JP5505782B2 - Fluorescent material, scintillator and radiation detector using the same - Google Patents
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Description
本発明は、X線等の放射線を吸収し発光する蛍光材料、それを用いたシンチレータ並びに放射線検出器に関するものである。 The present invention relates to a fluorescent material that absorbs and emits radiation such as X-rays, a scintillator using the same, and a radiation detector.
X線診断装置の一つにX線CT(Computed Tomography)がある。このCTは扇状のファンビームX線を照射するX線管と、多数のX線検出素子を併設したX線検出器とで構成される。該装置は、X線検出器に向けてX線管からファンビームX線を照射し、1回照射を行うごとに断層面に対して例えば角度を1度ずつ変えていくことによってX線吸収データを収集する。その後、このデ−タをコンピュータで解析することによって断層面個々の位置のX線吸収率を算出し、その吸収率に応じた画像を形成するものである。 One of X-ray diagnostic apparatuses is X-ray CT (Computed Tomography). This CT is composed of an X-ray tube that radiates a fan-shaped fan beam X-ray and an X-ray detector provided with a large number of X-ray detection elements. The apparatus irradiates a fan beam X-ray from an X-ray tube toward an X-ray detector, and changes X-ray absorption data by changing the angle, for example, by 1 degree with respect to the tomographic plane every time irradiation is performed. To collect. Thereafter, the data is analyzed by a computer to calculate the X-ray absorption rate at each position of the tomographic plane, and an image corresponding to the absorption rate is formed.
従来からこのX線検出器としてはキセノン(Xe)ガス検出器が用いられてきている。このキセノンガス検出器はガスチャンバにキセノンガスを封入し、多数配列した電極間に電圧を印加すると共にX線を照射すると、X線がキセノンガスを電離し、X線の強度に応じた電流信号を取り出すことができ、それにより画像が構成される。しかし、このキセノンガス検出器では高圧のキセノンガスをガスチャンバに封入するため厚い窓が必要であり、そのためX線の利用効率が悪く感度が低いという問題があった。また、高解像度のCTを得るためには電極板の厚みを極力薄くする必要があり、そのように電極板を薄くすると外部からの振動によって電極板が振動しノイズが発生するという問題があった。 Conventionally, a xenon (Xe) gas detector has been used as the X-ray detector. This xenon gas detector encloses a xenon gas in a gas chamber, applies a voltage between a large number of arranged electrodes, and irradiates X-rays. Can be retrieved, thereby constructing an image. However, this xenon gas detector requires a thick window to enclose high-pressure xenon gas in the gas chamber, so that there is a problem that the utilization efficiency of X-rays is poor and the sensitivity is low. In addition, in order to obtain a high-resolution CT, it is necessary to reduce the thickness of the electrode plate as much as possible. If the electrode plate is thinned as such, there is a problem that the electrode plate vibrates due to external vibration and noise is generated. .
一方、CdWO4単結晶、(Y、Gd)2O3:Eu、Pr組成のセラミックス、及びGd2O2S:Pr、Ce、F組成のセラミックス(以下GOS:Prと称する)、或いは酸化ガドリニウム、酸化ガリウム、酸化アルミニウム、酸化セリウムを主成分としたガーネット構造を有する酸化物(以下GGAG:Ceと称する)の多結晶セラミックスなどの蛍光材料を用いたシンチレータと、シリコンフォトダイオードを組み合わせたX線検出器が開発され、既に実用化されている。このX線検出器においては、シンチレータがX線を吸収すると発光し、この光をシリコンフォトダイオードが検出することによってX線を検出する。この際、シンチレータとなる蛍光材料は、母材中に添加された発光元素が作り出すエネルギ準位に応じた波長の光を発光する。この波長が500nm以上の可視光である場合に、シリコンフォトダイオードの検出効率が良いため、特に感度の高いX線検出器となる。なお、蛍光材料の記載方法として、組成式中、:をはさんで左側に母材を、右側に発光イオンを記載した。これらの材料を用いたX線検出器では、X線検出素子を小型化し、チャンネル数を増やすことが容易であることから、キセノンガス検出器よりも解像度の高い画像を得ることが可能となる。こうした蛍光材料に要求される一般的な点としては、材料の均一性が高く、X線特性のばらつきが小さいこと、放射線劣化が小さいこと、温度など環境の変化に対して発光特性の変化が少ないこと、加工性が良く、加工劣化が小さいこと、吸湿性・潮解性がなく、化学的に安定であることなどが挙げられる。 On the other hand, CdWO 4 single crystal, (Y, Gd) 2 O 3 : Eu, Pr ceramics, and Gd 2 O 2 S: Pr, Ce, F ceramics (hereinafter referred to as GOS: Pr), or gadolinium oxide X-ray combined with a silicon photodiode and a scintillator using a fluorescent material such as polycrystalline ceramics of an oxide having a garnet structure (hereinafter referred to as GGAG: Ce) mainly composed of gallium oxide, aluminum oxide, and cerium oxide Detectors have been developed and are already in practical use. In this X-ray detector, when the scintillator absorbs X-rays, light is emitted, and this light is detected by a silicon photodiode to detect X-rays. At this time, the fluorescent material serving as the scintillator emits light having a wavelength corresponding to the energy level created by the light emitting element added to the base material. When this wavelength is visible light of 500 nm or more, the detection efficiency of the silicon photodiode is good, so that the X-ray detector is particularly sensitive. In addition, as a description method of the fluorescent material, in the composition formula, a base material is described on the left side with a sandwiched between: luminescent ions on the right side. In the X-ray detector using these materials, it is easy to reduce the size of the X-ray detection element and increase the number of channels, so that it is possible to obtain an image with higher resolution than the xenon gas detector. General points required for such fluorescent materials are high uniformity of materials, small variation in X-ray characteristics, small radiation deterioration, and little change in emission characteristics with respect to environmental changes such as temperature. In addition, there are good workability, small processing deterioration, no hygroscopicity and deliquescence, and chemical stability.
こうしたX線検出器においては、X線の吸収に応じてシンチレータが発する光の強度(発光強度)が高いほど高感度となる。発光強度を大きくするためにはX線を充分に吸収する必要がある。また、この吸収が小さいと、シンチレータを透過するX線量が増加し、シリコンフォトダイオードのノイズ源となり、感度の低下の一因となる。シンチレータを透過するX線量を減らすためにはシンチレータを厚くする必要があるが、そうすると、X線検出素子の小型化ができず、コストが増加する。従って、薄い蛍光材料で充分なX線吸収をするためには、X線吸収係数が大きいことが必要である。また、蛍光材料中におけるこの光の透過率が低いと、発生した光のうちシリコンフォトダイオードまで届かなくなるものが増えるため、実質的に発光強度は低下する。従って、発光強度を高くするためには、シンチレータとして用いる蛍光材料には、(1)X線の吸収係数が大きいこと、(2)発光する光の透過率が高いことが要求される。 In such an X-ray detector, the higher the intensity (light emission intensity) of light emitted by the scintillator in accordance with X-ray absorption, the higher the sensitivity. In order to increase the emission intensity, it is necessary to sufficiently absorb X-rays. In addition, if this absorption is small, the X-ray dose that passes through the scintillator increases, which becomes a noise source of the silicon photodiode, which causes a decrease in sensitivity. In order to reduce the X-ray dose transmitted through the scintillator, it is necessary to increase the thickness of the scintillator. However, in this case, the X-ray detection element cannot be reduced in size and the cost increases. Therefore, in order to sufficiently absorb X-rays with a thin fluorescent material, it is necessary that the X-ray absorption coefficient is large. Further, when the transmittance of this light in the fluorescent material is low, the amount of generated light that does not reach the silicon photodiode increases, so that the emission intensity substantially decreases. Therefore, in order to increase the emission intensity, the fluorescent material used as the scintillator is required to have (1) a large X-ray absorption coefficient and (2) a high transmittance of emitted light.
また、X線CTには、解像度の向上、すなわちX線検出素子の小型化と、体動の影響を少なくするため走査時間の短縮が必要とされている。この場合、一つのX線検出素子における積分時間は短くなり、積分時間中に吸収するX線総量は低下することになるため、発光効率が高い(発光強度が大きい)ことが必要である。さらに、X線検出素子の時間分解能を上げるためには、X線照射停止後の発光(残光)が瞬時に小さくなることが必要となる。このためには、発光の減衰時定数及び残光が小さいことが必要である。ここで、発光の減衰時定数とは、X線照射を停止し、発光強度がX線照射中の発光強度の1/eになるまでの時間であり、残光とは、X線照射を停止し一定時間経過後の発光強度の、X線照射中の発光強度に対する比率を表す。減衰が完全に指数関数的であれば、減衰時定数が小さければ必然的に残光も低くなるが、実際には残光の減衰は指数関数的ではない。そのため、残光を小さくして高性能のX線CTを得るためには、減衰時定数および残光が共に小さい蛍光材料を用いることが必要となる。従来使用されている各種蛍光材料における、発光強度と減衰時定数及び30ms後の残光について表1に示す。 Further, X-ray CT is required to improve the resolution, that is, to reduce the size of the X-ray detection element and to shorten the scanning time in order to reduce the influence of body movement. In this case, since the integration time in one X-ray detection element is shortened and the total amount of X-rays absorbed during the integration time is reduced, it is necessary that the light emission efficiency is high (the light emission intensity is high). Furthermore, in order to increase the time resolution of the X-ray detection element, it is necessary to instantaneously reduce the light emission (afterglow) after the X-ray irradiation is stopped. For this purpose, it is necessary that the decay time constant of light emission and the afterglow are small. Here, the decay time constant of light emission is the time until X-ray irradiation is stopped and the light emission intensity becomes 1 / e of the light emission intensity during X-ray irradiation, and afterglow stops X-ray irradiation. The ratio of the luminescence intensity after a certain period of time to the luminescence intensity during X-ray irradiation is expressed. If the attenuation is completely exponential, the afterglow will inevitably be low if the attenuation time constant is small, but actually the decay of the afterglow is not exponential. Therefore, in order to reduce the afterglow and obtain a high-performance X-ray CT, it is necessary to use a fluorescent material having both a small decay time constant and afterglow. Table 1 shows the light emission intensity, decay time constant, and afterglow after 30 ms in various fluorescent materials conventionally used.
*発光強度は、Gd2O2S:Pr、Ce、Fの発光強度を基準とした場合の相対値である。
* The emission intensity is a relative value based on the emission intensity of Gd 2 O 2 S: Pr, Ce, F.
上記の材料のうち、Gd3Al3Ga2O12:Ce(GGAG:Ce)は、発光元素のCeが、Ce3+の5d準位から4f準位の許容遷移により発光する。これにより、例えば、特許文献1〜7などにおいて、蛍光材料として、GGAG:Ceの多結晶材料が開示されている。 Among the materials described above, Gd 3 Al 3 Ga 2 O 12 : Ce (GGAG: Ce) emits light by an allowable transition of the Ce 3+ from the 5d level to the 4f level of Ce 3+ . Accordingly, for example, Patent Documents 1 to 7 disclose a GGAG: Ce polycrystalline material as a fluorescent material.
近年の高性能X線CTにおいては、より解像度の高い断層面の画像を得るため、検出器を構成する各検出素子(ピクセル)の小型化が図られてきている。検出素子が小さくなると、入射するX線量は低下してしまうため、X線検出素子のシンチレータにはより高い発光強度が求められる。また、人体の被爆線量を極力小さくするために、走査時間はさらに短くなる傾向にあり、X線照射を停止してから1〜300ms経過後のシンチレータの残光に対して厳しい要求が出され始めている。上記GGAG:Ce多結晶材料は、Ce3+の発光を用いているため、発光の減衰時定数は〜100nsときわめて小さい。しかしながら、この材料は、Gd2O2S:Pr、Ce、Fや(Y,Gd)2O3:Eu,Pr等の既存のシンチレータよりも発光強度が低く、残光が比較的大きいという問題があった。本発明はこの問題に鑑みてなされたものである。 In recent high-performance X-ray CT, in order to obtain a tomographic image with higher resolution, each detection element (pixel) constituting the detector has been downsized. As the detection element becomes smaller, the incident X-ray dose decreases, so that a higher emission intensity is required for the scintillator of the X-ray detection element. In addition, in order to minimize the exposure dose to the human body, the scanning time tends to be further shortened, and strict demands have been made for the afterglow of the scintillator after 1 to 300 ms have elapsed since the X-ray irradiation was stopped. Yes. Since the GGAG: Ce polycrystalline material uses Ce 3+ emission, the decay time constant of emission is as very small as ˜100 ns. However, this material has a problem that the emission intensity is lower than that of existing scintillators such as Gd 2 O 2 S: Pr, Ce, F, (Y, Gd) 2 O 3 : Eu, Pr, and the afterglow is relatively large. was there. The present invention has been made in view of this problem.
本発明は、上記問題点を解決する発明を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an invention that solves the above problems.
本発明は、上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
本発明の蛍光材料は、Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、O、Fe、Si及びREを含み、REがPr,Dy及びErのうち少なくとも1種類であり、MがMg、Ti、Niのうち少なくとも1種類であり、下記一般式で表されることを特徴とする蛍光材料である。
(Gd1−x−y−zLuxREyCez)3+a(Al1−u−sGauScs)5−aO12
ここで、
0≦a≦0.15、
0.03≦x≦0.5、
0<y≦0.003、
0.0003≦z≦0.0167、
0.2≦u≦0.6
0≦s≦0.1
であり、単位質量が100mass%であり、
Fe、Si、Mの含有率(massppm)は、
0.05≦Fe含有率≦1、
0.5≦Si含有率≦10、
0≦M含有率≦50
である。
本発明の蛍光材料において、前記aのより好ましい範囲として0.005≦a≦0.05である。
本発明の蛍光材料において、前記xのより好ましい範囲として0.03≦x≦0.2である。
本発明の蛍光材料において、前記yのより好ましい範囲として0.0001≦y≦0.0015である。
本発明の蛍光材料において、前記zのより好ましい範囲として0.001≦z≦0.005である。
本発明の蛍光材料において、前記uのより好ましい範囲として0.35≦u≦0.55である。
本発明の蛍光材料において、前記sのより好ましい範囲として0.01≦s≦0.1である。
本発明の蛍光材料において、前記Feのより好ましい含有率(massppm)が0.05≦Fe含有率≦0.4の範囲にあることを特徴とする。
本発明の蛍光材料において、前記Siのより好ましい含有率(massppm)が0.5≦Si含有率≦5の範囲にあることを特徴とする。
本発明の蛍光材料において、前記Mのより好ましい含有率(massppm)が3≦M含有率≦15の範囲にあることを特徴とする。
本発明の蛍光材料は、Ceを発光元素とし、Gd、Ga、Al,O、Fe、Si及びREがPr,Dy及びErのうち少なくとも1種類以上を含有するガーネット構造のシンチレータ用の蛍光材料であって、各元素を以下の範囲で含有し、各元素の総和を100mass%とすることを特徴とする。ここで、MはMg、Ti、Niのうちの少なくとも1種類以上の元素である。
24.3≦Gd含有率(mass%)≦57.6、
1.7≦Lu含有率(mass%)≦31.1、
0.02≦Ce含有率(mass%)≦0.7、
0<RE含有率(mass%)≦0.12、
4.0≦Al含有率(mass%)≦12.8、
7.5≦Ga含有率(mass%)≦22.6、
0≦Sc含有率(mass%)≦2.64、
19.6≦O含有率(mass%)≦22.8、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦1、
0.5≦Si含有率(massppm)≦10、
0≦M含有率(massppm)≦50である。
本発明の蛍光材料において、より好ましい組成範囲は、
45.9≦Gd含有率(mass%)≦52.8、
1.7≦Lu含有率(mass%)≦12.0、
0.06≦Ce含有率(mass%)≦0.24、
0.006≦RE含有率(mass%)≦0.07、
7.0≦Al含有率(mass%)≦10.0、
13.7≦Ga含有率(mass%)≦20.6、
0.05≦Sc含有率(mass%)≦0.5、
20.7≦O含有率(mass%)≦21.9、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦0.4、
0.5≦Si含有率(massppm)≦5、
3≦M含有率(massppm)≦15である。
前記蛍光材料は、多結晶であることを特徴とする。
本発明のシンチレータは、前記蛍光材料からなることを特徴とする。
本発明のシンチレータにおいて、厚さが0.5mmから5mmの範囲内にあることを特徴とする。
本発明の放射線検出器は、前記シンチレータと、前記シンチレータの発光を検出する受光素子とを有することを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention has the following configurations.
The fluorescent material of the present invention uses Ce as a light emitting element, contains at least Gd, Al, Ga, O, Fe, Si, and RE, RE is at least one of Pr, Dy, and Er, and M is Mg, Ti Ni is a fluorescent material characterized by being at least one of Ni and represented by the following general formula.
(Gd 1-x-y- z Lu x RE y Ce z) 3 + a (Al 1-u-s Ga u Sc s) 5-a O 12
here,
0 ≦ a ≦ 0.15,
0.03 ≦ x ≦ 0.5,
0 <y ≦ 0.003,
0.0003 ≦ z ≦ 0.0167,
0.2 ≦ u ≦ 0.6
0 ≦ s ≦ 0.1
And the unit mass is 100 mass%,
The content of Fe, Si, and M (massppm) is
0.05 ≦ Fe content ≦ 1,
0.5 ≦ Si content ≦ 10,
0 ≦ M content ≦ 50
It is.
In the fluorescent material of the present invention, 0.005 ≦ a ≦ 0.05 is a more preferable range of the a.
In the fluorescent material of the present invention, the more preferable range of x is 0.03 ≦ x ≦ 0.2.
In the fluorescent material of the present invention, the more preferable range of y is 0.0001 ≦ y ≦ 0.0015.
In the fluorescent material of the present invention, the more preferable range of z is 0.001 ≦ z ≦ 0.005.
In the fluorescent material of the present invention, the more preferable range of u is 0.35 ≦ u ≦ 0.55.
In the fluorescent material of the present invention, the more preferable range of s is 0.01 ≦ s ≦ 0.1.
The fluorescent material of the present invention is characterized in that a more preferable content (massppm) of Fe is in a range of 0.05 ≦ Fe content ≦ 0.4.
In the fluorescent material of the present invention, a more preferable content rate (massppm) of Si is in a range of 0.5 ≦ Si content ≦ 5.
The fluorescent material of the present invention is characterized in that a more preferable content (massppm) of M is in a range of 3 ≦ M content ≦ 15.
The fluorescent material of the present invention is a fluorescent material for a scintillator having a garnet structure in which Ce is a light emitting element and Gd, Ga, Al, O, Fe, Si and RE contain at least one of Pr, Dy and Er. And each element is contained in the following ranges, and the sum total of each element is 100 mass%, It is characterized by the above-mentioned. Here, M is at least one element of Mg, Ti, and Ni.
24.3 ≦ Gd content (mass%) ≦ 57.6,
1.7 ≦ Lu content (mass%) ≦ 31.1,
0.02 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.7,
0 <RE content (mass%) ≦ 0.12,
4.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 12.8,
7.5 ≦ Ga content (mass%) ≦ 22.6,
0 ≦ Sc content (mass%) ≦ 2.64,
19.6 ≦ O content (mass%) ≦ 22.8,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 1,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 10,
0 ≦ M content (mass ppm) ≦ 50.
In the fluorescent material of the present invention, a more preferable composition range is
45.9 ≦ Gd content (mass%) ≦ 52.8,
1.7 ≦ Lu content (mass%) ≦ 12.0,
0.06 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.24,
0.006 ≦ RE content (mass%) ≦ 0.07,
7.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 10.0,
13.7 ≦ Ga content (mass%) ≦ 20.6,
0.05 ≦ Sc content (mass%) ≦ 0.5,
20.7 ≦ O content (mass%) ≦ 21.9,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 0.4,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 5,
3 ≦ M content (mass ppm) ≦ 15.
The fluorescent material is polycrystalline.
The scintillator of the present invention is characterized by comprising the fluorescent material.
In the scintillator of the present invention, the thickness is in the range of 0.5 mm to 5 mm.
The radiation detector of the present invention includes the scintillator and a light receiving element that detects light emission of the scintillator.
本発明の蛍光材料によれば、従来のGGAG:Ce系の蛍光材料と比較し、発光強度が大きく、1〜300ms経過後の残光が小さなシンチレータを提供することができる。 According to the fluorescent material of the present invention, it is possible to provide a scintillator having a large emission intensity and a small afterglow after 1 to 300 ms, compared with a conventional GGAG: Ce-based fluorescent material.
本発明者は、上記した問題の原因について詳細に検討した。その結果、発光強度向上に関しては、GGAG:Ce系の蛍光材料に用いられているCe3+発光イオン(activator)にさらにPr3+、Dy3+及びEr3+の発光イオン(co−activator)のうち少なくとも1種類を含有させることで、発光強度が向上することを見出した。また、Siは450〜650nmの波長成分の残光と相関があること、Feが700〜850nmの波長成分の残光と相関があることを見出し本発明を完成させた。 The inventor has examined the cause of the above-mentioned problem in detail. As a result, with respect to the improvement of emission intensity, Ce 3+ emission ions (activators) used in GGAG: Ce-based fluorescent materials, and at least Pr 3+ , Dy 3+ and Er 3+ emission ions (co-activators) are used. It has been found that the emission intensity is improved by including one kind. Further, the present invention was completed by finding that Si has a correlation with afterglow of a wavelength component of 450 to 650 nm and that Fe has a correlation with afterglow of a wavelength component of 700 to 850 nm.
図1には各種希土類イオンのco−activator原子比yと相対発光強度との関係を示す。この図より、発光強度向上に効果のあるco−activatorイオンはPr3+、Dy3+、Ho3+及びTm3+であることがわかる。ただし、Pr3+、Dy3+及びEr3+は残光に影響しないが、Tm3+は残光を大きく増加させてしまうため、特性上最も好ましいco−activatorイオンはPr3+,Dy3+及びEr3+であることがわかった。これらのco−activatorイオンにより発光強度は3〜7%向上するが、これによりX線CTの解像度も向上することが確認された。
図2にPr3+、Dy3+及びEr3+のco−activatorイオンを用いたGGAG:Ce多結晶材の発光スペクトルを示す。いずれのイオンにおいても、Ce3+の4f−5d遷移に起因する540nmをピーク波長とする発光の強度が増加しており、Pr3+、Dy3+及びEr3+からCe3+にエネルギ移動を起こすことで発光強度が増加しているものと考えられる。
co−activatorを含まない場合の発光強度を100%としたとき、発光強度が103%以上となるco−activator原子比yは、図1の多結晶材の組成(Gd0.964―yLu0.033REyCe0.003)3.03(Al0.565Ga0.423Sc0.012)4.97O12において、0.0001から0.0015となる。図2において、co−activaorを含まず且つCeを含有する試料は“free”のカーブに対応する。Pr及びCeを含有する試料は“Pr”のカーブに対応する。Dy及びCeを含有する試料は“Dy”のカーブに対応する。Er及びCeを含有する試料は、“Er”のカーブに対応する。
FIG. 1 shows the relationship between the co-activator atomic ratio y of various rare earth ions and the relative emission intensity. From this figure, it can be seen that the co-activator ions effective for improving the emission intensity are Pr 3+ , Dy 3+ , Ho 3+ and Tm 3+ . However, Pr 3+ , Dy 3+ and Er 3+ do not affect the afterglow, but Tm 3+ greatly increases the afterglow. Therefore, the most preferable co-activator ions in terms of properties are Pr 3+ , Dy 3+ and Er 3+ . I understood it. The emission intensity is improved by 3 to 7% by these co-activator ions, and it has been confirmed that the resolution of X-ray CT is also improved.
FIG. 2 shows an emission spectrum of a GGAG: Ce polycrystalline material using Pr 3+ , Dy 3+ and Er 3+ co-activator ions. In any ion, the intensity of light emission having a peak wavelength of 540 nm due to the 4f-5d transition of Ce 3+ is increased, and light emission is caused by causing energy transfer from Pr 3+ , Dy 3+ and Er 3+ to Ce 3+. It is thought that the strength has increased.
The co-activator atomic ratio y at which the light emission intensity is 103% or more when the light emission intensity without co-activator is 100% is the composition of the polycrystalline material of FIG. 1 (Gd 0.964-y Lu 0 0.033 RE y Ce 0.003 ) 3.03 (Al 0.565 Ga 0.423 Sc 0.012 ) In 4.97 O 12 , it becomes 0.0001 to 0.0015. In FIG. 2, a sample that does not include co-activor and contains Ce corresponds to a “free” curve. Samples containing Pr and Ce correspond to the “Pr” curve. Samples containing Dy and Ce correspond to the “Dy” curve. Samples containing Er and Ce correspond to the “Er” curve.
図3に、GGAG:Ce多結晶試料の3ms経過後の残光スペクトルを示す。残光は、780nmをピーク波長とし700〜850nmの波長域の発光成分と、550nmをピーク波長とし450nmから650nmの波長域の発光成分との2種類あることがわかる。本発明者らはこの波長域の発光原因について検討した。その結果、700〜850nmの発光成分は結晶中に取り込まれた微量のFeに起因する発光であり、450〜650nmの発光成分はSiに起因する発光成分であることがわかった。 FIG. 3 shows an afterglow spectrum of the GGAG: Ce polycrystalline sample after 3 ms. It can be seen that there are two types of afterglow, a light emitting component in the wavelength region of 700 to 850 nm with a peak wavelength of 780 nm and a light emitting component in the wavelength region of 450 to 650 nm with a peak wavelength of 550 nm. The present inventors examined the cause of light emission in this wavelength region. As a result, it was found that the light emission component of 700 to 850 nm was light emission caused by a small amount of Fe incorporated in the crystal, and the light emission component of 450 to 650 nm was light emission component caused by Si.
図4に、材料合成時に意識的に硝酸第二鉄を添加して作製した試料の残光スペクトルを示す。Fe添加率の増加とともに700〜850nmの発光強度が増加することが確認された。 FIG. 4 shows an afterglow spectrum of a sample prepared by intentionally adding ferric nitrate during material synthesis. It was confirmed that the emission intensity at 700 to 850 nm increased with the increase of the Fe addition rate.
図5には、Fe含有率1.3massppmの試料と0.7massppmの試料について波長800nmの残光プロファイルを測定した結果である。Feの発光成分は20msでほぼ消失するが、3ms後における残光に対しては、非常に大きな影響を及ぼすことがわかる。 FIG. 5 shows the results of measuring afterglow profiles at a wavelength of 800 nm for samples with an Fe content of 1.3 massppm and samples with 0.7 massppm. It can be seen that the light-emitting component of Fe almost disappears in 20 ms, but has a very large effect on the afterglow after 3 ms.
図6に、Siをアルコキシドの形で意識的にGGAG:Ce原料に加えた試料の残光スペクトルを示す。ここで、図中のSi含有率は、添加率ではなく、GDMS法(グロー放電質量分析法、VG Elemental社製:VG9000)で分析した分析値である。550nmの残光強度はSi含有率の増加とともに増加していることが確認された。 FIG. 6 shows an afterglow spectrum of a sample in which Si is intentionally added to the GGAG: Ce raw material in the form of alkoxide. Here, the Si content rate in the figure is not an addition rate but an analysis value analyzed by a GDMS method (glow discharge mass spectrometry, manufactured by VG Elemental: VG9000). It was confirmed that the afterglow intensity at 550 nm increased with increasing Si content.
図7には、Si含有率10massppmの試料と3massppmの試料について波長550nmの残光プロファイルを測定した結果である。Si起因の発光成分は非常に寿命の長い発光を起し、1000ms経過後でもその発光は消失しないことがわかる。ところで、Siイオンそれ自体が発光イオンとして働くという報告例はない。Ceを発光元素とし、Gd、Ga、Al、O及びSiを含有するガーネット構造の一般化学式は、(Gd、Ce)3(Al、Ga)5O12と表される。ガーネット結晶構造では、Cサイト(8配位サイト)、Aサイト(6配位サイト)及びDサイト(4配位サイト)の3つのサイトが存在し、希土類イオンのほとんどはCサイトへ、一部がAサイトに存在する。一方、AlとGaはAサイトとDサイトに分配されて存在しているが、Cサイトにはほとんど存在しない。Si4+イオンはそのイオン半径(0.26Å)からDサイトのAl3+イオン(0.39Å)を置換して存在していると考えられる。その場合、電荷を中性に保つため、価数変化を起しやすいDサイトのGa3+はGa+に変化すると考えられる。Ga+は4p→4s遷移により発光することが知られており、このGa+が残光の本質的原因と考えられる。 FIG. 7 shows the results of measuring afterglow profiles at a wavelength of 550 nm for samples having a Si content of 10 massppm and samples having 3 massppm. It can be seen that the light-emitting component derived from Si emits light with a very long life and does not disappear even after 1000 ms. By the way, there is no report example that Si ions themselves act as luminescent ions. A general chemical formula of a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing Gd, Ga, Al, O, and Si is expressed as (Gd, Ce) 3 (Al, Ga) 5 O 12 . In the garnet crystal structure, there are three sites: C site (8-coordinate site), A site (6-coordinate site), and D site (4-coordinate site). Exists in the A site. On the other hand, Al and Ga are distributed in the A site and the D site, but hardly exist in the C site. It is considered that Si 4+ ions are present by substituting Al 3+ ions (0.390.3) at the D site from the ionic radius (0.26Å). In that case, in order to keep the charge neutral, it is considered that Ga 3+ at the D site, which is likely to cause a valence change, is changed to Ga + . Ga + is known to be emitted by 4p → 4s transition, the Ga + is considered an essential source of afterglow.
以上の結果から、上記GGAG:Ce系の蛍光材料において、特に残光を抑制可能とする以下の本発明を完成した。 From the above results, the present invention described below that enables suppression of afterglow in the GGAG: Ce-based fluorescent material was completed.
(第1の実施の形態)
本発明の第1の実施の形態となる蛍光材料は、Ceを発光元素とし、少なくともGd、Al、Ga、O、Fe、Si及びREを含み、REがPr、Dy及びErのうち少なくとも1種類であり、MがMg、Ti、Niのうち少なくとも1種類であり、下記一般式で表されることを特徴とする蛍光材料である。
(Gd1−x−y−zLuxREyCez)3+a(Al1−u−sGauScs)5−aO12
ここで、
0≦a≦0.15、
0≦x≦0.5、
0<y≦0.003、
0.0003≦z≦0.0167、
0.2≦u≦0.6
0≦s≦0.1
であり、単位質量が100mass%であり、
Fe、Si、Mの含有率(massppm)は
0.05≦Fe含有率≦1、
0.5≦Si含有率≦10、
0≦M含有率≦50
である。
より好ましくはM含有率上限を15massppm以下とする。高発光強度+とするには、M含有率の下限を3massppmとすることが好ましい。
たとえば、Gd、Lu、RE、Ce、Al、Ga、Sc、O、Fe、Si、Mの各元素の総和が100mass%である構成を得る。或いは、Gd、Lu、RE、Ce、Al、Ga、O、Fe、Si、Mの各元素の総和が100mass%である構成を得る。或いは、Gd、Lu、RE、Ce、Al、Ga、Sc、O、Fe、Siの各元素の総和が100mass%である構成を得る。
(First embodiment)
The fluorescent material according to the first embodiment of the present invention uses Ce as a light-emitting element, includes at least Gd, Al, Ga, O, Fe, Si, and RE, and RE is at least one of Pr, Dy, and Er. And M is at least one of Mg, Ti, and Ni, and is expressed by the following general formula.
(Gd 1-x-y- z Lu x RE y Ce z) 3 + a (Al 1-u-s Ga u Sc s) 5-a O 12
here,
0 ≦ a ≦ 0.15,
0 ≦ x ≦ 0.5,
0 <y ≦ 0.003,
0.0003 ≦ z ≦ 0.0167,
0.2 ≦ u ≦ 0.6
0 ≦ s ≦ 0.1
And the unit mass is 100 mass%,
Fe, Si, M content (mass ppm) is 0.05 ≦ Fe content ≦ 1,
0.5 ≦ Si content ≦ 10,
0 ≦ M content ≦ 50
It is.
More preferably, the upper limit of the M content is set to 15 massppm or less. In order to obtain high emission intensity +, the lower limit of the M content is preferably 3 mass ppm.
For example, a configuration is obtained in which the sum of each element of Gd, Lu, RE, Ce, Al, Ga, Sc, O, Fe, Si, and M is 100 mass%. Alternatively, a configuration in which the total sum of each element of Gd, Lu, RE, Ce, Al, Ga, O, Fe, Si, and M is 100 mass% is obtained. Alternatively, a configuration is obtained in which the sum of each element of Gd, Lu, RE, Ce, Al, Ga, Sc, O, Fe, and Si is 100 mass%.
本発明では、必ずFeとSiを含有し、そのFeの含有率は0.05から1massppmであり(より好ましくは上限を0.4massppmとする)、Siの含有率は0.5から10massppmである(より好ましくは上限を5massppmとする)。図8の結果より、Fe含有率が1massppmを超えると3ms残光は800ppmを越え、許容レベルよりも大きくなるため、Fe含有率の上限は1massppmとなる(好ましくは上限0.4massppm)。ただし、蛍光材料の合成に用いる素原料には既に数massppm〜数10massppmのFeが含まれている。そのため、これらの素原料を用いて合成した蛍光材料中にはFeが数massppm〜数10massppm含まれてしまう。素原料中のFe含有率を低減するためには、たとえば素原料を真空中で熱処理することにより除去することができる。しかし、素原料のFe含有率を0.05massppm未満まで低減しようとすると、高温の真空熱処理が必要となり、その結果、素原料が固く凝集を起こしてしまう。そこで、粉砕が必要となってくるが、粉砕処理によりFeの混入が避けられず、0.05massppmが下限値となる。 In the present invention, Fe and Si are necessarily contained, the Fe content is 0.05 to 1 massppm (more preferably, the upper limit is 0.4 massppm), and the Si content is 0.5 to 10 massppm. (More preferably, the upper limit is 5 massppm). From the results shown in FIG. 8, when the Fe content exceeds 1 massppm, the 3 ms afterglow exceeds 800 ppm, which is larger than the allowable level. Therefore, the upper limit of the Fe content is 1 massppm (preferably the upper limit is 0.4 massppm). However, the raw material used for the synthesis of the fluorescent material already contains several mass ppm to several tens mass ppm of Fe. Therefore, the fluorescent material synthesized using these raw materials contains Fe of several mass ppm to several tens of mass ppm. In order to reduce the Fe content in the raw material, for example, the raw material can be removed by heat treatment in vacuum. However, if an attempt is made to reduce the Fe content of the raw material to less than 0.05 mass ppm, a high-temperature vacuum heat treatment is required, and as a result, the raw material is hardly aggregated. Therefore, although pulverization is necessary, mixing of Fe is unavoidable due to the pulverization treatment, and 0.05 mass ppm is the lower limit.
図9の結果より、Si含有率が10massppmを超えると3ms残光は800ppmを越え、許容レベルよりも大きくなるため、Si含有率の上限は10massppmとなる(好ましくは上限5massppm)。ただし、蛍光材料の合成に用いる素原料、特にAl2O3粉には既に10massppm以上のSiが含まれている。そのため、これらの素原料を用いて合成した蛍光材料中にはSiが含まれてしまう。また、素原料の混合や素原料を仮焼した仮焼粉を粉砕する場合、ボールミル用ボールとして、GGAGの主成分と同じAl2O3製ボールが使用される。しかし、高純度のAl2O3ボールであっても、そのボールの中には〜10ppmのSiが含まれており、このボールからSiが混入する。素原料中のSi含有率を低減するためには、たとえば素原料を真空中で熱処理することにより除去することができる。しかし、素原料のSi含有率を0.5massppm未満まで低減しようとすると、高温の真空熱処理が必要となり、その結果、素原料が粒成長を起こすとともに、固く凝集を起こしてしまう。図10に、Al2O3粉を真空熱処理した場合の、真空熱処理温度とSi含有率及びBET値との関係を示す。真空熱処理温度の増加とともにSi含有率は低下しているが、BET値も低下し、粒成長を起こしてしまっていることがわかる。そのため、均一な焼結体を作製するためには、真空熱処理工程後の素原料の粉砕処理が必要となってくる。しかし、粉砕処理を行うとまたSiが混入しその含有率は増加する。図11には、Si含有率を最も低くできる1400℃真空熱処理後のAl2O3粉をボールミル用ボールとしてAl2O3ボールを用い粉砕処理した場合の粉砕時間とAl2O3粉のSi含有率及びBET値との関係を示す。粉砕時間の増加とともにBET値は増加するが、Si含有率も増加してしまっている。 From the result of FIG. 9, when the Si content exceeds 10 massppm, the 3 ms afterglow exceeds 800 ppm, which is larger than the allowable level, and therefore the upper limit of the Si content is 10 massppm (preferably the upper limit is 5 massppm). However, the raw material used for the synthesis of the fluorescent material, particularly Al 2 O 3 powder, already contains 10 mass ppm or more of Si. Therefore, Si is contained in the fluorescent material synthesized using these raw materials. Further, when pulverizing the calcined powder obtained by mixing the raw materials or calcining the raw materials, the same ball made of Al 2 O 3 as the main component of GGAG is used as a ball mill ball. However, even a high-purity Al 2 O 3 ball contains 10 ppm of Si in the ball, and Si is mixed from this ball. In order to reduce the Si content in the raw material, for example, the raw material can be removed by heat treatment in vacuum. However, if the Si content of the raw material is to be reduced to less than 0.5 mass ppm, a high-temperature vacuum heat treatment is required. As a result, the raw material causes grain growth and hard aggregation. FIG. 10 shows the relationship between the vacuum heat treatment temperature, the Si content, and the BET value when the Al 2 O 3 powder is vacuum heat treated. As the vacuum heat treatment temperature increases, the Si content decreases, but the BET value also decreases, indicating that grain growth has occurred. Therefore, in order to produce a uniform sintered body, the raw material must be pulverized after the vacuum heat treatment step. However, when pulverization is performed, Si is mixed again and the content thereof increases. FIG. 11 shows the pulverization time and Al 2 O 3 powder Si when the Al 2 O 3 powder after the 1400 ° C. vacuum heat treatment that can minimize the Si content is pulverized using an Al 2 O 3 ball as a ball mill ball. The relationship with a content rate and a BET value is shown. Although the BET value increases with increasing grinding time, the Si content has also increased.
ここで、異常粒成長を起こさない均一な焼結体を得るためには素原料粉のBET値を2m2/g以上にする必要がある。以上の検討の結果より、実用上の観点からSiの下限値は0.5massppmであることがわかった。なお、BET値を2m2/g以上とし、Si含有率の上限を10massppmとするため、真空熱処理温度の範囲は1300〜1400℃の範囲、粉砕時間は3〜30hの範囲が好ましい。 Here, in order to obtain a uniform sintered body that does not cause abnormal grain growth, the BET value of the raw material powder needs to be 2 m 2 / g or more. From the above examination results, it was found that the lower limit value of Si was 0.5 mass ppm from a practical viewpoint. In order to set the BET value to 2 m 2 / g or more and the upper limit of the Si content to 10 mass ppm, the vacuum heat treatment temperature range is preferably 1300 to 1400 ° C., and the pulverization time is preferably 3 to 30 hours.
残光の原因としては、Ce3+が形成する本来の発光をもたらす準位以外にも電子遷移が可能な準位が禁制帯中に形成され、この準位を介した電子遷移が生ずるということがある。Cサイト(8配位)に空孔が生じると、こうした準位が形成されるが、0≦aとすることにより、これを抑制している。従って、これにより高い発光強度を得ながら、残光を低くすることができる。一方、aが大きくなると、この蛍光材料中に、ガーネット構造とは異なるペロブスカイト相(異相)のGdAlO3等が形成されやすくなる。この異相は母材であるガーネット相と屈折率が異なるためペロブスカイト相で光散乱が生じ、発光波長の光に対する透過率が低くなるため、この蛍光材料の発光強度を小さくする原因となる。 As a cause of afterglow, a level capable of electronic transition is formed in the forbidden band in addition to the level that causes the original light emission formed by Ce 3+ , and electronic transition through this level occurs. is there. When vacancies occur at the C site (8-coordinate), such levels are formed, but this is suppressed by setting 0 ≦ a. Accordingly, the afterglow can be lowered while obtaining a high emission intensity. On the other hand, when a is large, perovskite phase (different phase) GdAlO 3 or the like different from the garnet structure is easily formed in the fluorescent material. This different phase has a refractive index different from that of the garnet phase, which is a base material, and thus light scattering occurs in the perovskite phase, resulting in a decrease in transmittance with respect to light of the emission wavelength. This causes a decrease in the emission intensity of the fluorescent material.
図12は、x=0.1、z=0.0026、u=0.41について、発光強度と300ms残光のaに対する依存性を調べた結果である。ここで、相対発光強度は、最大値(この場合はa=0の場合の発光強度)を100%としたときの発光強度である。”w”ms残光は、X線照射停止からwミリ秒経過した後の発光強度を表わす(このwは、例えば、3、10、30又は300である。)。”w”ms残光の残光強度は、X線照射中の発光強度に対するX線照射停止から”w”ms経過した後の発光強度の比を表わし、単位はppm(百万分率)である。a=0の場合、発光強度は高いが、残光も高い。a>0となると、上記の理由により、急激に残光が低くなる。一方、aの増加に伴って発光強度は徐々に低下し、a=0.15の場合に相対発光強度はa=0の場合の80%となる。また、aが0.15よりも大きくなるとペロブスカイト相が生成されるため、相対発光強度がさらに低下する。従って、相対発光強度の下限を80%とすると、残光が低く、かつ発光強度が高い蛍光材料をもたらすaの上限は0.15となり、aがこれよりも大きくなると残光は低いものの、相対発光強度が80%よりも小さくなる。特に高い発光強度を得ると共に低残光とするには、図12の結果から、aを0.005〜0.05の範囲内にすることがより好ましい。 FIG. 12 shows the results of investigating the dependence of the emission intensity and 300 ms afterglow on a for x = 0.1, z = 0.026, and u = 0.41. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when the maximum value (in this case, light emission intensity when a = 0) is 100%. “W” ms afterglow represents the emission intensity after elapse of w milliseconds from the stop of X-ray irradiation (where w is, for example, 3, 10, 30, or 300). The afterglow intensity of “w” ms afterglow represents the ratio of the emission intensity after elapse of “w” ms from the stop of X-ray irradiation to the emission intensity during X-ray irradiation, and the unit is ppm (parts per million). is there. When a = 0, the emission intensity is high, but the afterglow is also high. When a> 0, the afterglow rapidly decreases for the above reason. On the other hand, as the value of a increases, the light emission intensity gradually decreases. When a = 0.15, the relative light emission intensity is 80% of that when a = 0. On the other hand, when a is larger than 0.15, a perovskite phase is generated, so that the relative light emission intensity further decreases. Therefore, when the lower limit of the relative light emission intensity is 80%, the upper limit of a that results in a fluorescent material with low afterglow and high light emission intensity is 0.15. When a is larger than this, the afterglow is low, The emission intensity is less than 80%. In order to obtain particularly high light emission intensity and low afterglow, it is more preferable that a is in the range of 0.005 to 0.05 from the result of FIG.
Cサイト(8配位)にLuを含む場合、Cサイト(8配位)の平均イオン半径を小さくすることができ、結果として格子定数を小さくすることができる。その結果、イオン半径の小さいAlがAサイト(6配位)で安定に存在できるようになるため、異相の析出を抑制することができる。また、Luはその原子量が大きいため、この蛍光材料の密度を高くし、X線の吸収係数を大きくすることもできる。図13は、a=0.10、z=0.0026、u=0.41としたときの、相対発光強度のx依存性である。ここで、相対発光強度は、最大値(この場合はx=0.10の場合の発光強度)を100%としたときの発光強度である。図13に示すように、xを大きくしていくと(GdをLuで置換していくと)発光強度は低下していく。GdをLuで置換していくと、格子定数が小さくなり、禁制帯の幅が増加するため、発光波長が短波長側へシフトしていく。X線CTの光検出器には一般的にシリコンフォトダイオードが用いられるが、シリコンフォトダイオードは800〜900nmまでは、長波長側で分光感度が大きい。そのため、Lu置換量が多くなるとシリコンフォトダイオードが感度の高い波長領域での発光強度が低下していく。従って、相対発光強度の下限を80%とすると、x≦0.5としている。一方、xが0.03未満の場合(図13中のハッチング領域)では、異相となるGdAlO3の発生が認められた。従って、特に高い発光強度を得ると共に異相発生を避けるには、図13の結果から、xを0.03〜0.2の範囲内にすることがより好ましい。 When Lu is contained in the C site (8 coordination), the average ionic radius of the C site (8 coordination) can be reduced, and as a result, the lattice constant can be reduced. As a result, Al having a small ionic radius can be stably present at the A site (6-coordinate), so that precipitation of heterogeneous phases can be suppressed. Further, since Lu has a large atomic weight, it is possible to increase the density of the fluorescent material and increase the X-ray absorption coefficient. FIG. 13 shows the x dependence of the relative light emission intensity when a = 0.10, z = 0.026, and u = 0.41. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when the maximum value (in this case, light emission intensity when x = 0.10) is 100%. As shown in FIG. 13, as x is increased (when Gd is replaced with Lu), the emission intensity decreases. When Gd is replaced with Lu, the lattice constant decreases and the width of the forbidden band increases, so that the emission wavelength shifts to the short wavelength side. A silicon photodiode is generally used for an X-ray CT photodetector, but the silicon photodiode has a large spectral sensitivity on the long wavelength side from 800 to 900 nm. For this reason, when the amount of Lu substitution increases, the emission intensity in the wavelength region where the silicon photodiode is highly sensitive decreases. Therefore, when the lower limit of the relative light emission intensity is 80%, x ≦ 0.5. On the other hand, when x is less than 0.03 (hatched region in FIG. 13), the generation of GdAlO 3 that is a different phase was observed. Therefore, in order to obtain particularly high emission intensity and avoid the occurrence of heterogeneous phases, it is more preferable that x is in the range of 0.03 to 0.2 from the results of FIG.
zは発光元素であるCeの組成を決定し、図14に示すように、0.0003≦z≦0.0167の範囲で特に発光強度が大きくなる。ここで、相対発光強度は、最大値(この場合はz=0.003の場合の発光強度)を100%としたときの発光強度である。zが0.003未満の場合には、発光元素であるCe原子の数が少なすぎるために、吸収したX線のエネルギを効率よく光エネルギーに変換することができない。0.0167よりも大きな場合は、Ce原子間の距離が小さくなりすぎるために、エネルギーの回遊が起こり(いわゆる消光)発光強度が低下する。特に高い発光強度を得るには、図14の結果から、zを0.001〜0.005の範囲内にすることがより好ましい。 z determines the composition of Ce, which is a light-emitting element, and as shown in FIG. 14, the emission intensity is particularly large in the range of 0.0003 ≦ z ≦ 0.0167. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when the maximum value (in this case, the light emission intensity when z = 0.003) is 100%. When z is less than 0.003, the number of Ce atoms, which are light emitting elements, is too small, so that the absorbed X-ray energy cannot be efficiently converted into light energy. If it is larger than 0.0167, the distance between Ce atoms becomes too small, and energy migration occurs (so-called quenching), resulting in a decrease in emission intensity. In order to obtain particularly high light emission intensity, it is more preferable to set z within the range of 0.001 to 0.005 from the result of FIG.
uはAlとGaの組成比を決定し、図15に示すように0.2≦u≦0.6の範囲で発光強度が大きくなる。ここで、相対発光強度は、最大値(この場合はu=0.5の場合の発光強度)を100%としたときの発光強度である。特にuが0.4のときに発光強度が最大となる。uが0.2未満の場合には上記のペロブスカイト相が出て、発光強度が低くなる。uが0.6よりも大きな場合は発光強度が低下し、残光が大幅に増加する。特に高い相対発光強度比(95%以上)を得るには、図15の結果から、uを0.35〜0.55の範囲内にすることがより好ましい。 u determines the composition ratio of Al and Ga. As shown in FIG. 15, the emission intensity increases in the range of 0.2 ≦ u ≦ 0.6. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when the maximum value (in this case, light emission intensity when u = 0.5) is 100%. In particular, when u is 0.4, the emission intensity is maximized. When u is less than 0.2, the above perovskite phase appears and the emission intensity decreases. When u is larger than 0.6, the emission intensity decreases and the afterglow increases significantly. In order to obtain a particularly high relative light emission intensity ratio (95% or more), it is more preferable that u is in the range of 0.35 to 0.55 from the results of FIG.
ScはAサイト(6配位)を占有し、発光強度を向上させ残光を低減させる添加元素である。Gaは+3価イオンである。しかし、+1価に価数変動しやすい性質を持つ。ガーネット構造中でGaが+1価になると(イオン半径はGa3+よりもGa1+の方が大きい)、このGaイオンは−2価にチャージしてしまい、発光強度を低下させ残光を増加させる。Sc3+のイオン半径は、Al3+及びGa3+のイオン半径よりも大きく、Aサイトを占有することで、Ga3+の価数変化を抑制するものと考えられる。 Sc is an additive element that occupies the A site (six coordination), improves the emission intensity, and reduces the afterglow. Ga is a +3 valent ion. However, it has the property of easily changing the valence to +1. When Ga becomes +1 valent in the garnet structure (the ionic radius is larger for Ga 1+ than Ga 3+ ), the Ga ion is charged to -2 valence, lowering the emission intensity and increasing the afterglow. The ionic radius of Sc 3+ is larger than that of Al 3+ and Ga 3+ , and it is considered that the valence change of Ga 3+ is suppressed by occupying the A site.
図16は、a=0.12、x=0.096、z=0.0026、u=0.41としたときの相対発光強度および300ms残光のs(Sc組成)依存性である。ここで、相対発光強度は、s=0を100%としたときの発光強度である。残光はScの微量添加で大きく減少し、sが0.03以上では変化がない。一方、発光強度はsが0.05のときにピークをとり、sが大きくなるに従って減少する。これより、s≦0.7としている。高い発光強度を得るとともに低残光とするには、図16のプロットとカーブから、sを0.01から0.1の範囲内にすることがより好ましい。 FIG. 16 shows the s (Sc composition) dependence of the relative light emission intensity and the 300 ms afterglow when a = 0.12, x = 0.096, z = 0.026, and u = 0.41. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when s = 0 is 100%. Afterglow greatly decreases with the addition of a small amount of Sc, and there is no change when s is 0.03 or more. On the other hand, the emission intensity takes a peak when s is 0.05, and decreases as s increases. Thus, s ≦ 0.7. In order to obtain high emission intensity and low afterglow, it is more preferable to set s within the range of 0.01 to 0.1 from the plot and curve of FIG.
残光低減元素Mとして、2価の元素であるMgとNi,4価の元素であるTiが有効であり、最適な含有率は0〜50massppmである。しかし、含有率の増加とともに発光強度も減少していくため、Mの含有率は3〜15massppmの範囲にあることがより好ましい。 As the afterglow reducing element M, Mg and Ni which are divalent elements, and Ti which is a tetravalent element are effective, and the optimum content is 0 to 50 massppm. However, since the emission intensity decreases as the content increases, the content of M is more preferably in the range of 3 to 15 massppm.
図17〜19は、M=Mg、M=Ti、およびM=Niの各々について、a=0.03、x=0.1、z=0.0026、u=0.41、s=0.01としたときの相対発光強度および300ms残光のM含有率依存性である。ここで、相対発光強度は、M=0を100%としたときの発光強度である。残光はMの微量添加で減少する。一方、相対発光強度はMが大きくなるに従って急激に減少する。図17〜19の結果のとおり、高い発光強度を得るには、Mは50massppm以下とし、より好ましくは15massppm以下とする。低残光とするには、Mの下限を3massppmとする。 17 to 19 show that for each of M = Mg, M = Ti, and M = Ni, a = 0.03, x = 0.1, z = 0.026, u = 0.41, s = 0. This is the dependence of the relative light emission intensity on 01 and the M content of 300 ms afterglow. Here, the relative light emission intensity is the light emission intensity when M = 0 is 100%. Afterglow decreases with the addition of a small amount of M. On the other hand, the relative light emission intensity decreases rapidly as M increases. As shown in FIGS. 17 to 19, in order to obtain high emission intensity, M is set to 50 massppm or less, more preferably 15 massppm or less. In order to obtain low afterglow, the lower limit of M is set to 3 massppm.
なお、上記のガーネット構造の蛍光材料の各構成元素の組成範囲を、組成式ではなく、各元素の含有量(mass%)で表すと、好ましい範囲は、
24.3≦Gd含有率(mass%)≦57.6、
0≦Lu含有率(mass%)≦31.1、
0<RE含有率(mass%)≦0.12、
0.02≦Ce含有率(mass%)≦0.7、
4.0≦Al含有率(mass%)≦12.8、
7.5≦Ga含有率(mass%)≦22.6、
0≦Sc含有率(mass%)≦2.64、
19.6≦O含有率(mass%)≦22.8、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦1、
0.5≦Si含有率(massppm)≦10、
0≦M含有率(massppm)≦50
である。REはPr、Dy及びErのうち少なくとも1種類であり、M元素はMg、Ti、Niのうち少なくとも1種類の元素であり、各元素の総和を100mass%(100質量%)とする。
In addition, when the composition range of each constituent element of the fluorescent material having the garnet structure is expressed not by the composition formula but by the content (mass%) of each element, a preferable range is
24.3 ≦ Gd content (mass%) ≦ 57.6,
0 ≦ Lu content (mass%) ≦ 31.1,
0 <RE content (mass%) ≦ 0.12,
0.02 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.7,
4.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 12.8,
7.5 ≦ Ga content (mass%) ≦ 22.6,
0 ≦ Sc content (mass%) ≦ 2.64,
19.6 ≦ O content (mass%) ≦ 22.8,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 1,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 10,
0 ≦ M content (massppm) ≦ 50
It is. RE is at least one of Pr, Dy, and Er, M element is at least one element of Mg, Ti, and Ni, and the total of each element is 100 mass% (100 mass%).
また、上記の組成において、更に好ましい範囲は、
45.9≦Gd含有率(mass%)≦52.8、
1.7≦Lu含有率(mass%)≦12.0、
0.006≦RE含有率(mass%)≦0.07、
0.06≦Ce含有率(mass%)≦0.24、
7.0≦Al含有率(mass%)≦10.0、
13.7≦Ga含有率(mass%)≦20.6、
0.05≦Sc含有率(mass%)≦0.5、
20.7≦O含有率(mass%)≦21.9、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦0.4、
0.5≦Si含有率(massppm)≦5、
3≦M含有率(massppm)≦15
である。
In the above composition, a more preferable range is
45.9 ≦ Gd content (mass%) ≦ 52.8,
1.7 ≦ Lu content (mass%) ≦ 12.0,
0.006 ≦ RE content (mass%) ≦ 0.07,
0.06 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.24,
7.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 10.0,
13.7 ≦ Ga content (mass%) ≦ 20.6,
0.05 ≦ Sc content (mass%) ≦ 0.5,
20.7 ≦ O content (mass%) ≦ 21.9,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 0.4,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 5,
3 ≦ M content (mass ppm) ≦ 15
It is.
上記の蛍光材料は、多結晶材料とすることができる。多結晶は、素原料混合粉または素原料混合粉を仮焼し粉砕した粉末を材料の融点よりも低い温度で焼結した材料である。多結晶である場合には、同じ組成の単結晶と比べると、光透過率は劣るため性能(特に発光強度)では単結晶に比べて劣るが、単結晶のように結晶の育成に長い時間を要さないので製造効率が高く、低コストで蛍光材料を得ることができるので、この蛍光材料をシンチレータとして用いた場合、工業的量産性に優れた安価な放射線検出器を得ることができる。 The fluorescent material can be a polycrystalline material. Polycrystal is a material obtained by sintering raw material mixed powder or powder obtained by calcining and pulverizing raw material mixed powder at a temperature lower than the melting point of the material. In the case of a polycrystal, the light transmittance is inferior to that of a single crystal having the same composition, so the performance (especially the emission intensity) is inferior to that of a single crystal. Since it is not necessary, the production efficiency is high and the fluorescent material can be obtained at low cost. Therefore, when this fluorescent material is used as a scintillator, an inexpensive radiation detector excellent in industrial mass productivity can be obtained.
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態は、上記の蛍光材料をシンチレータとして用い、このシンチレータと、このシンチレータの発光を検出する受光素子とを有する放射線検出器である。この放射線検出器は、X線CT、PET(Positron Emission Tomography)、又はPET/CTなどの医療用の観察装置又は検査装置に搭載することが好適である。
(Second Embodiment)
The second embodiment is a radiation detector that uses the above-described fluorescent material as a scintillator and includes the scintillator and a light receiving element that detects light emission of the scintillator. This radiation detector is preferably mounted on a medical observation apparatus or inspection apparatus such as X-ray CT, PET (Positron Emission Tomography), or PET / CT.
すなわち、上記蛍光材料をシンチレータとして用いた場合、X線感度の低下や、X線漏れといった問題を解決することができ、高性能の放射線検出器を得ることができる。 That is, when the fluorescent material is used as a scintillator, problems such as a decrease in X-ray sensitivity and X-ray leakage can be solved, and a high-performance radiation detector can be obtained.
この放射線検出器は、図20、21に示すように、シンチレータとこの蛍光材料の発光を検知するための光検出器とを備えた構成とすることができる。図20は放射線検出器の概略構成を示す斜視図、図21は図20におけるA−A断面図である。作製した放射線検出器は、1.2mmピッチで24個配列した上記スライスしたシンチレータ2と、配列したシンチレータ2の上面と側面にチタニアとエポキシ樹脂の混合材を塗布し硬化させてなる光反射膜3と、シンチレータ2の配列に対応し大きさが1mm×30mmでピッチが1.2mmで配列されるととともにシンチレータ2と受光面が正確に一致するよう位置決めした受光部を有しシンチレータ2とエポキシ樹脂で固定した24チャンネルシリコンフォトダイオード5と、24チャンネルシリコンフォトダイオード5が電気的に接続される配線基板4と、で構成される。 As shown in FIGS. 20 and 21, this radiation detector can be configured to include a scintillator and a photodetector for detecting light emission of the fluorescent material. 20 is a perspective view showing a schematic configuration of the radiation detector, and FIG. 21 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. The produced radiation detector includes 24 sliced scintillators 2 arranged at a pitch of 1.2 mm, and a light reflecting film 3 formed by applying and curing a mixture of titania and epoxy resin on the upper and side surfaces of the arranged scintillators 2. And a scintillator 2 and an epoxy resin having a light receiving portion that is positioned so that the scintillator 2 and the light receiving surface are exactly aligned with each other, corresponding to the arrangement of the scintillators 2 The 24-channel silicon photodiode 5 is fixed by the wiring substrate 4 and the wiring substrate 4 to which the 24-channel silicon photodiode 5 is electrically connected.
光検出器となるシリコンフォトダイオードとしては、高感度・高速応答で、かつ波長感度域が可視光から近赤外領域にあって本発明の蛍光材料とのマッチングが良いことから、PIN型シリコンフォトダイオードを用いるのが望ましい。また、この放射線検出器に使用するシンチレータ(蛍光材料)の厚さは、0.5〜10mmであることが望ましい。0.5mmよりも薄くなると発光出力の低下・漏洩X線の増加を招く一方、5mmよりも厚くなると光透過率が低下し、発光強度が低下してしまうため好ましくない。漏洩X線が少なく、また高い発光出力が得られる高感度の放射線検出器を構成する観点からはシンチレータの厚さは、1.5〜3mmとすることが好ましい。 As a silicon photodiode used as a photo detector, a PIN type silicon photo diode has a high sensitivity and a high speed response and a wavelength sensitivity range from the visible light to the near infrared region, and the matching with the fluorescent material of the present invention is good. It is desirable to use a diode. The thickness of the scintillator (fluorescent material) used for this radiation detector is preferably 0.5 to 10 mm. If the thickness is less than 0.5 mm, the light emission output decreases and leakage X-rays increase. On the other hand, if the thickness is more than 5 mm, the light transmittance decreases and the light emission intensity decreases. The thickness of the scintillator is preferably 1.5 to 3 mm from the viewpoint of constructing a highly sensitive radiation detector that has a small amount of leakage X-rays and can obtain a high light emission output.
以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。なお、本発明の蛍光材料および放射線検出器は下記の実施例に限定されるものではない。なお、主成分の組成分析はICP―AES(高周波誘導結合プラズマ発光分光分析法、パーキンエルマー製OPTIMA−3300XL)により、FeとSiの分析はGDMS法(グロー放電質量分析法、VG Elemental社製:VG9000)により行った。表2又は表3には第1の実施の形態の例である実施例1〜15と、参考例1〜5及び比較例1〜8に示される多結晶の蛍光体材料の分析値を、表4又は表5にはこの分析値から求めた化学式を示す。なお、Mが数massppmよりも微量の場合、GDMS法で分析した。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. The fluorescent material and radiation detector of the present invention are not limited to the following examples. The composition analysis of the main component is ICP-AES (high frequency inductively coupled plasma emission spectroscopy, OPTIMA-3300XL manufactured by PerkinElmer), and the analysis of Fe and Si is GDMS (glow discharge mass spectrometry, manufactured by VG Elemental): VG9000). Table 2 or Table 3 shows the analysis values of the polycrystalline phosphor materials shown in Examples 1 to 15, which are examples of the first embodiment, and Reference Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 8. 4 or Table 5 shows the chemical formula obtained from this analysis value. In addition, when M was a trace amount from several massppm, it analyzed by GDMS method.
(参考例1)
容量1リットルの樹脂製ポットに200gの素原料と直径5mmの高純度アルミナボール1300g及びエタノール200ccをいっしょに入れ、12h混合したときのアルミナボールの質量変化は0.06gであった。そこで、ボールからのAl2O3混入も考慮して、表2の参考例1の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:3massppm)を126.91g、CeO2を0.363g、Al2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を40.62g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10.0massppm)を32.05g秤量した。Gd2O3は平均粒径2μmの素原料粉を用いた(ここで記載の平均粒径はメディアン径である)。また、Al2O3とGa2O3は、それぞれ0.6μm、3μmの素原料粉を用いた。Al2O3粉については、あらかじめ真空中(〜10Pa)で1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。これらの素原料を前記条件で湿式ボールミル混合を行い、その後乾燥した。この粉末に、純水を1mass%添加し、500kg/cm2の圧力で一軸プレス成形し、その後、加圧力3ton/cm2で冷間静水圧プレスを行い、理論密度に対し54%の成形体が得られた。この成形体をアルミナこう鉢に入れ、フタをして、真空中1675℃、3hの一次焼結を行い、理論密度に対し、99%の焼結体が得られた。この焼結体を、Ar雰囲気、1500℃、3h、1000atm(1.01×105Pa)の条件で熱間静水圧プレス焼結を行った。得られた焼結体は、理論密度に対し99.9%の密度を有していた。得られた試料は、内周スライサーを用いて幅1mm、長さ30mm、厚さ2.5mmの板に機械加工後、100vol%の酸素雰囲気中で1500℃×2hの熱処理を行った。熱処理後、表面に光学研磨を施し、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。このシンチレータ中のSiをGDMS法で分析した結果、4.9massppmであった。この合成されたシンチレータ中のSi含有率の分析値は、素原料粉のSi含有率と配合比率から計算で求めたSi含有率より0.5ppm程大きいが、これは素原料のボールミル混合時にアルミナボールからSiが混入したためである。表2及び3において、(%)はmass%であり、(ppm)はmassppmであり、試料の単位質量が100mass%である。表4及び5において、(ppm)はmassppmであり、試料の単位質量が100mass%である。
(Reference Example 1)
When 200 g of raw material, 1300 g of high-purity alumina balls having a diameter of 5 mm, and 200 cc of ethanol were put together in a 1 liter resin pot and mixed for 12 hours, the mass change of the alumina balls was 0.06 g. Therefore, taking into account the mixing of Al 2 O 3 from the balls, 126.91 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 3 massppm) and CeO 2 so as to have the composition of Reference Example 1 in Table 2. Was 0.363 g, Al 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm) was 40.62 g, and Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10.0 massppm) was weighed. Gd 2 O 3 used raw material powder having an average particle diameter of 2 μm (the average particle diameter described here is the median diameter). Further, Al 2 O 3 and Ga 2 O 3 used raw material powders of 0.6 μm and 3 μm, respectively. For al 2 O 3 powder, after heat treatment at 1400 ° C. × 1h in advance in a vacuum (10 Pa), was used performed 12h ball milling. These raw materials were subjected to wet ball mill mixing under the above conditions and then dried. 1 mass% of pure water was added to this powder, uniaxial press molding was performed at a pressure of 500 kg / cm 2 , and then cold isostatic pressing was performed at a pressing force of 3 ton / cm 2 , and a molded body having 54% of the theoretical density was obtained. was gotten. This molded body was put in an alumina mortar, capped, and subjected to primary sintering in vacuum at 1675 ° C. for 3 hours, and a sintered body of 99% of the theoretical density was obtained. This sintered body was subjected to hot isostatic pressing under conditions of Ar atmosphere, 1500 ° C., 3 h, and 1000 atm (1.01 × 10 5 Pa). The obtained sintered body had a density of 99.9% with respect to the theoretical density. The obtained sample was machined into a plate having a width of 1 mm, a length of 30 mm, and a thickness of 2.5 mm using an inner slicer, and then heat-treated at 1500 ° C. for 2 hours in a 100 vol% oxygen atmosphere. After the heat treatment, the surface was optically polished to prepare a scintillator of a polycrystalline fluorescent material. As a result of analyzing Si in this scintillator by the GDMS method, it was 4.9 massppm. The analytical value of the Si content in the synthesized scintillator is about 0.5 ppm larger than the Si content calculated from the Si content and the blending ratio of the raw material powder. This is because Si was mixed from the ball. In Tables 2 and 3, (%) is mass%, (ppm) is massppm, and the unit mass of the sample is 100 mass%. In Tables 4 and 5, (ppm) is massppm, and the unit mass of the sample is 100 mass%.
上記にて得られた蛍光材料をシンチレータとして用い、図20、21に示した放射線検出器を作製した。かかる放射線検出器によれば、X線源1からのX線照射によりシンチレータ2が励起され発光し、その光は光反射膜3によって反射されてシリコンフォトダイオード側に向かい、24チャンネルのシリコンフォトダイオード5で検出することにより、蛍光材料の特性を確認することができた。なお、シリコンフォトダイオードの電流出力を電圧に変換し、前記電圧を増幅するための電気信号増幅器を配線基板4に接続することにより、発光−可視光変換・信号増幅器を構成することができた。かかる蛍光材料をシンチレータとして用いる本発明の放射線検出器は、走査時間の短縮を通じて解像度の向上に寄与するほか、安定した検出性能も発揮しうる。 Using the fluorescent material obtained above as a scintillator, the radiation detector shown in FIGS. According to such a radiation detector, the scintillator 2 is excited and emits light by X-ray irradiation from the X-ray source 1, and the light is reflected by the light reflecting film 3 toward the silicon photodiode side, thereby producing a 24-channel silicon photodiode. By detecting at 5, it was possible to confirm the characteristics of the fluorescent material. Note that a light-to-visible light conversion / signal amplifier could be configured by converting the current output of the silicon photodiode into a voltage and connecting an electric signal amplifier for amplifying the voltage to the wiring board 4. The radiation detector of the present invention using such a fluorescent material as a scintillator contributes to improvement of resolution through shortening of scanning time, and can also exhibit stable detection performance.
(参考例2)
表2の参考例2の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:1massppm)を122.19g、CeO2を0.105g、Al2O3(Fe:0.1massppm、Si:10massppm)を30.97g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:5massppm)を46.68g秤量した。Gd2O3は平均粒径2μmの素原料粉を用いた。また、Al2O3とGa2O3は、それぞれ0.6μm、3μmの素原料粉を用いた。FeとSi含有率を低減するため、Al2O3粉については、あらかじめ真空中(〜10Pa)、1375℃×1hの熱処理を行った後、3hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Reference Example 2)
Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 1 massppm) 122.19 g, CeO 2 0.105 g, Al 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm) so that the composition of Reference Example 2 in Table 2 was obtained. , Si: 10 massppm) was weighed 30.97 g, and Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 5 massppm) was weighed 46.68 g. Gd 2 O 3 used raw material powder having an average particle diameter of 2 μm. Further, Al 2 O 3 and Ga 2 O 3 used raw material powders of 0.6 μm and 3 μm, respectively. In order to reduce the Fe and Si content, the Al 2 O 3 powder was preliminarily subjected to heat treatment at 1375 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 3 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(参考例3)
表2の参考例3の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm,Si:5massppm)を115.96g、CeO2を1.337g、Al2O3(Fe:4massppm、Si:8massppm)を21.95g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を60.69g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Reference Example 3)
115.96 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 5 massppm), 1.337 g of CeO 2 and Al 2 O 3 (Fe: 4 massppm, Si) so as to have the composition of Reference Example 3 in Table 2. : 8 massppm) was weighed 21.95 g and Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm) was weighed 60.69 g. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例1)
表2の実施例1の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:1massppm)を119.23g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.91g、CeO2を0.359g、Pr6O12を0.020g、Al2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を41.04g、Ga2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を32.38g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1375℃×1hの熱処理を行った後、3hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
Example 1
Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 1 massppm) is 119.23 g, and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) is 6 so that the composition of Example 1 in Table 2 is obtained. .91 g, 0.359 g of CeO 2 , 0.020 g of Pr 6 O 12 , 41.04 g of Al 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm), Ga 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 32.38 g. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1375 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 3 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例2)
表2の実施例2の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:3massppm)を83.88g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を39.81g、CeO2を0.689g、Dy2O3を0.020g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.13g、Ga2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を45.41g秤量した。Al2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 2)
83.88 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 3 massppm) and 39% Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so as to have the composition of Example 2 in Table 2. 0.81 g, CeO 2 0.689 g, Dy 2 O 3 0.020 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.13 g, Ga 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) Was weighed 45.41 g. The Al 2 O 3 powder was preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. for 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例3)
表2の実施例3の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:7massppm)を60.06g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を66.34g、CeO2を0.344g、Er2O3を0.020g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を29.19g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を43.99g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 3)
60.06 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) were 66 so that the composition of Example 3 in Table 2 was obtained. .34 g, CeO 2 0.344 g, Er 2 O 3 0.020 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 mass ppm, Si: 10 mass ppm) 29.19 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 mass ppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 43.99 g. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例4)
表2の実施例4の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.3massppm)を113.82g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.5massppm)を6.64g、CeO2を1.034g、Pr6O11を0.056g、Al2O3(Fe:4massppm、Si:10massppm)を26.18g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.18g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を6.04g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1375℃×1hの熱処理を行った後、3hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 4)
113.82 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.3 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.00) so that the composition of Example 4 in Table 2 was obtained. 5 massppm) 6.64 g, CeO 2 1.034 g, Pr 6 O 11 0.056 g, Al 2 O 3 (Fe: 4 mass ppm, Si: 10 mass ppm) 26.18 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.00). 46.18 g of 2 massppm, Si: 10 massppm) and 6.04 g of Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) were weighed. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1375 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 3 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例5)
表2の実施例5の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を114.43g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.66g、CeO2を0.691g、Dy2O3を0.143g、Al2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を27.92g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.30g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を3.79g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 5)
114.43 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) 6 so as to have the composition of Example 5 in Table 2. .66 g, CeO 2 0.691 g, Dy 2 O 3 0.143 g, Al 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm) 27.92 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, 46.30 g of Si: 10 massppm) and 3.79 g of Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) were weighed. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例6)
表2の実施例6の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:5massppm)を115.29g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Er2O3を0.062g、Al2O3(Fe:0.1massppm、Si:8massppm)を30.17g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.48g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 6)
115.29 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 5 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Example 6 in Table 2 is obtained. .68 g, CeO 2 0.347 g, Er 2 O 3 0.062 g, Al 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 8 massppm) 30.17 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, 46.48 g of Si: 10 massppm) and 0.91 g of Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) were weighed. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例7)
表2の実施例7の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を115.10g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Pr6O12を0.281g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.16g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.46g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Mg(NO3)2・6H2Oを0.003g秤量した。Al2O3粉は、あらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 7)
115.10 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 3 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Example 7 in Table 2 is obtained. .68 g, CeO 2 0.347 g, Pr 6 O 12 0.281 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.16 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) and 46.46g, Sc 2 O 3 (Fe : 0.4massppm, Si: 0.4massppm) to 0.91 g, and 0.003g weighed Mg (NO 3) 2 · 6H 2 O. The Al 2 O 3 powder used was preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例8)
表2の実施例8の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:5massppm)を115.08g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Dy2O3を0.308g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:8massppm)を30.15g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.46g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Mg(NO3)2・6H2Oを0.027g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 8)
115.08 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 5 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) 6 so as to have the composition of Example 8 in Table 2. .68 g, CeO 2 0.347 g, Dy 2 O 3 0.308 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 8 massppm) 30.15 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) and 46.46g, Sc 2 O 3 (Fe : 0.4massppm, Si: 0.4massppm) to 0.91 g, and 0.027g weighed Mg (NO 3) 2 · 6H 2 O. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例9)
表2の実施例9の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を115.08g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Er2O3を0.312g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.15g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.46g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、(C4H9O)4Tiを0.003g秤量した。Al2O3粉は、あらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
Example 9
115.08 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 3 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) were 6 so that the composition of Example 9 in Table 2 was obtained. .68 g, CeO 2 0.347 g, Er 2 O 3 0.312 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.15 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 46.46 g, Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 0.4 mass ppm) was 0.91 g, and (C 4 H 9 O) 4 Ti was weighed in 0.003 g. The Al 2 O 3 powder used was preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例10)
表2の実施例10の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を114.86g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Pr6O12を0.562g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.14g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.44g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、(C4H9O)4Tiを0.036g秤量した。Al2O3粉は、あらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 10)
114.86 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 3 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) 6 so as to have the composition of Example 10 in Table 2. .68 g, CeO 2 0.347 g, Pr 6 O 12 0.562 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.14 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 46.44 g, Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 0.4 mass ppm) was 0.91 g, and (C 4 H 9 O) 4 Ti was weighed 0.036 g. The Al 2 O 3 powder used was preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例11)
表2の実施例11の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:7massppm)を114.83g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Dy2O3を0.616g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.13g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.43g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Ni(NO3)2・6H2Oを0.003g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 11)
114.83 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) were 6 so that the composition of Example 11 in Table 2 was obtained. .68 g, CeO 2 0.347 g, Dy 2 O 3 0.616 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 mass ppm, Si: 10 mass ppm) 30.13 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 mass ppm, Si: 10 mass ppm) and 46.43g, Sc 2 O 3 (Fe : 0.4massppm, Si: 0.4massppm) to 0.91 g, and 0.003g weighed Ni (NO 3) 2 · 6H 2 O. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例12)
表3の実施例12の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:7massppm)を114.83g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.68g、CeO2を0.347g、Er2O3を0.624g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.13g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.43g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Ni(NO3)2・6H2Oを0.029g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 12)
114.83 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Example 12 in Table 3 was obtained. .68 g, CeO 2 0.347 g, Er 2 O 3 0.624 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.13 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) and 46.43g, Sc 2 O 3 (Fe : 0.4massppm, Si: 0.4massppm) to 0.91 g, and 0.029g weighed Ni (NO 3) 2 · 6H 2 O. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例13)
表3の実施例13の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を116.61g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を4.38g、CeO2を0.310g、Pr6O11を0.057g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を26.56g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を44.38g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を7.63g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 13)
116.61 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 mass ppm, Si: 3 mass ppm) and 4 of Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 2 mass ppm) so as to have the composition of Example 13 in Table 3. .38 g, CeO 2 0.310 g, Pr 6 O 11 0.057 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 26.56 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 44.38 g, and Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 0.4 mass ppm) was weighed in 7.63 g. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例14)
表3の実施例14の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を121.05g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を4.41g、CeO2を0.322g、Dy2O3を0.139g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.37g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を42.76g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.88g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 14)
121.05 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 mass ppm, Si: 3 mass ppm) and 4 of Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 2 mass ppm) so as to have the composition of Example 14 in Table 3. .41 g, CeO 2 0.322 g, Dy 2 O 3 0.139 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 30.37 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 42.76 g, and Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 0.4 mass ppm) was weighed 0.88 g. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(実施例15)
表3の実施例15の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を117.92g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を4.42g、CeO2を0.035g、Er2O3を0.063g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を31.80g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を44.77g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.92g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Example 15)
117.92 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 3 massppm) and 4% Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Example 15 in Table 3 was obtained. 0.42 g, CeO 2 0.035 g, Er 2 O 3 0.063 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 31.80 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 mass ppm) was weighed 44.77 g, and Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 0.4 mass ppm) was weighed 0.92 g. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(参考例4)
表3の参考例4の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を116.03g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を4.42g、CeO2を1.936g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を31.82g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を44.80g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.92g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Reference Example 4)
116.03 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 mass ppm, Si: 3 mass ppm) and 4 of Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 2 mass ppm) so as to have the composition of Reference Example 4 in Table 3. .42 g, CeO 2 1.936 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 31.82 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm) 44.80 g, Sc 2 0.92 g of O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was weighed. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(参考例5)
表3の参考例5の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を124.46g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を4.68g、CeO2を0.331g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を47.37g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を22.13g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.98g秤量した。Al2O3粉とGa2O3粉をあらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Reference Example 5)
124.46 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 mass ppm, Si: 3 mass ppm) and 4 of Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 2 mass ppm) so as to have the composition of Reference Example 5 in Table 3. .68 g, CeO 2 0.331 g, Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm) 47.37 g, Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm) 22.13 g, Sc 2 0.98 g of O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was weighed. Al 2 O 3 powder and Ga 2 O 3 powder were preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Otherwise, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Reference Example 1.
(比較例1)
表3の比較例1の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を118.61g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.88g、CeO2を0.357g、Al2O3(Fe:4massppm、Si:21massppm)を28.82g、Ga2O3(Fe:2massppm、Si:18massppm)を44.41g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.87gとした以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 1)
Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) was 118.61 g, and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) was 6 so that the composition of Comparative Example 1 in Table 3 was obtained. .88 g, CeO 2 0.357 g, Al 2 O 3 (Fe: 4 massppm, Si: 21 massppm) 28.82 g, Ga 2 O 3 (Fe: 2 massppm, Si: 18 massppm) 44.41 g, Sc 2 O 3 A polycrystalline fluorescent material scintillator was produced in the same manner as in Reference Example 1 except that (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was changed to 0.87 g.
(比較例2)
表3の比較例2の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を113.33g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.69g、CeO2を2.314g、Al2O3(Fe:10massppm、Si:21massppm)を30.19g、Ga2O3(Fe:2massppm、Si:18massppm)を46.51g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.913g秤量した。これらの素原料を直径5mmの高純度アルミナボールを用いた湿式ボールミル混合後乾燥した。次に、この混合粉をB5サイズのアルミナルツボに入れ、1400℃で2h焼成し、冷却後、原料を十分にほぐした。次に、得られた仮焼粉を前記条件で10h湿式ボールミル粉砕を行ない乾燥した。こうして、平均粒径約1.5μmの蛍光体粉末を得た。それ以降、参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 2)
113.33 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 7 mass ppm) and 6 Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 mass ppm, Si: 2 mass ppm) so that the composition of Comparative Example 2 in Table 3 was obtained. .69 g, CeO 2 2.314 g, Al 2 O 3 (Fe: 10 massppm, Si: 21 massppm) 30.19 g, Ga 2 O 3 (Fe: 2 massppm, Si: 18 massppm) 46.51 g, Sc 2 O 3 0.913 g of (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was weighed. These raw materials were mixed after wet ball milling using high-purity alumina balls having a diameter of 5 mm and dried. Next, this mixed powder was put into a B5 size alumina crucible, fired at 1400 ° C. for 2 h, and after cooling, the raw material was sufficiently loosened. Next, the obtained calcined powder was crushed for 10 hours under the above conditions and dried. Thus, a phosphor powder having an average particle size of about 1.5 μm was obtained. Thereafter, it was manufactured as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material by the same method as in Reference Example 1.
(比較例3)
表3の比較例3の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を108.18g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.30g、CeO2を0.327g、Pr6O11を0.885g、Al2O3(Fe:8massppm、Si:21massppm)を15.20g、Ga2O3(Fe:2massppm、Si:18massppm)を68.18g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.86g秤量した。それ以降、比較例2と同様の方法で、多結晶の蛍光材料を試料として作製した。
(Comparative Example 3)
108.18 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) and 6% Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Comparative Example 3 in Table 3 was obtained. .30 g, CeO 2 0.327 g, Pr 6 O 11 0.885 g, Al 2 O 3 (Fe: 8 massppm, Si: 21 massppm) 15.20 g, Ga 2 O 3 (Fe: 2 massppm, Si: 18 massppm) 68.18 g, Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was weighed 0.86 g. Thereafter, a polycrystalline fluorescent material was prepared as a sample in the same manner as in Comparative Example 2.
(比較例4)
表3の比較例4の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を113.17g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:5massppm)を6.59g、CeO2を0.342g、Dy2O3を1.014g、Al2O3(Fe:8massppm、Si:21massppm)を23.22g、Ga2O3(Fe:2massppm、Si:18massppm)を45.85g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を9.75gとした以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 4)
113.17 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) and 6% Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 5 massppm) so that the composition of Comparative Example 4 in Table 3 was obtained. .59 g, CeO 2 0.342 g, Dy 2 O 3 1.014 g, Al 2 O 3 (Fe: 8 massppm, Si: 21 massppm) 23.22 g, Ga 2 O 3 (Fe: 2 massppm, Si: 18 massppm) Was prepared as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material in the same manner as in Reference Example 1 except that 45.85 g and Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) were 9.75 g.
(比較例5)
表3の比較例5の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.4massppm、Si:7massppm)を114.48g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.67g、CeO2を0.346g、Er2O3を1.039g、Al2O3(Fe:4massppm、Si:21massppm)を30.11g、Ga2O3(Fe:2massppm、Si:18massppm)を46.39g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g秤量した。それ以降、比較例2と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 5)
114.48 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) to 6 so that the composition of Comparative Example 5 in Table 3 was obtained. .67 g, CeO 2 0.346 g, Er 2 O 3 1.039 g, Al 2 O 3 (Fe: 4 massppm, Si: 21 massppm) 30.11 g, Ga 2 O 3 (Fe: 2 massppm, Si: 18 massppm) Was weighed and 0.91 g of Sc 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) was weighed. Thereafter, it was produced as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material by the same method as in Comparative Example 2.
(比較例6)
表3の比較例6の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:5massppm)を115.34g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.69g、CeO2を0.347g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:8massppm)を30.17g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.49g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Mg(NO3)2・6H2Oを0.141g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 6)
115.34 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 5 massppm) and 6% Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Comparative Example 6 in Table 3 was obtained. .69 g, 0.347 g of CeO 2 , 30.17 g of Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 8 massppm), 46.49 g of Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm), Sc 2 0.93 g of O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) and 0.141 g of Mg (NO 3 ) 2 .6H 2 O were weighed. Other than that, it was manufactured as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material by the same method as in Reference Example 1.
(比較例7)
表3の比較例7の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:3massppm)を115.34g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.69g、CeO2を0.347g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.17g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.49g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、(C4H9O)4Tiを0.185g秤量した。Al2O3粉は、あらかじめ真空中(〜10Pa)、1400℃×1hの熱処理を行った後、12hボールミル粉砕を行ったものを用いた。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 7)
115.34 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 3 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Comparative Example 7 in Table 3 is obtained. .69 g, 0.347 g of CeO 2 , 30.17 g of Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm), 46.49 g of Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm), Sc 2 0.93 g of O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 0.4 massppm) and 0.185 g of (C 4 H 9 O) 4 Ti were weighed. The Al 2 O 3 powder used was preliminarily subjected to heat treatment at 1400 ° C. × 1 h in a vacuum (−10 Pa) and then subjected to 12 h ball milling. Other than that, it was manufactured as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material by the same method as in Reference Example 1.
(比較例8)
表3の比較例8の組成になるように、Gd2O3(Fe:0.1massppm、Si:7massppm)を115.34g、Lu2O3(Fe:0.4massppm、Si:2massppm)を6.69g、CeO2を0.347g、Al2O3(Fe:1massppm、Si:10massppm)を30.17g、Ga2O3(Fe:0.2massppm、Si:10massppm)を46.49g、Sc2O3(Fe:0.4massppm、Si:0.4massppm)を0.91g、Ni(NO3)2・6H2Oを0.158g秤量した。それ以外は参考例1と同様の方法で、多結晶の蛍光材料のシンチレータとして作製した。
(Comparative Example 8)
115.34 g of Gd 2 O 3 (Fe: 0.1 massppm, Si: 7 massppm) and Lu 2 O 3 (Fe: 0.4 massppm, Si: 2 massppm) so that the composition of Comparative Example 8 in Table 3 is obtained. .69 g, 0.347 g of CeO 2 , 30.17 g of Al 2 O 3 (Fe: 1 massppm, Si: 10 massppm), 46.49 g of Ga 2 O 3 (Fe: 0.2 massppm, Si: 10 massppm), Sc 2 O 3 (Fe: 0.4massppm, Si : 0.4massppm) to 0.91 g, and 0.158g weighed Ni (NO 3) 2 · 6H 2 O. Other than that, it was manufactured as a scintillator of a polycrystalline fluorescent material by the same method as in Reference Example 1.
上記の実施例1〜15の試料、参考例1〜5の試料、比較例1〜8の試料について、X線照射による発光強度と3ms経過後の残光を測定した。この測定は、各試料について、参考例1に示すものと同様の放射線検出器を作製し、X線源としてタングステンターゲットのX線管を用い、管電圧120kV、管電流5mAの条件でX線を前記放射線検出器のシンチレータに照射して評価した。X線照射による相対発光強度及びX線照射停止後3ms経過後の残光を表6〜7に示す。相対発光強度は、Gd2O2S:Pr、Ce、Fシンチレータの発光強度を100%としたときの発光強度である。表2〜5中で、原料に含有させていない為にゼロである元素は、数値の代わりに“−”の記号で表した。 With respect to the samples of Examples 1 to 15, the samples of Reference Examples 1 to 5, and the samples of Comparative Examples 1 to 8, emission intensity by X-ray irradiation and afterglow after 3 ms were measured. For this measurement, a radiation detector similar to that shown in Reference Example 1 was prepared for each sample, an X-ray tube of a tungsten target was used as the X-ray source, and X-rays were emitted under conditions of a tube voltage of 120 kV and a tube current of 5 mA. Evaluation was performed by irradiating the scintillator of the radiation detector. Tables 6 to 7 show the relative light emission intensity by X-ray irradiation and the afterglow after elapse of 3 ms after stopping the X-ray irradiation. The relative light emission intensity is the light emission intensity when the light emission intensity of Gd 2 O 2 S: Pr, Ce, F scintillator is 100%. In Tables 2 to 5, elements that are zero because they are not contained in the raw material are represented by a symbol “−” instead of a numerical value.
実施例1〜12、参考例1〜3では、発光強度は80%以上、3ms経過後の残光は800ppm以下となった。一方、比較例4と5では、発光強度は80%以上となったが、3ms経過後の残光は800ppmよりもかなり大きくなった。また、比較例1〜3と比較例6〜8では、発光強度は80%を大幅に下回った。 In Examples 1 to 12 and Reference Examples 1 to 3, the emission intensity was 80% or more, and the afterglow after 3 ms was 800 ppm or less. On the other hand, in Comparative Examples 4 and 5, the light emission intensity was 80% or more, but the afterglow after 3 ms was considerably higher than 800 ppm. In Comparative Examples 1 to 3 and Comparative Examples 6 to 8, the emission intensity was significantly lower than 80%.
また、上記の実施例13に関連して、Al2O3粉に対する熱処理条件とその後のボールミル粉砕条件を実施例13から変えた実施例16〜19も作成した。実施例16においては、熱処理温度を実施例13より低い1330℃、保持時間1h、粉砕時間を実施例13より短い3hとし、実施例17においては、熱処理温度を1400℃、保持時間1h、粉砕時間を実施例13より短い3hとした。実施例18においては、熱処理温度を実施例13より低い1300℃、保持時間1h、粉砕時間を実施例13より長い30hとし、実施例19においては、熱処理温度を1400℃、保持時間1h、粉砕時間を実施例13より長い30hとした。これらにおいて、上記の条件以外は実施例13と同様とした。この結果、実施例16、17においては、実施例13と同等の相対発光強度と3ms後残光が得られた。実施例18、19においては、相対発光強度は実施例13と同等であり、3ms後残光は実施例13、実施例16及び実施例17よりは増加したものの、750ppmに抑えられた。この結果は、素原料となるAl2O3粉のSi含有量を反映している。 In addition, in relation to Example 13 above, Examples 16 to 19 were also prepared in which the heat treatment conditions for the Al 2 O 3 powder and the subsequent ball mill grinding conditions were changed from Example 13. In Example 16, the heat treatment temperature was 1330 ° C. lower than that of Example 13 and the holding time was 1 h, and the pulverization time was 3 h shorter than that of Example 13. In Example 17, the heat treatment temperature was 1400 ° C., the holding time was 1 h, and the pulverization time. Was 3 hours shorter than Example 13. In Example 18, the heat treatment temperature was 1300 ° C. lower than that of Example 13 and the holding time was 1 h, and the pulverization time was 30 h longer than that of Example 13. In Example 19, the heat treatment temperature was 1400 ° C., the holding time 1 h, and the pulverization time. For 30 hours longer than Example 13. These were the same as Example 13 except for the above conditions. As a result, in Examples 16 and 17, a relative emission intensity equivalent to that in Example 13 and afterglow after 3 ms were obtained. In Examples 18 and 19, the relative light emission intensity was the same as that of Example 13, and afterglow after 3 ms was increased from Examples 13, 16, and 17, but was suppressed to 750 ppm. This result reflects the Si content of the Al 2 O 3 powder that is the raw material.
本発明は、X線等の放射線を吸収し発光する蛍光材料、それを用いたシンチレータ並びに放射線検出器に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for fluorescent materials that absorb and emit radiation such as X-rays, scintillators using the same, and radiation detectors.
1 X線源
2 シンチレータ
3 光反射膜
4 配線基板
5 シリコンフォトダイオード
1 X-ray source 2 Scintillator 3 Light reflecting film 4 Wiring substrate 5 Silicon photodiode
Claims (16)
(Gd1−x−y−zLuxREyCez)3+a(Al1−u−sGauScs)5−aO12
ここで、
0≦a≦0.15、
0.03≦x≦0.5
0<y≦0.003、
0.0003≦z≦0.0167、
0.2≦u≦0.6、
0≦s≦0.1
であり、単位質量が100mass%であり、
Fe、Si、Mの含有率(massppm)は、
0.05≦Fe含有率≦1、
0.5≦Si含有率≦10、
0≦M含有率≦50
である。 Ce is a light emitting element, contains at least Gd, Al, Ga, O, Fe, Si, and RE, RE is at least one of Pr, Dy, and Er, and M is at least one of Mg, Ti, and Ni And a fluorescent material represented by the following general formula:
(Gd 1-x-y- z Lu x RE y Ce z) 3 + a (Al 1-u-s Ga u Sc s) 5-a O 12
here,
0 ≦ a ≦ 0.15,
0.03 ≤ x ≤ 0.5
0 <y ≦ 0.003,
0.0003 ≦ z ≦ 0.0167,
0.2 ≦ u ≦ 0.6,
0 ≦ s ≦ 0.1
And the unit mass is 100 mass%,
The content of Fe, Si, and M (massppm) is
0.05 ≦ Fe content ≦ 1,
0.5 ≦ Si content ≦ 10,
0 ≦ M content ≦ 50
It is.
0.005≦a≦0.05 The fluorescent material according to claim 1, wherein a is in the following range.
0.005 ≦ a ≦ 0.05
0.03≦x≦0.2 The fluorescent material according to claim 1, wherein x is in the following range.
0.03 ≦ x ≦ 0.2
0.0001≦y≦0.0015 The fluorescent material according to claim 1, wherein y is in the following range.
0.0001 ≦ y ≦ 0.0015
0.001≦z≦0.005 The fluorescent material according to claim 1, wherein z is in the following range.
0.001 ≦ z ≦ 0.005
0.35≦u≦0.55 The fluorescent material according to any one of claims 1 to 5, wherein u is in the following range.
0.35 ≦ u ≦ 0.55
0.01≦s≦0.1 The fluorescent material according to claim 1, wherein the s is in the following range.
0.01 ≦ s ≦ 0.1
24.3≦Gd含有率(mass%)≦57.6、
1.7≦Lu含有率(mass%)≦31.1、
0.02≦Ce含有率(mass%)≦0.7、
0<RE含有率(mass%)≦0.12、
4.0≦Al含有率(mass%)≦12.8、
7.5≦Ga含有率(mass%)≦22.6、
0≦Sc含有率(mass%)≦2.64、
19.6≦O含有率(mass%)≦22.8、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦1、
0.5≦Si含有率(massppm)≦10、
0≦M含有率(massppm)≦50
で表わされる範囲で含有し、
RE元素はPr、Dy及びErのうち少なくとも1種類であり、M元素はMg、Ti、Niのうち少なくとも1種類の元素であり、各元素の総和を100mass%(100質量%)とすることを特徴とする蛍光材料。 A fluorescent material for a scintillator having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing Gd, Ga, Al, O, Fe, Si, and RE,
24.3 ≦ Gd content (mass%) ≦ 57.6,
1.7 ≦ Lu content (mass%) ≦ 31.1,
0.02 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.7,
0 <RE content (mass%) ≦ 0.12,
4.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 12.8,
7.5 ≦ Ga content (mass%) ≦ 22.6,
0 ≦ Sc content (mass%) ≦ 2.64,
19.6 ≦ O content (mass%) ≦ 22.8,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 1,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 10,
0 ≦ M content (massppm) ≦ 50
In the range represented by
The RE element is at least one of Pr, Dy, and Er, the M element is at least one element of Mg, Ti, and Ni, and the sum of each element is 100 mass% (100 mass%). Featuring fluorescent material.
45.9≦Gd含有率(mass%)≦52.8、
1.7≦Lu含有率(mass%)≦12.0、
0.06≦Ce含有率(mass%)≦0.24、
0.006≦RE含有率(mass%)≦0.07、
7.0≦Al含有率(mass%)≦10.0、
13.7≦Ga含有率(mass%)≦20.6、
0.05≦Sc含有率(mass%)≦0.5、
20.7≦O含有率(mass%)≦21.9、
0.05≦Fe含有率(massppm)≦0.4、
0.5≦Si含有率(massppm)≦5、
3≦M含有率(massppm)≦15
で表わされる範囲で含有し、
RE元素はPr、Dy及びErのうち少なくとも1種類であり、M元素はMg、Ti、Niのうち少なくとも1種類の元素であり、各元素の総和を100mass%(100質量%)とすることを特徴とする蛍光材料。 A fluorescent material for a scintillator having a garnet structure containing Ce as a light emitting element and containing Gd, Ga, Al, O, Fe, Si, and RE,
45.9 ≦ Gd content (mass%) ≦ 52.8,
1.7 ≦ Lu content (mass%) ≦ 12.0,
0.06 ≦ Ce content (mass%) ≦ 0.24,
0.006 ≦ RE content (mass%) ≦ 0.07,
7.0 ≦ Al content (mass%) ≦ 10.0,
13.7 ≦ Ga content (mass%) ≦ 20.6,
0.05 ≦ Sc content (mass%) ≦ 0.5,
20.7 ≦ O content (mass%) ≦ 21.9,
0.05 ≦ Fe content (mass ppm) ≦ 0.4,
0.5 ≦ Si content (mass ppm) ≦ 5,
3 ≦ M content (mass ppm) ≦ 15
In the range represented by
The RE element is at least one of Pr, Dy, and Er, the M element is at least one element of Mg, Ti, and Ni, and the sum of each element is 100 mass% (100 mass%). Featuring fluorescent material.
A radiation detector comprising: the scintillator according to claim 14 or 15; and a light receiving element that detects light emission of the scintillator.
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