JP5393409B2 - Waste water treatment apparatus and waste water treatment method - Google Patents

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Description

本発明は、排水中のフッ化水素（ＨＦ）を効率良く処理するのに有効なＨＦを含有する排水の排水処理装置及び排水処理方法に関する。   The present invention relates to a wastewater treatment apparatus and a wastewater treatment method for wastewater containing HF effective for efficiently treating hydrogen fluoride (HF) in wastewater.

太陽電池工場、液晶パネル工場、半導体製造工場、金属表面処理工場など各種の工場からＨＦを含有する排水（ＨＦ含有排水）が排出されるため、このＨＦ含有排水を放流するにあたってＨＦ含有排水中に含まれるフッ素（Ｆ）をスクラバに通してＨＦとして処理し、排水中のフッ素濃度（Ｆ濃度）を所定の排水基準値（例えば約８ｐｐｍ）以下にする必要がある。   Since effluent containing HF (effluent containing HF) is discharged from various factories such as a solar cell factory, a liquid crystal panel factory, a semiconductor manufacturing factory, and a metal surface treatment factory, It is necessary to treat the contained fluorine (F) as HF through a scrubber, and to reduce the fluorine concentration (F concentration) in the waste water to a predetermined waste water reference value (for example, about 8 ppm) or less.

従来、ＨＦ含有排水からＨＦを処理する方法として、例えばフッ化カルシウム（ＣａＦ2）沈殿法が一般に用いられている。ＣａＦ2沈殿法とは、ＨＦ含有排水に水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2）等のカルシウム塩を添加して難溶性のＣａＦ2として沈殿させ、回収する方法である。ＣａＦ2沈殿法によりＨＦは下記式のように反応してＣａＦ2となり、回収される。このＣａＦ2沈殿法は、バッチ式、連続式の何れでも行うことができる。
２ＨＦ ＋ Ｃａ（ＯＨ）2 →ＣａＦ2↓ ＋ ２Ｈ2Ｏ ・・・（I） Conventionally, for example, a calcium fluoride (CaF 2 ) precipitation method is generally used as a method of treating HF from HF-containing wastewater. The CaF 2 precipitation method is a method in which a calcium salt such as calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ) is added to HF-containing wastewater to precipitate it as poorly soluble CaF 2 and recovered. By the CaF 2 precipitation method, HF reacts as shown in the following formula to become CaF 2 and is recovered. This CaF 2 precipitation method can be carried out either batchwise or continuously.
2HF + Ca (OH) 2 → CaF 2 ↓ + 2H 2 O (I)

図６は、従来のＣａＦ2沈殿法を用いた従来の排水処理装置を簡略に示す図である。図６に示すように、排水処理装置１００は、ＨＦを含有する排水１０１Ａ中にカルシウム化合物１０２、ｐＨ調整剤１０３を添加してＣａＦ2を生成するＣａＦ2反応槽１０４と、ＣａＦ2を含む排水１０１Ｂに凝集沈殿剤１０５を添加する凝集槽１０６と、ＣａＦ2が除去された処理水１０７とＣａＦ2を含む沈殿物１０８とを分離して回収する沈殿槽１０９とを有している（例えば、特許文献１、２参照）。 FIG. 6 is a diagram schematically showing a conventional wastewater treatment apparatus using a conventional CaF 2 precipitation method. As shown in FIG. 6, the waste water treatment apparatus 100 includes a CaF 2 reaction tank 104 that generates CaF 2 by adding a calcium compound 102 and a pH adjusting agent 103 to waste water 101A containing HF, and waste water containing CaF 2. A coagulating tank 106 for adding the coagulating precipitant 105 to 101B, and a settling tank 109 for separating and collecting the treated water 107 from which CaF 2 has been removed and the precipitate 108 containing CaF 2 (for example, (See Patent Documents 1 and 2).

排水処理装置１００では、ＨＦを含有する排水１０１ＡをＣａＦ2反応槽１０４に送給し、ＣａＦ2反応槽１０４内にカルシウム化合物１０２としてＣａ（ＯＨ）2などを添加し、ＣａＦ2を生成する。このＣａＦ2反応槽１０４において排水１０１ＡのＦ濃度を規制値以下にする。生成したＣａＦ2は軽く、微粒子として排水１０１Ｂ中に存在し、沈殿し難いため、ＣａＦ2を含む排水１０１Ｂは凝集槽１０６において排水１０１Ｂ中に凝集沈殿剤１０５としてポリ塩化アルミニウム（ＰＡＣ）等を加えてＣａＦ2を凝集させる。その後、凝集したＣａＦ2の沈殿物１０８を含む排水１０１Ｃを沈殿槽１０９に送給し、沈殿槽１０９において処理水１０７とＣａＦ2を含む沈殿物１０８とに分離する。処理水１０７は沈殿槽１０９の上澄み液として排出され、ＣａＦ2を含む沈殿物１０８は沈殿槽１０９の塔底部から抜き出され、スラリー脱水器などで脱水された後、産業廃棄物として廃棄処理される。 In waste water treatment apparatus 100, it feeds feeding the wastewater 101A containing HF in CaF 2 reactor 104, and Ca (OH) 2 was added as a calcium compound 102 in CaF 2 reaction tank 104 to produce a CaF 2. In this CaF 2 reaction tank 104, the F concentration of the waste water 101A is set to a regulation value or less. Since the produced CaF 2 is light and exists as fine particles in the waste water 101B and is difficult to settle, the waste water 101B containing CaF 2 is added with polyaluminum chloride (PAC) or the like as a coagulating precipitant 105 in the waste water 101B in the coagulation tank 106. To agglomerate CaF 2 . Thereafter, the wastewater 101C containing the aggregated CaF 2 precipitate 108 is fed to the precipitation tank 109, and separated into the treated water 107 and the precipitate 108 containing CaF 2 in the precipitation tank 109. The treated water 107 is discharged as the supernatant of the settling tank 109, and the precipitate 108 containing CaF 2 is extracted from the bottom of the settling tank 109 and dehydrated with a slurry dehydrator or the like, and then discarded as industrial waste. The

排水処理装置１００により排水１０１Ａが処理された後の処理水１０７のＦ濃度は例えば約８ｐｐｍ程度である。また、処理水１０７中のＦ濃度が１サイクルで所定の濃度にまで下げられない場合には、２又は３サイクルで複数行い、排水１０１Ａ中のＣａＦ2の処理を行う。 The F concentration of the treated water 107 after the wastewater 101A is treated by the wastewater treatment apparatus 100 is, for example, about 8 ppm. Further, when the F concentration in the treated water 107 cannot be lowered to a predetermined concentration in one cycle, a plurality of treatments are performed in two or three cycles, and the CaF 2 in the waste water 101A is treated.

特開平０８−１９７０７０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 08-197070 特開平０９−１０５４８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 09-10548

ここで、近年では、環境保全の立場から処理水１０７中のＦ濃度は排水基準値として８ｍｇ／ｌ以下まで処理する必要があるが、排水処理装置１００では、排水１０１Ａ中のＨＦ濃度によってはＣａＦ2反応槽１０４において排水１０１Ａ中のフッ素イオン（Ｆ-）の溶解量が変動し、安定して処理水１０７中のＦ濃度を低下させることができない場合がある、という問題がある。 Here, in recent years, it is necessary to treat the F concentration in the treated water 107 to 8 mg / l or less as a wastewater reference value from the standpoint of environmental conservation. In the wastewater treatment apparatus 100, depending on the HF concentration in the wastewater 101A, the CaF 2 There is a problem that the amount of fluorine ions (F − ) dissolved in the wastewater 101A varies in the reaction tank 104, and the concentration of F in the treated water 107 may not be reduced stably.

また、ＣａＦ2は、下記式のように、時間の経過と共に大気中のＣＯ2を取り込み、生成したＣａＦ2のＣａがＣＯ2と反応するため、Ｆ-が再度排水中に溶出してしまう、という問題がある。
ＣａＦ2 ＋ ＣＯ2＋ Ｈ2Ｏ → ＣａＣＯ3 ＋ ２ＨＦ・・・（II） In addition, as CaF 2 takes in CO 2 in the atmosphere with the passage of time as shown in the following formula, and Ca of the generated CaF 2 reacts with CO 2 , F − is eluted into the waste water again. There is a problem.
CaF 2 + CO 2 + H 2 O → CaCO 3 + 2HF (II)

また、このＣａＦ2は微細であるため効率よく凝集して回収するのは困難である、という問題がある。 In addition, since CaF 2 is fine, it is difficult to efficiently aggregate and collect.

更に、処理槽を設置するために大きな場所を確保することが必要である、という問題がある。   Furthermore, there is a problem that it is necessary to secure a large place for installing the treatment tank.

本発明は、前記問題に鑑み、フッ素イオンの再溶出を防止し、排水中のフッ化水素を更に効率良く処理することが可能な排水処理装置及び排水処理方法を提供することを課題とする。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a wastewater treatment apparatus and a wastewater treatment method capable of preventing re-elution of fluorine ions and treating hydrogen fluoride in wastewater more efficiently.

上述した課題を解決するための本発明の第１の発明は、フッ化水素を含有する排水にカルシウム化合物を添加し、閉鎖空間でフッ化生成物を生成させる反応管と、第１の排水供給管を介して前記反応管に連結され、前記フッ化生成物が大気と反応してフッ素が溶出する前に前記排水中から当該フッ化生成物を除去するろ過管と、第２の排水供給管を介して前記ろ過管に連結され、前記排水中のフッ素イオン、フッ化水素、フッ化生成物を吸着する吸着材を備えた吸着管と、を有することを特徴とする排水処理装置である。 A first invention of the present invention for solving the above-mentioned problems is a reaction tube for adding a calcium compound to wastewater containing hydrogen fluoride to produce a fluoride product in a closed space, and a first wastewater supply. A filtration pipe connected to the reaction pipe through a pipe to remove the fluorination product from the waste water before the fluoride product reacts with the atmosphere and fluorine is eluted, and a second drain supply pipe And a suction pipe provided with an adsorbent that is connected to the filtration pipe and adsorbs fluorine ions, hydrogen fluoride, and fluorinated products in the waste water.

第２の発明は、第１の発明において、前記ろ過管、前記吸着管の何れか一方又は両方を少なくとも２つ有し、前記ろ過管同士及び前記吸着管同士が、各々並列に配置されることを特徴とする排水処理装置である。 The second invention according to the first invention, the filtering tube, the has either one or both of the suction tube at least two, the filtering tube and between the suction pipe to each other, that each are arranged in parallel It is the waste water treatment equipment characterized by this.

第３の発明は、第１又は２の発明において、前記反応管が、その内部に少なくとも１つ以上の邪魔板を有することを特徴とする排水処理装置である。 A third invention is the waste water treatment apparatus according to the first or second invention, wherein the reaction tube has at least one baffle plate therein.

第４の発明は、第３の発明において、前記邪魔板が、前記カルシウム化合物、クリーニング剤の何れか一方又は両方を噴霧する噴霧孔を有することを特徴とする排水処理装置である。   A fourth invention is the waste water treatment apparatus according to the third invention, wherein the baffle plate has a spray hole for spraying one or both of the calcium compound and the cleaning agent.

第５の発明は、第１乃至４の何れか一つの発明において、前記ろ過管、前記吸着管の何れか一方又は両方の後流側に設けられ、排水中のフッ素濃度を検出するフッ素濃度測定部を有することを特徴とする排水処理装置である。 A fifth invention is the fluorine concentration measurement according to any one of the first to fourth inventions, which is provided on the downstream side of one or both of the filtration tube and the adsorption tube and detects the fluorine concentration in the waste water. A wastewater treatment apparatus characterized by having a section.

第６の発明は、第５の発明において、前記ろ過管から排出される排水、前記吸着管から排出される排水の何れか一方又は両方を前記反応管の上流側に還流させる排水還流手段を有することを特徴とする排水処理装置である。 6th invention has the waste_water | drain recirculation | reflux means which recirculates any one or both of the waste_water | drain discharged | emitted from the said filtration pipe | tube , the waste_water | drain discharged | emitted from the said adsorption pipe to the upstream of the said reaction pipe in 5th invention. This is a wastewater treatment apparatus.

第７の発明は、第１乃至６の何れか一つの発明において、前記排水が、太陽電池工場、液晶パネル工場から排出される排水であることを特徴とする排水処理装置である。   A seventh invention is the waste water treatment apparatus according to any one of the first to sixth inventions, wherein the waste water is waste water discharged from a solar cell factory or a liquid crystal panel factory.

第８の発明は、フッ化水素を含有する排水を送給する反応管内にカルシウム化合物を添加し、閉鎖空間でフッ化生成物を生成する反応工程と、第１の排水供給管を介して前記反応管に連結されたろ過管で、前記フッ化生成物が大気と反応してフッ素が溶出する前に当該フッ化生成物を除去するろ過工程と、第２の排水供給管を介して前記ろ過管に連結されると共に、吸着材を備えた吸着管で、前記ろ過工程後の排水中のフッ素イオン、フッ化水素、フッ化生成物を吸着・除去する吸着工程と、を含むことを特徴とする排水処理方法である。 An eighth invention is the addition of calcium compound in the reaction tube for feeding the wastewater containing hydrogen fluoride, a reaction to produce a fluorinated product in a closed space, through the first drainage supply tube by filtration pipe connected to the reaction tube, before through a filtration step to remove the fluorinated products before notated Tsu product elutes fluorine reacts with the atmosphere, the second effluent feed pipe while being connected to the filtration tube Te, comprising an adsorption tube with an adsorbent, fluorine ions in the waste water after the filtration step, hydrogen fluoride, and the adsorption step of adsorption and removal of fluoride product, It is the wastewater treatment method characterized by this.

第９の発明は、第８の発明において、前記ろ過工程、前記吸着工程の何れか一方又は両方を少なくとも２つ有し、前記ろ過工程同士及び前記吸着工程同士が、各々並列で処理されることを特徴とする排水処理方法である。   In a ninth aspect based on the eighth aspect, at least two of the filtration step and the adsorption step or both are provided, and the filtration steps and the adsorption steps are each processed in parallel. It is the wastewater treatment method characterized by this.

第１０の発明は、第８又は９の発明において、前記反応工程において、前記反応管内に設けられた邪魔板の噴霧孔を介して前記カルシウム化合物、クリーニング剤の何れか一方又は両方を噴霧することを特徴とする排水処理方法である。 In a tenth aspect based on the eighth aspect or 9, in the reaction step, the calcium compound via a baffle spray hole of which is provided in said reaction tube, for spraying one or both of the cleaning agent It is the wastewater treatment method characterized by this.

第１１の発明は、第８乃至１０の何れか一つの発明において、前記ろ過工程、前記吸着工程の何れか一方又は両方の後流側で排水中のフッ素濃度を検出するフッ素濃度測定工程を有することを特徴とする排水処理方法である。   The eleventh invention includes a fluorine concentration measuring step of detecting the fluorine concentration in the waste water on the downstream side of one or both of the filtration step and the adsorption step in any one of the eighth to tenth inventions. It is the wastewater treatment method characterized by this.

第１２の発明は、第１１の発明において、前記フッ素濃度測定工程で検出される排水中のフッ素濃度が所定値を超えた場合、前記排水を前記反応管の上流側に還流させることを特徴とする排水処理方法である。   A twelfth invention is characterized in that, in the eleventh invention, when the fluorine concentration in the wastewater detected in the fluorine concentration measurement step exceeds a predetermined value, the wastewater is returned to the upstream side of the reaction tube. This is a wastewater treatment method.

第１３の発明は、第８乃至１２の何れか一つの発明において、前記排水が、太陽電池工場、液晶パネル工場から排出される排水であることを特徴とする排水処理方法である。   A thirteenth invention is the waste water treatment method according to any one of the eighth to twelfth inventions, wherein the waste water is waste water discharged from a solar cell factory or a liquid crystal panel factory.

本発明によれば、排水中のフッ化水素（ＨＦ）を閉鎖空間でフッ化生成物とし、フッ化生成物が生成された直後にろ過しているため、フッ素イオンの溶出を防止し、排水中のＨＦを短時間に効率良く処理することができる。排水中のフッ素濃度を更に低くすることができ、排出される排水のフッ素濃度の排水基準値を確実に満たして排出することができる。   According to the present invention, hydrogen fluoride (HF) in waste water is converted into a fluorinated product in a closed space, and filtered immediately after the fluorinated product is generated, so that elution of fluorine ions is prevented, The HF inside can be processed efficiently in a short time. The fluorine concentration in the wastewater can be further lowered, and the wastewater reference value of the fluorine concentration in the discharged wastewater can be reliably satisfied and discharged.

図１は、本発明の実施の形態に係る排水処理装置の構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a wastewater treatment apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２は、反応管内の構成の一部を切り欠いた斜視図である。FIG. 2 is a perspective view in which a part of the structure in the reaction tube is cut away. 図３は、反応管内の他の形状の場合の構成を切り欠いた斜視図である。FIG. 3 is a perspective view in which a configuration in the case of another shape in the reaction tube is cut out. 図４は、本発明の第２の実施の形態に係る排水処理装置の構成の一部のみを簡略に示す図である。FIG. 4 is a diagram schematically showing only a part of the configuration of the wastewater treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention. 図５は、本発明の第３の実施の形態に係る排水処理装置の構成を簡略に示す図である。FIG. 5 is a diagram simply showing the configuration of the waste water treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention. 図６は、従来のＣａＦ2沈殿法を用いた従来の排水処理装置を簡略に示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically showing a conventional wastewater treatment apparatus using a conventional CaF 2 precipitation method.

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施の形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、あるいは実質的に同一のものが含まれる。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the embodiments. In addition, constituent elements in the following embodiments include those that can be easily assumed by those skilled in the art or those that are substantially the same.

［第１の実施の形態］
本発明による第１の実施の形態に係る排水処理装置について、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る排水処理装置の構成を示す概略図である。
図１に示すように、本実施の形態に係る排水処理装置１０は、フッ化水素（ＨＦ）を含有する排水１１Ａにカルシウム化合物（Ｃａ化合物）１２を添加し、閉鎖空間でフッ化生成物としてフッ化カルシウム（ＣａＦ2）を生成する反応管（反応部）１３と、この反応管１３の直後に配置され、反応管１３で生成されるＣａＦ2を排水１１Ｂ中から除去するろ過管（ろ過部）１４−１〜１４−３と、排水１１Ｃ中のフッ素イオン（Ｆ-）、ＨＦ、ＣａＦ2を除去する吸着材１５を備えた吸着管（吸着部）１６−１〜１６−３と、を有するものである。
また、反応管１３の上流側は排水供給管１７と連結され、反応管１３とろ過管１４−１〜１４−３との間は排水供給管１８で連結され、ろ過管１４−１〜１４−３と吸着管１６−１〜１６−３との間は排水供給管１９で連結され、吸着管１６−１〜１６−３の下流側は排水供給管２０と連結されている。 [First Embodiment]
A wastewater treatment apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a wastewater treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, the wastewater treatment apparatus 10 according to the present embodiment adds a calcium compound (Ca compound) 12 to a wastewater 11A containing hydrogen fluoride (HF), and as a fluorinated product in a closed space. A reaction tube (reaction unit) 13 that generates calcium fluoride (CaF 2 ) and a filter tube (filtration unit) that is disposed immediately after the reaction tube 13 and removes CaF 2 generated in the reaction tube 13 from the waste water 11B. ) 14-1 to 14-3, and adsorption tubes (adsorption parts) 16-1 to 16-3 each having an adsorbent 15 that removes fluorine ions (F − ), HF, and CaF 2 in the waste water 11C. It is what you have.
Further, the upstream side of the reaction tube 13 is connected to a drainage supply pipe 17, and the reaction tube 13 and the filtration tubes 14-1 to 14-3 are connected by a drainage supply pipe 18, and the filtration tubes 14-1 to 14- are connected. 3 and the adsorption pipes 16-1 to 16-3 are connected by a drainage supply pipe 19, and the downstream side of the adsorption pipes 16-1 to 16-3 is connected to a drainage supply pipe 20.

本実施の形態に係る排水処理装置１０は、以下の２つの工程からなるものである。
１）ＨＦを含有する排水１１Ａを送給する反応管（排水路）１３内にＣａ化合物１２を添加し、ＣａＦ2を生成する反応工程Ｉ
２）排水１１Ａ中に生成されたＣａＦ2を反応管１３の直後に配置されたろ過管１４−１〜１４−３において排水１１Ｂ中から除去するろ過工程ＩＩ The waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment includes the following two steps.
1) feeding the waste water 11A containing HF Kyusuru reaction tube (drainage) of the Ca compound 12 was added to 13, the reaction step I to produce a CaF 2
2) Filtration step II in which CaF 2 generated in the waste water 11A is removed from the waste water 11B in the filtration tubes 14-1 to 14-3 arranged immediately after the reaction tube 13.

更に好ましくは、ろ過工程ＩＩの後に下記工程を設けるようにしてもよい。また、ろ過工程ＩＩに代えて吸着工程ＩＩＩを用いるようしてもよい。
３）排水１１Ｃ中のＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を吸着する吸着材１５を備えた吸着管１６−１〜１６−３において除去する吸着工程ＩＩＩ More preferably, the following process may be provided after the filtration process II. Further, the adsorption step III may be used instead of the filtration step II.
3) Adsorption process III to be removed in the adsorption tubes 16-1 to 16-3 provided with the adsorbent 15 that adsorbs F − , HF and CaF 2 in the waste water 11C.

（反応工程Ｉ）
排水１１Ａは太陽電池工場、液晶パネル工場などから排出されるＨＦを含む使用済み排水であり、排水供給管１７を介して反応管１３に送給される。排水１１Ａの供給割合はポンプ２２により調整される。反応管１３には、その上流側にＣａ化合物１２を反応管１３内に供給するカルシウム（Ｃａ）化合物供給管２３が連結されている。Ｃａ化合物１２は、カルシウム（Ｃａ）化合物供給部２４よりＣａ化合物供給管２３を介して反応管１３内に供給される。排水１１ＡにＣａ化合物１２を添加することで、排水１１Ａ中のＨＦのＦ-は反応管１３内に供給されたＣａ化合物１２と下記式（１）のように反応し、ＣａＦ2を生成する。尚、排水１１ＡのｐＨ調整の必要がある場合には、ｐＨ調整剤を添加して調整する。ｐＨ調整剤としては、例えば水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）等が挙げられる。
２Ｆ- ＋ Ｃａ2+ → ＣａＦ2 ・・・（１） (Reaction step I)
The waste water 11 </ b> A is used waste water containing HF discharged from a solar cell factory, a liquid crystal panel factory, and the like, and is supplied to the reaction tube 13 through the drain supply pipe 17. The supply ratio of the waste water 11 </ b> A is adjusted by the pump 22. A calcium (Ca) compound supply pipe 23 that supplies the Ca compound 12 into the reaction tube 13 is connected to the reaction tube 13 on the upstream side. The Ca compound 12 is supplied from the calcium (Ca) compound supply unit 24 into the reaction tube 13 through the Ca compound supply tube 23. By adding the Ca compound 12 to the waste water 11A, the F − of HF in the waste water 11A reacts with the Ca compound 12 supplied into the reaction tube 13 as shown in the following formula (1) to generate CaF 2 . In addition, when it is necessary to adjust the pH of the waste water 11A, a pH adjuster is added and adjusted. Examples of the pH adjuster include sodium hydroxide (NaOH).
2F − + Ca 2+ → CaF 2 (1)

反応管１３の直後にろ過管１４−１〜１４−３が配置されているため、反応管１３に送給された排水１１Ａは、後述のように、反応管１３でＣａＦ2が生成された直後に３つのろ過管１４−１〜１４−３に送給される。よって、反応管１３内で生成されたＣａＦ2を含む排水１１Ｂをろ過管１４−１〜１４−３に送給することで、反応管１３内で生成されたＣａＦ2は生成された直後にろ過管１４−１〜１４−３でろ過することができる。
また、本発明において、直後とは、反応管１３とろ過管１４−１〜１４−３との距離が反応管１３内でＨＦがＣａ化合物１２と反応してＣａＦ2を生成し、直ちにろ過管１４−１〜１４−３に送給できる距離をいう。最短時間としてはフッ化生成物ができる反応時間であり、最長時間としてはフッ化生成物が大気と反応してＦが溶出し出す時間までをいう。反応管１３の直後にろ過管１４−１〜１４−３が配置されることで、排水１１Ａが反応管１３内に送給されてからろ過管１４−１〜１４−３に到達するまでに要する時間（Ｔ）は、反応管１３の径と流量にもよるが、例えば、反応管１３の直径が１０ｃｍ以上２０ｃｍ以下の場合、流速が０．１ｍ／ｓｅｃ、滞留時間が１００秒とすると、時間（Ｔ）は３０秒から１分程度となり、反応管１３の長さは１０ｍ程度となる。 Since the filtration tubes 14-1 to 14-3 are arranged immediately after the reaction tube 13, the waste water 11 </ b> A fed to the reaction tube 13 is immediately after CaF 2 is generated in the reaction tube 13 as will be described later. Are fed to three filter tubes 14-1 to 14-3. Therefore, the waste water 11B containing CaF 2 produced in the reaction tube 13 by feeding the filtration tube 14-1 to 14-3, CaF 2 produced in the reaction tube 13 is filtered as soon as it is generated It can filter with the pipe | tubes 14-1 to 14-3.
In the present invention, “immediately after” means that the distance between the reaction tube 13 and the filtration tubes 14-1 to 14-3 is the reaction tube 13 in which HF reacts with the Ca compound 12 to produce CaF 2 , and immediately the filtration tube. The distance that can be sent to 14-1 to 14-3. The shortest time is the reaction time for producing a fluorinated product, and the longest time is the time until the fluorinated product reacts with the atmosphere and F elutes. Since the filtration tubes 14-1 to 14-3 are arranged immediately after the reaction tube 13, the drainage 11 </ b> A is required to reach the filtration tubes 14-1 to 14-3 after being fed into the reaction tube 13. The time (T) depends on the diameter and flow rate of the reaction tube 13. For example, when the diameter of the reaction tube 13 is 10 cm or more and 20 cm or less, the flow rate is 0.1 m / sec and the residence time is 100 seconds. (T) is about 30 seconds to about 1 minute, and the length of the reaction tube 13 is about 10 m.

また、排水１１Ａ中のＨＦは反応管１３内で反応しているため、ＨＦがＣａ化合物１２と反応して生成されるＣａＦ2が大気と接触するのを防止することができる。このため、大気中のＣＯ2によりＣａＦ2が下記式（２）のように反応し、再溶解するのを防ぐことができる。
ＣａＦ2 ＋ ＣＯ2 ＋ Ｈ2Ｏ → ＣａＣＯ3 ＋ ２ＨＦ ・・・（２） Moreover, since HF in the waste water 11A reacts in the reaction tube 13, it is possible to prevent CaF 2 produced by the reaction of HF with the Ca compound 12 from coming into contact with the atmosphere. Therefore, CaF 2 reacts as the following equation (2) by CO 2 in the atmosphere can be prevented from re-dissolve.
CaF 2 + CO 2 + H 2 O → CaCO 3 + 2HF (2)

また、添加するＣａ化合物１２としては、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2）、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2）、酸化カルシウム（ＣａＯ）等が挙げられる。Ｃａ化合物１２の添加量としては、排水の水質によるが、通常、排水中のフッ素（Ｆ）の重量に対して、例えば、約１．５倍程度である。 Examples of the Ca compound 12 to be added include calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ), calcium chloride (CaCl 2 ), calcium oxide (CaO), and the like. The amount of Ca compound 12 added depends on the quality of the wastewater, but is usually about 1.5 times the weight of fluorine (F) in the wastewater.

また、Ｃａ化合物１２は反応管１３の上流側に供給するようにしているが、これに限定されるものではなく、Ｃａ化合物１２は反応管１３の全長にわたって供給するようにしてもよいし、中流域に供給するようにしてもよい。   Further, the Ca compound 12 is supplied to the upstream side of the reaction tube 13, but is not limited to this, and the Ca compound 12 may be supplied over the entire length of the reaction tube 13. You may make it supply to a basin.

また、反応管１３内には、複数の邪魔板２５が設けられている。図２は、反応管内の構成の一部を切り欠いた斜視図である。図２に示すように、邪魔板２５は反応管１３内の内壁に対向して所定間隔をもって排水１１Ａの流れ方向に複数配置され、それらの邪魔板２５同士が交互に入り込みつつ配設されている。よって、反応管１３内に邪魔板２５同士を交互に入り込みつつ配設することで、反応管１３内を流れる排水１１ＡとＣａ化合物１２との混合を促進することができると共に、反応管１３内を流れる排水１１Ａの流れを乱し、反応管１３内で乱流とすることができるため、排水１１Ａ中のＨＦのＦ-とＣａ化合物１２との反応を促進することができる。 A plurality of baffle plates 25 are provided in the reaction tube 13. FIG. 2 is a perspective view in which a part of the structure in the reaction tube is cut away. As shown in FIG. 2, a plurality of baffle plates 25 are arranged in the flow direction of the drainage 11A at a predetermined interval so as to face the inner wall in the reaction tube 13, and the baffle plates 25 are arranged alternately entering each other. . Therefore, by arranging the baffle plates 25 alternately entering the reaction tube 13, mixing of the waste water 11 </ b> A and the Ca compound 12 flowing in the reaction tube 13 can be promoted, and the inside of the reaction tube 13 is Since the flow of the flowing waste water 11A can be disturbed to be turbulent in the reaction tube 13, the reaction between the HF F − and the Ca compound 12 in the waste water 11A can be promoted.

また、反応管１３の構成は図２に示すように筒状の場合に限定されるものではなく、他の形状でもよい。図３は、反応管内の他の形状の場合の構成を切り欠いた斜視図である。図３に示すように、反応管１３が円筒形状においても同様に、邪魔板２５は反応管１３内の内壁に対向して所定間隔をもって排水１１Ａの流れ方向に邪魔板２５同士が交互に入り込んで配設される。   Moreover, the structure of the reaction tube 13 is not limited to a cylindrical shape as shown in FIG. 2, and may have other shapes. FIG. 3 is a perspective view in which a configuration in the case of another shape in the reaction tube is cut out. As shown in FIG. 3, when the reaction tube 13 has a cylindrical shape, the baffle plates 25 alternately enter the flow direction of the drainage 11 </ b> A at a predetermined interval facing the inner wall of the reaction tube 13. Arranged.

また、反応管１３内には邪魔板２５が７つ設けられているが、これに限定されるものではなく、邪魔板２５は１つでもよいし、２つ以上設けるようにしてもよい。   Further, although seven baffle plates 25 are provided in the reaction tube 13, the present invention is not limited to this. One baffle plate 25 may be provided, or two or more baffle plates 25 may be provided.

（ろ過工程ＩＩ）
反応管１３に送給された排水１１Ａは反応管１３でＣａＦ2が生成された後、反応管１３で生成したＣａＦ2を含む排水１１Ｂは、排水供給管１８を通過して分岐管２６−１〜２６−３を介して３つのろ過管１４−１〜１４−３に送給される。ろ過管１４−１〜１４−３には、排水１１Ｂ中のＣａＦ2をろ過するフィルタ２７が設けられている。ろ過管１４−１〜１４−３は反応管１３の直後に配置されているため、ろ過管１４−１〜１４−３に送給された排水１１Ｂ中のＣａＦ2は、反応管１３で生成された直後にフィルタ２７で除去することができる。 (Filtration step II)
After the waste water 11A fed to the reaction tube 13 has generated CaF 2 in the reaction tube 13, the waste water 11B containing CaF 2 generated in the reaction tube 13 passes through the waste water supply pipe 18 and passes through the branch pipe 26-1. It is fed to three filter tubes 14-1 to 14-3 via ˜26-3. Filters 14-1 to 14-3 are provided with a filter 27 for filtering CaF 2 in the waste water 11B. Since the filtration tubes 14-1 to 14-3 are arranged immediately after the reaction tube 13, CaF 2 in the waste water 11 </ b> B fed to the filtration tubes 14-1 to 14-3 is generated in the reaction tube 13. Immediately after that, it can be removed by the filter 27.

フィルタ２７は、排水１１ＢからＣａＦ2をろ過することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、アルカリ土類金属の各種塩類、又は、水酸化物若しくは酸化物の１種又はこれらの混合物の１種以上をフィルタ状に形成したものなどが用いられる。フィルタ２７としては、例えば、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ3）、炭酸バリウム（ＢａＣＯ3）、炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ3）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ3）等の炭酸塩、硫酸カルシウム（ＣａＳＯ4）、硫酸バリウム（ＢａＳＯ4）、硫酸マグネシウム（ＭｇＳＯ4）、硫酸ストロンチウム（ＳｒＳＯ4）等の硫酸塩、硝酸カルシウム（Ｃａ（ＮＯ3）2）、硝酸バリウム（Ｂａ(ＮＯ3)2）、硝酸マグネシウム（Ｍｇ(ＮＯ3)2）、硝酸ストロンチウム（Ｓｒ（ＮＯ3）2）等の硝酸塩、蓚酸カルシウム（（ＣＯＯ）2Ｃａ）、蓚酸バリウム（（ＣＯＯ）2Ｂａ）、蓚酸マグネシウム（（ＣＯＯ）2Ｍｇ）、蓚酸ストロンチウム（（ＣＯＯ）2Ｓｒ）等の蓚酸塩、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2）、水酸化バリウム（Ｂａ（ＯＨ）2）、水酸化マグネシウム（Ｍｇ（ＯＨ）2）、水酸化ストロンチウム（Ｓｒ（ＯＨ）2）等の水酸化物、あるいは、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化ストロンチウム（ＳｒＯ）等の酸化物等が挙げられる。 The filter 27 is not particularly limited as long as it can filter CaF 2 from the waste water 11B. For example, various salts of alkaline earth metals, or one of hydroxides or oxides or these For example, a mixture of at least one of the above-mentioned mixtures formed in a filter shape may be used. Examples of the filter 27 include carbonates such as calcium carbonate (CaCO 3 ), barium carbonate (BaCO 3 ), magnesium carbonate (MgCO 3 ), and strontium carbonate (SrCO 3 ), calcium sulfate (CaSO 4 ), and barium sulfate (BaSO). 4 ), magnesium sulfate (MgSO 4 ), sulfates such as strontium sulfate (SrSO 4 ), calcium nitrate (Ca (NO 3 ) 2 ), barium nitrate (Ba (NO 3 ) 2 ), magnesium nitrate (Mg (NO 3) 2 ), nitrates such as strontium nitrate (Sr (NO 3 ) 2 ), calcium oxalate ((COO) 2 Ca), barium oxalate ((COO) 2 Ba), magnesium oxalate ((COO) 2 Mg), strontium oxalate ((COO) 2 Sr) and other oxalates, calcium hydroxide (Ca (OH) 2 ), barium hydroxide (Ba ( OH) 2 ), magnesium hydroxide (Mg (OH) 2 ), hydroxide such as strontium hydroxide (Sr (OH) 2 ), calcium oxide (CaO), barium oxide (BaO), magnesium oxide (MgO) ) And oxides such as strontium oxide (SrO).

また、ろ過管１４−１〜１４−３は並列に３つ設けられ、ろ過管１４−１〜１４−３の上流側と連結する分岐管２６−１〜２６−３には、ＣａＦ2を含む排水１１Ｂの流量を調整する調節弁Ｖ１１〜Ｖ１３が設けられている。調節弁Ｖ１１〜Ｖ１３により、ＣａＦ2を含む排水１１Ｂのろ過管１４−１〜１４−３への供給量を調整することができる。このため、排水１１Ｂ中のＣａＦ2を連続して回収しつつ、ろ過管１４−１〜１４−３を交換することができる。 Further, the filtration tubes 14-1 to 14-3 are provided three in parallel, the branch pipes 26-1 to 26-3 for connecting the upstream side of the filter tube 14-1 to 14-3 comprises a CaF 2 Control valves V11 to V13 for adjusting the flow rate of the drainage 11B are provided. The supply amount to the filtration tubes 14-1 to 14-3 of the waste water 11B containing CaF 2 can be adjusted by the control valves V11 to V13. For this reason, the filtration tubes 14-1 to 14-3 can be exchanged while continuously collecting CaF 2 in the waste water 11B.

（吸着工程ＩＩＩ）
ろ過管１４−１〜１４−３でＣａＦ2がろ過された排水１１Ｃは、排水供給管１９を通過して分岐管２８−１〜２８−３を介して３つの吸着管１６−１〜１６−３に送給される。吸着管１６−１〜１６−３はその内部に吸着材１５が充填されているため、排水１１Ｃ中になお残存するＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を吸着材１５に吸着させることができる。
吸着管１６−１〜１６−３の上流側と連結する分岐管２８−１〜２８−３には、排水１１Ｃの送給量を調整する調節弁Ｖ２１〜Ｖ２３が設けられている。 (Adsorption process III)
The drainage 11C from which CaF 2 has been filtered by the filtration tubes 14-1 to 14-3 passes through the drainage supply tube 19 and passes through the branch tubes 28-1 to 28-3, so that the three adsorption tubes 16-1 to 16- 3 is sent. Since the adsorption tubes 16-1 to 16-3 are filled with the adsorbent 15, the F − , HF, and CaF 2 still remaining in the waste water 11C can be adsorbed to the adsorbent 15.
The branch pipes 28-1 to 28-3 connected to the upstream side of the adsorption pipes 16-1 to 16-3 are provided with control valves V 21 to V 23 for adjusting the supply amount of the drainage 11 </ b> C.

吸着材１５としては、Ｆ-、ＨＦ、ＣａＦ2を吸着できるものであれば特に限定されるものではなく、例えば、日本板硝子（株）製の粒状の「アドセラ（商品名）」、あるいはスラリー状又は粉末状の「アドセラ（商品名）」を所定の粒径（例えば０．５ｍｍ以上）に成形したものなどの重金属吸着剤を挙げることができる。 The adsorbent 15 is not particularly limited as long as it can adsorb F − , HF, and CaF 2. For example, granular “Adsera (trade name)” manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd., or slurry Alternatively, heavy metal adsorbents such as powdered “Adcera (trade name)” molded into a predetermined particle size (for example, 0.5 mm or more) can be used.

また、吸着管１６−１〜１６−３は並列に３つ設けられ、ろ過管１４−１〜１４−３と各々の吸着管１６−１〜１６−３との間に設けた調節弁Ｖ２１〜Ｖ２３により吸着管１６−１〜１６−３への排水１１Ｃの流量を調整することができる。このため、排水１１Ｃ中に残留するＣａＦ2を連続して回収しつつ、吸着管１６−１〜１６−３の何れかを交換することができる。 Further, three adsorption tubes 16-1 to 16-3 are provided in parallel, and control valves V21 to V21 provided between the filtration tubes 14-1 to 14-3 and the respective adsorption tubes 16-1 to 16-3. The flow rate of the drainage 11C to the adsorption tubes 16-1 to 16-3 can be adjusted by V23. For this reason, any of the adsorption tubes 16-1 to 16-3 can be replaced while continuously collecting CaF 2 remaining in the waste water 11C.

吸着管１６−１〜１６−３から排出された排水１１Ｄは、排水１１Ｄ中のＦ濃度を基準値以下としてポンプ２９により排出され、外部に放流される。これにより、排水１１Ｄ中に含まれるＦ濃度を１ｐｐｍ以下と基準値以下に抑えて、排水基準を確実に満たした状態で排出することができる。   The drainage 11D discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 is discharged by the pump 29 with the F concentration in the drainage 11D being equal to or lower than the reference value, and discharged to the outside. Thereby, it can discharge | emit in the state which suppressed the F density | concentration contained in the waste_water | drain 11D to 1 ppm or less and below a reference value, and satisfy | filled the waste_water | drain standard reliably.

また、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄは中性付近であるため、放流に際してあらためて中和処理をする必要がないが、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄ中にｐＨ調整剤３０を供給し、排水１１ＤのｐＨを調整するようにしてもよい。吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄ中にｐＨ調整剤３０を供給することで、排水１１Ｄの状態、排水基準などをより確実に満たした状態で排出することができる。   Moreover, since the waste water 11D discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 is near neutral, it is not necessary to perform neutralization again at the time of discharge, but is discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3. The pH adjusting agent 30 may be supplied into the waste water 11D to adjust the pH of the waste water 11D. By supplying the pH adjusting agent 30 into the waste water 11D discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3, it is possible to discharge the waste water 11D in a state where the state of the waste water 11D, the drainage standard, and the like are more reliably satisfied.

本実施の形態に係る排水処理装置１０を用いることにより、反応管１３に送給される排水１１Ａ中のＦ濃度が２００ｐｐｍ以上６０００ｐｐｍ以下のとき、ろ過管１４−１〜１４−３から排出されるＣａＦ2を含む排水１１Ｃ中のＦ濃度が１０ｐｐｍ以下であり、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄ中のＦ濃度を１ｐｐｍ以下とすることができる。 By using the waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment, when the F concentration in the waste water 11A fed to the reaction tube 13 is 200 ppm or more and 6000 ppm or less, it is discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3. The F concentration in the waste water 11C containing CaF 2 is 10 ppm or less, and the F concentration in the waste water 11D discharged from the adsorption tubes 16-1 to 16-3 can be 1 ppm or less.

このように、本実施の形態に係る排水処理装置１０によれば、排水１１Ａ中のＨＦを反応管１３の閉鎖空間でＣａＦ2とし、ＣａＦ2が生成された直後にろ過管１４−１〜１４−３でろ過しているため、ＣＯ2に起因してＣａＦ2が再溶解してＦ-が溶出するのを防止し、排水１１Ａ中のＨＦを更に効率良く処理することができる。このため、吸着管１６−１〜１６−３から最終的に排出される排水１１ＤのＦ濃度を更に低くすることができ、１ｐｐｍ以下とすることができるため、排水基準を確実に満たした状態で排出することができる。 Thus, according to the waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment, the HF in the waste water 11A is changed to CaF 2 in the closed space of the reaction tube 13, and the filtration tubes 14-1 to 14-14 immediately after CaF 2 is generated. Since it is filtered at -3, it is possible to prevent CaF 2 from redissolving due to CO 2 and to elute F − , and to treat HF in the waste water 11A more efficiently. For this reason, since the F density | concentration of the waste_water | drain 11D finally discharged | emitted from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 can be made still lower and can be 1 ppm or less, in the state which satisfy | filled the waste_water | drain standard reliably. Can be discharged.

また、図６に示すような従来の排水処理装置１００では、ＣａＦ2反応槽１０４、凝集槽１０６、沈殿槽１０９などの処理槽を各々設け、ＣａＦ2反応槽１０４、凝集槽１０６、沈殿槽１０９に排水１０１Ａ〜１０１Ｃを各々貯留して処理するため、従来の排水処理装置１００は大きな設置場所が必要であり、処理に長時間を要する。本実施の形態に係る排水処理装置１０は、ＣａＦ2の生成、ろ過、Ｆ-、ＨＦ、ＣａＦ2の吸着を全て各々配管内で行なうことができ、排水１１Ａを反応管１３に順次送給し、ＣａＦ2の生成、ろ過、Ｆ-、ＨＦ、ＣａＦ2の吸着用の配管内を順次通過させるだけで行なうことができる。このため、本実施の形態に係る排水処理装置１０によれば、従来の排水処理装置１００に比べ排水に含まれるＨＦの処理用の設備の設置場所を削減することができ、装置の小型化を図ることができると共に、排水１１Ａ中のＨＦの処理を短時間で行なうことができる。
また、本実施の形態に係る排水処理装置１０は、図６に示すような従来の排水処理装置１００のように、凝集沈殿剤１０５を添加する必要がないため、凝集沈殿剤１０５を添加することで生じる産業廃棄物の発生を削減することができる。 Further, in the conventional waste water treatment apparatus 100 as shown in FIG. 6, treatment tanks such as a CaF 2 reaction tank 104, a coagulation tank 106, and a precipitation tank 109 are provided, respectively, and the CaF 2 reaction tank 104, the coagulation tank 106, and the precipitation tank 109 are provided. Therefore, the conventional wastewater treatment apparatus 100 requires a large installation place and takes a long time for the treatment. Wastewater treatment apparatus 10 according to the present embodiment, generation of CaF 2, filtered, F -, HF, can be performed in all the adsorption of CaF 2 each pipe, sequentially feeding feeds wastewater 11A into the reaction tube 13 , CaF 2 production, filtration, F − , HF, and CaF 2 adsorption can be performed by simply passing through the pipe. For this reason, according to the wastewater treatment apparatus 10 according to the present embodiment, it is possible to reduce the installation location of facilities for treatment of HF contained in wastewater compared to the conventional wastewater treatment apparatus 100, and to reduce the size of the apparatus. In addition, the HF in the waste water 11A can be processed in a short time.
Further, unlike the conventional waste water treatment apparatus 100 as shown in FIG. 6, the waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment does not require the addition of the coagulation precipitating agent 105. Can reduce the generation of industrial waste.

更に、本実施の形態に係る排水処理装置１０は、ＣａＦ2のろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３を各々並列に複数設置しているため、ＣａＦ2のろ過、Ｆ-、ＨＦ、ＣａＦ2の吸着を連続して行ないつつ、ろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３のメンテナンスや、ろ過材や吸着剤の交換を行なうことができる。 Furthermore, since the wastewater treatment apparatus 10 according to the present embodiment has a plurality of CaF 2 filtration tubes 14-1 to 14-3 and adsorption tubes 16-1 to 16-3 installed in parallel, the CaF 2 While performing filtration, adsorption of F − , HF, and CaF 2 continuously, maintenance of the filtration tubes 14-1 to 14-3 and adsorption tubes 16-1 to 16-3 and replacement of the filter medium and adsorbent are performed. be able to.

また、本実施の形態に係る排水処理装置１０においては、ろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３を各々３つ並列に配置しているが、これに限定されるものではなく、ろ過管、吸着管の何れか一方又は両方を１つだけ設けるようにしてもよいし、ろ過管、吸着管の何れか一方又は両方を２つ又は４つ以上を並列に設けるようにしてもよい。   Moreover, in the waste water treatment apparatus 10 which concerns on this Embodiment, although the filtration pipes 14-1 to 14-3 and the adsorption pipes 16-1 to 16-3 are each arrange | positioned in parallel, it is limited to this. Not only one, but either one or both of the filtration tube and the adsorption tube may be provided, or either one or both of the filtration tube and the adsorption tube are provided in parallel or two or more. You may do it.

また、本実施の形態に係る排水処理装置１０においては、ろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３の両方を設けるようにしているが、これに限定されるものではなく、ろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３の何れか一方のみを設けるようにしてもよい。   Moreover, in the waste water treatment apparatus 10 which concerns on this Embodiment, although both the filtration pipes 14-1 to 14-3 and the adsorption pipes 16-1 to 16-3 are provided, it is limited to this. Instead, only one of the filtration tubes 14-1 to 14-3 and the adsorption tubes 16-1 to 16-3 may be provided.

また、本実施の形態に係る排水処理装置１０においては、反応管１３、ろ過管１４−１〜１４−３、吸着管１６−１〜１６−３を管状構造としているが、これに限定されるものではなく、何れも断面形状を排水供給管より所定形状大きくした容器としてもよい。   Moreover, in the waste water treatment apparatus 10 which concerns on this Embodiment, although the reaction tube 13, the filtration tubes 14-1 to 14-3, and the adsorption tubes 16-1 to 16-3 are made into the tubular structure, it is limited to this. Instead, any container may have a cross-sectional shape larger than the drainage supply pipe by a predetermined shape.

また、本実施の形態に係る排水処理装置１０においては、太陽電池工場、液晶パネル工場から排出されるＨＦを含有する排水を対象として説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、半導体工場等のようにＨＦを含有する排水を含む施設、Ｆ濃度が比較的低い家庭用排水等にも用いることができる。   Moreover, in the waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment, the waste water containing HF discharged from the solar cell factory and the liquid crystal panel factory has been described, but the present invention is not limited to this, It can also be used for facilities including wastewater containing HF, such as semiconductor factories, and household wastewater with a relatively low F concentration.

また、本実施の形態に係る排水処理装置１０は、ＨＦを含有する排水の処理用に用いるのに限定されるものではなく、ＨＦ以外のフッ素化合物を含有する排水の処理についても用いることができる。   Moreover, the waste water treatment apparatus 10 according to the present embodiment is not limited to use for treatment of waste water containing HF, and can also be used for treatment of waste water containing a fluorine compound other than HF. .

［第２の実施の形態］
本発明による第２の実施の形態に係る排水処理装置について、図面を参照して説明する。
本実施の形態に係る排水処理装置は、図１に示す本発明の第１の実施の形態に係る排水処理装置１０の構成と同様であるため、本実施例においては、反応管の一部の構成を示す図のみを用いて説明する。
図４は、本発明の第２の実施の形態に係る排水処理装置の構成の一部のみを簡略に示す図である。なお、第１の実施の形態と同様の部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図４に示すように、本実施の形態に係る排水処理装置は、図１に示す第１の実施の形態に係る排水処理装置１０の反応管１３が、その内部に邪魔板２５の噴霧孔２５ａを介してＣａ化合物１２を噴霧するようにしたものである。 [Second Embodiment]
A wastewater treatment apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
Since the waste water treatment apparatus according to the present embodiment is the same as the configuration of the waste water treatment apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 1, in this example, a part of the reaction tube Description will be made using only the diagram showing the configuration.
FIG. 4 is a diagram schematically showing only a part of the configuration of the wastewater treatment apparatus according to the second embodiment of the present invention. In addition, about the member similar to 1st Embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 4, the waste water treatment apparatus according to the present embodiment has a reaction tube 13 of the waste water treatment apparatus 10 according to the first embodiment shown in FIG. The Ca compound 12 is sprayed through

Ｃａ化合物供給管２３には送給ポンプ３１が設けられ、Ｃａ化合物供給部２４から供給されるＣａ化合物１２を送給ポンプ３１により加圧して反応管１３を介して邪魔板２５に送給される。送給ポンプ３１でＣａ化合物１２を加圧して反応管１３の噴霧孔２５ａに送給することで、Ｃａ化合物１２を噴霧孔２５ａから反応管１３内に噴出させることができる。   The Ca compound supply pipe 23 is provided with a feed pump 31, and the Ca compound 12 supplied from the Ca compound supply unit 24 is pressurized by the feed pump 31 and fed to the baffle plate 25 through the reaction tube 13. . By pressurizing the Ca compound 12 with the feed pump 31 and feeding it to the spray hole 25 a of the reaction tube 13, the Ca compound 12 can be ejected into the reaction tube 13 from the spray hole 25 a.

Ｃａ化合物１２を邪魔板２５の噴霧孔２５ａから噴霧することで、排水１１ＡにＣａ化合物１２を効率よく供給することができるため、排水１１Ａ中のＨＦとＣａ化合物１２との反応を促進し、ＣａＦ2の生成効率を向上させることができる。 By spraying the Ca compound 12 from the spray hole 25a of the baffle plate 25, the Ca compound 12 can be efficiently supplied to the waste water 11A. Therefore, the reaction between HF in the waste water 11A and the Ca compound 12 is promoted. The generation efficiency of 2 can be improved.

また、反応管１３には、その内部に邪魔板２５の噴霧孔２５ａを介してクリーニング剤３２を供給するクリーニング剤供給管３３が連結されている。クリーニング剤供給部３４よりクリーニング剤３２を送給ポンプ３５により加圧して反応管１３を介して邪魔板２５に送給することで、邪魔板２５の噴霧孔２５ａから反応管１３内にクリーニング剤３２を噴霧することができる。これにより、フッ素に起因して生じる反応管１３の内壁、邪魔板２５の汚れを除去し、反応管１３の内壁、邪魔板２５を洗浄することができる。   The reaction tube 13 is connected to a cleaning agent supply tube 33 for supplying a cleaning agent 32 through a spray hole 25 a of the baffle plate 25. The cleaning agent 32 is pressurized by the supply pump 35 from the cleaning agent supply unit 34 and is supplied to the baffle plate 25 through the reaction tube 13, whereby the cleaning agent 32 is introduced into the reaction tube 13 from the spray holes 25 a of the baffle plate 25. Can be sprayed. Thereby, the dirt of the inner wall of the reaction tube 13 and the baffle plate 25 caused by fluorine can be removed, and the inner wall of the reaction tube 13 and the baffle plate 25 can be washed.

また、クリーニング剤３２としては、反応管１３内を洗浄することができるものであればよく、例えば、塩酸（ＨＣｌ）などが挙げられる。   The cleaning agent 32 may be any cleaning agent that can clean the inside of the reaction tube 13, and examples thereof include hydrochloric acid (HCl).

また、クリーニング剤３２は、Ｃａ化合物１２と同時に噴霧孔２５ａから反応管１３内に噴霧してもよいし、クリーニング剤３２のみを噴霧孔２５ａから反応管１３内に噴霧してもよい。   The cleaning agent 32 may be sprayed into the reaction tube 13 from the spray hole 25a simultaneously with the Ca compound 12, or only the cleaning agent 32 may be sprayed into the reaction tube 13 from the spray hole 25a.

［第３の実施の形態］
本発明による第３の実施の形態に係る排水処理装置について、図面を参照して説明する。
図５は、本発明の第３の実施の形態に係る排水処理装置の構成を簡略に示す図である。なお、第１、２の実施の形態と同様の部材については、同一符号を付してその説明は省略する。
図５に示すように、本実施の形態に係る排水処理装置４０は、図１に示す第１の実施の形態に係る排水処理装置１０のろ過管１４−１〜１４−３の後流側に設けられ、排水１１Ｃ中のＦ濃度を検出する第１のフッ素（Ｆ）濃度測定部４１−１と、吸着管１６−１〜１６−３の後流側に設けられ、排水１１Ｄ中のＦ濃度を検出する第２のフッ素（Ｆ）濃度測定部４１−２とを有するものである。第１のＦ濃度測定部４１−１、第２のＦ濃度測定部４１−２は、排水供給管１９、２０内にセンサを投入し、第１のＦ濃度測定部４１−１は、ろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃ中のＦ濃度を検出し、第２のＦ濃度測定部４１−２は、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄ中のＦ濃度を検出するようにしている。 [Third Embodiment]
A wastewater treatment apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 5 is a diagram simply showing the configuration of the waste water treatment apparatus according to the third embodiment of the present invention. In addition, about the member similar to 1st, 2 embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIG. 5, the waste water treatment apparatus 40 according to the present embodiment is disposed on the downstream side of the filtration tubes 14-1 to 14-3 of the waste water treatment apparatus 10 according to the first embodiment shown in FIG. 1. A first fluorine (F) concentration measuring unit 41-1 for detecting the F concentration in the waste water 11C and the downstream side of the adsorption tubes 16-1 to 16-3, and the F concentration in the waste water 11D And a second fluorine (F) concentration measuring unit 41-2 for detecting the above. The first F concentration measuring unit 41-1 and the second F concentration measuring unit 41-2 are equipped with sensors in the drainage supply pipes 19 and 20, and the first F concentration measuring unit 41-1 is a filtration tube. The F concentration in the wastewater 11C discharged from 14-1 to 14-3 is detected, and the second F concentration measuring unit 41-2 is included in the wastewater 11D discharged from the adsorption tubes 16-1 to 16-3. The F concentration is detected.

第１のＦ濃度測定部４１−１、第２のＦ濃度測定部４１−２はＦ濃度検出用の検知センサを排水供給管１９、２０内にセンサを投入し、排水１１Ｃ、１１ＤのＦ濃度を測定するようしているが、これに限定されるものではなく、排水１１Ｃ、１１Ｄ中のＦ濃度を検出することができる方法であれば、他の方法を用いるようにしてもよい。例えば、イオンクロマトグラフ法（ＩＣ法）などを用いてもよい。   The first F concentration measuring unit 41-1 and the second F concentration measuring unit 41-2 are provided with detection sensors for detecting the F concentration in the drainage supply pipes 19 and 20, and the F concentrations of the drainage 11C and 11D. However, the present invention is not limited to this, and any other method may be used as long as it can detect the F concentration in the wastewaters 11C and 11D. For example, ion chromatography (IC method) or the like may be used.

また、本実施の形態に係る排水処理装置４０は、ろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃを反応管１３の上流側に還流させる排水還流手段として第１の排水還流管４２−１と、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄを反応管１３の上流側に還流させる排水還流手段として第２の排水還流管４２−２とを有している。よって、ろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃ、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄの各々のＦ濃度が所定値を越えた場合には、反応管１３の上流側に還流させ、反応管１３に送給することで、排水１１Ｃ、１１Ｄ中に含まれるＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を処理することができる。 In addition, the waste water treatment apparatus 40 according to the present embodiment is a first waste water recirculation pipe 42 as a waste water recirculation means that recirculates the waste water 11C discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3 to the upstream side of the reaction tube 13. -1 and a second drainage reflux pipe 42-2 as drainage reflux means for refluxing the drainage 11D discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 to the upstream side of the reaction tube 13. Therefore, when the F concentration of the waste water 11C discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3 and the waste water 11D discharged from the adsorption tubes 16-1 to 16-3 exceeds a predetermined value, the reaction tube By refluxing to the upstream side of 13 and feeding to the reaction tube 13, F − , HF, and CaF 2 contained in the waste water 11 C and 11 D can be treated.

排水１１ＣのＦ濃度の所定値は排水１１Ａの性状にもよるが、例えば２００ｐｐｍ程度であり、吸着管１６−１〜１６−３のＦ濃度の所定値は、例えば１ｐｐｍ程度である。第１のＦ濃度測定部４１−１において、ろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃ中のＦイオン濃度が２００ｐｐｍ程度を超えた場合には、第１の排水還流管４２−１よりろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃを反応管１３の上流側に還流させ、再度、反応管１３で排水１１Ａ中に含まれるＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を処理する。 Although the predetermined value of the F concentration of the waste water 11C depends on the properties of the waste water 11A, it is about 200 ppm, for example, and the predetermined value of the F concentration of the adsorption tubes 16-1 to 16-3 is about 1 ppm, for example. In the first F concentration measuring unit 41-1, when the F ion concentration in the drainage 11C discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3 exceeds about 200 ppm, the first drainage reflux tube 42- 1, the waste water 11 </ b> C discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3 is recirculated to the upstream side of the reaction tube 13, and the F − , HF, and CaF 2 contained in the waste water 11 </ b> A are treated again in the reaction tube 13. .

また、第２のＦ濃度測定部４１−２において、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄ中のＦイオン濃度が１ｐｐｍ程度を超えた場合には、第２の排水還流管４２−２より吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄを反応管１３の上流側に還流させ、再度、反応管１３で排水１１Ａ中に含まれるＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を処理する。 In the second F concentration measuring unit 41-2, when the F ion concentration in the waste water 11D discharged from the adsorption tubes 16-1 to 16-3 exceeds about 1 ppm, the second waste water recirculation pipe The waste water 11D discharged from the adsorption tubes 16-1 to 16-3 from 42-2 is refluxed to the upstream side of the reaction tube 13, and again, F − , HF, and CaF 2 contained in the waste water 11A are returned to the reaction tube 13 by the reaction tube 13. To process.

また、本実施の形態に係る排水処理装置４０においては、ろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃ、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１Ｄを第１の排水還流管４２−１、第２の排水還流管４２−２を介して反応管１３の上流側に還流させるようにしているが、これに限定されるものではなく、生成されたＣａＦ2を再度除去する程度の場合には、反応管１３とろ過管１４−１〜１４−３との間、或いはろ過管１４−１〜１４−３と吸着管１６−１〜１６−３との間に還流させるようにしてもよい。 Moreover, in the waste water treatment apparatus 40 which concerns on this Embodiment, the waste water 11C discharged | emitted from the filtration pipes 14-1 to 14-3 and the waste water 11D discharged | emitted from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 are 1st. drainage reflux tube 42-1, but so as to be circulated to the upstream side of the reaction tube 13 through the second drainage reflux tube 42-2 is not limited thereto, the CaF 2 again produced In the case of removal, it is refluxed between the reaction tube 13 and the filtration tubes 14-1 to 14-3, or between the filtration tubes 14-1 to 14-3 and the adsorption tubes 16-1 to 16-3. You may make it make it.

よって、本実施の形態に係る排水処理装置４０によれば、第１のＦ濃度測定部４１−１、第２のＦ濃度測定部４１−２で、排水１１Ｃ、１１ＤのＦ濃度を検知し、排水１１Ｃ、１１ＤのＦ濃度に応じて第１の排水還流管４２−１、第２の排水還流管４２−２によりろ過管１４−１〜１４−３から排出される排水１１Ｃ、吸着管１６−１〜１６−３から排出される排水１１ＤのＦ濃度に応じて反応管１３で再度排水１１Ｃ、１１Ｄ中に含まれていたＦ-、ＨＦ、ＣａＦ2を処理することができる。従って、吸着管１６−１〜１６−３から最終的に排出される排水１１Ｄ中におけるＦ濃度は１ｐｐｍ以下とすることができるため、排水基準を確実に満たした状態で排出することができる。 Therefore, according to the wastewater treatment apparatus 40 according to the present embodiment, the first F concentration measurement unit 41-1 and the second F concentration measurement unit 41-2 detect the F concentration of the wastewaters 11C and 11D, Drainage 11C discharged from the filtration tubes 14-1 to 14-3 by the first drainage reflux pipe 42-1 and the second drainage reflux pipe 42-2 according to the F concentration of the drainage 11C, 11D, the adsorption pipe 16- F − , HF, and CaF 2 contained in the waste waters 11C and 11D can be treated again in the reaction tube 13 according to the F concentration of the waste water 11D discharged from 1 to 16-3. Therefore, since the F concentration in the waste water 11D finally discharged from the adsorption pipes 16-1 to 16-3 can be 1 ppm or less, it can be discharged in a state where the drainage standard is surely satisfied.

以上のように、本発明に係る排水処理装置は、排水中のＨＦを効率的に除去することができるため、太陽電池工場、液晶パネル工場など各種工場から排出されるＨＦを含有する排水を処理する排水処理装置に用いるのに適している。   As described above, since the wastewater treatment apparatus according to the present invention can efficiently remove HF in wastewater, it treats wastewater containing HF discharged from various factories such as a solar cell factory and a liquid crystal panel factory. Suitable for use in wastewater treatment equipment.

１０、４０ 排水処理装置
１１Ａ〜１１Ｄ 排水
１２ カルシウム化合物
１３ 反応管（反応部）
１４−１〜１４−３ ろ過管（ろ過部）
１５ 吸着材
１６−１〜１６−３ 吸着管（吸着部）
１７、１８、１９、２０ 排水供給管
２２、２９ ポンプ
２３ Ｃａ化合物供給管
２４ Ｃａ化合物供給部
２５ 邪魔板
２６ａ 噴霧孔
２６−１〜２６−３、２８−１〜２８−３ 分岐管
２７ フィルタ
３０ ｐＨ調整剤
３１、３５ 送給ポンプ
３２ クリーニング剤
３３ クリーニング剤供給管
３４ クリーニング剤供給部
４１−１ 第１のフッ素濃度測定部
４１−２ 第２のフッ素濃度測定部
４２−１ 第１の排水還流管
４２−２ 第２の排水還流管
Ｖ１１〜Ｖ１３、Ｖ２１〜Ｖ２３ 調節弁 10, 40 Wastewater treatment equipment 11A to 11D Wastewater 12 Calcium compound 13 Reaction tube (reaction part)
14-1 to 14-3 Filtration tube (filtration unit)
15 Adsorbent 16-1 to 16-3 Adsorption tube (adsorption part)
17, 18, 19, 20 Drain supply pipe 22, 29 Pump 23 Ca compound supply pipe 24 Ca compound supply section 25 Baffle plate 26a Spray hole 26-1 to 26-3, 28-1 to 28-3 Branch pipe 27 Filter 30 pH adjusting agent 31, 35 Feed pump 32 Cleaning agent 33 Cleaning agent supply pipe 34 Cleaning agent supply unit 41-1 First fluorine concentration measuring unit 41-2 Second fluorine concentration measuring unit 42-1 First drainage recirculation Pipe 42-2 Second drainage recirculation pipe V11-V13, V21-V23 Control valve

Claims (13)

フッ化水素を含有する排水にカルシウム化合物を添加し、閉鎖空間でフッ化生成物を生成させる反応管と、
第１の排水供給管を介して前記反応管に連結され、前記フッ化生成物が大気と反応してフッ素が溶出する前に前記排水中から当該フッ化生成物を除去するろ過管と、第２の排水供給管を介して前記ろ過管に連結され、前記排水中のフッ素イオン、フッ化水素、フッ化生成物を吸着する吸着材を備えた吸着管と、を有することを特徴とする排水処理装置。 A reaction tube for adding a calcium compound to wastewater containing hydrogen fluoride to produce a fluorinated product in a closed space;
A filtration pipe connected to the reaction pipe via a first drainage supply pipe, for removing the fluoride product from the drainage before the fluoride product reacts with the atmosphere and fluorine is eluted ; And an adsorption pipe provided with an adsorbent adsorbing fluorine ions, hydrogen fluoride, and a fluorinated product in the waste water , connected to the filtration pipe through the waste water supply pipe. Processing equipment. 請求項１において、
前記ろ過管、前記吸着管の何れか一方又は両方を少なくとも２つ有し、前記ろ過管同士及び前記吸着管同士が、各々並列に配置されることを特徴とする排水処理装置。 In claim 1,
It said filtration tube, the has either one or both of the suction tube at least two, the filtering tube and between the suction pipe to each other, wastewater treatment apparatus, wherein each is arranged in parallel. 請求項１又は２において、
前記反応管が、その内部に少なくとも１つ以上の邪魔板を有することを特徴とする排水処理装置。 In claim 1 or 2,
The waste water treatment apparatus, wherein the reaction tube has at least one baffle plate therein. 請求項３において、
前記邪魔板が、前記カルシウム化合物、クリーニング剤の何れか一方又は両方を噴霧する噴霧孔を有することを特徴とする排水処理装置。 In claim 3,
The waste water treatment apparatus, wherein the baffle plate has a spray hole for spraying one or both of the calcium compound and the cleaning agent. 請求項１乃至４の何れか一つにおいて、
前記ろ過管、前記吸着管の何れか一方又は両方の後流側に設けられ、排水中のフッ素濃度を検出するフッ素濃度測定部を有することを特徴とする排水処理装置。 In any one of Claims 1 thru | or 4,
A wastewater treatment apparatus, comprising a fluorine concentration measurement unit that is provided on the downstream side of one or both of the filtration tube and the adsorption tube and detects the fluorine concentration in the wastewater. 請求項５において、
前記ろ過管から排出される排水、前記吸着管から排出される排水の何れか一方又は両方を前記反応管の上流側に還流させる排水還流手段を有することを特徴とする排水処理装置。 In claim 5,
A waste water treatment apparatus comprising waste water recirculation means for recirculating one or both of waste water discharged from the filtration tube and waste water discharged from the adsorption tube to the upstream side of the reaction tube . 請求項１乃至６の何れか一つにおいて、
前記排水が、太陽電池工場、液晶パネル工場から排出される排水であることを特徴とする排水処理装置。 In any one of Claims 1 thru | or 6,
A wastewater treatment apparatus, wherein the wastewater is drainage discharged from a solar cell factory or a liquid crystal panel factory. フッ化水素を含有する排水を送給する反応管内にカルシウム化合物を添加し、閉鎖空間でフッ化生成物を生成する反応工程と、
第１の排水供給管を介して前記反応管に連結されたろ過管で、前記フッ化生成物が大気と反応してフッ素が溶出する前に当該フッ化生成物を除去するろ過工程と、第２の排水供給管を介して前記ろ過管に連結されると共に、吸着材を備えた吸着管で、前記ろ過工程後の排水中のフッ素イオン、フッ化水素、フッ化生成物を吸着・除去する吸着工程と、を含むことを特徴とする排水処理方法。 Adding calcium compound in the reaction tube for feeding the wastewater containing hydrogen fluoride, a reaction to produce a fluorinated product in a closed space,
By filtration pipe connected to the reaction tube through the first drainage supply pipe, a filtration step before notated Tsu product removes the fluoride product before fluorine reacts with the atmosphere are eluted , while being connected to the filtration tube through the second drainage supply pipe, an adsorption tube with an adsorbent, fluorine ions in the waste water after the filtration step, hydrogen fluoride, adsorption of fluoride product and wastewater treatment how which comprises adsorption step, the removing. 請求項８において、
前記ろ過工程、前記吸着工程の何れか一方又は両方を少なくとも２つ有し、前記ろ過工程同士及び前記吸着工程同士が、各々並列で処理されることを特徴とする排水処理方法。 In claim 8,
There is at least two of either or both of the filtration step and the adsorption step, and the filtration steps and the adsorption steps are each processed in parallel. 請求項８又は９において、
前記反応工程において、前記反応管内に設けられた邪魔板の噴霧孔を介して前記カルシウム化合物、クリーニング剤の何れか一方又は両方を噴霧することを特徴とする排水処理方法。 In claim 8 or 9,
In the reaction step, waste water treatment method characterized by spraying one or both of the calcium compound, the cleaning agent through the baffle spray hole of which is provided in said reaction tube. 請求項８乃至１０の何れか一つにおいて、
前記ろ過工程、前記吸着工程の何れか一方又は両方の後流側で排水中のフッ素濃度を検出するフッ素濃度測定工程を有することを特徴とする排水処理方法。 In any one of claims 8 to 10,
A wastewater treatment method comprising a fluorine concentration measurement step of detecting a fluorine concentration in wastewater on the downstream side of one or both of the filtration step and the adsorption step. 請求項１１において、
前記フッ素濃度測定工程で検出される排水中のフッ素濃度が所定値を超えた場合、前記排水を前記反応管の上流側に還流させることを特徴とする排水処理方法。 In claim 11,
A wastewater treatment method, wherein when the fluorine concentration in the wastewater detected in the fluorine concentration measurement step exceeds a predetermined value, the wastewater is returned to the upstream side of the reaction tube. 請求項８乃至１２の何れか一つにおいて、
前記排水が、太陽電池工場、液晶パネル工場から排出される排水であることを特徴とする排水処理方法。 In any one of Claims 8 thru | or 12,
A wastewater treatment method, wherein the wastewater is drainage discharged from a solar cell factory or a liquid crystal panel factory.
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