JP5868058B2 - 位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 - Google Patents
位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 Download PDFInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 12
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 40
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000004049 embossing Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
本発明に係る型の製造方法は、被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、型を製造する型の製造方法であって、前記位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工することを特徴とする。
[多軸加工装置の概略構造]
以下、本発明の実施の形態に係る位置計測装置1について図1〜図8に基づいて説明をする。まず、図1及び図2に基づいて、上記位置計測装置1が搭載された多軸加工装置100について説明をする。なお、以下の説明において、XYZ軸の方向は、位置計測装置1の目盛部30を基準として設定する。
ついで、上述した位置計測装置1について図3乃至図6に基づいて詳しく説明をする。図3は、上記位置計測装置1の原理を簡単に説明するために、1軸方向(X軸方向)の移動についてのみを考えた場合の位置計測装置1の模式図である。
ところで、複数軸方向に移動する移動体が計測対象の場合、出来る限り位置センサの数が少ない方が、軸間補正が簡単でありかつ計測誤差が少なくなるため、位置計測装置1は、通常、2次元位置を検出可能に構成される。
ついで、第2の実施の形態に係る位置計測装置1について説明をする。なお、この第2の実施の形態は、第1の実施の形態とセンサ部10の構成のみが相異しており、その他の共通する構成については、説明を省略する。
ついで、第3の実施の形態に係る位置計測装置1について説明をする。なお、この第3の実施の形態は、第2の実施の形態のコリメートレンズ16の代わりに回折格子を使用したものである。そのため、第2の実施形態と相異する構成のみを説明し、同一の構成については、その説明を省略する。
Claims (7)
- 光源と、
前記光源から出射された光の一部を反射する第1反射面、該第1反射面を透過した光を反射する第2反射面、を有し、前記第1反射面によって反射される反射光と前記第2反射面によって反射される反射光とによって干渉光を形成すると共に、これら第1反射面及び第2反射面との相対距離を周期的に変化させる目盛部と、
前記干渉光の光強度を検出する受光センサと、
前記光源と前記目盛部とが平行に相対移動することにより変化する、前記干渉光の光強度の周期変化を、位置情報へと演算する演算部と、を備えた、
ことを特徴とする位置計測装置。 - 前記受光センサを、複数有すると共に、
前記第1反射面もしくは、前記第2反射面の少なくとも一方は、同一平面上の異なる2方向に高さが周期的に増減する形状パターンが形成され、
複数の前記受光センサを、いずれかの前記受光センサが前記形状パターンの各方向の高さの増減に基づく光強度の周期変化を常に検出可能な位置関係となるように配設した、
請求項1記載の位置計測装置。 - 前記第1反射面もしくは、前記第2反射面の少なくとも一方は、一方向に向けて切った際に、三角波形状の断面を有する、
請求項1記載の位置計測装置。 - 前記光源及び前記目盛部の間に配設された回折格子と、
前記回折格子及び前記目盛部の間に配設され、該回折格子を通過した回折光を平行光にする光学レンズと、を有する、
請求項1乃至3のいずれか1項記載の位置計測装置。 - 前記光源及び前記目盛部の間に配設された第1回折格子と、
前記第1回折格子及び前記目盛部の間に配設され、該第1回折格子を通過した回折光を平行光にする第2回折格子と、を有する、
請求項1乃至3のいずれか1項記載の位置計測装置。 - 被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、光学部品を製造する光学部品の製造方法であって、
請求項1乃至5のいずれか1項記載の位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工する、
ことを特徴とする光学部品の製造方法。 - 被加工物と工具を相対的に移動させて前記被加工物を切削加工し、型を製造する型の製造方法であって、
請求項1乃至5のいずれか1項記載の位置計測装置によって計測された位置情報によって前記被加工物と前記工具を相対的に移動させて前記被加工物を加工する、
ことを特徴とする型の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165269A JP5868058B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165269A JP5868058B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013029405A JP2013029405A (ja) | 2013-02-07 |
JP2013029405A5 JP2013029405A5 (ja) | 2014-09-11 |
JP5868058B2 true JP5868058B2 (ja) | 2016-02-24 |
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ID=47786578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011165269A Expired - Fee Related JP5868058B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 位置計測装置、光学部品の製造方法、および型の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5868058B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102020108407B4 (de) | 2020-03-26 | 2023-03-16 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Kalibriernormal zur Geometrieeinmessung eines taktil oder/und optisch arbeitenden Messsystems, Verfahren zur Kalibrierung sowie Koordinatenmessgerät |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3825475A1 (de) * | 1988-07-27 | 1990-02-01 | Bodenseewerk Geraetetech | Optischer lagegeber |
JP2603338B2 (ja) * | 1989-06-16 | 1997-04-23 | キヤノン株式会社 | 変位測定装置 |
JP4208483B2 (ja) * | 2002-05-21 | 2009-01-14 | キヤノン株式会社 | 光学式エンコーダ |
JP4383338B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2009-12-16 | 三洋電機株式会社 | 型の製造方法 |
DE102007024349A1 (de) * | 2007-05-24 | 2008-11-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
JP5858673B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2016-02-10 | キヤノン株式会社 | 位置計測装置、光学部品の製造方法、及び型の製造方法 |
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2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013029405A (ja) | 2013-02-07 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130228 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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