剥離
しながら搬送しかつ薄膜排出収納容器に排出する薄膜剥
離装置において、簡単な構造で剥離された薄膜の搬送不
良を低減すると共に、前記薄膜排出収納容器の取扱いの
作業性を向上することが可能な技術を提供することにあ
る。

本発明の他の目的は、前記薄膜排出収納容器の小型化を
図ることが可能な技術を提供することにある。

なお、本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴
は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになる
であろう。

（課題を解決するための手段〕前記課題を解決するため１本発明は、基板に張り付けら
れた薄膜の一部を剥離し、この剥離された一部分から薄
膜を剥離すると共にこの剥離された薄膜を排出する薄膜
剥離装置において、前記剥離された薄膜の一部を挟持し
て基板から薄膜を剥離すると共に、挟持した状態で薄膜
を基板の表面側の上方向に搬送する第１薄膜搬送装置を
設け、該第１薄膜搬送装置で搬送された薄膜を基板の搬
送方向と交差する方向に流体の吹き付けで搬送する第２
薄膜搬送装置を設けたことを主な特徴とする。

〔作　用〕

本発明は、前記手段により、薄膜を挟持した状態で搬送
する長さ（第１薄膜搬送装置の搬送長さ）を第２薄膜搬
送装置に相当する全短縮することができるので、薄膜の
排出経路における薄膜の搬送不良（ジャム）を低減する
ことができると共に、前記薄膜に流体を吹き付ける流体
吹付装置を主体に前記第２薄膜搬送装置を構成し、ロー
ラ、ベルト等の多数の部品を排除して部品点数そのもの
を低減することができるので、第２薄膜搬送装置を簡単
な構造で構成することができる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明をプリント配線用基板のカバーフィルム（
保護膜）剥離装置に適用した一実施例について図面を用
いて説明する。

なお、実施例を説明するための全図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

第１図は本発明の一実施例のプリント配線用基板のカバ
ーフィルム剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は
第１図のカバーフィルムの剥離部分を示す要部拡大側面
図である。

本実施例のカバーフィルム剥離装置におけるプリント配
線用基板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように
、主としてプリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動
ローラ２で構成されている。

この搬送機構における基板搬送経路Ａ−Ａには。

第２図に示すように、薄膜浮上装置３、流体吹付装置４
、剥離方向設定板（剥離補助板）５及び薄膜搬送装置（
薄膜排出装置）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第５図（前記第２図の要
部拡大断面図）で示すように、絶縁性基板ＩＡの両面（
又は片面）に銅等の導電層ＩＢが形成されたものである
。このプリント配線用基板１の導電層ＩＤ上には、感光
性樹脂層（フォトレジスト層）ＩＣとカバーフィルム（
保護用薄膜）ＩＤとからなる積層体が熱圧着ラミネート
されている。

感光性樹脂層ＩＣは所定の配線パターンフィルムが重ね
られ露光された後の状態にある。プリント配線用基板１
は、第１図及び第２図に示す矢印Ａ方向に搬送用駆動ロ
ーラ２で搬送されるように構成されている。

前記薄膜浮上装置３は、第２図、第３図（要部斜視図）
及び第４図（拡大分解斜視図）に示すように構成されて
いる。

この薄膜浮上装置３は、プリント配線用基板１の両面に
、夫々、少なくとも１個の浮上部材３Ａが設けられてい
る。浮上部材３Ａは、第３図に示すように、プリント配
線用基板１側の先端部が針状で構成されている。浮上部
材３Ａは、空気式振動装置１ｔｆ３Ｂによって、矢印Ｂ
方向に振動するように構成されている。空気式振動装置
３Ｂは、その詳細な構成を省略するが、流体供給管３Ｃ
により加圧された空気が供給され、例えば１分間に２０
００〜３０００ストロークの振動を浮上部材３Ａに与え
るように構成されている。

前記浮上部材３Ａの先端部は、感光性樹脂層ＩＣとカバ
ーフィルムＩＤからなる積層体の端部を振動押圧すなわ
ちエネルギを与えるように構成されている。エネルギが
与えられた積層体の端部は。

感光性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤが浮上（剥離
）するようになっている、エネルギが与えられた積層体
の端部において、感光性樹脂層ＩＣと導電層ＩＢとは、
前記感光性樹脂層ＩＣとカバーフィルムＩＤとの接着力
に比べて強いので剥離されない。

浮上部材３Ａの先端角度は、例えば６０〜７０［度］程
度の角度で構成する。浮上部材３Ａの先端部は、プリン
ト配線用基板１の導電層ＩＢや積層体（主に、感光性樹
脂層ＩＣ）に損傷を生じないように、適度な曲率半径を
有するように構成されている。

また、浮上部材３Ａは、先端部の摩耗をできる限り低減
できるように、ステンレス鋼、炭素鋼等の金属材料やセ
ラミック等の非鉄金属材料で構成されている。

基板搬送経路Ａ−Ａを中心に、その近傍の上下に対向す
る位置に設けられた夫々の浮上部材３Ａに連結された空
気式振動装置３Ｂは、ホルダ３Ｄを介して夫々別々の浮
上部材支持回転軸３Ｅに支持されている。ホルダ３Ｄは
固定ホルダ部３Ｄ。

と摺動ホルダ部３Ｄ、とで構成されている。固定ホルダ
部３Ｄ１は、浮上部材支持回転軸３Ｅに固着されている
。摺動ホルダ部３Ｄ、は、基板搬送経路Ａ−Ａに対して
、所定の角度で浮上部材３Ａ及び空気式振動装置３Ｂを
保持するように構成されている。さらに、摺動ホルダ部
３Ｄ□は、所定の振動押圧力で積層体に浮上部材３Ａを
当接できるように、固定ホルダ部３Ｄ□（又は浮上部材
支持回転輪３Ｅ）に対して、矢印Ｃ方向に摺動できるよ
うに構成されている。摺動ホルダ部３Ｄ、の矢印Ｃ方向
への摺動は１図示していないが、例えば、ばね等の弾性
部材で制御される。

浮上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部は、第４
図に示すように、ガイド部材３Ｆのガイド用長穴３ｆを
通して移動アーム部材３Ｇの一端部と回転自在に連結さ
れている。ガイド部材３Ｆは。

図示していないが、剥離装置本体（７）にビス等の取付
手段で固着されている。ガイド用長穴３ｆは。

プリント配線用基板１に近接又はそれから離反させる方
向（矢印り方向）に、浮上部材支持回転軸３Ｅすなわち
浮上部材３Ａをガイドするように構成されている。

上下、夫々の移動アーム部材３Ｇの他端部は、回転軸３
ｈを中心に矢印Ｅ方向に回転自在に取り付けられた回転
アーム部材３Ｈの回転軸３１１を中心として対向する端
部に回転自在に取り付けらｔている０回転アーム部材３
Ｈは、上下、夫々の移動アーム部材３Ｇを異なる矢印り
方向に移動させるように構成されている。上側（又は下
側）の浮上部材支持回転軸３Ｅの一端部には、連結アー
ム部材３Ｉを介在させて、両面兼用駆動源のシャフト３
Ｊが接続されている。

前記浮上部材支持回転軸３Ｅをガイドするガイド部材３
Ｆ、移動アーム部材３Ｇ、回転アーム部材３　Ｈ及び両
面兼用駆動源は、シャフト３Ｊの矢印Ｆ方向の動作でプ
リント配線用基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部
材３Ａを互いに近接させ又は離隔させる薄膜浮上装置！
３のリンク機構を構成している。リンク機構を構成する
夫々の部材は、鉄、アルミニウム合金、硬質樹脂等の比
較的外力に対して変形しずらい材料で構成する０両面兼
用駆動源としては、空圧シリンダ、油圧シリンダ、電磁
ソレノイド等を使用する。また、シャフト３Ｊは、移動
アーム部材３Ｇの一端部に限定されず１回転アーム部材
３Ｈの一端部に連結させてもよい。

このような構成のリンク機構を用いて浮上部材３Ａと両
面兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用
基板１の両面側に設けられた夫々の浮上部材３Ａをプリ
ント配線用基板１の表面に接触させ又は離反させる動作
（矢印り方向の動作）を行うことができる。このリンク
機構は、プリント配線用基板１の両面側に、浮上部材３
Ａを駆動する駆動源を別々に設けることなく、１つの両
面兼用駆動源で両面側の浮上部材３Ａを駆動することが
できる。

また、リンク機構を構成するガイド部材３Ｆ、移動アー
ム部材３Ｇ及び回転アーム部材３Ｈが略剛体であり、夫
々の動作範囲がガイド用長穴３ｆや回転軸３ｈで規定さ
れているので、プリント配線用基板１の両面側の夫々の
浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を同等にしかも正確
に制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドビニオン機構や歯車
機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少なく
、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、浮上部材３
Ａと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を簡単
にすることができる。

前記移動アーム部材３Ｇを介在させた上下夫々の前記浮
上部材支持回転軸３Ｅの一端（又は両端）部には、夫々
の一端部が固着された浮上部材回転アーム部材３Ｋが設
けられている。上下夫々の浮上部材回転アーム部材３に
の他端部には、長穴３ｋが設けられており、両者の長穴
３ｋには、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと接続する連
結アーム部材３Ｍの軸部３ｍが通されている。すなわち
、浮上部材回転アーム部材３には、連結アーム部材３Ｍ
を介して両面兼用駆動源のシャフト３Ｌと連結されてい
る０両面兼用駆動源としては、前記のリンク機構と同様
の空気シリンダ等を使用する。

前記浮上部材回転アーム部材３Ｋ、連結アーム部材３Ｍ
及び両面兼用駆動源は、シャフト３Ｌの矢印Ｇ方向の動
作により、浮上部材回転アーム部材３Ｋを矢印Ｈ方向に
回転させるとともに浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印工方
向に回転させる。薄膜浮上装置３の浮上部材回転機構を
構成するようになっている。つまり、浮上部材回転機構
は、積層体の端部を浮上部材３Ａで振動押圧すると共に
。

浮上部材３Ａをその状態のまま、所定の距離だけ基板搬
送方向に移動させるように構成されている。

本実施例において、浮上部材回転機構は、浮上部材３Ａ
を基板搬送方向に１〜３［ａｍ］程度移動させるように
構成されている。

このように構成される浮上部材回転機構は、前述の浮上
部材３Ａを近接させ又は離反させるリンク機構と同様に
、プリント配線用基板１の両面側の夫々の浮上部材３Ａ
を一つの駆動源で動作させることができるとともに、上
下夫々の浮上部材３Ａの動作量及び動作時間を正確に制
御することができる。

また、浮上部材回転機構は、浮上部材３Ａと両面兼用駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

このように薄膜浮上装置３は、主に、浮上部材３Ａ、空
気式振動装置１ｆ３Ｂ、リンク機構、浮上部材回転機構
で構成されている。

なお、本発明は、前記薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを
、空気式振動装Ｗ１３Ｂに代えて、先に本願出願人によ
り８願された特願昭６１−１８１１２６号に記載される
電磁式振動装置で構成してもよい。

前記流体吹付装置４は、第２図及び第３図に示すように
、ノズル４Ａから圧力を加えた流体、例えば、空気、不
活性ガス等の気体、水等の液体が吹出すように構成され
ている０本実施例は流体として空気を使用している。こ
の流体吹付装置４は、プリント配線用基板１の端部にお
いて、前記薄膜浮上装ｗ３によって感光性樹脂層ＩＣか
らカバーフィルムＩＤを浮上させた両者間の隙間部分に
流体を直接吹き付けるように構成されている。流体吹付
装置４は、前記隙間部分に即座に流体を吹き付けられる
ように、薄膜浮上装Ｗ３の浮上部材３Ａに近接した位置
にノズル４Ａが位置するように構成されている。ノズル
４Ａは、薄膜浮上装！！！３の浮上部材３Ａの先端部に
、両側（２方向）から流体を吹き付けるように一対（４
Ａ□、４Ａ２）で構成されている。一対のノズル４Ａに
は、１つの流体供給管４Ｂから流体が供給されるように
構成されている。

一対のノズル４は、支持部材４Ｃを介在させて、装置本
体（固定支持部材）７に固着されている。ノズル４Ａの
固着は薄膜剥離装置の動作による微小振動等で流体の吹
付方向が変動しないように行う。

つまり、ノズル４Ａは常時一定の流体吹付方向を確保す
るよう°に構成されている。

このように、薄膜浮上装置３で生じた感光性樹脂層ＩＣ
とカバーフィルムＩＤとの隙間部分に流体吹付装置４で
流体を吹き付けることにより、感光性樹脂層ＩＣとカバ
ーフィルムＩＤとの間に流体が瞬時に吹き込まれるので
、感光性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤを簡単に瞬
時かつ確実に剥離することができる。

また、異なる方向から流体を吹き付けられるように、流
体吹付装置４のノズル４Ａを一対に構成することにより
、薄膜浮上装置ｌ１３でカバーフィルムＩＤの一部を浮
上させた部分に、確実に流体を吹き付けることができる
ので、流体の吹き付けによるカバーフィルムＩＤの剥離
効果を高めることができる。

なお１本発明は、ノズル４Ａの流体吹付角度を変化する
ことができるように構成してもよい、具体的には、流体
吹付装置！！４は、流体吹付時にできる限り前記隙間部
分にノズル４Ａを近接させ、流体吹付後にプリント配線
用基板１が接触しない位置にノズル４Ａを退避するよう
に構成する。

前記基板搬送経路Ａ−Ａの近傍には、第３図及び第５図
で示すように、基板保持部材８．積層体端部検出装置９
の夫々が設けられている。基板保持部材８、積層体端部
検出装置Ｅ９の夫々は、基板搬送経路Ａ−Ａと交差する
方向において、時開−線上に位置するように構成されて
いる。

基板保持部材８は、ローラ８Ａ及びこのローラ８Ａを一
端で回転自在に支持する支持部材８Ｂで構成されている
。支持部材８Ｂの他端は、ビス等の固着手段によって、
装置本体７に取り付けられている。基板保持部材８は、
薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４を設けることによっ
て、搬送用駆動ローラ２の間隔が広くなる領域に構成さ
れている。また、基板保持部材８は、薄膜浮上装置３の
振動押圧や流体吹材製Ｗ４の加圧された流体によるエネ
ルギがプリント配線用基板１に加わる領域に構成されて
いる。

ローラ８Ａは、プリント配線用基板１　（実際には、そ
の表面のカバーフィルムＩＤ）と所定の間隔を有するよ
うに構成されている。つまり、ローラ８Ａは、搬送され
るプリント配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持
し、しかも、流体吹付装置４でカバーフィルムＩＤが押
え付けられずに剥離できるように、所定の間隔を有する
ように構成されている。ローラ８Ａは、プリント配線用
基板１と接触した時、特に積層体の感光性樹脂層ＩＣを
損傷、破壊しないように１例えば、樹脂、ゴム等の比較
的軟質材料で構成する。支持部材８Ｂはローラ８Ａを支
持すると共に、支持部材８Ｂの基板搬送経路Ａ−Ａの近
傍部分はローラ８Ａと同様に搬送されるプリント配線用
基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するように構成さ
れている。

支持部材８Ｂは硬質樹脂や金属等の比較的硬質材料で構
成する。

このように、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａの近傍であ
って、基板搬送経路Ａ−Ａの近傍に、基板保持部材８を
設けることにより、特に、薄いプリント配線用基板１の
搬送方向の先端部の垂れ下りを防止し、プリント配線用
基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に確実に保持することが
できる。つまり、基板保持部材８は、プリント配線用基
板１の搬送中における搬送不良（ジャム）等のトラブル
を防止し、プリント配線用基板１や薄膜剥離装置の損傷
、破壊を防止することができる。

さらに、プリント配線用基板１の表面から所定の間隔を
有するようにローラ８Ａを構成することにより、カバー
フィルムＩＤを押さえ付けることがないので、流体吹付
装置４でカバーフィルムＩＤを確実に剥離することがで
きる。

なお、基板保持部材８は、厚いプリント配線用基板１が
接触した時に、ローラ８Ａ又は支持部材８Ｂの位置が変
化できるように、ローラ８Ａ又は支持部材８Ｂに弾力性
を有するように構成してもよい。

前記基板保持部材８よりも基板排出側の基板搬送経路Ａ
−Ａの近傍には、補助用基板保持部材１０が設けられて
いる。補助用基板保持部材１０は、ローラＩＯＡと、そ
れを回転自在に支持しかつ装置本体７に取り付けられた
回転軸１０Ｂとで構成されている。補助用基板保持部材
１０は、前記基板保持部材８と実質的に同様にプリント
配線用基板１を基板搬送経路Ａ−Ａ内に保持するように
構成されている。

前記積層体端部検出装置９は、プリント配線用基板ｌの
静電容量の変化を検出する静電容量型、又はプリント配
線用基板１の電気抵抗の変化を検出する電気抵抗型で構
成されている。積層体端部検出装置９は、主に、プリン
ト配線用基板１の両面側に夫々設けられた棒状接触子９
Ａと、それを支持する可動支持装置９Ｂとで構成されて
いる。

棒状接触子９Ａは、銅、鋼等の導電性材料で構成されて
いる。棒状接触子９Ａは、プリント配線用基板１の端部
にスムーズに接触できるように、Ｌ字形状で構成されて
いる。可動支持装置９Ｂは装置本体７に固着されている
。可動支持装置９Ｂは。

詳細に図示していないが、棒状接触子９Ａを基板搬送経
路Ａ−Ａに近接及び離反（矢印Ｊ方向に）動作するよう
に構成されている。可動支持装置９Ｂは、例えば、棒状
接触子９Ａを基板搬送径＠Ａ−Ａ側に近接する方向に移
動させる電磁ソレノイドと、離反させる方向に移動させ
る弾性部材とで構成されている。

次に、ここで、第２図乃至第４図、及び第５図乃至第９
図（各剥離工程毎に示す要部拡大断面図）を用い、プリ
ント配線用基板ｌの積層体の端部を浮上させる動作及び
剥離させる動作について簡単に説明する。

まず、基板搬送経路Ａ−Ａにおいて、搬送用駆動ローラ
２により、矢印Ａ方向にプリント配線用基板１を搬送す
る。

次に、第５図に示すように、プリント配線用基板１の搬
送方向先端部が、薄膜浮上装置３及び流体吹付装置４が
設けられた位置を通過すると、搬送用駆動ローラ２の回
転が停止し、プリント配線用基板１の搬送が一旦停止さ
れる。搬送の停止は。

プリント配線用基板１の先端部を検出する透過型又は反
射型の光センサＳで行う。

次に、第６図に示すように、積層体端部検出装置９の棒
状接触子９Ａがプリント配線用基板ｌの積層体（カバー
フィルムＩＤ）の表面に接触する。

棒状接触子９Ａは、可動支持装置９Ｂで矢印Ｊ方向に移
動するように構成されている。この棒状接触子９Ａの動
作から、プリント配線用基板１の静電容量（又は電気抵
抗）が検出されるようになっている。なお、積層体表面
への棒状接触子９Ａの接触は、光センサＳの検出信号に
より、プリント配線用基板１の搬送の停止と実質的に同
一タイミングで行ってもよい。

次に、棒状接触子９Ａが積層体表面に接触した状態で、
搬送が停止されているプリント配線用基板１を基板の搬
送方向と逆方向に搬送する。そして、第７図に示すよう
に、棒状接触子９Ａが搬送方向先端部の積層体の端部に
達すると、静電容量（電気抵抗）が変化し、積層体の端
部が検出される。

次に、積層体の端部の検出信号により、プリント配線用
基板１の逆方向の搬送が停止される。この停止動作と実
質的に同一タイミングで第８図に示すように、棒状接触
子９Ａを基板搬送経路Ａ−Ａから離反（矢印Ｊ方向に移
動）させると共に、積層体の端部の表面に薄膜浮上装［
３の浮上部材３Ａを矢印Ｂ方向に振動させながら接触さ
せる。浮上部材３Ａの移動は、第４図に示す、両面兼用
駆動源のシャフト３Ｊを矢印Ｆ方向（第４図中、下方向
）に動作させ、この動作で回転アーム部材３Ｈ及び移動
アーム部材３Ｇを作動させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを
矢印り方向に移動させることで行われる。つまり、浮上
部材３Ａの移動は、リンク機構により行われる。浮上部
材３Ａの振動は。

空気式振動装置３Ｂで行われる。そして、浮上部材３Ａ
の振動押圧と同一のタイミングによって、流体吹付装置
４のノズル４Ａの先端部から流体が吹き付けられる。

次に、第９図に示すように、浮上部材３Ａを振動させた
状態で浮上部材３Ａを基板搬送方向Ａ側に微小移動（矢
印■方向に移動）させる。この浮」二部材３Ａの移動は
、両面兼用駆動源のシャフト３Ｌを矢印Ｇ方向（第４図
中、右方向）に動作させ、この動作で浮上部材回転アー
ム部材３Ｋ、連結アーム部材３Ｍで構成される浮上部材
回転機構を動作させ、浮上部材支持回転軸３Ｅを矢印工
方向に回転させることにより行われる。この浮上部材３
Ａの微小移動は、前述したように例えば１〜３　［ｎｗ
ｎ　］のストロークで行われる。

なお、浮上部材３Ａの振動抑圧及び微小移動に際しては
、プリント配線用基板１の位置が変化しないように、プ
リント配線用基板１を搬送用駆動ローラ２とこの上面に
設けられた基板押えローラ（ピンチローラ）２Ａ（第２
図参照）とにより挟持するように構成されている。すな
わち、まず、プリント配線用基板１の先端部が検知され
ると信号が発せられ、この信号により搬送用駆動ローラ
２を駆動している駆動源（モータ）の回転を停止させる
。

この駆動源の回転の停止と同時に、図示しない空圧シリ
ンダ（又は、油圧シリンダ等）が作用してブレーキ機構
が作用し、Ｌ字形状のブレーキ用押え板２Ｃが基板押え
ローラ２Ａに当接し、基板押えローラ２Ａを押え、これ
により、プリント配線用基板１を確実に挟持するように
構成されている。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹ｍ層Ｉ　
Ｃ及びカバーフィルムＩＤからなる積層体の端部を薄膜
浮上装置３の浮上部材３Ａで振動押圧することにより感
光性樹脂層ＩＣからカバーフィルムＩＤを浮上させ、そ
れらの界面に隙間を生じさせた後、この隙間に流体吹付
装置４で流体を吹き付けることにより第９図に示すよう
に先端側のカバーフィルムＩＤを剥離する（剥離された
カバーフィルム１ｄにする）ことができる。

前記カバーフィルムＩＤの端部の浮上は、針状の簡単な
構成の浮上部材３Ａで行うことができる。

また、薄膜浮上装置３、流体吹付装置４の夫々をプリン
ト配線用基板１の基板搬送経路Ａ−Ａに設けたので、前
記カバーフィルムＩＤの端部の浮上、剥離の夫々を自動
的に行うことができる。

また、本発明では、プリント配線用基板１に対し積層体
が歪んで熱圧着ラミネートされることを考慮して、プリ
ント配線用基板１の基板搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の浮上部材３Ａ及びノズル４Ａを設けてもよ
い。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の基板搬送
方向と交差する方向（幅方向）に薄膜浮上装［３の浮上
部材３Ａを設けであるが、本発明は、プリント配線用基
板１の基板搬送方向と同一方向であって、積層体の端部
又は隅角部近傍に浮上部材３Ａを設けることもできる。

この場合には、流体吹付装置４のノズル４Ａは浮上部材
３Ａの近傍に設けられる。

また、本実施例は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａをリ
ンク機構で動作させたが、本発明は、浮上部材３Ａをラ
ックアンドピニオン機構で動作させてもよい。

また、本発明は、薄膜浮上装置３の浮上部材３Ａを粘着
ローラ等の粘着部材、針、ブラシ、爪等の突起部材で構
成してもよい。

前記流体吹付装置４で剥離された基板搬送方向先端側の
カバーフィルム１ｄは、第２図及び第１０図（要部斜視
図）で示すように、流体吹付装置４からの流体圧で剥離
方向設定板（剥離補助板）５に付着するようになってい
る。剥離方向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離位
置及び剥離角度を規定すると共に、剥離されたカバーフ
ィルム１ｄを薄膜搬送装置６で搬送し排出する際の搬送
方向を設定するように構成されている。第１０図に示す
ように、剥離されたカバーフィルム１ｄは一点鎖線で示
されている。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルム１ｄの
付着面）は、これに限定されないが、プリント配線用基
板１に張り付けられているカバーフィルムＩＤとその状
態から引き起こされたカバーフィルム１ｄとがなす角度
が略直角になるように構成されている。つまり、剥離方
向設定板５は、プリント配線用基板１の表面に対して垂
直方向にカバーフィルム１ｄを剥離するように構成され
ている。

剥離方向設定板５の剥離側の先端（剥離位置部分）は、
感光性樹脂層ＩＣに損傷、破壊を生じないように、曲率
半径の小さい円弧状例えば曲率半径が３［ｌｌ１ｌ］以
下で構成されている。

剥離方向設定板５は、感光性樹脂層ＩＣに損傷。

破壊を生じないように、プリント配線用基板１の搬送時
及びその搬送中でのカバーフィルムＩＤの剥離時にプリ
ント配線用基板１に張り付けられたカバーフィルムＩＤ
にこすれない程度の間隔を置いて設けられている。そし
て、剥離方向設定板５の先端は、積層体の端部の浮上及
び剥離時にカバーフィルムＩＤに密着し、プリント配線
用基板１を挟持するように構成されている。つまり、剥
離方向設定板５は、基板搬送経路Ａ−Ａに近接及び離反
し、その近接時に底面でプリント配線用基板１を挟持す
るように、移動可能に構成されている。

この剥離方向設定板５は、第２図に示すように、基板押
えローラ２Ａを押えるためのブレーキ用押え板２Ｃの作
動（空気シリンダで作動している）に連動してプリント
配線用基板１に接触又は離反するように構成されている
。すなわち、剥離方向設定板５は、プリント配線用基板
１を基板押えローラ２Ａで挟持している時に、同様にプ
リント配線用基板１を挟持するように構成されている。

このように、剥離方向設定板５を基板搬送経路Ａ−Ａに
近接及び離反するように構成することにより、流体吹付
装置４のノズル４Ａからの流体が、剥離方向設定板５の
裏側に吹き抜けることを低減することができるので、カ
バーフィルムＩＤの剥離効果を高めることができると共
に、カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板５及び搬送ベ
ルト（６）への付着力及び保持力を高めることができる
。

また、剥離方向設定板５は、プリント配線用基Ｆｉ１の
基板搬送経路Ａ−Ａの幅又は流体吹付幅の略全域の長さ
で剥離方向に所定の長さを有するように構成されている
。

このように構成される剥離方向設定板５は、第１０図に
矢印にでノズル４Ａからの流体の流出方向を示すように
、流体がその裏側に吹き抜けることを低減することがで
きるので、カバーフィルムＩＤの剥離効果を高めること
ができると共に、カバーフィルム１ｄの剥離方向設定板
５及び搬送ベルト（６）への付着性及び保持性を高める
ことができる。

剥離方向設定板５の薄膜付着面（カバーフィルム１ｄが
直接付着する面）には、第１０図に詳細に示すように、
導電性部材５Ａが設けられている。

導電性部材５Ａは、絶縁性部材５Ｂ上に設けられている
。導電性部材５Ａは、絶縁性部材５Ｂ及び導電性部材５
Ｃを介在させて、剥離方向設定板５のコの字形状で構成
される設定板支持部材５Ｄに接着剤で固着されている。

前記導電性部材５Ａ及び５Ｃは、板形状で構成され、電
気抵抗値が極めて小さい例えば銅、ステンレス鋼等の金
属材料で構成されている。絶縁性部材５Ｂは板形状で構
成されている。設定板支持部材５Ｄは例えばステンレス
鋼等の金属材料で構成されている。前記導電性部材５Ａ
は電気的にフローティング状態で構成されている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面を導電性部
材５Ａで構成し、この導電性部材５Ａを絶縁性部材（絶
縁体）５Ｂ上に設けることにより。

プリント配線用基板１から剥離された時に帯電したカバ
ーフィルム１ｄが導電性部材５Ａに付着すると、静電容
量によるクーロン力が作用するので。

カバーフィルム１ｄの付着力及び保持力をより高めるこ
とができる。つまり、導電性部材５Ａは、剥離方向設定
板５の薄膜付着面にカバーフィルム１ｄを確実に付着保
持させることができるように構成されている。

なお、前記導電性部材５Ａは、絶縁体上に設けて電気的
にフローティング状態に構成すればよいので、例えば、
剥離方向設定板５の設定板支持部材５Ｄを樹脂等の絶縁
性材料で構成し、その薄膜付着面に直接導電性部材５Ａ
を設けてもよい。この導電性部材５Ａは、所謂コンデン
サの一方の電極と同様の作用をするものである。

剥離方向設定板５の薄膜付着面には、導電性部材５Ａ、
絶縁性部材５Ｂ、導電性部材５Ｃ及び設定板支持部材５
Ｄを貫通する薄膜吸着用孔５Ｅが設けられている。この
薄膜吸着用孔５Ｅには、第１１図（ブロック構成図）で
示すように、吸着管５Ｉを介在させて吸着装置（真空吸
着装置）５Ｈが接続されている。薄膜吸着用孔５Ｅには
吸着管５■を介在させて吸着装＠５Ｉ］からの吸引力が
作用するようになっている。この吸引力はカバーフィル
ムＩｄを剥離方向設定板５の薄膜付着面にＭ極的に吸着
させその状態を保持するように構成されている。薄膜吸
着用孔５Ｅは、薄膜付着面に１つ、又はカバーフィルム
１ｄの吸着力及び保持力をより高めるために複数設けら
れている。

このように、剥離方向設定板５の薄膜付着面に薄膜吸着
用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置５Ｈ
に接続することにより、薄膜付着面にカバーフィルム１
ｄを確実に付着保持することができる。これによって、
カバーフィルム１ｄは、後に詳述する薄膜搬送装置６の
搬送ベルトで確実に挟持することができるので、プリン
ト配線用基板１に張り付けられているカバーフィルムＩ
Ｄを剥離しながら、その搬送（排出）を確実に行うこと
ができる。つまり、薄膜吸着用孔５Ｅ及び吸着装置５Ｈ
は、薄膜剥離工程を施したにもかかわらず、カバーフィ
ルムＩＤが剥離されない、薄膜剥離不良基板の発生を防
止することができる。

また、第１１図に示すように、前記薄膜吸着用孔５Ｅと
吸着装［５Ｈとの間の接続経路すなわち吸着管５■の所
定部には、吸着圧（真空圧）を検出する吸着圧検出器５
Ｊが設けられている。吸着圧検出器５Ｊは、これに限定
されないが１例えば、ダイヤフラム型、ベローズ型等の
弾性体方式で構成する。この吸着圧検出器５Ｊは、剥離
されたカバーフィルムｌｄが剥離方向設定板５の薄膜付
着面に付着されているか否か、つまり剥離状態を検出す
るように構成されている。吸着圧検出器５Ｊは、吸着圧
が高い場合には薄膜付着面にカバーフィルム１ｄが確実
に付着している検出信号を出力し、そうでない場合には
反対の検出信号を出力するように構成されている。これ
らの検出信号は、空気圧や差動トランス等により電気信
号に変換され、制御回路５Ｋ又は表示装置５Ｌに出力さ
れる。

また、前記検出信号は、リンク機構により機械的に制御
回路５Ｋ又は表示装置５Ｌに出力してもよい。吸着圧検
出器５Ｊ及び制御回路５Ｋ又は表示装置５Ｌは、ｗｔ膜
膜層踵状態検出装置構成するようになっている。制御回
路５には、第１図に示すように、薄膜剥離装置本体の中
央部分に配置されている。表示装置ＳＬは、同様に第１
図に示すように、作業者が確認し易い薄膜剥離装置本体
の上部に設けられている。

前記制御回路５には、吸着圧検出器５Ｊの出力信号によ
り、搬送用駆動ローラ２の回転の制御、剥離動作の制御
を行うように構成されている。例えば、制御回路５には
、吸着圧検出器５Ｊからカバーフィルム１ｄが剥離され
ていない検出信号が入力すると、薄膜搬送装置６の動作
を停止し、薄膜剥離不良基板を搬送用駆動ローラ２でそ
の排除が可能な所定位置（不良基板排除装置１８）まで
搬送するように構成されている。つまり、制御回路５に
は、薄膜剥離不良基板を基板搬送経路Ａ−Ａから排除し
、次段の現像装置に搬送することを防止することができ
るように構成されている。

前記表示袋！ｉ５Ｌは、例えば、ブザー等の音声発生装
置、ランプ等の光発生装置で構成されている。表示装置
ＳＬは、前記制御回路５にと同様に、薄膜剥離不良基板
を基板搬送経路Ａ−Ａから排除し、次段の現像装置に搬
送することを防止できるように、作業者に知らせるよう
に構成されている。

カバーフィルム１ｄの剥離状態の検出精度を高めるため
には、剥離方向設定板５の薄膜付着面に複数の薄膜吸着
用孔５Ｅを設け、この薄膜吸着用孔５Ｅの夫々に薄膜剥
離状態検出装置を設けることが好ましい。

このように、薄膜吸着用孔５Ｅと吸着袋［５Ｈとの間に
薄膜剥離状態検出装置を設けることにより、カバーフィ
ルム１ｄが剥離されているか否かを検出することができ
るので、薄膜剥離不良基板を基板搬送経路Ａ−Ａから排
除し、次段の現像装置に搬送することを防止することが
できる。これによって、薄膜剥離不良基板は、再使用が
可能となるので、プリント配線用基板１の製造上の歩留
りを向上することができる。

さらに、剥離方向設定板５の薄膜付着面には、第１０図
に示すように、薄膜吸着用孔５Ｅと同様に貫通した薄膜
剥離状態検出用孔５Ｆが設けられている。薄膜剥離状態
検出用孔５Ｆは、光センサ１１からの放射光が通過する
ように構成されており、カバーフィルム１ｄが剥離方向
設定板５の薄膜付着面に付着されているか否か、つまり
剥離状態を検出するように構成されている。光センサ１
１は、前記薄膜剥離状態検出用孔５Ｆがカバーフィルム
ｌｄで塞がれていると、カバーフィルム１ｄによる反射
光を検出できるように構成されている。薄膜剥離状態検
出用孔５Ｆ及び光センサ１１で薄膜付着面にカバーフィ
ルム１ｄの付着が確認できないプリント配線用基板１（
薄膜剥離不良基板）は、前述と同様に、この後に基板搬
送経路Ａ−Ａから排除される。光センサ１１は、反射型
（又は透過型）で構成し、第３図に示すように、装置本
体７に取り付けられている。

このように構成される剥離方向設定板５は、カバーフィ
ルムＩＤの剥離位置を安定させると共に、カバーフィル
ムＩＤに−様な剥離力を加えることができる。したがっ
て、剥離方向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離時
における剥離位置の変動防止、剥離応力の偏りを防止し
、感光性樹脂層ＩＣを損傷、破壊させないようにするこ
とができる。

なお、剥離方向設定板５の薄膜付着面は、カバーフィル
ムＩＤの材質、流体吹付装置４の流体圧、プリント配線
用基板１の搬送速度等の条件変化に応じて、カバーフィ
ルムＩＤとそれを剥離したカバーフィルム１ｄの剥離方
向とがなす角度が鈍角になるように構成してもよい。ま
た、剥離方向設定板５の薄膜付着面の角度は、空気シリ
ンダ等の駆動源で変化することができるように構成して
もよい。さらに、この剥離方向設定板５の角度の変化に
応じて、薄膜搬送装置６の固定搬送ベルト、可動搬送ベ
ルト等の位置や角度を変化することができるように構成
してもよい。

また、本発明は、前記剥離方向設定板５の薄膜付着面に
、基板搬送方向と交差する方向又はカバーフィルム１ｄ
の剥離する方向に延在する複数本の溝を設け、薄膜付着
面及び溝底面に複数の薄膜吸着用孔５Ｅを設け、夫々の
薄膜吸着用孔５Ｅを吸着装置に接続してもよい。このよ
うに構成される剥離方向設定板５は、薄膜付着面にカバ
ーフィルム１ｄを確実に付着させることができると共に
、その後に薄膜搬送装置６に搬送（排出）するに際して
、薄膜付着面からカバーフィルム１ｄを瞬時に離すこと
ができるので、薄膜搬送装置６によるカバーフィルム１
ｄの搬送を確実に行うことができる。

流体吹付装置４で剥離方向設定板５の薄膜付着面に付着
したカバーフィルム１ｄは、第１図、第２図及び第１２
図（要部斜視図）で示す薄膜搬送装置（薄膜排出装置）
６で剥離しながら搬送され排出される。この時、剥離方
向設定板５は、カバーフィルムＩＤの剥離位置を規定す
ると共に、カバーフィルムＩＤの剥離を補助するように
構成されている。

薄膜搬送装置６は、第２図に示すように、主に、プリン
ト配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの上側に設けられた上
部薄膜搬送装置と下側に設けられた下部薄膜搬送装置と
で構成されている。上部薄膜搬送装置は、第１薄膜搬送
装置（６Ａ及び６Ｂ）及び第２薄膜搬送装置（６Ｄ）で
構成されている。

上部薄膜搬送装置の第１薄膜搬送装置は、第２図で詳細
に示すように、固定搬送ベルト（固定搬送ベルトコンベ
ア）６Ａ及び可動搬送ベルト（可動搬送ベルトコンベア
）６Ｂで構成されている。

固定搬送ベルト６Ａは、従動軸に支持されたローラ６　
Ａ　ａ、従動軸に支持されたローラ６Ａｂ、駆動軸に支
持されたローラ６　Ａ　ｃ及びローラ６Ａａ、６Ａｂ、
６Ａｃの夫々に巻き回されたベルト６ａで構成されてい
る。

可動搬送ベルト６Ｂは、従動軸に支持されたローラ６Ｂ
ａ、従動軸に支持されたローラ６Ｂｂ、駆動軸に支持さ
れたローラ６Ｂｃ及びローラ６Ｂａ、６Ｂｂ、６Ｂｅの
夫々に巻き回されたベルト６ｂで構成されている。可動
搬送ベルト６Ｂは、ローラ６Ｂｂが支持された従動軸を
中心に、第２図に示すように、ローラ６Ｂａが矢印り方
向に回転するように構成されている。この可動搬送ベル
ト６Ｂは、剥離されたカバーフィルム１ｄをｈＨＩ！！
方向設定板５に付着させ易くすると共に、このカバーフ
ィルム１ｄを固定搬送ベルト６Ａと共に挟持するように
構成されている。剥離方向設定板５の薄膜付着面に付着
されたカバーフィルム１ｄは、固定搬送ベルト６Ａのベ
ルト６ａ及び可動搬送ベルト６Ｂのベルト６ｂで挟持さ
れると、その挟持した状態で上方向（プリント配線用基
板１の表面に対して略垂直方向）に搬送される。したが
フて、カバーフィルム１ｄは、固定搬送ベルト６Ａ及び
可動搬送ベルト６Ｂでプリント配線用基板１の表面から
剥離しながら搬送される。

また、固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬送ベルト６Ｂとの
挟持は、第１０図に示す剥離方向設定板５に設けられた
切込部５Ｇを通して行われる。この切込部５Ｇは、剥離
方向設定板５で剥離位置、剥離角度及び剥離方向が設定
されたカバーフィルム１ｄに固定搬送ベルト６Ａと可動
搬送ベルト６Ｂとが達し、両者でそれを挟持できるよう
に構成されている。すなわち、切込部５Ｇは、固定搬送
ベルト６Ａと可動搬送ベルト６Ｂとでカバーフィルム１
ｄを確実に挟持できるように構成されている。

第１薄膜搬送装置である固定搬送ベルト６Ａ及び可動搬
送ベルト６Ｂで挟持された状態において搬送されたカバ
ーフィルム１ｄは、ガイド部材６Ｃａ及び６Ｃｂで矢印
Ｍ方向に誘動され、第２薄膜搬送装置６Ｄに搬送される
。

ガイド部材６　Ｃａ、６Ｃｂの夫々は、カバーフィルム
１ｄの搬送方向を垂直方向から水平方向に変える（搬送
経路Ａ−Ａと平行で基板搬送方向Ａと反対方向に変える
）ように構成されている。ガイド部材６Ｃａ、６Ｃｂの
夫々は、カバーフィルム１ｄとの接触面積をできる限り
小さくできるように棒状部材によって構成され、プリン
ト配線用基板ｌの搬送経路Ａ−Ａと交差する方向におい
て複数個設けられている。ガイド部材６Ｃａ及び６ｃｂ
は例えばステンレス鋼等の導電性材料で構成する。導電
性材料で構成されるガイド部材６Ｇａ及び６Ｃｂは、剥
離時や搬送時にカバーフィルム１ｄに発生した静電気を
放電できるように構成されている。また、ガイド部材６
Ｃａ及び６Ｃｂは樹脂等の絶縁性材料で構成してもよい
。

また、ガイド部材６Ｃａ、６Ｃｂの夫々は、第１薄膜搬
送装置（６Ａ及び６Ｂ）から第２薄膜搬送装置６Ｄにカ
バーフィルム１ｄを搬送する際に、固定搬送ベルト６Ａ
のローラ６Ａｃや可動搬送ベルト６Ｂのローラ６Ｂｃに
カバーフィルム１ｄが巻き込まれることを防ｊ］ユする
ように構成されている。

ガイド部材６Ｃａ、６Ｃｂの夫々の近傍には。

流体噴出袋ｒ１１１２及び除電装置１５が設けられてい
る。

ガイド部材６Ｃａの近傍に設けられた流体噴出装置１２
は矢印Ｎ方向に流体を噴出するように構成されている。

ガイド部材６Ｃｂの近傍に設けられた流体噴出装置１２
は矢印Ｏ方向に流体を噴出するように構成されている。

これらの流体噴出装置１２は、第１薄膜搬送装置で搬送
されたカバーフィルム１ｄの両面側に流体扮通過させ、
カバーフィルム１ｄをスムーズに第２薄膜搬送装置６Ｄ
に搬送するように構成されている。また、流体噴出装置
１２は、第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６■３）から第２
薄膜搬送装置６Ｄにカバーフィルム１ｄを搬送する際に
、固定ｍ送ベルト６Ａのローラ６Ａｃや可動搬送ベルト
６Ｂのローラ６Ｂｃにカバーフィルム１ｄが巻き込まれ
ることを防止するように構成されている。

除電装置１５は、剥離時や搬送時にカバーフィルム１ｄ
に発生した静電気を低減できるように構成されている。

前記第１薄膜搬送装置で搬送されたカバーフィルム１ｄ
は第１図、第２図、第１２図及び第１３図（第１２図の
要部拡大断面図）に示すように第２薄膜搬送装置６Ｄに
搬送され、第２薄膜搬送装置によって搬送され排出され
る。第２薄膜搬送装置６Ｄは、主に、支持台６Ｄａ、　
ｗｔ膜ガイド部材６Ｄｂ及び６Ｄｃ、流体吹付ノズル（
流体吹付装置）６［）ｄで構成されている。

支持台６Ｄａは、前記第１−薄膜搬送装置（６Ａ及び６
Ｂ）で矢印Ｍ方向にカバーフィルム１ｄが搬送された位
置において、装置本体７に設けられている。支持台６Ｄ
ａは、搬送経路Ａ−Ａに実質的に平行な面（ＩＩＱ送さ
れるプリント配線用基板１の表面に平行な面）を有しか
つ搬送経路Ａ−Ａに略直交する方向（交差する方向）に
長辺を有する板形状で構成されている。支持台６Ｄａは
例えばステンレス鋼等の金属材料や合成樹脂材料で形成
されている。

薄膜ガイド部材６Ｄｂはカバーフィルム１ｄの水平搬送
方向（矢印Ｑ方向）を規定するように構成されている。

薄膜ガイド部材６Ｄｂは、第１２図及び第１−４図（要
部斜視図）に示すように、支持台６Ｄａの上面に載置さ
れたコの字形状（直方体形状）の箱体で構成されている
。薄膜ガイド部材６Ｄｃは、薄膜ガイド部材６Ｄｄの一
側面に取り付けられ（連結され）でおり、水平搬送方向
から垂直搬送方向（矢印Ｑ′方向）にカバーフィルム１
ｄの搬送方向を規定するように構成されている。簿膜ガ
イド部材６Ｄｂは扇形状の箱体で構成されている。薄膜
ガイド部材６Ｄｂ、６Ｄｃの夫々は例えば合成樹脂材料
特に透明な合成樹脂材料で構成されている。透明な合成
樹脂材料で構成される薄膜ガイド部材６Ｄｂ、６Ｄｃの
夫々は、内部において搬送されるカバーフィルム１ｄの
搬送状態を作業者が確認することができる。また、薄膜
ガイド部材６Ｄｂ、６Ｄｃの夫々は、不透明な合成樹脂
材料や軽合金材料で構成してもよい。薄膜ガイド部材６
Ｄｂ、６Ｄｃの夫々は、第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６
Ｂ）で搬送されたカバーフィルム１ｄの略全周囲を囲む
ようにｈＷ成されている。

また、前記薄膜ガイド部材６Ｄｂは、第１４図に示す直
方体形状に限定されず、第１５図及び第１６図（薄膜ガ
イド部材の斜視図）に示すように、外周を多角形状にし
たり曲面形状にしたりしてもよい。第１５図、第１６図
の夫々に示す薄膜ガイド部材６Ｄｂは、第１４図に示す
薄膜ガイド部材６Ｄｂに比べて機能的な面の相違は実質
的にないが若干加工が難かしくなる。

前記流体吹付ノズル６Ｄｄは、特しこ第１２図及び第１
３図に示すように、第１薄膜搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）
で搬送されたカバーフィルム１ｄに矢印Ｕ方向に噴出す
る流体を吹き付け、カバーフィルム１ｄを矢印Ｑ及びＱ
′方向に搬送するように構成されている。流体吹付ノズ
ル６Ｄｄは流体供給管６Ｄｇを介在させて図示しない流
体供給源（例えばコンプレッサ）に接続されている。流
体吹付ノズル６Ｄｄは例えば金属材料で構成され、流体
供給管６Ｄｇは例えばビニーム管やゴム管を使用する。

流体吹付ノズル６Ｄｄはノズル支持部材６Ｄｆを介在さ
せて薄膜ガイド部材６Ｄｂの一側面と対向する他側面に
取り付けられている。流体吹付ノズル６Ｄｄはボルト及
びワッシャを用いてノズル支持部材６Ｄｆに取り付けら
れている。

流体吹付ノズル６Ｄｄは本実施例において細長い形状で
構成されているので、その機械的強度を高めるために、
流体吹付ノズル６Ｄｄの周囲にはノズル補強部材６Ｄｅ
が設けられている。このノズル補強部材６Ｄｅは、この
形状に限定されないが漏斗形状で構成され１例えば金属
材料や樹脂材料で構成されている。

流体吹付ノズル６Ｄｄから噴出される流体としては加圧
された空気を使用する。空気は、この薄膜剥離装置の前
記流体吹付装置４等で使用される流体供給源を兼用して
使用することができ、しかも水等の液体のように流体の
回収機能が必要ないので、流体吹付ノズル６Ｄｄを含む
流体吹付装置の構成を簡単化することができる。なお、
流体としては、前述のように空気が最っも最適であるが
、これに限定されず、水等の液体や不活性ガスを使用し
てもよい。

前記第１２図、第１３図及び第１７図（取付位置及び傾
斜角度を示す流体吹付ノズルの概略断面図）に示すよう
に、前記流体吹付ノズル６Ｄｄは薄膜ガイド部材６Ｄｂ
の他側面の中間部分に取り付け、流体吹付ノズル６Ｄｄ
の先端部は傾め下方向に向けて設定されている。このよ
うに設定される流体吹付ノズル６Ｄｄは、第１８図及び
第１９図（取付位置及び傾斜角度を示す流体吹付ノズル
の概略断面図）に示すように設定された流体吹付ノズル
６Ｄｄに比べてカバーフィルム１ｄの搬送効率を高くす
ることができる。第１８図に示す流体吹付ノズル６Ｄｄ
は薄膜ガイド部１６Ｄｂの他側面の中間部分に取り付け
られ、流体吹付ノズル６Ｄｄの先端部は水平方向に向け
て設定されている。第１９図に示す流体吹付ノズル６Ｄ
ｄは薄膜ガイド部材６Ｄｂの他側面の底面部分に取り付
けられ、流体吹付ノズル６Ｄｄの先端部は水平方向に向
けて設定されている。

また、前記流体吹付ノズル６Ｄｄは、本実施例において
一個だけ配置されているが、これに限定されず複数個配
置してもよい。この流体吹付ノズル６Ｄｄの配置は、薄
膜ガイド部材６Ｄｂの他側面に集中的に配置してもよい
し、或はカバーフィルム１ｄの搬送経路に配置してもよ
い。

前記流体吹付ノズル６Ｄｄは矢印Ｕ方向の流体の吹き付
けによってカバーフィルム１ｄを矢印Ｑ及びＱ′方向に
搬送することができ、しかもその搬送は加圧された流体
によってベルト搬送に比べて速く行うことができる。

この第２薄膜搬送装置６Ｄは、プリント配線用基板１の
カバーフィルムＩＤを剥離する位置（剥離方向設定板５
の位置）よりも前段側のプリント配線用基板１の搬送経
路Ａ−Ａの上部に配置されている。つまり、第２薄膜搬
送装［６Ｄは、剥離されたカバーフィルム１ｄに付着す
る異物（ゴミ）や第２薄膜搬送装置６Ｄからの異物がカ
バーフィルムＩＤを剥離したプリント配線用基板１の感
光性樹脂層ＩＣの表面に付着することを低減できる位置
に配置されている。また、前記カバーフィルムＩＤを剥
離する位置よりも後段側は薄膜浮上装置３．流体吹付装
置４及び後述する不良基板排除装置１８等が設けられて
いるので、それらのメンテナンス作業性を向上するため
に、第２薄膜搬送装置６Ｄは前述のように前段側に配置
されている。

前記第２薄膜搬送装置６Ｄで矢印Ｑ及びＱ′方向に搬送
されるカバーフィルム１ｄは、プリント配線用基板１の
搬送経路Ａ−Ａの側部に設けられた排出用ガイド部材６
Ｅを通して、矢印Ｒ方向に排出される。この排出された
カバーフィルム１ｄは、前記搬送経路Ａ−Ａと交差する
方向に搬送経路Ａ−Ａの幅寸法よりも若干突出した薄膜
排出収納容器１３に排出される。

前記排出用ガイド部材６Ｅは、できる限り狭いスペース
においてカバーフィルム１ｄを下方の薄膜排出収納容器
１３に排出できるように、カバーフィルム１ｄの排出経
路を規定するように構成されている。排出用ガイド部材
６Ｅは、基本的にはどのような材料で構成してもよいが
、本実施例ではステンレス鋼で構成されている。

薄膜排出収納容器１３は、プリント配線用基板１の搬送
経路Ａ−Ａと同一方向に短く、搬送経路Ａ−Ａと交差す
る方向に長く、プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａ
の高さ（例えば地上約１［ｍ］程度）よりも低い高さを
有する長方体形状で構成されている。薄膜排出収納容器
１３は、下部薄膜搬送袋ｒｎ（第３薄膜搬送装置）で搬
送されるカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出収納容
器を若干排出用ガイド部材６Ｅに相当する分大きくして
構成されている。言換すれば、薄膜排出収納容器１３は
、上部薄膜搬送装置で搬送されるカバーフィルム１ｄを
排出する薄膜排出収納容器と、下部薄膜搬送装置で搬送
されるカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出収納容器
とを一体に構成した（両者を共有した）ものである。

薄膜排出収納容器１３は、アルミニウム合金等の軽金属
材料、ステンレス鋼等の金属材料、樹脂材料或は木材等
で構成されている。薄膜排出収納容器１３の側面には、
カバーフィルム１ｄが排出される時にそのｆ部の空気（
薄膜排出収納容器１３の内部の空気）を引き抜くために
、長方形状の空気引抜用穴１３Ａが複数設けられている
。この空気引抜用穴１３Ａは丸形状で構成してもよい。

前記下部薄膜搬装置は、第２図に示すように、固定搬送
ベルト６Ｆと可動搬送ベルト６Ｇとで構成されている。

固定搬送ベルト６Ｆは、夫々別々の従動軸に支持された
ローラ６Ｆａ、６Ｆｂ、駆動軸に支持されたローラ６Ｆ
ｅ及びローラ６Ｆａ〜６Ｆｃに巻き回されたベルト６ｆ
で構成されている。

可動搬送ベルト６Ｇは、夫々別々の従動軸に支持された
ローラ６Ｇａ、６Ｇｃ、駆動軸に支持されたローラ６Ｇ
ｂ及びローラ６Ｇａ〜６Ｇｃに巻き回されたベル８６ピ
″ｒ！構成されている。可動搬送ベルト６Ｇは、前記可
動搬送ベルト６Ｂと同様に、矢印り方向に回転するよう
に構成されている。

前記下部薄膜搬送装置は、上部薄膜搬送装置の第１薄膜
搬送装置と同様に、剥雅方向設定板５で剥離位置及び剥
離方向が設定されたプリント配線用基板１のもう一方の
カバーフィルム１ｄを剥離しながら搬送するとともに、
下方向（矢印Ｓ方向）にカバーフィルム１ｄを排出する
ように構成されている。

前記上部薄膜搬送装置を構成するベルト６ａ及び６ｂ、
下部薄膜搬送装置を構成するベルト６ｆ及び６ｇの夫々
は歯付ゴムベルトで構成されている。ローラ６　Ａ　ａ
　、　６　Ａ　ｂ　、　６　Ａ　ｃ　、　６　Ｂ　ａ　
、　６１３ｂ、６Ｂｃ、ローラ６Ｆａ、６Ｆｂ、６Ｆｃ
、ローラ６Ｇａ、６Ｇｂ、６Ｇｃの夫々は、歯付ブーり
で構成されている。すなわち、これらローラはベルトの
走行が確実なもので構成されている。

また、歯付ゴムベルト及び歯付プーリに代えて、ベルト
は表面が粗く摩擦が大きなゴムベルトで構成し、ローラ
は網目ローレット模様仕上げ等を施した表面が粗いロー
ラで構成してもよい。

前記固定搬送ベルト６Ｆ、可動搬送ベルト６Ｇの夫々の
排出部の薄膜搬送経路の近傍には、第２図に示すように
、排出されるカバーフィルム１ｄにその排出方向に流体
を吹き付ける流体噴出装置１２が設けられている。流体
噴出装置１２は、排出されるカバーフィルム１ｄを流体
の噴出で確実に排出方向に誘導できるように構成されて
いる。前述の流体噴出装置１２も同様であるが、この流
体噴出装置１２は流体が噴出する噴出口が設けられたパ
イプで構成されている。流体としては、加圧された空気
、不活性ガス等の気体を使用する。また、流体として、
水等の液体を使用することも可能である。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト６Ａに近接
した位置、可動搬送ベルト６Ｇに近接した位置の夫々に
は、除電装置１５とイオン拡散装置１６の夫々が設けら
れている。除電装置ｔ！１５は、イオンを放出し、剥離
や搬送時にカバーフィルム１ｄが帯電することを低減で
きるように構成されている。イオン拡散装置１６は、除
電装置１５から放出されたイオンを拡散し、カバーフィ
ルム１ｄの帯電を効率良く低減できるように構成されて
いる。イオン拡散装置１６は、例えば、圧力が加えられ
た空気等の流体でイオンを拡散するように構成されてい
る。

このように、プリント配線用基板ｌに張り付けられたカ
バーフィルムＩＤの一部を剥離し、この剥離された一部
分からカバーフィルムＩＤを剥離すると共にこの剥離さ
れたカバーフィルム１ｄを排出する薄膜剥離装置におい
て、前記剥離されたカバーフィルム１ｄの一部を挟持し
てプリント配線用基板１からカバーフィルムＩＤを剥離
すると共に、挟持した状態でカバーフィルム１ｄをプリ
ント配線用基板１の表面側の上方向に搬送する第１薄膜
搬送装置（６Ａ及び６Ｂ）を設け、該第１薄膜搬送装置
で搬送されたカバーフィルム１ｄを載置し、この状態で
カバーフィルム１ｄをプリント配線用基板１の搬送経路
Ａ−Ａと交差する方向に流体の吹き付けで搬送する第２
薄膜搬送装置６Ｄを設けたことにより、カバーフィルム
１ｄを挟持した状態で搬送する長さ（第１薄膜搬送装置
の搬送長さ）を第２薄膜搬送装置６Ｄに相当する分短縮
することができるので、カバーフィルム１ｄの排出経路
におけるカバーフィルム１ｄの搬送不良（ジャム）を低
減することができると共に、前記カバーフィルム１ｄに
流体を吹き付ける流体吹付ノズル（流体吹封装［）６Ｄ
ｃｌを主体に前記第２薄膜搬送装［６Ｄを構成し、ロー
ラ、ベルト等の多数の部品を排除して部品点数そのもの
を低減することができるので、第２薄膜搬送装置６Ｄを
簡単な構造で構成することができる。この結果、薄膜剥
離装置の製造コストを低減することができ、又薄膜剥離
装置のメンテナンス作業を簡単にすることができる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置６Ｄを前記カ
バーフィルムＩＤを剥離する位置よりも前段側の前記プ
リント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの」二部に設けた
構成を加えることにより、前記の効果を有すると共に、
剥離されたカバーフィルム１ｄに付着する異物や第２″
４膜搬送装［１１６Ｄからの異物がカバーフィルムＩＤ
を剥離したプリント配線用基板１の感光性樹脂層ＩＣの
表面に付着することを低減することができるので、プリ
ント配線用基板１の製造上の歩留りを向上することがで
きる。

また、前記構成に、前記第２薄膜搬送装置６Ｄで搬送さ
れたカバーフィルム１ｄを収納する薄膜排出収納容器１
３を前記プリント配線用基板１の搬送経路Ａ−Ａの側部
に設けた構成を加えることにより、前記効果を有すると
共に、前記薄膜排出収納容器１３をプリント配線用基板
１の搬送経路Ａ−Ａの側部の低い位置に設けたので、排
出されたカバーフィルム１ｄの廃棄処理作業等、薄膜排
出収納容器１３の取扱いの作業性を向上することができ
る。

また、前記薄膜排出収納容器１３は、プリント配線用基
板１の上側のカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出収
納容器と下側のカバーフィルム１ｄを排出する薄膜排出
収納容器とを一体化して構成することにより、サイズを
縮小することができるので、薄膜剥離装置の小型化を図
ることができる。

なお、第１図に示すプリント配線用基板１の搬送経路Ａ
−Ａにおいて、プリント配線用基板１のカバーフィルム
ＩＤを剥離する位置よりも前段には、搬送経路Ａ−Ａの
幅方向の中心位置とプリント配線用基板１の幅方向の中
心位置とを一致させる中心位置合せ装置１７が設けられ
ている。また、前記搬送経路Ａ−Ａにおいて、プリント
配線用基板１のカバーフィルムＩＤを剥離する位置より
も後段には、簿膜剥離不良基板を搬送経路Ａ−Ａから排
除する不良基板排除装置１８が設けられている。

不良基板排除装［１８は、薄膜剥離不良基板を搬送経路
Ａ−Ａから矢印Ｔ方向に排除し、排出部１８Ａに収納す
るように構成されている。

第２０図（概略斜視図）には、本発明の他の実施例であ
る薄膜剥離装置の第２薄膜搬送装置６Ｄを示す。この第
２薄膜搬送装［６Ｄは、流体吹付ノズル６Ｄｄを薄膜ガ
イド部材６Ｄｂの上下に夫々（又は左右に夫々）設けて
いる。薄膜ガイド部材６Ｄｂの他側面（流体吹付ノズル
６Ｄｄが配置された側）は開口されている。この開口は
、流体吹付ノズル６Ｄｄの矢印Ｕ方向の流体の噴出に伴
って薄膜ガイド部材６Ｄｂの外部から矢印Ｕ′方向に空
気を吸入できるように構成されている。

このように構成される第２薄膜搬送装置６Ｄは。

薄膜ガイド部材６Ｄｂの他側面を開口したことにより、
流体吹付ノズル６Ｄｄからの流体の噴出でカバーフィル
ム１ｄを搬送すると共に、この搬送に伴って外部の空気
が吸入されるので、カバーフィルム１ｄの搬送をより促
進することができる。

また、前記薄膜ガイド部材６Ｄｂは他側面を開口した構
造なので、猜成部品数を低減し、簿膜ガイド部材６Ｄｂ
の製作を簡単化することができる。

また、前記簿膜ガイド部材６Ｄｂは他側面を開口してい
るので、カバーフィルム１ｄの搬送不良が発生した場合
にその除去が簡単になる。つまり。

薄膜ガイド部材６Ｄｂの内部のカバーフィルム１ｄの除
去等のメンテナンス作業が簡単化になる。

以上、本発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本
発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において１種々変形し得ることは勿
論である。

例えば、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている
保護膜の剥離装置に適用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる効
果を得ることができる。

薄膜剥離装置において、簡単な構造で薄膜の搬送不良を
低減することができる。

薄膜剥離袋けにおいて、薄膜を排出する薄膜排出収納容
器の取扱いの作業性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す側面図、第２図は、第１
図の要部拡大側面図、第３図は、第２図の要部拡大斜視図、第４図は、第２図の拡大分解斜視図。第５図乃至第９図は、前記保護膜剥離装置の剥離動作を
各工程毎に示す要部拡大断面図、第１０図は、第２図の
要部斜視図、第１１図は、前記第１０図に示す薄膜剥離状態検出装置
のブロック構成図。第１２図は、第１図に示す薄膜搬送装置の要部概略斜視
図。第１３図は、前記第１２図に示す流体吹付ノズルの要部
拡大断面図、第１４図は、前記第１２図に示す薄膜ガイド部材の要部
斜視図。第１５図及び第１６図は、前記薄膜ガイド部材の他の例
を示す斜視図。第１７図は、前記第１３図に示す流体吹付ノズルの概略
断面図。第１８図及び第１９図は、前記流体吹付ノズルの他の例
を示す概略断面図、第２０図は、本発明の他の実施例である薄膜剥離装置の
第２薄ｖＡ搬送装置の概略斜視図である。図中、１・・・プリント配線用基板、ＩＣ・・・感光性
樹脂層、ＩＤ、ｌｄ・・・カバーフィルム、２・・・搬
送用駆動ローラ、３・・・薄膜浮上装置、３Ａ・・・浮
上部材、３Ｂ・・・空気式振動装置、４・・・流体吹付
装置、４Ａ・・・ノズル、５・・・剥離方向設定板、６
・・・薄膜搬送装置、６Ａ、６Ｆ・・・固定搬送ベルト
、６Ｂ、６Ｇ・・・可動搬送ベルト、６　Ａ　ａ〜６Ｇ
ｃ・・・ローラ、６ａ〜６ｇ・・・ベルト、６Ａ及び６
Ｂ・・・第１薄膜搬送装置、６Ｄ・・・第２薄膜搬送装
置、６Ｆ及び６Ｇ・・・第３薄膜搬送装置、６Ｃ・・・
ガイド部材、６Ｄａ・・・支持台、６Ｄｂ、６Ｄｃ・・
・薄膜ガイド部材、６Ｄｃ・・・流体吹付ノズル（流体
吹付装置）、６Ｅ・・・排出用ガイド部材、７・・・装
置本体、１３・・・薄膜排出収納容器である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板に張り付けられた薄膜の一部を剥離し、この
剥離された一部分から薄膜を剥離すると共にこの剥離さ
れた薄膜を排出する薄膜剥離装置において、前記剥離さ
れた薄膜の一部を挟持して基板から薄膜を剥離すると共
に、挟持した状態で薄膜を基板の表面側の上方向に搬送
する第１薄膜搬送装置を設け、該第１薄膜搬送装置で搬
送された薄膜を流体の吹き付けで搬送する第２薄膜搬送
装置を設けたことを特徴とする薄膜剥離装置。
（２）前記第１薄膜搬送装置は前記基板の表面に対して
実質的に垂直方向に薄膜を剥離しかつ搬送し、前記第２
薄膜搬送装置は前記基板の表面に対して平行な面におい
て基板の搬送方向と略直交する方向に薄膜を搬送するよ
うに構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の薄膜剥離装置。
（３）前記第２薄膜搬送装置は流体として加圧された空
気を使用していることを特徴とする特許請求の範囲第１
項又は第２項に記載の薄膜剥離装置。
（４）前記第２薄膜搬送装置は薄膜の搬送方向を規定す
る薄膜ガイド部材が設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項乃至第３項に記載の夫々の薄膜剥離
装置。
（５）前記第２薄膜搬送装置の薄膜ガイド部材は透明材
料で構成されていることを特徴とする特許請求の範囲第
４項に記載の薄膜剥離装置。
（６）前記第２薄膜搬送装置は前記薄膜を剥離する位置
よりも前段側の前記基板の搬送経路の上部に設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項
に記載の夫々の薄膜剥離装置。
（７）前記第２薄膜搬送装置で搬送された薄膜は搬送経
路の側部に設けられた薄膜排出収納容器に排出されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項に記載
の夫々の薄膜剥離装置。