JP5749578B2 - Lens array and optical module having the same - Google Patents

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Description

本発明は、レンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに係り、特に、複数の発光素子と光伝送体の端面とを光学的に結合するのに好適なレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールに関する。   The present invention relates to a lens array and an optical module including the same, and more particularly to a lens array suitable for optically coupling a plurality of light emitting elements and an end face of an optical transmission body, and an optical module including the same.

近年、システム装置内または装置間もしくは光モジュール間において信号を高速に伝送する技術として、いわゆる光インターコネクションの適用が広まっている。ここで、光インターコネクションとは、光部品をあたかも電気部品のように扱って、パソコン、車両または光トランシーバなどに用いられるマザーボードや回路基板等に実装する技術をいう。   In recent years, application of so-called optical interconnection has become widespread as a technique for transmitting signals at high speed within a system apparatus or between apparatuses or between optical modules. Here, the optical interconnection refers to a technology in which an optical component is handled as if it were an electrical component and mounted on a mother board or a circuit board used for a personal computer, a vehicle, an optical transceiver, or the like.

このような光インターコネクションに用いられる光モジュールには、例えば、メディアコンバータやスイッチングハブの内部接続、光トランシーバ、医療機器、テスト装置、ビデオシステム、高速コンピュータクラスタなどの装置内や装置間の部品接続等の様々な用途がある。   Optical modules used for such optical interconnections include, for example, internal connections between media converters and switching hubs, optical transceivers, medical equipment, test equipment, video systems, high-speed computer clusters, and other parts within equipment. There are various uses such as.

そして、この種の光モジュールに適用される光学部品としては、マルチチャンネルの光通信をコンパクトな構成で実現するのに有効なものとして、複数の小径のレンズが整列配置されたレンズアレイの需要が益々高まりつつある。   As an optical component applied to this type of optical module, there is a demand for a lens array in which a plurality of small-diameter lenses are arranged and arranged, which is effective for realizing multi-channel optical communication in a compact configuration. Increasingly increasing.

ここで、レンズアレイは、従来から、複数の発光素子（例えば、ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）を備えた光電変換装置が取り付け可能とされるとともに、光伝送体としての複数の光ファイバが取り付け可能とされていた。   Here, conventionally, a photoelectric conversion device having a plurality of light emitting elements (for example, VCSEL: Vertical Cavity Surface Emitting Laser) can be attached to the lens array, and a plurality of optical fibers as an optical transmission body can be attached. It was possible.

そして、レンズアレイは、このように光電変換装置と複数の光ファイバとの間に配置された状態で、光電変換装置の各発光素子から出射された光を、各光ファイバの端面に光学的に結合させることにより、マルチチャンネルの光送信を行うことが可能とされていた。   The lens array is thus arranged between the photoelectric conversion device and the plurality of optical fibers, and optically emits light emitted from each light emitting element of the photoelectric conversion device to the end face of each optical fiber. By combining them, it was possible to perform multi-channel optical transmission.

また、光電変換装置の中には、発光素子の出力特性を安定させるべく、発光素子から出射された光（特に、強度もしくは光量）をモニタ（監視）するためのモニタ用の受光素子を備えたものもあり、このような光電変換装置に対応するレンズアレイは、発光素子から出射された光の一部を、モニタ光としてモニタ用の受光素子側に反射させるようになっていた。   In addition, in the photoelectric conversion device, in order to stabilize the output characteristics of the light emitting element, a light receiving element for monitoring for monitoring (monitoring) light (particularly intensity or light quantity) emitted from the light emitting element is provided. Some lens arrays corresponding to such photoelectric conversion devices reflect a part of light emitted from the light emitting element to the light receiving element side for monitoring as monitor light.

このようなモニタ光を発生させる反射機能を備えたレンズアレイとしては、これまでも、本発明者によって、例えば、特許文献１に示すような提案がなされている。   As a lens array having a reflection function for generating such monitor light, the inventor has so far proposed, for example, as shown in Patent Document 1.

特開２０１０−２６２２２２号公報JP 2010-262222 A

特許文献１に記載のレンズアレイは、反射／透過面における透過とフレネル反射とを利用して、発光素子から出射された光を光ファイバの端面に結合する光とモニタ光とに分光することによって、モニタ光を確実に得ることができるようになっている。   The lens array described in Patent Document 1 uses light transmitted through a reflection / transmission surface and Fresnel reflection to split light emitted from a light emitting element into light coupled to an end surface of an optical fiber and monitor light. The monitor light can be obtained with certainty.

本発明者は、このような特許文献１に記載のレンズアレイの利点を更に向上させるべく鋭意研究を行った結果、モニタ光の効率的な取得、コンパクト化および多チャンネル化により好適な本発明をなすに至った。   As a result of earnest research to further improve the advantages of the lens array described in Patent Document 1, the present inventor has found that the present invention is more suitable for efficient acquisition of monitor light, downsizing, and multi-channeling. It came to an eggplant.

本発明は、このような点に鑑みなされたものであり、モニタ光を効率的に得ることができ、更なる小型化および多チャンネル化を図ることができるレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールを提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above points, and provides a lens array that can efficiently obtain monitor light and can be further miniaturized and multi-channeled, and an optical module including the same. It is intended to provide.

前述した目的を達成するため、本発明の請求項１に係るレンズアレイの特徴は、複数の発光素子およびこれらから発光された光をモニタするための各発光素子ごとのモニタ光をそれぞれ受光する複数の受光素子が形成された光電変換装置と、光伝送体との間に配置され、前記複数の発光素子と前記光伝送体の端面とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、前記光電変換装置として、前記発光素子が所定の第１の方向に沿って複数整列されてなる前記発光素子の列が、前記第１の方向に直交する所定の第２の方向に沿って複数列並列されるとともに、前記複数列の発光素子に対して前記第２の方向側であって前記光伝送体側の位置に、前記受光素子が前記第１の方向に沿って複数整列されてなる前記受光素子の列が、前記第２の方向に沿って複数列並列されたものが配置され、前記光電変換装置に対して前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向において臨む第１のレンズ部材と、この第１のレンズ部材に接合され、前記光伝送体の端面に対して前記第２の方向において臨む第２のレンズ部材と前記第１のレンズ部材は、前記光電変換装置に臨む面に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第２の方向に沿って複数列並列形成され、前記複数列の発光素子ごとに発光された光がそれぞれ入射する複数列の第１のレンズ面と、前記光電変換装置に臨む面における前記複数列の第１のレンズ面に対して前記第２の方向側であって前記光伝送体側の位置に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第２の方向に沿って複数列並列形成され、前記第１のレンズ部材の内部側から入射した前記複数列の発光素子ごとのモニタ光を前記複数列の受光素子に向けてそれぞれ出射させる複数列の第３のレンズ面と、前記光電変換装置に臨む面に対して前記光電変換装置と反対側に配置され、前記光電変換装置に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光伝送体側に近づくように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有し、前記複数列の第１のレンズ面にそれぞれ入射した前記複数列の発光素子ごとの光を前記光伝送体側に向けて全反射させる第１の傾斜面と、前記光電変換装置に臨む面に対して前記光電変換装置と反対側であって、前記第１の傾斜面に対して前記光伝送体側に配置され、前記光電変換装置に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光伝送体と反対側に遠くなるように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有し、前記第１の傾斜面によって全反射された前記複数列の発光素子ごとの光が入射する第２の傾斜面とを有し、前記第２のレンズ部材は、前記光伝送体の端面に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光電変換装置と反対側に遠くなるように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有するとともに、前記第２の傾斜面に対して所定の間隙をもって臨み、前記第２の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光が入射する第３の傾斜面と、前記光伝送体の端面に臨む面に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第３の方向に沿って複数列並列形成され、前記第３の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光を、前記光伝送体の端面に向けてそれぞれ出射させる複数列の第２のレンズ面とを有し、前記第２の傾斜面と前記第３の傾斜面との間の前記間隙には、前記第１のレンズ部材および前記第２のレンズ部材との屈折率差が所定値以下とされた充填材が充填され、前記第２の傾斜面上または前記第３の傾斜面上には、前記第２の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光を、所定の反射率で前記複数列の発光素子ごとのモニタ光として前記複数列の第３のレンズ面側に反射させるとともに、所定の透過率で前記第３の傾斜面側に透過させる反射／透過層が形成されている点にある。 In order to achieve the above-described object, the lens array according to claim 1 of the present invention is characterized in that a plurality of light-emitting elements and a plurality of monitor lights for each light-emitting element for monitoring light emitted from each of the light-emitting elements are received. A lens array that is disposed between the photoelectric conversion device in which the light receiving element is formed and an optical transmission body, and capable of optically coupling the plurality of light emitting elements and the end face of the optical transmission body, As the photoelectric conversion device, a plurality of rows of the light emitting elements formed by arranging a plurality of the light emitting elements along a predetermined first direction are arranged in a plurality of rows along a predetermined second direction orthogonal to the first direction. The light receiving element that is arranged in parallel and is arranged in a plurality along the first direction at a position on the optical transmission body side in the second direction with respect to the light emitting elements in the plurality of rows. The element row is the second one Are arranged in a plurality of rows along the first lens member facing the photoelectric conversion device in a first direction and a third direction orthogonal to the second direction, and the first lens member. The second lens member and the first lens member which are joined to the lens member and face the end surface of the optical transmission body in the second direction are arranged on the surface facing the photoelectric conversion device. A plurality of first lens surfaces that are formed in a plurality of rows along the direction and formed in parallel in a plurality of rows along the second direction, and into which the light emitted from each of the light emitting elements in the plurality of rows is incident; A plurality of the first lens surfaces of the plurality of rows on the surface facing the photoelectric conversion device are formed in alignment in the second direction side and on the optical transmission body side along the first direction. And a plurality along the second direction A plurality of rows of third lens surfaces that are formed in parallel and that emit monitor light for each of the rows of light emitting elements incident from the inside of the first lens member toward the rows of light receiving elements; It is arranged on the opposite side to the surface facing the photoelectric conversion device, and is inclined linearly so as to approach the optical transmission body side as it is separated from the surface facing the photoelectric conversion device. that Tokoro has a constant inclination angle of, said plurality of rows first said lens surface is respectively incident first to the plurality of rows of light of each light emitting element is totally reflected toward the light transmission side of the inclined surface of, The surface opposite to the photoelectric conversion device with respect to the surface facing the photoelectric conversion device and disposed on the optical transmission body side with respect to the first inclined surface, and this surface with respect to the surface facing the photoelectric conversion device As the distance from It has a tilt angle of that Jo Tokoro to linearly inclined so far to the side opposite to the Okukarada, second light per light emitting element of the plurality of rows which are totally reflected by the first inclined surface is incident And the second lens member is linearly formed so as to be farther away from the surface facing the end surface of the optical transmission body as the distance from the surface increases. which has an inclination angle of that Jo Tokoro to tilt, faces with a predetermined gap with respect to the second inclined surface, a third light per light emitting element of the plurality of rows incident on the second inclined surface is incident And a plurality of rows formed in parallel along the third direction and a plurality of rows formed in parallel along the third direction, and the third inclined surface. The light of each of the plurality of rows of light emitting elements incident on the light is directed toward the end face of the optical transmission body. And a second lens surface of the plurality of rows to emit Re respectively, wherein the said gap between the second inclined surface and the third inclined surface, said first lens member and the second The plurality of members that are filled with a filler whose refractive index difference with the lens member is equal to or smaller than a predetermined value and are incident on the second inclined surface on the second inclined surface or the third inclined surface The light for each light emitting element in the row is reflected to the third lens surface side of the plurality of rows as monitor light for each of the light emitting elements in the plurality of rows with a predetermined reflectance, and the third inclination with the predetermined transmittance. This is in that a reflection / transmission layer to be transmitted on the surface side is formed.

そして、この請求項１に係る発明によれば、複数列の第１のレンズ面に入射した複数列の発光素子ごとの光を、第１の傾斜面において全反射させた後に反射／透過層によって第３の傾斜面側および複数列の第３のレンズ面側にそれぞれ分光させ、第３の傾斜面側に分光された複数列の発光素子ごとの光を、複数列の第２のレンズ面によって光伝送体の端面側に出射させることができるとともに、複数列の第３のレンズ面側に十分な反射率で分光された複数列の発光素子ごとのモニタ光を、複数列の第３のレンズ面によって複数列の受光素子側に出射させることができる。これにより、複数列の発光素子と光伝送体の端面との光学的な結合を適正に行うことができるとともにモニタ光を確実かつ効率的に得ることができ、また、第２の傾斜面と第３の傾斜面との間隙部を、反射／透過層および充填材の配置に利用することによって、コンパクトな構成を実現することが可能となる。さらに、第１のレンズ部材および第２のレンズ部材と充填材との屈折率差を所定値以下に形成することで、第１のレンズ部材における第１の傾斜面と第２の傾斜面との間の光路と第２のレンズ部材の光路との直線性を確保することができるので、製品検査の際に複数列の第２のレンズ面に入射する光が各レンズ面の中心からずれていることが確認された場合に、これを解消するための寸法調整を要する箇所を削減することができ、ひいては、製造の容易化に寄与することができる。   According to the first aspect of the present invention, the light for each of the plurality of rows of light emitting elements incident on the plurality of rows of first lens surfaces is totally reflected on the first inclined surface and then reflected / transmitted by the reflection / transmission layer. The light from each of the plurality of rows of light-emitting elements dispersed on the third inclined surface side and the third lens surface side of the plurality of rows is dispersed by the second lens surface of the plurality of rows. The monitor light for each of the plurality of rows of light emitting elements that can be emitted to the end surface side of the optical transmission body and is split with sufficient reflectivity on the plurality of rows of third lens surfaces is provided to the plurality of rows of third lenses. The light can be emitted to a plurality of rows of light receiving elements depending on the surface. As a result, the optical coupling between the light emitting elements in a plurality of rows and the end face of the optical transmission body can be performed properly, and monitor light can be obtained reliably and efficiently. By utilizing the gap between the inclined surface 3 and the reflective / transmissive layer and the filler, a compact configuration can be realized. Furthermore, by forming the refractive index difference between the first lens member and the second lens member and the filler to be a predetermined value or less, the first inclined surface and the second inclined surface of the first lens member Since the linearity between the optical path between them and the optical path of the second lens member can be ensured, the light incident on the second lens surfaces in a plurality of rows is shifted from the center of each lens surface during product inspection. When this is confirmed, it is possible to reduce the places that require dimensional adjustment to eliminate this, and thus contribute to facilitating manufacturing.

また、請求項２に係るレンズアレイの特徴は、請求項１において、更に、前記第２のレンズ部材は、前記第３の傾斜面の外側に、前記第３の傾斜面よりも前記第１のレンズ部材側に突出されるとともに前記第２の傾斜面に平行とされた段差面を有し、前記第２の傾斜面は、前記第３の傾斜面および前記段差面に対応する範囲にわたって平坦な面に形成され、前記反射／透過層は、前記第２の傾斜面上に形成され、前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記段差面と前記第２の傾斜面とを当接させた状態で接合されている点にある。 The feature of the lens array according to claim 2, in claim 1, further pre Symbol second lens member, said third outside of the inclined surface, the third inclined than said surface first And a step surface that is parallel to the second inclined surface, and the second inclined surface is flat over a range corresponding to the third inclined surface and the step surface. The reflection / transmission layer is formed on the second inclined surface, and the first lens member and the second lens member are the step surface and the second inclined surface. Are in a state of being in contact with each other.

そして、この請求項２に係る発明によれば、充填材の配置空間を簡易な構成によって確保することができ、また、全反射機能（第１の傾斜面）と分光機能（反射／透過層）とを同一部材（第１のレンズ部材）上に集約させることによって更に容易な設計が可能となり、さらに、段差面と第２の傾斜面とを当接させることによって第１のレンズ部材と第２のレンズ部材との接合を安定的に行うことができる。   According to the second aspect of the present invention, the arrangement space for the filler can be secured with a simple configuration, and the total reflection function (first inclined surface) and the spectral function (reflection / transmission layer) are provided. Are integrated on the same member (first lens member), and an easier design is possible. Furthermore, the first lens member and the second lens member are brought into contact with each other by bringing the step surface into contact with the second inclined surface. The lens member can be stably joined.

さらに、請求項３に係るレンズアレイの特徴は、請求項１において、更に、前記第１のレンズ部材は、前記第２の傾斜面の外側に、前記第２の傾斜面よりも前記第２のレンズ部材側に突出されるとともに前記第３の傾斜面に平行とされた段差面を有し、前記第３の傾斜面は、前記第２の傾斜面および前記段差面に対応する範囲にわたって平坦な面に形成され、前記反射／透過層は、前記第３の傾斜面上に形成され、前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記段差面と前記第３の傾斜面とを当接させた状態で接合されている点にある。 Further, features of the lens array according to claim 3, in claim 1, further pre Symbol first lens member is outside of the second inclined surface, said second than said inclined surface second And a step surface that is parallel to the third inclined surface, and the third inclined surface is flat over a range corresponding to the second inclined surface and the step surface. The reflection / transmission layer is formed on the third inclined surface, and the first lens member and the second lens member are the step surface and the third inclined surface. Are in a state of being in contact with each other.

そして、この請求項３に係る発明によれば、充填材の配置空間を簡易な構成によって確保することができ、また、段差面と第３の傾斜面とを当接させることによって第１のレンズ部材と第２のレンズ部材との接合を安定的に行うことができる。   According to the third aspect of the invention, the arrangement space for the filler can be secured with a simple configuration, and the first lens is brought into contact with the step surface and the third inclined surface. The member and the second lens member can be stably joined.

さらにまた、請求項４に係るレンズアレイの特徴は、請求項２または３において、更に、前記第１のレンズ部材および前記第２のレンズ部材には、前記段差面およびこれに当接する前記傾斜面のそれぞれから延出され、前記段差面および前記傾斜面に対して所定の角度を有した状態で互いに当接する前記第１のレンズ部材側の当接面および前記第２レンズ部材側の当接面がそれぞれ形成されている点にある。   Still further, the lens array according to claim 4 is characterized in that, in claim 2 or 3, the first lens member and the second lens member further include the step surface and the inclined surface in contact with the step surface. The contact surface on the first lens member side and the contact surface on the second lens member side that extend from each of the contact surfaces and contact each other with a predetermined angle with respect to the step surface and the inclined surface Are in the formation of each.

そして、この請求項４に係る発明によれば、第１のレンズ部材側の当接面と第２レンズ部材側の当接面とを当接させることによって、第１のレンズ部材と第２のレンズ部材との接合を更に安定的かつ高精度に行うことができる。   According to the fourth aspect of the invention, the first lens member and the second lens member are brought into contact with each other by bringing the contact surface on the first lens member side into contact with the contact surface on the second lens member side. Bonding with the lens member can be performed more stably and with high accuracy.

また、請求項５に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜４のいずれか１項において、更に、前記充填材は、透光性の接着材からなり、前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記充填材によって接合されている点にある。   The lens array according to a fifth aspect of the present invention is the lens array according to any one of the first to fourth aspects, wherein the filler is made of a translucent adhesive, and the first lens member and the first The second lens member is bonded by the filler.

そして、この請求項５に係る発明によれば、充填材が接着材を兼ねることによって、第１のレンズ部材と第２のレンズ部材とを確実に接合することができるとともに部品点数を削減することができる。   And according to this invention concerning Claim 5, when a filler serves as an adhesive agent, the 1st lens member and the 2nd lens member can be joined reliably, and the number of parts can be reduced. Can do.

さらに、請求項６に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜５のいずれか１項において、更に、前記第１の傾斜面は、前記光電変換装置に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成され、前記第２の傾斜面は、前記第１の傾斜面に対して直角かつ前記光電変換装置に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成され、前記第３の傾斜面は、前記光伝送体の端面に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成されている点にある。   Further, the lens array according to claim 6 is characterized in that in any one of claims 1 to 5, the first inclined surface has an inclination angle of 45 ° with respect to the surface facing the photoelectric conversion device. The second inclined surface is formed to have a right angle with respect to the first inclined surface and an inclined angle of 45 ° with respect to a surface facing the photoelectric conversion device, and the second inclined surface The inclined surface 3 is formed so as to have an inclination angle of 45 ° with respect to the surface facing the end surface of the optical transmission body.

そして、この請求項６に係る発明によれば、第１〜第３の傾斜面を４５°の傾斜面に形成することによって、各傾斜面の寸法精度の測定を簡便に行うことができ、取り扱い性を向上させることができる。   And according to the invention concerning this Claim 6, the measurement of the dimensional accuracy of each inclined surface can be easily performed by forming the 1st-3rd inclined surface in a 45 degree inclined surface, and handling. Can be improved.

さらにまた、請求項７に係るレンズアレイの特徴は、請求項１〜６のいずれか１項において、更に、前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、同一の材料によって形成されている点にある。   Still further, the lens array according to claim 7 is characterized in that in any one of claims 1 to 6, the first lens member and the second lens member are formed of the same material. There is in point.

そして、この請求項７に係る発明によれば、第１のレンズ部材と第２のレンズ部材との屈折率を統一することによって更に容易な設計が可能となるとともに、同一の材料を用いることによって更なるコストの削減が可能となる。   According to the invention according to claim 7, it is possible to design more easily by unifying the refractive indexes of the first lens member and the second lens member, and by using the same material. Further cost reduction is possible.

また、請求項８に係る光モジュールの特徴は、請求項１〜７のいずれか１項に記載のレンズアレイと、請求項１に記載の光電変換装置とを備えた点にある。   An optical module according to an eighth aspect is characterized in that the lens array according to any one of the first to seventh aspects and the photoelectric conversion device according to the first aspect are provided.

そして、この請求項８に係る発明によれば、複数列の発光素子と光伝送体の端面との光学的な結合を適正に行うことができるとともにモニタ光を確実かつ効率的に得ることができ、また、第２の傾斜面と第３の傾斜面との間隙部を、反射／透過層および充填材の配置に利用することによって、コンパクトな構成を実現することが可能となり、さらに、第１のレンズ部材における第１の傾斜面と第２の傾斜面との間の光路と第２のレンズ部材の光路との直線性を確保して、製品検査の際に複数列の第２のレンズ面に入射する光が各レンズ面の中心からずれていることが確認された場合に、これを解消するための寸法調整を要する箇所を削減することができるので、製造の容易化に寄与することができる。   According to the eighth aspect of the invention, it is possible to appropriately perform optical coupling between the light emitting elements in a plurality of rows and the end face of the optical transmission body, and to obtain monitor light reliably and efficiently. Further, by using the gap between the second inclined surface and the third inclined surface for the arrangement of the reflection / transmission layer and the filler, a compact configuration can be realized, and further, the first The linearity of the optical path between the first inclined surface and the second inclined surface in the lens member and the optical path of the second lens member is ensured, and a plurality of rows of second lens surfaces are inspected during product inspection. When it is confirmed that the light incident on the lens is deviated from the center of each lens surface, it is possible to reduce the places that require dimensional adjustment to eliminate this, which contributes to facilitating manufacturing. it can.

本発明によれば、モニタ光を効率的に得ることができ、更なる小型化および多チャンネル化を図ることができる。   According to the present invention, monitor light can be efficiently obtained, and further miniaturization and multi-channel can be achieved.

本発明に係る光モジュールの実施形態を示す概略構成図1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an optical module according to the present invention. 本発明に係るレンズアレイの実施形態において、第１レンズ部材を示す縦断面図1 is a longitudinal sectional view showing a first lens member in an embodiment of a lens array according to the present invention. 本発明に係るレンズアレイの実施形態において、第２レンズ部材を示す縦断面図The longitudinal section showing the 2nd lens member in the embodiment of the lens array concerning the present invention. 図２の下面図Bottom view of FIG. 図３の左側面図Left side view of FIG. 本発明の第１の変形例を示す図The figure which shows the 1st modification of this invention 本発明の第２の変形例を示す図The figure which shows the 2nd modification of this invention 本発明の第３の変形例を示す図The figure which shows the 3rd modification of this invention.

以下、本発明に係るレンズアレイおよびこれを備えた光モジュールの実施形態について、図１〜図８を参照して説明する。   Hereinafter, embodiments of a lens array and an optical module including the lens array according to the present invention will be described with reference to FIGS.

ここで、図１は、本実施形態における光モジュール１の概要を本実施形態におけるレンズアレイ２の縦断面図とともに示した概略構成図である。また、図２は、レンズアレイ２を構成する第１のレンズ部材３の縦断面図である。さらに、図３は、第１のレンズ部材３に接合された状態で第１のレンズ部材３とともにレンズアレイ２を構成する第２のレンズ部材４の縦断面図である。さらにまた、図４は、図２の下面図である。また、図５は、図３の左側面図である。   Here, FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an outline of the optical module 1 in the present embodiment together with a longitudinal sectional view of the lens array 2 in the present embodiment. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the first lens member 3 constituting the lens array 2. Further, FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the second lens member 4 constituting the lens array 2 together with the first lens member 3 in a state of being joined to the first lens member 3. FIG. 4 is a bottom view of FIG. FIG. 5 is a left side view of FIG.

図１に示すように、本実施形態におけるレンズアレイ２は、光電変換装置５と光伝送体としての光ファイバ６との間に配置されるようになっている。   As shown in FIG. 1, the lens array 2 in this embodiment is arranged between a photoelectric conversion device 5 and an optical fiber 6 as an optical transmission body.

ここで、光電変換装置５は、半導体基板７におけるレンズアレイ２に臨む面に、この面に対して垂直方向（図１における上方向）にレーザ光Ｌａを出射（発光）する複数の発光素子８を有しており、これらの発光素子８は、前述したＶＣＳＥＬ（垂直共振器面発光レーザ）を構成している。なお、各発光素子８によるレーザ光Ｌａの出射方向は、本発明における第３の方向に相当する。また、発光素子８は、所定の第１の方向としての図１における紙面垂直方向に沿って等ピッチで複数（本実施形態においては１２個）整列されることによって発光素子８の列（一列）をなすとともに、このような発光素子８の列が所定の第２の方向としての図１における横方向に沿って複数列（本実施形態においては２列）並列されるようにして形成されている。なお、本実施形態においては、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の個数が同一とされているとともに、各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置が一致しているが、本発明は、このような構成に限定されるものではない。さらに、図１に示すように、光電変換装置５は、半導体基板７におけるレンズアレイ２に臨む面であって、複数列の発光素子８に対して第２の方向側かつ光伝送体側の位置としての図１における左方近傍位置に、複数列の発光素子８からそれぞれ出射されたレーザ光Ｌａの出力（例えば、強度や光量）をモニタするためのモニタ光Ｍを受光する発光素子８と同数の受光素子９を有している。受光素子９は、発光素子８と同様に、図１における紙面垂直方向に沿って等ピッチで複数（１２個）整列されることによって受光素子９の列をなすとともに、このような受光素子９の列が図１における横方向に沿って複数列（２列）並列されるようにして形成されている。また、各列の受光素子９は、光学的に対応する（光をモニタする関係にある）発光素子８の列との間において、整列方向の一方から数えて同じ順番の素子８，９同士の整列方向における位置が互いに一致している。ただし、このような位置の一致は、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置を揃える（一致させる）ような構成を採る場合には、光学的に対応しない発光素子８の列と受光素子９の列との間においても成立することになる。なお、図１においては、右から数えて第１列目の発光素子８に、左から数えて第１列目の受光素子９が光学的に対応しているとともに、右から第２列目の発光素子８に、左から第２列目の受光素子９が光学的に対応している。受光素子９は、フォトディテクタであってもよい。さらに、図示はしないが、光電変換装置５には、受光素子９によって受光されたモニタ光Ｍの強度や光量に基づいて発光素子８から発光されるレーザ光Ｌａの出力を制御する制御回路が接続されている。このような光電変換装置５は、図１に示すように、半導体基板７を第１のレンズ部材３に当接させた状態で、第１のレンズ部材３に対して対向配置されるようになっている。そして、この光電変換装置５は、例えば、クランプバネ等の不図示の公知の固定手段によって第１のレンズ部材３に取付けられることにより、レンズアレイ２とともに光モジュール１を構成するようになっている。   Here, the photoelectric conversion device 5 has a plurality of light emitting elements 8 that emit (emit) laser light La on a surface facing the lens array 2 in the semiconductor substrate 7 in a direction perpendicular to the surface (upward in FIG. 1). These light emitting elements 8 constitute the VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) described above. The emission direction of the laser light La from each light emitting element 8 corresponds to the third direction in the present invention. In addition, a plurality of light emitting elements 8 (12 in the present embodiment) are arranged at an equal pitch along the direction perpendicular to the paper surface in FIG. And a plurality of rows (two rows in this embodiment) are arranged in parallel along the horizontal direction in FIG. 1 as the predetermined second direction. . In the present embodiment, the number of the light emitting elements 8 is the same between the columns of the light emitting elements 8, and the positions of the light emitting elements 8 in the alignment direction are the same between the columns. However, the present invention is not limited to such a configuration. Further, as shown in FIG. 1, the photoelectric conversion device 5 is a surface facing the lens array 2 in the semiconductor substrate 7, as a position on the second direction side and the optical transmission body side with respect to the light emitting elements 8 in a plurality of rows. 1, the same number as the light emitting elements 8 that receive the monitor light M for monitoring the output (for example, the intensity and the light amount) of the laser beams La emitted from the light emitting elements 8 in a plurality of rows. A light receiving element 9 is provided. Like the light emitting element 8, the light receiving elements 9 form a row of the light receiving elements 9 by being aligned at equal pitches along the direction perpendicular to the paper surface in FIG. 1. The rows are formed so that a plurality of rows (two rows) are juxtaposed along the horizontal direction in FIG. In addition, the light receiving elements 9 in each column are optically corresponding to the columns of the light emitting elements 8 (which are in a relationship of monitoring light). The positions in the alignment direction coincide with each other. However, such a coincidence of the positions is not optically compatible with a light emitting element that adopts a configuration that aligns (matches) the positions of the light emitting elements 8 in the alignment direction between the columns of the light emitting elements 8. This is also true between the row of 8 and the row of light receiving elements 9. In FIG. 1, the light receiving elements 9 in the first column counted from the left are optically associated with the light emitting elements 8 in the first column counted from the right, and the second column from the right. The light receiving elements 9 in the second column from the left optically correspond to the light emitting elements 8. The light receiving element 9 may be a photo detector. Further, although not shown, the photoelectric conversion device 5 is connected to a control circuit for controlling the output of the laser light La emitted from the light emitting element 8 based on the intensity and the light amount of the monitor light M received by the light receiving element 9. Has been. As shown in FIG. 1, such a photoelectric conversion device 5 is arranged to face the first lens member 3 in a state where the semiconductor substrate 7 is in contact with the first lens member 3. ing. The photoelectric conversion device 5 constitutes the optical module 1 together with the lens array 2 by being attached to the first lens member 3 by a known fixing means (not shown) such as a clamp spring. .

また、本実施形態における光ファイバ６は、発光素子８および受光素子９と同数配設されており、図１における紙面垂直方向に沿って複数本（１２本）整列されて列をなすとともに、この列が図１における縦方向（第３の方向）に沿って複数列（２列）並列されるように配置されている。これら複数列の光ファイバ６は、光学的に対応する（光が結合する関係にある）発光素子８の列との間において、整列方向の一方から数えて同じ順番の光ファイバ６・発光素子８同士の整列方向における位置が互いに一致している。ただし、このような位置の一致は、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置を揃えるような構成を採る場合には、光学的に対応しない発光素子８の列と光ファイバ６の列との間においても成立することになる。なお、図１においては、上から数えて第１列目の光ファイバ６が、右から第２列目の発光素子８に光学的に対応しているとともに、上から第２列目の光ファイバ６の列が、右から第１列目の発光素子８に光学的に対応している。各列の光ファイバ６は、例えば、互いに同寸法のマルチモード方式の光ファイバ６とされているとともに、その端面６ａ側の部位がＭＴ（Mechanically Transferable）コネクタ等の多心一括型の光コネクタ１０内に保持されている。このような複数列の光ファイバ６は、図１に示すように、光コネクタ１０における第２のレンズ部材４側の端面を第２のレンズ部材４に当接させた状態で、不図示の公知の固定手段（例えば、クランプバネ等）によって第２のレンズ部材４に取付けられるようになっている。   Further, the same number of the optical fibers 6 as the light emitting elements 8 and the light receiving elements 9 are arranged in the present embodiment, and a plurality (12) of optical fibers 6 are aligned along the direction perpendicular to the paper surface in FIG. The rows are arranged so as to be juxtaposed in a plurality of rows (two rows) along the vertical direction (third direction) in FIG. The optical fibers 6 and the light emitting elements 8 in the same order counted from one side in the alignment direction between the optical fibers 6 in the plurality of rows and the optically corresponding rows of light emitting elements 8 (in which light is coupled). The positions in the alignment direction of each other coincide with each other. However, in the case of adopting a configuration in which the positions in the alignment direction of the light emitting elements 8 are aligned between the respective columns of the light emitting elements 8, such coincidence of positions with the columns of the light emitting elements 8 that are not optically compatible with each other. This is also true between the rows of optical fibers 6. In FIG. 1, the optical fibers 6 in the first row counted from the top optically correspond to the light emitting elements 8 in the second row from the right, and the optical fibers in the second row from the top. The sixth column optically corresponds to the light-emitting elements 8 in the first column from the right. The optical fibers 6 in each row are, for example, multimode optical fibers 6 having the same dimensions, and the end face 6a side portion is a multi-core optical connector 10 such as an MT (Mechanically Transferable) connector. Is held in. As shown in FIG. 1, such a plurality of rows of optical fibers 6 are not shown, with the end surface of the optical connector 10 on the second lens member 4 side in contact with the second lens member 4. The fixing means (for example, a clamp spring or the like) is attached to the second lens member 4.

そして、レンズアレイ２は、このようにして光電変換装置５と光ファイバ６との間に配置された状態で、複数列の発光素子８と対応する複数列の光ファイバ６の端面６ａとを光学的に結合させるようになっている。   Then, the lens array 2 optically communicates with the end faces 6a of the plurality of rows of optical fibers 6 corresponding to the plurality of rows of light emitting elements 8 in a state of being arranged between the photoelectric conversion device 5 and the optical fibers 6 in this way. Are designed to be combined.

このレンズアレイ２についてさらに詳述すると、図１に示すように、第１のレンズ部材３は、透光性材料（例えば、樹脂材料）からなり、その縦断面の外形が略三角形状に形成されている。図１に示すように、第１のレンズ部材３の下端面３ａは、光電変換装置５に対して上方から臨む面となっており、この下端面３ａには、発光素子８と同数の平面円形状の第１のレンズ面（凸レンズ面）１１が形成されている。ここで、図２および図４に示すように、第１のレンズ面１１は、図２における紙面垂直方向（図４における縦方向）に沿って等ピッチで複数（１２個）整列されることによって第１のレンズ面１１の列をなすとともに、このような列が図２および図４における横方向に沿って複数列（２列）並列されるようにして形成されている。各列の第１のレンズ面１１は、同寸法に形成されているとともに、光学的に対応する（光が入射する関係にある）発光素子８の列との間において、整列方向の一方から数えて同じ順番の第１のレンズ面１１・発光素子８同士の整列方向における位置が互いに一致している。ただし、このような位置の一致は、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置を揃えるような構成を採る場合には、光学的に対応しない発光素子８の列と第１のレンズ面１１の列との間においても成立することになる。なお、図１においては、右から数えて第１列目の第１のレンズ面１１が、これらに下方から正対する右から数えて第１列目の発光素子８に光学的に対応しているとともに、右から第２列目の第１のレンズ面１１が、これらに下方から正対する右から第２列目の発光素子８に光学的に対応している。なお、図４に示すように、整列方向（縦方向）および並列方向（横方向）において互いに隣位する第１のレンズ面１１同士は、それぞれの周端部を互いに接触させた隣接状態に形成されていてもよい。また、図１に示すように、各第１のレンズ面１１の光軸ＯＡ（１）は、各第１のレンズ面１１にそれぞれ光学的に対応する各発光素子８から出射されるレーザ光Ｌａの中心軸に一致することが望ましい。より好ましくは、各第１のレンズ面１１の光軸ＯＡ（１）は、下端面３ａに直交するようにする。   The lens array 2 will be described in further detail. As shown in FIG. 1, the first lens member 3 is made of a translucent material (for example, a resin material), and the outer shape of the longitudinal section thereof is formed in a substantially triangular shape. ing. As shown in FIG. 1, the lower end surface 3 a of the first lens member 3 is a surface facing the photoelectric conversion device 5 from above, and the lower end surface 3 a has the same number of planar circles as the light emitting elements 8. A first lens surface (convex lens surface) 11 having a shape is formed. Here, as shown in FIGS. 2 and 4, the first lens surfaces 11 are arranged in a plurality (12) at equal pitches along the paper surface vertical direction (the vertical direction in FIG. 4) in FIG. 2. The first lens surface 11 is formed in a row, and such a row is formed so that a plurality of rows (two rows) are juxtaposed along the horizontal direction in FIGS. 2 and 4. The first lens surface 11 of each row is formed with the same size and is counted from one side in the alignment direction with the row of light-emitting elements 8 optically corresponding (with light incident thereon). In the same order, the positions of the first lens surface 11 and the light emitting elements 8 in the alignment direction coincide with each other. However, in the case of adopting a configuration in which the positions in the alignment direction of the light emitting elements 8 are aligned between the respective columns of the light emitting elements 8, such coincidence of positions with the columns of the light emitting elements 8 that are not optically compatible with each other. It is also established between the first lens surface 11 and the row. In FIG. 1, the first lens surface 11 in the first row counted from the right optically corresponds to the light emitting elements 8 in the first row counted from the right facing these from the lower side. At the same time, the first lens surface 11 in the second row from the right optically corresponds to the light emitting elements 8 in the second row from the right facing these from the lower side. As shown in FIG. 4, the first lens surfaces 11 adjacent to each other in the alignment direction (longitudinal direction) and the parallel direction (lateral direction) are formed in an adjacent state in which their peripheral ends are in contact with each other. May be. Further, as shown in FIG. 1, the optical axis OA (1) of each first lens surface 11 has a laser beam La emitted from each light emitting element 8 optically corresponding to each first lens surface 11 respectively. It is desirable to coincide with the central axis. More preferably, the optical axis OA (1) of each first lens surface 11 is orthogonal to the lower end surface 3a.

このような各列の第１のレンズ面１１には、図１に示すように、光学的に対応する発光素子８の列ごとに出射されたレーザ光Ｌａが入射する。より具体的には、第１のレンズ面１１の列に属する任意の１つの第１のレンズ面１１には、光学的に対応する発光素子８の列に属する各発光素子８のうちの整列方向の一方から数えて任意の１つの第１のレンズ面１１と同じ順番の１つの発光素子８の出射光が入射する。そして、各列の第１のレンズ面１１は、入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを第１のレンズ部材３の内部（上方）へと進行させる。なお、各列の第１のレンズ面１１は、入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａをコリメートさせてもよいし、または、収束させてもよい。あるいは、第１のレンズ面１１を凹レンズ面に形成して、入射したレーザ光Ｌａを発散させるようにしてもよい。   As shown in FIG. 1, the laser light La emitted for each column of optically corresponding light emitting elements 8 is incident on the first lens surface 11 of each column. More specifically, any one of the first lens surfaces 11 belonging to the row of the first lens surfaces 11 has an alignment direction among the light emitting devices 8 belonging to the optically corresponding row of the light emitting devices 8. The light emitted from one light-emitting element 8 in the same order as that of any one first lens surface 11 from one side of the light enters. Then, the first lens surface 11 in each row advances the laser beam La for each light emitting element 8 in each row that has entered the interior of the first lens member 3 (upward). Note that the first lens surface 11 in each row may collimate or converge the laser light La for each light emitting element 8 in each row that has entered. Alternatively, the first lens surface 11 may be formed as a concave lens surface to diverge the incident laser light La.

また、第１のレンズ部材３の下端面３ａ上であって、各列の第１のレンズ面１１に対する左方近傍位置には、発光素子８と同数の平面円形状の第３のレンズ面（凸レンズ面）１３が形成されている。ここで、図２および図４に示すように、第３のレンズ面１３は、図２における紙面垂直方向（図４における縦方向）に沿って等ピッチで複数（１２個）整列されることによって第３のレンズ面１３の列をなすとともに、このような列が図２および図４における横方向に沿って複数列（２列）並列されるようにして形成されている。各列の第３のレンズ面１３は、同寸法に形成されているとともに、光学的に対応する（光が入射する関係にある）発光素子８の列との間において、整列方向の一方から数えて同じ順番の第３のレンズ面１３・発光素子８同士の整列方向における位置が互いに一致している。ただし、このような位置の一致は、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置を揃えるような構成を採る場合には、光学的に対応しない発光素子８の列と第３のレンズ面１３の列との間においても成立することになる。なお、図１においては、左から数えて第１列目の第３のレンズ面１３が、右から数えて第１列目の発光素子８に光学的に対応しているとともに、左から第２列目の第３のレンズ面１３が、右から第２列目の発光素子８に光学的に対応している。なお、図４に示すように、整列方向および並列方向において互いに隣位する第３のレンズ面１３同士は、それぞれの周端部を互いに接触させた隣接状態に形成されていてもよい。また、各列の第３のレンズ面１３の光軸ＯＡ（３）は、各列の第３のレンズ面１３にそれぞれ光学的に対応する（光を結合させる関係にある）各列の受光素子９の受光面の中心軸に一致することが望ましい。より好ましくは、各列の第３のレンズ面１３の光軸ＯＡ（３）は、下端面３ａに直交するようにする。   Further, on the lower end surface 3a of the first lens member 3 and in the vicinity of the left side with respect to the first lens surface 11 of each row, the same number of planar circular third lens surfaces as the light emitting elements 8 ( (Convex lens surface) 13 is formed. Here, as shown in FIGS. 2 and 4, the third lens surface 13 is arranged in plural (12 pieces) at equal pitches along the paper surface vertical direction in FIG. 2 (vertical direction in FIG. 4). The third lens surface 13 is formed in a row, and such a row is formed so that a plurality of rows (two rows) are juxtaposed along the horizontal direction in FIGS. 2 and 4. The third lens surface 13 of each row is formed with the same size and is counted from one side in the alignment direction with the row of light-emitting elements 8 optically corresponding (with light incident thereon). The positions of the third lens surface 13 and the light emitting elements 8 in the same order in the alignment direction are coincident with each other. However, in the case of adopting a configuration in which the positions in the alignment direction of the light emitting elements 8 are aligned between the respective columns of the light emitting elements 8, such coincidence of positions with the columns of the light emitting elements 8 that are not optically compatible with each other. This is also established between the third lens surface 13 and the row. In FIG. 1, the third lens surface 13 in the first row counted from the left optically corresponds to the light emitting elements 8 in the first row counted from the right, and the second lens surface 13 from the left. The third lens surface 13 in the row optically corresponds to the light emitting elements 8 in the second row from the right. As shown in FIG. 4, the third lens surfaces 13 that are adjacent to each other in the alignment direction and the parallel direction may be formed in an adjacent state in which their peripheral ends are in contact with each other. Further, the optical axis OA (3) of the third lens surface 13 in each row optically corresponds to the third lens surface 13 in each row (has a relationship for coupling light), and the light receiving element in each row. It is desirable to coincide with the central axis of the light receiving surface 9. More preferably, the optical axis OA (3) of the third lens surface 13 in each row is orthogonal to the lower end surface 3a.

このような各列の第３のレンズ面１３には、図１に示すように、第１のレンズ部材３の内部側（上方）から各列の第３のレンズ面１３にそれぞれ対応する各列の発光素子８ごとのモニタ光Ｍが入射する。そして、各列の第３のレンズ面１３は、入射した各列の発光素子８ごとのモニタ光Ｍを、収束させて各列の第３のレンズ面１３に光学的に対応する各列の受光素子９に向けてそれぞれ出射させる。なお、モニタ光Ｍを発生させる手段については後述する。   As shown in FIG. 1, the third lens surface 13 in each row has a row corresponding to the third lens surface 13 in each row from the inner side (upper side) of the first lens member 3. The monitor light M for each light emitting element 8 enters. The third lens surface 13 in each row converges the incident monitor light M for each light emitting element 8 in each row to receive light in each row optically corresponding to the third lens surface 13 in each row. The light is emitted toward the element 9. The means for generating the monitor light M will be described later.

さらに、図１に示すように、第１のレンズ部材３は、下端面３ａに対して光電変換装置５と反対側（上側）に配置された第１の傾斜面１４を有している。図１に示すように、第１の傾斜面１４は、これの下端部が下端面３ａにおける右端部の近傍に配置されているとともに、下端面３ａに対して、下端面３ａから上方に離間するにしたがって光ファイバ６側（左側）に傾斜するような所定の傾斜角を有している。   Furthermore, as shown in FIG. 1, the first lens member 3 has a first inclined surface 14 disposed on the opposite side (upper side) of the photoelectric conversion device 5 with respect to the lower end surface 3a. As shown in FIG. 1, the lower end of the first inclined surface 14 is disposed in the vicinity of the right end of the lower end surface 3a, and is spaced upward from the lower end surface 3a with respect to the lower end surface 3a. Accordingly, it has a predetermined inclination angle that inclines toward the optical fiber 6 side (left side).

このような第１の傾斜面１４には、図１に示すように、各列の第１のレンズ面１１にそれぞれ入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが、第１のレンズ部材３の内部の光路上を進行した後に、臨界角より大きな入射角で下方から内部入射する。そして、第１の傾斜面１４は、内部入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを、光ファイバ６側（左方）に向けて全反射させる。   As shown in FIG. 1, the laser light La for each light emitting element 8 in each row incident on the first lens surface 11 in each row is provided on the first inclined surface 14 as shown in FIG. After traveling on the optical path inside 3, the light is internally incident from below at an incident angle larger than the critical angle. The first inclined surface 14 totally reflects the laser light La for each of the light emitting elements 8 in each column incident on the inside toward the optical fiber 6 side (left side).

さらにまた、図１に示すように、第１のレンズ部材３は、下端面３ａに対して光電変換装置５と反対側（上側）であって、第１の傾斜面１４に対して光ファイバ６側（左側）に配置された第２の傾斜面１５を有している。図１に示すように、第２の傾斜面１５は、これの下端部が下端面３ａにおける左端部の近傍に配置されているとともに、上端部が第１の傾斜面１４の上端部に連接されている。また、図１に示すように、第２の傾斜面１５は、下端面３ａに対して、下端面３ａから上方に離間するにしたがって光ファイバ６と反対側（右側）に傾斜するような所定の傾斜角を有している。   Furthermore, as shown in FIG. 1, the first lens member 3 is on the opposite side (upper side) of the photoelectric conversion device 5 with respect to the lower end surface 3 a, and the optical fiber 6 with respect to the first inclined surface 14. It has the 2nd inclined surface 15 arrange | positioned at the side (left side). As shown in FIG. 1, the second inclined surface 15 has a lower end portion disposed in the vicinity of the left end portion of the lower end surface 3 a and an upper end portion connected to the upper end portion of the first inclined surface 14. ing. Further, as shown in FIG. 1, the second inclined surface 15 has a predetermined inclination such that the second inclined surface 15 is inclined to the opposite side (right side) to the optical fiber 6 as it is spaced upward from the lower end surface 3a. It has an inclination angle.

このような第２の傾斜面１５には、図１に示すように、第１の傾斜面１４によって全反射されて第１のレンズ部材３の内部の光路上を進行した後の各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが右方から内部入射する。   As shown in FIG. 1, the second inclined surface 15 is totally reflected by the first inclined surface 14 and travels on the optical path inside the first lens member 3 to emit light in each row. Laser light La for each element 8 is incident from the right side.

一方、図１に示すように、第２のレンズ部材４は、透光性材料（例えば、樹脂材料）からなり、その縦断面の外形が略三角形状を呈しているとともに、その左端面４ａが、光ファイバ６の端面６ａに臨む面とされている。また、図１に示すように、第２のレンズ部材４は、第２の傾斜面１５に対して所定の間隙をもって臨む第３の傾斜面１６を有している。図１に示すように、第３の傾斜面１６は、これの下端部が、左端面４ａにおける下端部の近傍に配置されており、また、左端面４ａに対して、この左端面４ａから右方に離間するにしたがって光電変換装置５と反対側（上側）に傾斜するような所定の傾斜角を有している。なお、第３の傾斜面１６は、第２の傾斜面１５に対して平行に形成されていてもよい。   On the other hand, as shown in FIG. 1, the second lens member 4 is made of a light-transmitting material (for example, a resin material), and the outer shape of the longitudinal section thereof has a substantially triangular shape. The surface of the optical fiber 6 faces the end surface 6a. Further, as shown in FIG. 1, the second lens member 4 has a third inclined surface 16 that faces the second inclined surface 15 with a predetermined gap. As shown in FIG. 1, the lower end portion of the third inclined surface 16 is disposed in the vicinity of the lower end portion of the left end surface 4a. It has a predetermined inclination angle that inclines to the opposite side (upper side) from the photoelectric conversion device 5 as it is spaced apart. Note that the third inclined surface 16 may be formed in parallel to the second inclined surface 15.

このような第３の傾斜面１６には、図１に示すように、第２の傾斜面１５に入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが右方から入射する。   As shown in FIG. 1, the laser beam La for each light emitting element 8 in each column incident on the second inclined surface 15 is incident on the third inclined surface 16 from the right side.

また、図３および図５に示すように、第２のレンズ部材４の左端面４ａには、発光素子８と同数の平面円形状の第２のレンズ面（凸レンズ面）１２が形成されている。ここで、図３および図５に示すように、第２のレンズ面１２は、図３における紙面垂直方向（図５における横方向）に沿って等ピッチで複数（１２個）整列されることによって第２のレンズ面１２の列をなすとともに、このような列が図３および図５における縦方向に沿って複数列（２列）並列されるようにして形成されている。各列の第２のレンズ面１２は、同寸法に形成されているとともに、光学的に対応する（光が入射する関係にある）発光素子８の列との間において、整列方向の一方から数えて同じ順番の第２のレンズ面１２・発光素子８同士の整列方向における位置が互いに一致している。ただし、このような位置の一致は、発光素子８の各列同士の間で発光素子８の整列方向における位置を揃えるような構成を採る場合には、光学的に対応しない発光素子８の列と第２のレンズ面１２の列との間においても成立することになる。なお、図１においては、上から数えて第１列目の第２のレンズ面１２が、右から数えて第２列目の発光素子８に光学的に対応しているとともに、上から第２列目の第２のレンズ面１２が、右から第１列目の発光素子８に光学的に対応している。なお、図５に示すように、整列方向および並列方向において互いに隣位する第２のレンズ面１２同士は、それぞれの周端部を互いに接触させた隣接状態に形成されていてもよい。また、図１に示すように、各第２のレンズ面１２の光軸ＯＡ（２）は、各第２のレンズ面１２にそれぞれ光学的に対応する（光を結合させる関係にある）各光ファイバ６の端面６ａの中心軸に一致することが望ましい。より好ましくは、各第２のレンズ面１２の光軸ＯＡ（２）は、左端面４ａに直交するようにする。   Further, as shown in FIGS. 3 and 5, the same number of planar circular second lens surfaces (convex lens surfaces) 12 as the light emitting elements 8 are formed on the left end surface 4 a of the second lens member 4. . Here, as shown in FIGS. 3 and 5, the second lens surface 12 is arranged in a plurality (12) at equal pitches along the paper surface vertical direction in FIG. 3 (lateral direction in FIG. 5). The second lens surface 12 is formed in a row, and such a row is formed so that a plurality of rows (two rows) are juxtaposed along the vertical direction in FIGS. 3 and 5. The second lens surface 12 of each row is formed with the same size and is counted from one side in the alignment direction with the row of light-emitting elements 8 optically corresponding (with light incident thereon). The positions of the second lens surface 12 and the light emitting elements 8 in the same order in the alignment direction are coincident with each other. However, in the case of adopting a configuration in which the positions in the alignment direction of the light emitting elements 8 are aligned between the respective columns of the light emitting elements 8, such coincidence of positions with the columns of the light emitting elements 8 that are not optically compatible with each other. This also holds between the second lens surface 12 and the row. In FIG. 1, the second lens surface 12 in the first row counted from the top optically corresponds to the light emitting elements 8 in the second row counted from the right, and the second lens surface 12 from the top is second. The second lens surface 12 in the row optically corresponds to the light emitting elements 8 in the first row from the right. As shown in FIG. 5, the second lens surfaces 12 that are adjacent to each other in the alignment direction and the parallel direction may be formed in an adjacent state in which their peripheral ends are in contact with each other. Further, as shown in FIG. 1, the optical axis OA (2) of each second lens surface 12 is optically corresponding to each second lens surface 12 (in a relationship for coupling light). It is desirable to coincide with the central axis of the end face 6a of the fiber 6. More preferably, the optical axis OA (2) of each second lens surface 12 is orthogonal to the left end surface 4a.

このような各列の第２のレンズ面１２には、図１に示すように、第３の傾斜面１６に入射した後に第２のレンズ部材４の内部の光路上を進行した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが入射する。より具体的には、第２のレンズ面１２の列に属する任意の１つの第２のレンズ面１２には、光学的に対応する発光素子８の列に属する各発光素子８のうちの整列方向の一方から数えて任意の１つの第２のレンズ面１２と同じ順番の発光素子８の出射光が、同じ順番の第１のレンズ面１１を経由して入射する。このとき、各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａの中心軸は、対応する各列の第２のレンズ面１２の光軸ＯＡ（２）と一致することが望ましい。そして、各列の第２のレンズ面１２は、入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを、収束させて各列の第２のレンズ面１２に対応する各列の光ファイバ６の端面６ａに向けてそれぞれ出射させる。   As shown in FIG. 1, the second lens surface 12 in each row has a light emission of each row that has traveled on the optical path inside the second lens member 4 after entering the third inclined surface 16. Laser light La for each element 8 enters. More specifically, any one second lens surface 12 belonging to the row of second lens surfaces 12 has an alignment direction among the light emitting devices 8 belonging to the optically corresponding row of light emitting devices 8. The light emitted from the light emitting elements 8 in the same order as that of any one of the second lens surfaces 12 from one side of the light enters through the first lens surface 11 in the same order. At this time, it is desirable that the central axis of the laser beam La for each light emitting element 8 in each column coincides with the optical axis OA (2) of the second lens surface 12 in each corresponding column. Then, the second lens surface 12 in each row converges the laser light La for each light emitting element 8 in each row to converge the optical fibers 6 in each row corresponding to the second lens surface 12 in each row. The light is emitted toward the end face 6a.

このようにして、各列の発光素子８と各列の光ファイバ６の端面６ａとが各列の第１のレンズ面１１および各列の第２のレンズ面１２を介して光学的に結合されるようになっている。   In this way, the light emitting elements 8 in each row and the end surfaces 6a of the optical fibers 6 in each row are optically coupled via the first lens surface 11 in each row and the second lens surface 12 in each row. It has become so.

さらに、図１に示すように、レンズアレイ２は、第２の傾斜面１５上に全面形成された厚みが薄い反射／透過層１７を有している。この反射／透過層１７は、Ｎｉ、ＣｒまたはＡｌ等の単一の金属からなる単層膜もしくは互いに誘電率が異なる複数の誘電体（例えば、ＴｉＯ２とＳｉＯ２）を交互に積層することによって得られる誘電体多層膜を、第２の傾斜面１５上にコーティングすることによって形成してもよい。この場合に、コーティングには、インコーネル蒸着等の公知のコーティング技術を用いることができる。このようなコーティングを用いる場合には、反射／透過層１７を、例えば、１μｍ以下の極めて薄い厚さに形成することができる。 Further, as shown in FIG. 1, the lens array 2 has a thin reflection / transmission layer 17 formed on the entire second inclined surface 15. The reflection / transmission layer 17 is formed by alternately laminating a single layer film made of a single metal such as Ni, Cr or Al or a plurality of dielectrics (for example, TiO 2 and SiO 2 ) having different dielectric constants. The obtained dielectric multilayer film may be formed by coating on the second inclined surface 15. In this case, a known coating technique such as Inconel vapor deposition can be used for coating. When such a coating is used, the reflection / transmission layer 17 can be formed to an extremely thin thickness of, for example, 1 μm or less.

このような反射／透過層１７には、図１に示すように、第２の傾斜面１５に内部入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが直ちに入射する。そして、反射／透過層１７は、入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを、所定の反射率で、各列の発光素子８にそれぞれ対応する各列の発光素子８ごとのモニタ光Ｍとして、各モニタ光Ｍに対応する各列の第３のレンズ面１３側（下方）に向かって反射させるとともに、所定の透過率で、第３の傾斜面１６側（左方）に透過させる。このとき、反射／透過層１７の厚みが薄いことによって、反射／透過層１７を透過するレーザ光Ｌａの屈折は無視する（直進透過とみなす）ことができる。なお、反射／透過層１７の反射率および透過率としては、レーザ光Ｌａの出力をモニタするために十分とみなされる光量のモニタ光Ｍを得ることができる限度において、反射／透過層１７の材質や厚み等に応じた所望の値を設定することができる。例えば、反射／透過層１７を、前述した単層膜によって形成する場合には、その厚みにもよるが、反射／透過層１７の反射率を２０％、透過率を６０％（吸収率２０％）とすることもできる。また、例えば、反射／透過層１７を、前述した誘電体多層膜によって形成する場合には、その厚みや層数にもよるが、反射／透過層１７の反射率を１０％、透過率を９０％とすることもできる。   As shown in FIG. 1, the laser light La for each light emitting element 8 in each column incident on the second inclined surface 15 is immediately incident on the reflection / transmission layer 17. Then, the reflection / transmission layer 17 uses the incident laser light La for each light-emitting element 8 in each column at a predetermined reflectivity and the monitor light for each light-emitting element 8 in each column corresponding to the light-emitting element 8 in each column. M is reflected toward the third lens surface 13 side (downward) of each column corresponding to each monitor light M, and is transmitted to the third inclined surface 16 side (left side) with a predetermined transmittance. . At this time, since the thickness of the reflection / transmission layer 17 is thin, the refraction of the laser light La transmitted through the reflection / transmission layer 17 can be ignored (considered as straight transmission). The reflectivity / transmittance of the reflection / transmission layer 17 is limited to the material of the reflection / transmission layer 17 as long as the monitor light M can be obtained with an amount of light that is considered sufficient for monitoring the output of the laser beam La. It is possible to set a desired value according to the thickness or the like. For example, when the reflection / transmission layer 17 is formed of the above-described single layer film, depending on the thickness, the reflection / transmission layer 17 has a reflectance of 20% and a transmittance of 60% (absorption rate of 20%). ). For example, when the reflection / transmission layer 17 is formed of the above-described dielectric multilayer film, the reflection / transmission layer 17 has a reflectance of 10% and a transmittance of 90%, depending on the thickness and the number of layers. %.

このようにして反射／透過層１７によって反射された各列の発光素子８ごとのモニタ光Ｍは、第１のレンズ部材３の内部の光路上を進行した後に、対応する各列の第３のレンズ面１３に内部入射する。そして、各列の第３のレンズ面１３からこれらに対応する各列の受光素子９に向けてそれぞれ出射される。   The monitor light M for each light emitting element 8 in each column reflected by the reflection / transmission layer 17 in this way travels on the optical path inside the first lens member 3, and then the third light in each corresponding column. Internally incident on the lens surface 13. And it is each radiate | emitted from the 3rd lens surface 13 of each row | line | column toward the light receiving element 9 of each row | line | column corresponding to these.

一方、図１に示すように、反射／透過層１７と第３の傾斜面１６との間には、熱硬化性樹脂や紫外線硬化性樹脂等の透光性の接着材からなる充填材１８が充填されている。したがって、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４とは、充填材１８の接着力によって互いに接着（接合）されている。また、充填材１８は、第１のレンズ部材３および第２のレンズ部材４との屈折率差が所定値以下とされている。この屈折率差は、好ましくは０．０１以下とされ、より好ましくは、０．００５以下とされている。例えば、第１のレンズ部材３および第２のレンズ部材４を、ポリエステルとしての大阪ガスケミカル社製のＯＫＰ４ＨＴによって形成する場合には、充填材１８を、紫外線硬化性樹脂としての大阪ガスケミカル社製のＥＡ−０２００によって形成してもよい。この場合には、第１のレンズ部材３、第２のレンズ部材４および充填材１８の屈折率を、波長８５０ｎｍの光に対していずれも１．６１とすることができる。   On the other hand, as shown in FIG. 1, between the reflective / transmissive layer 17 and the third inclined surface 16, there is a filler 18 made of a translucent adhesive such as a thermosetting resin or an ultraviolet curable resin. Filled. Therefore, the first lens member 3 and the second lens member 4 are bonded (bonded) to each other by the adhesive force of the filler 18. In addition, the filler 18 has a refractive index difference between the first lens member 3 and the second lens member 4 of a predetermined value or less. This difference in refractive index is preferably 0.01 or less, and more preferably 0.005 or less. For example, when the first lens member 3 and the second lens member 4 are formed of OKP4HT manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd. as polyester, the filler 18 is manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd. as an ultraviolet curable resin. EA-0200 may be used. In this case, the refractive indexes of the first lens member 3, the second lens member 4, and the filler 18 can be 1.61 for light having a wavelength of 850 nm.

このような充填材１８には、図１に示すように、反射／透過層１７によって透過された各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが直ちに入射する。このとき、充填材１８に対する各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａの入射方向は、反射／透過層１７に対する各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａの入射方向と同一とみなすことができる。これは、反射／透過層１７が非常に薄く、この層１７でのレーザ光Ｌａの屈折を無視できることによるものである。   As shown in FIG. 1, the laser beam La for each light emitting element 8 in each column transmitted by the reflection / transmission layer 17 immediately enters the filler 18. At this time, the incident direction of the laser light La for each light emitting element 8 in each row with respect to the filler 18 can be regarded as the same as the incident direction of the laser light La for each light emitting element 8 in each row with respect to the reflection / transmission layer 17. . This is because the reflection / transmission layer 17 is very thin and the refraction of the laser beam La in this layer 17 can be ignored.

このようにして充填材１８に入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａは、充填材１８の内部の光路上を第３の傾斜面１６側に向かって進行する。このとき、充填材１８と第１のレンズ部材３との屈折率差が十分に小さいことによって、各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが充填材１８に入射する際に、各レーザ光Ｌａに屈折が生じることはない。   In this way, the laser light La for each light emitting element 8 in each row incident on the filler 18 travels on the optical path inside the filler 18 toward the third inclined surface 16 side. At this time, since the difference in refractive index between the filler 18 and the first lens member 3 is sufficiently small, each laser beam La is emitted when the laser beam La for each light emitting element 8 in each column enters the filler 18. There will be no refraction.

次いで、充填材１８の内部の光路上を僅かな距離だけ進行した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａは、第３の傾斜面１６に入射する。このとき、充填材１８と第２のレンズ部材４との屈折率差が十分に小さいことによって、各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａが第３の傾斜面１６に入射する際に、各レーザ光Ｌａに屈折が生じることはない。   Next, the laser beam La for each light emitting element 8 in each row that has traveled a small distance on the optical path inside the filler 18 is incident on the third inclined surface 16. At this time, when the difference in refractive index between the filler 18 and the second lens member 4 is sufficiently small, when the laser light La for each light emitting element 8 in each column is incident on the third inclined surface 16, The laser beam La is not refracted.

そして、このようにして第３の傾斜面１６に入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａは、前述のように、各列の第２のレンズ面１２によって、各列の光ファイバ６の端面６ａに向けてそれぞれ出射される。   Then, the laser light La for each light emitting element 8 in each row incident on the third inclined surface 16 in this way is, as described above, by the second lens surface 12 in each row, and the optical fibers 6 in each row. Are emitted toward the end face 6a.

このような構成によれば、各列の第１のレンズ面１１に入射した各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを、第１の傾斜面１４において全反射させた後に反射／透過層１７によって第３の傾斜面１６側および各列の第３のレンズ面１３側にそれぞれ分光させることができる。そして、第３の傾斜面１６側に分光（透過）された各列の発光素子８ごとのレーザ光Ｌａを、各列の第２のレンズ面１２によって各列の光ファイバ６の端面６ａ側に出射させ、各列の第３のレンズ面１３側に十分な反射率で分光（反射）された各列の発光素子８ごとのモニタ光Ｍを、各列の第３のレンズ面１３によって各列の受光素子９側に出射させることができる。これにより、各列の発光素子８と各列の光ファイバ６の端面６ａとの光学的な結合を適正に行うことができるとともにモニタ光を確実かつ効率的に得ることができ、多チャンネル（２４ｃｈ）の光送信を安定的に行うことができる。また、第２の傾斜面１５と第３の傾斜面１６との間隙部を、反射／透過層１７の配置（すなわち、分光）および充填材１８の配置（すなわち、レンズ部材の接合）に利用し、なおかつ、全反射機能１４と分光機能１７とを１つの部材３上の互いに近い位置に集約させることによって、コンパクトかつ容易な設計が可能となる。さらに、第１のレンズ部材３および第２のレンズ部材４と充填材１８との屈折率差を所定値以下に形成することで、第１のレンズ部材３における第１の傾斜面１４と第２の傾斜面１５との間の光路と第２のレンズ部材４の光路との直線性を確保することができるので、製品検査の際に各列の第２のレンズ面１２に入射するレーザ光Ｌａが各レンズ面１２の中心からずれていることが確認された場合に、これを解消するための寸法調整を要する箇所を削減することができ、製造の容易化に寄与することができる。具体的には、仮に、第１の傾斜面１４と第２の傾斜面１５との間の光路と第２のレンズ部材４の光路との直線性を確保できない構成の場合には、第２のレンズ面１２に対する入射光の軸ずれを許容限度内に補正するために、第２の傾斜面１５および第３の傾斜面１６の傾斜角の調整を要する場合がある。これに対して、本実施形態においては、第１の傾斜面１４における全反射方向が適正に確保されていれば、第２の傾斜面１５および第３の傾斜面１６に最適な角度を設定し直すような煩雑な寸法調整は要しない。また、前述のように、第１のレンズ部材３および第２のレンズ部材４を同一の材料によって形成すれば、両レンズ部材３、４の屈折率を統一することによって更に容易な設計が可能となるとともに、同一の材料を用いることによって更なるコストの削減が可能となる。さらに、本実施形態においては、充填材１８が接着剤を兼ねることによって、部品点数を削減することができる。   According to such a configuration, the laser light La for each light emitting element 8 in each row incident on the first lens surface 11 in each row is totally reflected on the first inclined surface 14 and then the reflection / transmission layer 17. Thus, the light can be dispersed on the third inclined surface 16 side and on the third lens surface 13 side of each row. Then, the laser light La of each row of the light emitting elements 8 dispersed (transmitted) on the third inclined surface 16 side is caused to pass to the end surface 6a side of the optical fiber 6 in each row by the second lens surface 12 in each row. The monitor light M for each light-emitting element 8 in each column that is emitted and dispersed (reflected) with sufficient reflectivity on the third lens surface 13 side of each column is output to each column by the third lens surface 13 in each column. Can be emitted toward the light receiving element 9 side. As a result, the optical coupling between the light emitting elements 8 in each row and the end face 6a of the optical fiber 6 in each row can be properly performed and monitor light can be obtained reliably and efficiently. ) Can be stably transmitted. Further, the gap between the second inclined surface 15 and the third inclined surface 16 is used for the arrangement of the reflection / transmission layer 17 (ie, spectroscopy) and the arrangement of the filler 18 (ie, bonding of the lens members). In addition, by integrating the total reflection function 14 and the spectroscopic function 17 at positions close to each other on one member 3, a compact and easy design is possible. Furthermore, by forming the refractive index difference between the first lens member 3 and the second lens member 4 and the filler 18 to be a predetermined value or less, the first inclined surface 14 and the second lens member 3 in the first lens member 3 are formed. Since the linearity between the optical path between the second lens member 4 and the optical path between the second lens member 4 and the second lens member 4 can be ensured, the laser light La incident on the second lens surface 12 in each row during product inspection. When it is confirmed that is displaced from the center of each lens surface 12, it is possible to reduce the number of places that require dimensional adjustments to eliminate this, contributing to the ease of manufacturing. Specifically, if the linearity between the optical path between the first inclined surface 14 and the second inclined surface 15 and the optical path of the second lens member 4 cannot be ensured, In order to correct the axial deviation of the incident light with respect to the lens surface 12 within an allowable limit, it may be necessary to adjust the inclination angles of the second inclined surface 15 and the third inclined surface 16. On the other hand, in the present embodiment, if the total reflection direction on the first inclined surface 14 is properly secured, optimum angles are set for the second inclined surface 15 and the third inclined surface 16. No complicated dimensional adjustment is required. Further, as described above, if the first lens member 3 and the second lens member 4 are formed of the same material, it is possible to design more easily by unifying the refractive indexes of both the lens members 3 and 4. In addition, further cost reduction can be achieved by using the same material. Furthermore, in this embodiment, the number of parts can be reduced because the filler 18 also serves as an adhesive.

上記構成に加えて、更に、本実施形態においては、図１に示すように、第３の傾斜面１６が、充填材１８を充填させる空間を確保するように第３の傾斜面１６の外側の面２０よりも凹入形成された凹入面とされ、このことによって、外側の面２０が、第３の傾斜面１６よりも第１のレンズ部材３側に突出された段差面２０とされている。図１に示すように、段差面２０は、第２の傾斜面１５に対して平行とされている。一方、第２の傾斜面１５は、第３の傾斜面１６および段差面２０に対応する範囲にわたって平坦な面に形成されている。そして、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４とは、段差面２０と第２の傾斜面１５とを当接させた状態で接合されている。   In addition to the above configuration, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the third inclined surface 16 is provided on the outer side of the third inclined surface 16 so as to secure a space for filling the filler 18. The surface 20 is a recessed surface that is recessed from the surface 20, whereby the outer surface 20 is a stepped surface 20 that protrudes toward the first lens member 3 from the third inclined surface 16. Yes. As shown in FIG. 1, the step surface 20 is parallel to the second inclined surface 15. On the other hand, the second inclined surface 15 is formed into a flat surface over a range corresponding to the third inclined surface 16 and the step surface 20. The first lens member 3 and the second lens member 4 are joined in a state where the step surface 20 and the second inclined surface 15 are in contact with each other.

このような構成によれば、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４との接合を、両レンズ部材３、４を互いに当接させつつ安定的に行うことができる。   According to such a configuration, the first lens member 3 and the second lens member 4 can be stably joined while the lens members 3 and 4 are in contact with each other.

上記構成に加えて、更に、本実施形態においては、図１および図２に示すように、第１の傾斜面１４の傾斜角が、第１のレンズ部材３の下端面３ａを基準（０°）として同各図における時計回りに４５°とされている。また、本実施形態においては、第２の傾斜面１５の傾斜角が、下端面３ａを基準として同各図における反時計回りに４５°とされている。すなわち、第２の傾斜面１５は、第１の傾斜面１４に対して直角をなしている。一方、図１および図３に示すように、第３の傾斜面１６の傾斜角は、第２のレンズ部材４の左端面４ａを基準として同各図における時計回りに４５°とされている。   In addition to the above configuration, in the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the inclination angle of the first inclined surface 14 is based on the lower end surface 3 a of the first lens member 3 (0 °). ) As 45 ° clockwise in each figure. Further, in the present embodiment, the inclination angle of the second inclined surface 15 is set to 45 ° counterclockwise in the drawings with reference to the lower end surface 3a. That is, the second inclined surface 15 is perpendicular to the first inclined surface 14. On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 3, the inclination angle of the third inclined surface 16 is set to 45 ° in the clockwise direction in the drawings with respect to the left end surface 4 a of the second lens member 4.

このような構成によれば、第１〜第３の傾斜面１４〜１６を４５°の傾斜面に形成することによって、各傾斜面１４〜１６の寸法精度の測定を簡便に行うことができ、取り扱い性を向上させることができる。また、第１の傾斜面１４における反射角を９０°にすることができるため、光路設計が更に容易となる。   According to such a configuration, by forming the first to third inclined surfaces 14 to 16 on a 45 ° inclined surface, the dimensional accuracy of each inclined surface 14 to 16 can be easily measured. Handleability can be improved. In addition, since the reflection angle at the first inclined surface 14 can be 90 °, the optical path design is further facilitated.

上記構成以外にも、図１および図４に示すように、第１のレンズ部材３は、光電変換装置５を保持するためのデバイス側周状凸部２１を有している。このデバイス側周状凸部２１は、下端面３ａを四方から包囲するようにして下端面３ａおよび第１のレンズ面１１よりも光電変換装置５側（図１における下方）に突出するように形成されているとともに、先端面（下端面）において光電変換装置５を当接保持するようになっている。なお、デバイス側周状凸部２１の先端面は、面一かつ下端面３ａに平行とされている。一方、図１および図５に示すように、第２のレンズ部材４は、光ファイバ６を保持するためのファイバ側周状凸部２２を有している。このファイバ側周状凸部２２は、左端面４ａを四方から包囲するようにして左端面４ａおよび第２のレンズ面１２よりも光ファイバ６側（図１における左方）に突出するように形成されているとともに、先端面（左端面）において光ファイバ６（コネクタ１０）を当接保持するようになっている。なお、ファイバ側周状凸部２２の先端面は、面一かつ左端面４ａに平行とされている。この他にも、第１のレンズ部材３および光電変換装置５（半導体基板７）には、互いに機械的または光学的に係合することによってレンズアレイ２に対する光電変換装置５の位置決めを行うための位置決め手段が形成されていてもよい。この位置決め手段としては、第１のレンズ部材３および光電変換装置５のいずれか一方に形成されたピンと、他方に形成されたピン挿入用の孔または穴との組合わせや、第１のレンズ部材３および光電変換装置５の所定の位置に形成された光学的に検出可能なマーク等を挙げることができる。同様に、第２のレンズ部材４および光ファイバ６（コネクタ１０）にも、互いに機械的または光学的に係合することによってレンズアレイ２に対する光ファイバ６の位置決めを行うための位置決め手段（ピンと孔／穴との組合わせや光学マーク等）が形成されていてもよい。なお、図１、３、５には、位置決め手段の一例として、第２のレンズ部材４に形成されたピン３０が示されている。   In addition to the above configuration, as shown in FIGS. 1 and 4, the first lens member 3 has a device-side circumferential convex portion 21 for holding the photoelectric conversion device 5. The device-side circumferential convex portion 21 is formed so as to protrude from the lower end surface 3a and the first lens surface 11 to the photoelectric conversion device 5 side (downward in FIG. 1) so as to surround the lower end surface 3a from all sides. In addition, the photoelectric conversion device 5 is held in contact with the front end surface (lower end surface). In addition, the front end surface of the device side circumferential convex portion 21 is flush and parallel to the lower end surface 3a. On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 5, the second lens member 4 has a fiber-side circumferential convex portion 22 for holding the optical fiber 6. The fiber-side circumferential convex portion 22 is formed so as to protrude from the left end surface 4a and the second lens surface 12 to the optical fiber 6 side (left side in FIG. 1) so as to surround the left end surface 4a from four directions. At the same time, the optical fiber 6 (connector 10) is held in contact with the tip surface (left end surface). The distal end surface of the fiber-side circumferential convex portion 22 is flush and parallel to the left end surface 4a. In addition, the first lens member 3 and the photoelectric conversion device 5 (semiconductor substrate 7) are mechanically or optically engaged with each other for positioning the photoelectric conversion device 5 with respect to the lens array 2. Positioning means may be formed. As this positioning means, a combination of a pin formed on one of the first lens member 3 and the photoelectric conversion device 5 and a pin insertion hole or hole formed on the other, or the first lens member 3 and an optically detectable mark formed at a predetermined position of the photoelectric conversion device 5. Similarly, the second lens member 4 and the optical fiber 6 (connector 10) also have positioning means (pins and holes) for positioning the optical fiber 6 with respect to the lens array 2 by mechanically or optically engaging with each other. / Combination with holes, optical marks, etc.) may be formed. 1, 3, and 5 show a pin 30 formed on the second lens member 4 as an example of a positioning unit.

更に、前述した構成以外にも、本発明には、種々の変形例を適用することができる。   Furthermore, in addition to the configuration described above, various modifications can be applied to the present invention.

（第１の変形例）
例えば、前述のように第３の傾斜面１６を凹入面に形成する代わりに、図６に示すように、第２の傾斜面１５を凹入面に形成してもよい。ただし、この場合には、図６に示すように、第２の傾斜面１５の外側に、第２の傾斜面１５よりも第２のレンズ部材４側に突出された段差面２０が形成されることになる。また、図６に示すように、第３の傾斜面１６は、第２の傾斜面１５および段差面２０に対応する範囲にわたって平坦な面に形成するとともに、第３の傾斜面１６上に反射／透過層１７を形成する。 (First modification)
For example, instead of forming the third inclined surface 16 as a concave surface as described above, the second inclined surface 15 may be formed as a concave surface as shown in FIG. However, in this case, as shown in FIG. 6, a step surface 20 is formed on the outer side of the second inclined surface 15 so as to protrude from the second inclined surface 15 toward the second lens member 4. It will be. In addition, as shown in FIG. 6, the third inclined surface 16 is formed as a flat surface over a range corresponding to the second inclined surface 15 and the step surface 20 and is reflected / reflected on the third inclined surface 16. A transmissive layer 17 is formed.

このような構成においても、充填材１８の充填空間を確保することができるとともに、第３の傾斜面１６と段差面２０とを当接させることによって、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４との接合を安定的に行うことができる。   Even in such a configuration, a space for filling the filler 18 can be secured, and the first lens member 3 and the second lens can be brought into contact with each other by bringing the third inclined surface 16 and the step surface 20 into contact with each other. Bonding with the member 4 can be performed stably.

（第２の変形例）
また、図７に示すように、第１のレンズ部材３および第２のレンズ部材４に、第２の傾斜面１５および段差面２０以外の当接面を追加してもよい。すなわち、図７に示すように、本変形例において、第１のレンズ部材３は、デバイス側周状凸部２１の左端部から左方に延出された延出部２３を有しており、この延出部２３の上端面２３ａは、第２の傾斜面１５の下端部から左方に延出された第１のレンズ部材３側の当接面２３ａとされている。一方、図７に示すように、ファイバ側周状凸部２２の下端面２２ａは、段差面２０の下端部から左方に延出された第２のレンズ部材４側の当接面２２ａとされている。そして、これら第１のレンズ部材３側の当接面２３ａと第２のレンズ部材４側の当接面２２ａとは、第２の傾斜面１５および段差面２０に対して所定の角度を有した状態で互いに当接している。 (Second modification)
Further, as shown in FIG. 7, a contact surface other than the second inclined surface 15 and the step surface 20 may be added to the first lens member 3 and the second lens member 4. That is, as shown in FIG. 7, in the present modification, the first lens member 3 has an extending portion 23 extending leftward from the left end portion of the device-side circumferential convex portion 21, The upper end surface 23 a of the extending portion 23 is a contact surface 23 a on the first lens member 3 side that extends leftward from the lower end portion of the second inclined surface 15. On the other hand, as shown in FIG. 7, the lower end surface 22 a of the fiber-side circumferential convex portion 22 is a contact surface 22 a on the second lens member 4 side that extends leftward from the lower end portion of the step surface 20. ing. The contact surface 23 a on the first lens member 3 side and the contact surface 22 a on the second lens member 4 side have a predetermined angle with respect to the second inclined surface 15 and the step surface 20. Are in contact with each other.

このような構成によれば、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４とが、全体的にくの字状の当接面を介して安定的に当接することができるので、第１のレンズ部材３と第２のレンズ部材４との接合を更に安定的かつ高精度に行うことができる。   According to such a configuration, the first lens member 3 and the second lens member 4 can stably come into contact with each other via the generally U-shaped contact surface. The lens member 3 and the second lens member 4 can be joined more stably and with high accuracy.

なお、第１のレンズ部材３側に延出部２３を形成する代わりに、第２のレンズ部材４側に、ファイバ側周状凸部２２の下端部から下方に延出する延出部を形成し、この延出部の右端面を、第２のレンズ部材４側の当接面としてもよい。この場合には、延出部を有しない状態のデバイス側周状凸部２１の左端面を、第１のレンズ部材３側の当接面とすればよい。   Instead of forming the extending portion 23 on the first lens member 3 side, an extending portion extending downward from the lower end portion of the fiber-side circumferential convex portion 22 is formed on the second lens member 4 side. The right end surface of the extending portion may be a contact surface on the second lens member 4 side. In this case, the left end surface of the device-side circumferential convex portion 21 that does not have an extending portion may be used as a contact surface on the first lens member 3 side.

（第３の変形例）
さらに、図８に示すような光信号の受信にも対応した構成を採用してもよい。すなわち、図８に示すように、各列の光ファイバ６の下部近傍には、複数の受信用の光ファイバ６’が、紙面垂直方向に沿って整列配置されている。また、図８に示すように、第２のレンズ部材４の左端面４ａにおける受信用の光ファイバ６’の端面６ａ’に臨む位置には、受信用の光ファイバ６’と同数の受信用の第４のレンズ面２４が、紙面垂直方向に沿って整列形成されている。さらに、図８に示すように、第２の傾斜面１５の下端部は、反射／透過層１７の下端部よりも延長されている。さらにまた、図８に示すように、第１のレンズ部材３の下端面３ａには、受信用の光ファイバ６’と同数の受信用の第５のレンズ面２５が、紙面垂直方向に沿って整列形成されている。また、図８に示すように、光電変換装置５は、受信用の光ファイバ６’と同数の受信用の受光素子２７を備えている。 (Third Modification)
Further, a configuration corresponding to reception of an optical signal as shown in FIG. 8 may be adopted. That is, as shown in FIG. 8, in the vicinity of the lower part of the optical fibers 6 in each row, a plurality of receiving optical fibers 6 'are aligned and arranged along the direction perpendicular to the paper surface. Further, as shown in FIG. 8, at the position facing the end face 6a ′ of the receiving optical fiber 6 ′ on the left end face 4a of the second lens member 4, the same number of receiving optical fibers as the receiving optical fibers 6 ′ are provided. The fourth lens surface 24 is formed in alignment along the direction perpendicular to the paper surface. Further, as shown in FIG. 8, the lower end portion of the second inclined surface 15 is extended from the lower end portion of the reflection / transmission layer 17. Furthermore, as shown in FIG. 8, on the lower end surface 3a of the first lens member 3, the same number of reception fifth lens surfaces 25 as the reception optical fiber 6 'are provided along the direction perpendicular to the paper surface. Aligned and formed. As shown in FIG. 8, the photoelectric conversion device 5 includes the same number of receiving light receiving elements 27 as the receiving optical fibers 6 ′.

このような構成によれば、受信用の光ファイバ６’の端面６ａ’から出射された受信用のレーザ光Ｌａ’を、第４のレンズ面２４において収束させ、第３の傾斜面１６、充填材１８および第２の傾斜面１５の延長部を順次透過（直進）させた後に、第１の傾斜面１４において第５のレンズ面２５側に全反射させ、そして、第５のレンズ面２５において収束させて受信用の受光素子２７に適正に結合させることができる。   According to such a configuration, the receiving laser beam La ′ emitted from the end face 6a ′ of the receiving optical fiber 6 ′ is converged on the fourth lens surface 24, and the third inclined surface 16 and the filling are filled. After the material 18 and the extended portion of the second inclined surface 15 are sequentially transmitted (straightly advanced), the first inclined surface 14 is totally reflected toward the fifth lens surface 25, and the fifth lens surface 25 is then reflected. The light can be converged and properly coupled to the light receiving element 27 for reception.

なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の特徴を損なわない限度において種々変更することができる。   In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change can be made in the limit which does not impair the characteristic of this invention.

例えば、発光素子８、受光素子９、第１〜第３のレンズ面１１〜１３は、３列以上設けてもよい。また、第４のレンズ面２４および第５のレンズ面２５は、２列以上設けてもよい。さらに、本発明は、光導波路等の光ファイバ以外の光伝送体にも有効に適用することができる。   For example, the light emitting element 8, the light receiving element 9, and the first to third lens surfaces 11 to 13 may be provided in three or more rows. Further, the fourth lens surface 24 and the fifth lens surface 25 may be provided in two or more rows. Furthermore, the present invention can be effectively applied to an optical transmission body other than an optical fiber such as an optical waveguide.

１ 光モジュール
２ レンズアレイ
３ 第１のレンズ部材
４ 第２のレンズ部材
５ 光電変換装置
６ 光ファイバ
８ 発光素子
９ 受光素子
１１ 第１のレンズ面
１２ 第２のレンズ面
１３ 第３のレンズ面
１４ 第１の傾斜面
１５ 第２の傾斜面
１６ 第３の傾斜面
１７ 反射／透過層
１８ 充填材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical module 2 Lens array 3 1st lens member 4 2nd lens member 5 Photoelectric conversion apparatus 6 Optical fiber 8 Light emitting element 9 Light receiving element 11 1st lens surface 12 2nd lens surface 13 3rd lens surface 14 First inclined surface 15 Second inclined surface 16 Third inclined surface 17 Reflective / transmissive layer 18 Filler

Claims (8)

複数の発光素子およびこれらから発光された光をモニタするための各発光素子ごとのモニタ光をそれぞれ受光する複数の受光素子が形成された光電変換装置と、光伝送体との間に配置され、前記複数の発光素子と前記光伝送体の端面とを光学的に結合可能とされたレンズアレイであって、
前記光電変換装置として、前記発光素子が所定の第１の方向に沿って複数整列されてなる前記発光素子の列が、前記第１の方向に直交する所定の第２の方向に沿って複数列並列されるとともに、前記複数列の発光素子に対して前記第２の方向側であって前記光伝送体側の位置に、前記受光素子が前記第１の方向に沿って複数整列されてなる前記受光素子の列が、前記第２の方向に沿って複数列並列されたものが配置され、
前記光電変換装置に対して前記第１の方向および前記第２の方向に直交する第３の方向において臨む第１のレンズ部材と、
この第１のレンズ部材に接合され、前記光伝送体の端面に対して前記第２の方向において臨む第２のレンズ部材と
を備え、
前記第１のレンズ部材は、
前記光電変換装置に臨む面に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第２の方向に沿って複数列並列形成され、前記複数列の発光素子ごとに発光された光がそれぞれ入射する複数列の第１のレンズ面と、
前記光電変換装置に臨む面における前記複数列の第１のレンズ面に対して前記第２の方向側であって前記光伝送体側の位置に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第２の方向に沿って複数列並列形成され、前記第１のレンズ部材の内部側から入射した前記複数列の発光素子ごとのモニタ光を前記複数列の受光素子に向けてそれぞれ出射させる複数列の第３のレンズ面と、
前記光電変換装置に臨む面に対して前記光電変換装置と反対側に配置され、前記光電変換装置に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光伝送体側に近づくように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有し、前記複数列の第１のレンズ面にそれぞれ入射した前記複数列の発光素子ごとの光を前記光伝送体側に向けて全反射させる第１の傾斜面と、
前記光電変換装置に臨む面に対して前記光電変換装置と反対側であって、前記第１の傾斜面に対して前記光伝送体側に配置され、前記光電変換装置に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光伝送体と反対側に遠くなるように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有し、前記第１の傾斜面によって全反射された前記複数列の発光素子ごとの光が入射する第２の傾斜面と
を有し、
前記第２のレンズ部材は、
前記光伝送体の端面に臨む面に対してこの面から離間するにしたがって前記光電変換装置と反対側に遠くなるように直線状に傾斜する所定の傾斜角を有するとともに、前記第２の傾斜面に対して所定の間隙をもって臨み、前記第２の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光が入射する第３の傾斜面と、
前記光伝送体の端面に臨む面に、前記第１の方向に沿って複数整列形成されるとともに前記第３の方向に沿って複数列並列形成され、前記第３の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光を、前記光伝送体の端面に向けてそれぞれ出射させる複数列の第２のレンズ面と
を有し、
前記第２の傾斜面と前記第３の傾斜面との間の前記間隙には、前記第１のレンズ部材および前記第２のレンズ部材との屈折率差が所定値以下とされた充填材が充填され、
前記第２の傾斜面上または前記第３の傾斜面上には、前記第２の傾斜面に入射した前記複数列の発光素子ごとの光を、所定の反射率で前記複数列の発光素子ごとのモニタ光として前記複数列の第３のレンズ面側に反射させるとともに、所定の透過率で前記第３の傾斜面側に透過させる反射／透過層が形成されていること
を特徴とするレンズアレイ。 A plurality of light emitting elements and a photoelectric conversion device in which a plurality of light receiving elements for receiving monitor light for each light emitting element for monitoring light emitted from each of the light emitting elements and the light transmission body are disposed, A lens array capable of optically coupling the plurality of light emitting elements and an end face of the optical transmission body,
As the photoelectric conversion device, a plurality of rows of the light emitting elements formed by arranging a plurality of the light emitting elements along a predetermined first direction are arranged in a plurality of rows along a predetermined second direction orthogonal to the first direction. The light receiving element that is arranged in parallel and is arranged in a plurality along the first direction at a position on the optical transmission body side in the second direction with respect to the light emitting elements in the plurality of rows. A plurality of element rows arranged in parallel along the second direction is arranged,
A first lens member facing the photoelectric conversion device in a third direction orthogonal to the first direction and the second direction;
A second lens member joined to the first lens member and facing the end surface of the optical transmission body in the second direction;
The first lens member is
On the surface facing the photoelectric conversion device, a plurality of aligned light sources are formed along the first direction and a plurality of columns are formed in parallel along the second direction, and light emitted from the light emitting elements of the plurality of columns is emitted. A plurality of rows of first lens surfaces each incident;
A plurality of the first lens surfaces of the plurality of rows on the surface facing the photoelectric conversion device are formed in alignment in the second direction side and on the optical transmission body side along the first direction. In addition, a plurality of rows are formed in parallel along the second direction, and monitor light for each of the plurality of rows of light emitting elements incident from the inner side of the first lens member is emitted toward the plurality of rows of light receiving devices. A plurality of rows of third lens surfaces;
It is arranged on the side opposite to the photoelectric conversion device with respect to the surface facing the photoelectric conversion device, and is inclined linearly so as to approach the optical transmission body side as it is separated from the surface facing the photoelectric conversion device. It has Jo Tokoro inclination angle of you, the plurality of rows first first the light of each light-emitting element of the plurality of rows which respectively incident on the lens surface is totally reflected toward the light transmission side of the inclined surface of the ,
The surface opposite to the photoelectric conversion device with respect to the surface facing the photoelectric conversion device and disposed on the optical transmission body side with respect to the first inclined surface, and this surface with respect to the surface facing the photoelectric conversion device the optical transmission member and has an angle of inclination of that Jo Tokoro to linearly inclined so far on the other side, each light emitting element of the plurality of rows which are totally reflected by the first inclined surface as the distance from the A second inclined surface on which light of
The second lens member is
Which has an inclination angle of the to that Jo Tokoro linearly inclined so far on the opposite side of the photoelectric conversion device as the distance from this plane to the plane facing the end surface of the light transmitting body, the second A third inclined surface that faces the inclined surface with a predetermined gap, and into which the light of each of the plurality of rows of light emitting elements incident on the second inclined surface is incident;
The plurality of light beams formed on the surface facing the end face of the optical transmission body are aligned in the first direction and formed in a plurality of rows in parallel in the third direction and incident on the third inclined surface. A plurality of rows of second lens surfaces for emitting light of each row of light emitting elements toward the end face of the optical transmission body, and
In the gap between the second inclined surface and the third inclined surface, a filler having a refractive index difference between the first lens member and the second lens member equal to or less than a predetermined value is provided. Filled
On the second inclined surface or the third inclined surface, the light of each of the plurality of rows of light emitting elements incident on the second inclined surface is supplied to the plurality of rows of light emitting elements with a predetermined reflectance. And a reflection / transmission layer that is reflected to the third lens surface side of the plurality of rows as a monitor light and is transmitted to the third inclined surface side with a predetermined transmittance. . 前記第２のレンズ部材は、前記第３の傾斜面の外側に、前記第３の傾斜面よりも前記第１のレンズ部材側に突出されるとともに前記第２の傾斜面に平行とされた段差面を有し、
前記第２の傾斜面は、前記第３の傾斜面および前記段差面に対応する範囲にわたって平坦な面に形成され、
前記反射／透過層は、前記第２の傾斜面上に形成され、
前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記段差面と前記第２の傾斜面とを当接させた状態で接合されていること
を特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ。 Before Stories second lens member, the outside of the third inclined surface, which is parallel to the second inclined surface with protrudes the first lens member side of the third inclined surface Has a stepped surface,
The second inclined surface is formed as a flat surface over a range corresponding to the third inclined surface and the step surface,
The reflective / transmissive layer is formed on the second inclined surface;
The lens according to claim 1, wherein the first lens member and the second lens member are joined in a state where the step surface and the second inclined surface are in contact with each other. array. 前記第１のレンズ部材は、前記第２の傾斜面の外側に、前記第２の傾斜面よりも前記第２のレンズ部材側に突出されるとともに前記第３の傾斜面に平行とされた段差面を有し、
前記第３の傾斜面は、前記第２の傾斜面および前記段差面に対応する範囲にわたって平坦な面に形成され、
前記反射／透過層は、前記第３の傾斜面上に形成され、
前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記段差面と前記第３の傾斜面とを当接させた状態で接合されていること
を特徴とする請求項１に記載のレンズアレイ。 Before SL first lens member is outside of the second inclined surface, which is parallel to the third inclined surface with protrudes the second lens member side of the second inclined surface Has a stepped surface,
The third inclined surface is formed as a flat surface over a range corresponding to the second inclined surface and the step surface,
The reflective / transmissive layer is formed on the third inclined surface;
The lens according to claim 1, wherein the first lens member and the second lens member are joined in a state where the step surface and the third inclined surface are in contact with each other. array. 前記第１のレンズ部材および前記第２のレンズ部材には、前記段差面およびこれに当接する前記傾斜面のそれぞれから延出され、前記段差面および前記傾斜面に対して所定の角度を有した状態で互いに当接する前記第１のレンズ部材側の当接面および前記第２レンズ部材側の当接面がそれぞれ形成されていること
を特徴とする請求項２または３に記載のレンズアレイ。 The first lens member and the second lens member extend from each of the step surface and the inclined surface in contact with the step surface, and have a predetermined angle with respect to the step surface and the inclined surface. 4. The lens array according to claim 2, wherein a contact surface on the first lens member side and a contact surface on the second lens member side that contact each other in a state are formed. 5. 前記充填材は、透光性の接着材からなり、
前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、前記充填材によって接合されていること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のレンズアレイ。 The filler is made of a translucent adhesive,
The lens array according to any one of claims 1 to 4, wherein the first lens member and the second lens member are joined by the filler. 前記第１の傾斜面は、前記光電変換装置に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成され、
前記第２の傾斜面は、前記第１の傾斜面に対して直角かつ前記光電変換装置に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成され、
前記第３の傾斜面は、前記光伝送体の端面に臨む面に対して４５°の傾斜角を有するように形成されていること
を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のレンズアレイ。 The first inclined surface is formed to have an inclination angle of 45 ° with respect to the surface facing the photoelectric conversion device,
The second inclined surface is formed so as to have an inclination angle of 45 ° with respect to a surface perpendicular to the first inclined surface and facing the photoelectric conversion device,
The said 3rd inclined surface is formed so that it may have an inclination angle of 45 degrees with respect to the surface which faces the end surface of the said optical transmission body. Lens array. 前記第１のレンズ部材と前記第２のレンズ部材とは、同一の材料によって形成されていること
を特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のレンズアレイ。 The lens array according to claim 1, wherein the first lens member and the second lens member are made of the same material. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のレンズアレイと、
請求項１に記載の光電変換装置と
を備えたことを特徴とする光モジュール。 The lens array according to any one of claims 1 to 7,
An optical module comprising the photoelectric conversion device according to claim 1.
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