JP5757394B2 - 希土類永久磁石の製造方法 - Google Patents
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Description
Takeshita, J. Alloys Compd. 193, 259(1993)]により従来から知られているが、Alなどの添加物を原料合金の段階で添加した場合、HDDR反応の反応速度の制御に制約が生じ、結晶方位を揃えることが困難になる等の問題が起こる。本発明はすでにHDDR反応が完了したR−T−B系永久磁石粉末に対しNdなどのR’やAlを導入するため、結晶方位を維持したまま保磁力を向上させることができる。また、原料合金に含まれるAlは粒界だけでなく主相であるR2T14B相内部にも存在し、R2T14B相の磁化を低下させることが知られているが、前述の通り本発明による導入方法ではAlは粒界により濃縮されることから、溶解時にAlを添加するよりも本発明の方法によってR’−Al系合金粉末からAlを粒界に導入する方が、磁化の低下を抑えつつ、さらに同じ導入量でも効率的に保磁力を向上させることができる。
本発明で用いるR−T−B系永久磁石粉末(HDDR磁粉)は、原料合金を公知の方法で粉砕して作製した原料粉末に対し、HDDR処理を施すことによって作製される。以下、R−T−B系永久磁石粉末を作製するための各工程を詳細に説明する。
まず、硬磁性相としてR2T14B相(Nd2Fe14B型化合物相)を有する原料合金を用意する。ここで、「R」は、希土類元素であり、Ndおよび/またはPrを80原子%以上含む。本明細書における希土類元素Rはイットリウム(Y)を含んでいてもよい。「T」は、FeまたはFeの一部をCoおよび/またはNiで置換したものであり、Feを50原子%以上含む遷移金属元素である。「B」はホウ素でありその一部をC(炭素)で置換してもよい。原料合金は、R2T14B相を50体積%以上含むことが好ましい。より高い残留磁束密度Brを得るためには、R2T14B相を80体積%以上含むことが好ましい。
次に、原料合金を公知の方法で粉砕することにより原料粉末を作製する。本実施形態では、まず、ジョークラッシャなどの機械的粉砕法や公知の水素粉砕法などを用いて原料合金を粉砕し、大きさ50μm〜1000μm程度の原料粉末を作製する。
次に、上記粉砕工程によって得られた原料粉末に対し、HDDR処理を施す。HD反応のための昇温工程は、水素分圧10kPa以上500kPa以下の水素ガス雰囲気または水素ガスと不活性ガス(ArやHeなど)の混合雰囲気、不活性ガス雰囲気、真空中のいずれかで行う。昇温工程を不活性ガス雰囲気または真空中で行うと、昇温時の反応速度制御の困難性に起因する磁気特性低下を抑制することができる。
本発明に用いられるR’−Al系合金粉末は、不可避の不純物以外はR’とAlからなり、Alが2原子%以上65原子%以下である合金の粉末である。
R−T−B系永久磁石粉末とR’−Al合金系粉末の混合は、ミキサー等の公知の技術を用いて行うか、もしくは、前記のとおり、R’−Al系合金を粉砕しながらR−T−B系永久磁石粉末との混合を同時に行う。R’−Al系合金のR−T−B系永久磁石粉末に対する混合割合が質量比で1:80から1:5の範囲であることが好ましい。1:80よりもR’−Al系合金の混合比が小さくなると保磁力向上効果が顕在化しない。また、1:5よりもR’−Al系合金の混合比が大きくなっても保磁力はそれ以上向上することがなく、磁化が低下するのみとなってしまう。より好ましい混合比の範囲は、1:30から1:5である。
次に、上記混合粉末を真空中、あるいは不活性ガス中にて550℃以上900℃以下の温度で熱処理する(工程D)。熱処理温度が550℃未満では、十分に拡散が進行しないために保磁力が十分向上しない。また、熱処理温度が900℃を超えると、R−T−B系永久磁石粉末が結晶粒成長してしまい、保磁力の低下を招来する。より好ましい熱処理温度の範囲は、600℃以上850℃以下である。熱処理中の酸化を抑制するため、雰囲気はアルゴンやヘリウムなどの不活性ガス雰囲気または真空が好ましい。また、熱処理時間は1分以上240分以下が好ましい。熱処理時間が1分未満では、十分に拡散が進行せず、また、240分以上では、生産性の低下を招くだけでなく、熱処理時に雰囲気中に存在する極微量の酸素や水分による酸化が起こって磁気特性が低下する可能性があるからである。
上記拡散熱処理後の磁石は、解砕または粉砕した後、樹脂と混合して成形を行いボンド磁石としても用いることができる。より高い特性の磁石を得るためには、熱間成形による緻密化(工程E)を行って密度7.0g/cm3以上の高密度磁石とすることもできる。
ホットプレス時の圧力は、20MPa以上3000MPa以下が好ましく、50MPa以上1000MPa以下がより好ましい。圧力が20MPaよりも小さいときは緻密化が十分に起こらない可能性があり、3000MPaを超えると、用いることのできる金型の材質などに制約が生じるだけでなく、ホットプレス温度で溶解する組成を有するR’−Al系合金を用いる場合には、液相となったR’−Al系合金の染み出しが顕在化して生産性が阻害されたりR−T−B系永久磁石粉末への拡散が十分に起こらない可能性があるからである。
本発明で得られる磁石は、HDDR処理で得られるR−T−B系永久磁石特有の再結晶集合組織、すなわち、平均結晶粒径が0.1μmから1μmであり、かつ、結晶粒のアスペクト比(長軸/短軸の比)が2以下の集合組織を有している。この再結晶集合組織を構成する結晶粒は、R2T14B型化合物相である。R−T−B系永久磁石粉末の個々の粉末粒子には多数の微細な結晶粒が含まれている。これらの結晶粒の平均粒径およびアスペクト比は、磁石の断面を透過電子顕微鏡(TEM)で観察することによって計測される。具体的には、例えば集束イオンビーム(FIB)等で薄片に加工した磁石のサンプルを観察したTEM像の個々の結晶粒を画像解析することによって結晶粒の平均粒径およびアスペクト比を求めることができる。ここで、平均粒径は、個々の結晶粒のTEM像における円相当径を求め、これらを単純平均することで得ることができる。また、結晶粒の長軸は当該結晶粒の断面観察における最も長い直径であり、短軸は最も短い直径である。
また、上記のR2Fe14B型化合物相間には、R、Fe、Alを必ず含む、厚さ1nm以上3nm以下の粒界相が形成される。
<R−T−B系永久磁石粉末(HDDR磁粉)の作製(工程A)>
Nd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成の鋳造合金を作製し、1110℃の減圧アルゴン雰囲気で16時間均質化熱処理を行った後、粉砕して300μm以下の粉末を得た後、HDDR処理を行った。HDDR処理は、管状炉にてアルゴン雰囲気中で850℃まで昇温した後、大気圧水素流気に切り換えて、850℃で4時間保持して水素化−不均化(HD)処理を行い、その後、5.33kPaの減圧アルゴン流気に切り換えて、同じ温度で30分間保持することにより、脱水素−再結合(DR)処理を行った後冷却してR−T−B系永久磁石粉末を作製した。得られたR−T−B系永久磁石粉末の保磁力(HcJ)を振動試料型磁力計(VSM、東英工業社製VSM−5−20)で測定した結果、1321kA/mであった。また、得られた磁石粉末を集束イオンビーム(FIB)加工して薄片を作製し、透過電子顕微鏡(TEM)で観察した。このTEM像(1.8μm×1.8μmの領域)に存在する結晶粒に対して画像解析によって求めた円相当径の平均値(観察された33個全ての結晶粒における測定値の平均)は、0.29μmであった。また、個々の結晶粒は、HDDR処理で典型的に得られるアスペクト比が2以下のほぼ等軸的な形状を有していた。
表1に示す種々の組成のNd―Al急冷合金を、単ロール急冷法にてロール周速度20m/秒で作製した。アルゴンガスに置換したチャンバ−中でコーヒーミルを用いて前記急冷合金を粉砕した後、150μm以下の粉末を回収してR’−Al系合金粉末を作製した。また、同様の方法で、比較例に用いるNd粉末、Al粉末を作製した。
得られたR−T−B系永久磁石粉末とNd粉末、Nd−Al合金粉末、Al粉末を表1に示す混合比で混合した。なお、以下の表1〜表5、表7、表9〜11において、「Nd」、「Pr」、「Dy」および「Al」は、混合粉末全体におけるそれぞれの含有割合(原子%)を示している。
作製した混合粉末をNb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表1に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定し、4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。結果を表1に示す。
<R−T−B系永久磁石粉末およびR’−Al系合金粉末の作製、混合(工程A〜C)>
実験例1と同一の条件で作製したNd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末と実験例1と同一の条件で作製したNd90Al10組成のR’−Al系合金粉末とを表2に示す混合比で混合した。
作製した混合粉末を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表2に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定した。4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。
<R−T−B系永久磁石粉末およびR’−Al系合金粉末の作製、混合(工程A〜C)>
実験例1と同一の条件で作製したNd12.5FebalCo8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末と実験例1と同一の条件で作製したNd90Al10組成のR’−Al系合金粉末とを表3に示す混合比で混合した。
作製した混合粉末をNb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表2に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定し、4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。結果を表3に示す。
<R−T−B系永久磁石粉末およびR’−Al系合金粉末の作製、混合(工程A〜C)>
実験例1と同一の条件で作製したNd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末と、実験例1と同一の条件で作製した表4に示す組成のR’−Al合金粉末(R’=Pr)とを表4に示す混合比で混合した。
作製した混合粉末を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表4に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定した。4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。
<R−T−B系永久磁石粉末の作製(工程A)>
実験例1と同一の条件でNd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末を作製した。
表5に示す種々の組成のNd―M系急冷合金(M=Al、Co、Ni、Mn、Ga)を、単ロール急冷法にてロール周速度20m/秒で作製した。アルゴンガスに置換したチャンバ−中でコーヒーミルを用いて急冷合金を粉砕した後、150μm以下の粉末を回収してR’−M系合金粉末を作製した。
得られたR−T−B系永久磁石粉末とR’−M系合金粉末を混合した。
作製した混合粉末を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表5に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定した。4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。
<R−T−B系永久磁石粉末およびR’−Al系合金粉末の作製、混合(工程A〜C)>
実験例1と同一の条件で作製したNd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末と、実験例1と同一の条件で作製した表7に示す組成のNd−Al合金粉末、Dy−Al合金粉末を表7に示す混合比で混合した。
作製した混合粉末を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表7に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定した。4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。
<R−T−B系永久磁石粉末の作製(工程A)>
表8に示す組成の鋳造合金を作製し、1110℃の減圧アルゴン雰囲気で16時間均質化熱処理を行った。これらの合金を粉砕して300μm以下の粉末を得た後、表8に示す条件でHDDR処理を行い、R−T−B系永久磁石粉末を作製した。
実験例1と同一の条件で作製したNd90Al10(原子%)組成のR’−Al系合金粉末を上記R−T−B系永久磁石粉末と混合した。
作製した混合粉末を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表9に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。
得られたサンプルを300μm以下に解砕した後、磁界中で配向しながらパラフィンで固定し、4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、VSM(東英工業社製VSM−5−20)を用いて磁気特性を評価した。結果を表9に示す。
実験例1と同一の条件で作製したNd12.5Febal.Co8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末と、実験例1と同一の条件で作製したNd60Al40組成のR’−Al合金粉末を、実験例1と同一の条件で混合、熱処理した試料について,走査電子顕微鏡(日立ハイテクノロジー社製S−4300)と透過電子顕微鏡(日立ハイテクノロジー社製HF−2100)とエネルギー分散型X線分光装置(Noran社製Vantage)を用いて微細組織の解析を行った。図3(a)はR−T−B系永久磁石粉末の研磨面の走査電子顕微鏡による反射電子像である。図3(b)はR−T−B系永久磁石粉末にNd60Al40組成のR’−Al合金粉末を混合して熱処理した試料の研磨面の走査電子顕微鏡による反射電子像である。図3(b)によって、Nd60Al40がR−T−B系永久磁石粉末の内部に拡散して明るいコントラストの領域(希土類リッチな粒界相)の割合が増加していることが確認できた。また、粒界相に囲まれた暗いコントラストの領域(R2T14B相)の大きさはそれぞれ0.3μm〜0.5μmであり、それらはR2T14B相の結晶粒1つ1つに相当すると考えられた。すなわち、R’−Al合金粉末を混合して熱処理することによって、熱処理前に比べてR2T14B相の結晶粒一つ一つがより明確に粒界相に囲まれている組織となっていることが確認できた。このことは、R’−Al合金粉末を混合して熱処理することによって保磁力が向上する要因の一つであると推測される。
<R−T−B系永久磁石粉末およびR’−Al系合金の作製、混合(工程A〜C)>
実験例1と同一の条件で作製した表11に示す組成のR’−Al系合金粉末と実験例1と同一の条件で作製したNd12.5FebalCo8B6.5Ga0.2(原子%)組成のR−T−B系永久磁石粉末とを表11に示す混合比で混合した。
作製した混合粉末3.85gを内径8.3mmの非磁性超硬合金製のダイスに挿入し、図5に示す高周波ホットプレス装置を用いてホットプレスを行い、円柱状の熱間成形体を得た。具体的には1×10−2Pa以下の真空中で表11に示す圧力を印加しながら、金型を高周波加熱により11℃/secの昇温速度で表11に示す温度まで加熱した後、2分間保持し、その後直ちにチャンバ内にヘリウムガスを導入し冷却した。得られた熱間成形体は、密度が7.0g/cm3以上に緻密化されていた。
得られた熱間成形体を、Nb箔で包んだのち、加熱源にタングステンヒータを用いた高真空熱処理装置内に挿入した。6×10−3Pa未満まで真空引きをした後、表11に示す熱処理条件で熱処理し、アルゴンガスを導入して冷却した。(サンプルNo.1および2)
得られた円柱状のサンプルNo.1〜3の上下面を表面研削盤で加工するとともに、サンプル側面の酸化相を除去し、4.8MA/mのパルス磁界で着磁した後、BHトレーサ(装置名:MTR−1412(メトロン技研社製))を用いて磁気特性を評価した。評価結果を表12に示す。
表12に示すように、Nd−Al合金を混合した後、ホットプレスで緻密化し、その後熱処理を行なった実施例のサンプルNo.1および2は、比較例のサンプルNo.3よりも保磁力が高く、さらに出発磁粉よりも保磁力が向上しており、本発明の製造方法により、保磁力が向上した高密度磁石を作製できることがわかった。
2 出湯ノズル
3 冷却ロール3
4 リボン状の急冷合金
11 チャンバ
12 金型
13a 上パンチ
13b 下パンチと、
14 高周波コイル
15 加圧シリンダー
16 高周波電源
17 加圧機構
18 真空装置
19 ヘリウムガス供給源
Claims (8)
- HDDR処理によって作製され、平均結晶粒径が0.1μm以上1μm以下の再結晶集合組織を有するR−T−B系永久磁石粉末(RはNdおよび/またはPrをR全体に対して80原子%以上含む希土類元素、TはFeまたはFeの一部をCoおよび/またはNiで置換したものであり、Feを50原子%以上含む遷移金属元素)を準備する工程Aと、
R’(R’はNdおよび/またはPrをR’全体に対して90原子%以上含み、DyおよびTbを含まない希土類元素)とAlからなり、かつ、Alが2原子%以上65原子%以下であるR’−Al系合金粉末を準備する工程Bと、
前記R−T−B系永久磁石粉末とR’−Al系合金粉末とを混合し、混合粉末を作製する工程Cと、
前記混合粉末を不活性雰囲気または真空中において、550℃以上900℃以下の温度で熱処理を行う工程Dと、
を含む希土類永久磁石の製造方法。 - 前記R−T−B系永久磁石粉末がDyおよびTbを含有していない請求項1に記載の希土類磁石の製造方法。
- 前記R−T−B系永久磁石粉末の保磁力が1200kA/m以上である請求項1に記載の希土類永久磁石の製造方法。
- 前記工程Bは、
急冷法によってR’−Al系合金を作製する工程b1と、
R’−Al系合金を粉砕する工程b2と
を含む請求項1に記載の希土類永久磁石の製造方法。 - 前記工程Dにおいて、前記混合粉末を550℃以上900℃以下の温度で、1分以上240分以下の時間、保持する請求項1に記載の希土類永久磁石の製造方法。
- 前記工程Dの前、前記混合粉末に対し、500℃以上900℃以下の温度、20MPa以上3000MPa以下の圧力で熱間成形による緻密化を行なう工程Eを包含する、請求項1から5のいずれかに記載の希土類永久磁石の製造方法。 。
- 前記工程Dの後、前記混合粉末に対し、500℃以上900℃以下の温度、20MPa以上3000MPa以下の圧力で熱間成形による緻密化を行なう工程Eを包含する、請求項1から5のいずれかに記載の希土類永久磁石の製造方法。
- 前記工程Dは、前記熱処理中において20MPa以上3000MPa以下の圧力で熱間成形による緻密化を行なう工程を包含する、請求項1から5のいずれかに記載の希土類永久磁石の製造方法。
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