JP4682559B2 - Dielectric ceramic composition and electronic component - Google Patents
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Description
本発明は、耐還元性を有する誘電体磁器組成物と、該誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサなどの電子部品とに関する。 The present invention relates to a dielectric ceramic composition having resistance to reduction and an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition.
電子部品としての積層セラミックコンデンサには、比誘電率が高い、絶縁抵抗IRの寿命が長い、DCバイアス特性が良好(比誘電率の経時変化が少ない)の他に、温度特性が良好であることも要求され、特に、用途によっては、厳しい条件下で温度特性が平坦であることが求められる。近年、自動車のエンジンルーム内に搭載するエンジン電子制御ユニット(ECU)、クランク角センサ、アンチロックブレーキシステム(ABS)モジュールなどの各種電子装置に積層セラミックコンデンサが使用されるようになってきている。これらの電子装置は、エンジン制御、駆動制御及びブレーキ制御を安定して行うためのものなので、回路の温度安定性が良好であることが要求される。 Multilayer ceramic capacitors as electronic components have high dielectric constant, long life of insulation resistance IR, good DC bias characteristics (low relative dielectric constant change over time), and good temperature characteristics In particular, depending on the application, the temperature characteristics are required to be flat under severe conditions. In recent years, multilayer ceramic capacitors have been used in various electronic devices such as an engine electronic control unit (ECU), a crank angle sensor, and an antilock brake system (ABS) module mounted in an engine room of an automobile. Since these electronic devices are for performing engine control, drive control, and brake control stably, it is required that the circuit has good temperature stability.
これらの電子装置が使用される環境は、寒冷地の冬季には−20℃程度以下まで温度が下がり、また、エンジン始動後には、夏季では+130℃程度以上まで温度が上がることが予想される。最近では電子装置とその制御対象機器とをつなぐワイヤハーネスを削減する傾向にあり、電子装置が車外に設置されることもあるので、電子装置にとっての環境はますます厳しくなっている。したがって、これらの電子装置に用いられるコンデンサは、広い温度範囲において温度特性が平坦である必要がある。具体的には、容量温度特性が、EIA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC/C=±15%以内)を満足するだけでは足りず、EIA規格のX8R特性(−55〜150℃、ΔC/C=±15%以内)を満足する誘電体磁器組成物が必要とされる。 The environment in which these electronic devices are used is expected to decrease to about −20 ° C. or lower in winter in cold regions, and to increase to about + 130 ° C. or higher in summer after engine startup. Recently, there is a tendency to reduce the number of wire harnesses that connect an electronic device and its control target equipment, and the electronic device is sometimes installed outside the vehicle, so the environment for the electronic device has become increasingly severe. Therefore, capacitors used in these electronic devices need to have flat temperature characteristics over a wide temperature range. Specifically, it is not sufficient for the capacity-temperature characteristic to satisfy the EIA standard X7R characteristic (−55 to 125 ° C., ΔC / C = within ± 15%), but the EIA standard X8R characteristic (−55 to 150 ° C.). , ΔC / C = within ± 15%) is required.
X8R特性を満足する誘電体磁器組成物として、いくつかの提案がある。 There are several proposals for dielectric ceramic compositions that satisfy the X8R characteristics.
特許文献1,2では、BaTiO3 を主成分とする誘電体磁器組成物においてX8R特性を満足させるために、BaTiO3 中のBaをBi,Pbなどで置換することにより、キュリー温度を高温側にシフトさせることが提案されている。また、BaTiO3 +CaZrO3 +ZnO+Nb2 O5 系の組成を選択することによりX8R特性を満足させることも提案されている(特許文献3〜7)。
In Patent Documents 1 and 2, in order to satisfy X8R characteristics in a dielectric ceramic composition containing BaTiO 3 as a main component, the Curie temperature is increased to a high temperature side by replacing Ba in BaTiO 3 with Bi, Pb or the like. It has been proposed to shift. It has also been proposed to satisfy X8R characteristics by selecting a BaTiO 3 + CaZrO 3 + ZnO + Nb 2 O 5 composition (
しかしながら、これらのいずれの組成系においても、蒸発飛散しやすいPb,Bi,Znを使用するため、空気中等の酸化性雰囲気での焼成が前提となる。このため、コンデンサの内部電極に安価なNi等の卑金属を使用することができず、Pd,Au,Ag等の高価な貴金属を使用しなければならないという問題がある。 However, in any of these composition systems, Pb, Bi, and Zn, which are likely to be evaporated and scattered, are used, and thus firing in an oxidizing atmosphere such as in air is a prerequisite. For this reason, there is a problem that an inexpensive base metal such as Ni cannot be used for the internal electrode of the capacitor, and an expensive noble metal such as Pd, Au, or Ag must be used.
これに対し、誘電率が高く、X8R特性を満足し、還元性雰囲気中での焼成を可能にすることを目的として、本出願人は、既に以下に示す誘電体磁器組成物を提案している(特許文献8)。この特許文献8に記載の誘電体磁器組成物は、主成分であるBaTiO3 と、MgO,CaO,BaO,SrO及びCr2 O3 から選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、(Ba,Ca)x SiO2+x (但し、x=0.8〜1.2)で表される第2副成分と、V2 O5 ,MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、R1の酸化物(但し、R1はSc,Er,Tm,Yb及びLuから選択される少なくとも1種)を含む第4副成分と少なくとも有し、主成分100モルに対する各副成分の比率が、第1副成分:0.1〜3モル、第2副成分:2〜10モル、第3副成分:0.01〜0.5モル、第4副成分:0.5〜7モル(但し、第4副成分のモル数は、R1単独での比率である)である。
On the other hand, the present applicant has already proposed the dielectric ceramic composition shown below for the purpose of having a high dielectric constant, satisfying X8R characteristics, and enabling firing in a reducing atmosphere. (Patent Document 8). The dielectric ceramic composition described in Patent Document 8 includes BaTiO 3 as a main component, a first subcomponent including at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO, and Cr 2 O 3 ; Ba, Ca) x SiO 2 + x ( where, first comprises a second subcomponent expressed by x = 0.8 to 1.2), at least one selected from V 2 O 5, MoO 3 and
また、本出願人は、既に以下に示す誘電体磁器組成物を提案している(特許文献9)。この特許文献9に記載の誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウムを含む主成分と、MgO,CaO,BaO,SrO及びCr2 O3 から選択される少なくとも1種を含む第1副成分と、酸化シリコンを主成分として含有する第2副成分と、V2 O5 ,MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種を含む第3副成分と、R1の酸化物(但し、R1はSc,Er,Tm,Yb及びLuから選択される少なくとも1種)を含む第4副成分と、CaZrO3 またはCaO+ZrO2 を含む第5副成分とを少なくとも有し、主成分100モルに対する各成分の比率が、第1副成分:0.1〜3モル、第2副成分:2〜10モル、第3副成分:0.01〜0.5モル、第4副成分:0.5〜7モル(但し、第4副成分のモル数は、R1単独での比率)、第5副成分:0<第5副成分≦5モルである。 Further, the present applicant has already proposed the following dielectric ceramic composition (Patent Document 9). The dielectric ceramic composition described in Patent Document 9 includes a main component including barium titanate, a first subcomponent including at least one selected from MgO, CaO, BaO, SrO, and Cr 2 O 3 ; A second subcomponent containing silicon oxide as a main component; a third subcomponent containing at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3; and an oxide of R1 (wherein R1 is Sc, A fourth subcomponent containing at least one selected from Er, Tm, Yb and Lu) and a fifth subcomponent containing CaZrO 3 or CaO + ZrO 2 , and the ratio of each component to 100 mol of the main component is , 1st subcomponent: 0.1-3 mol, 2nd subcomponent: 2-10 mol, 3rd subcomponent: 0.01-0.5 mol, 4th subcomponent: 0.5-7 mol (however, The number of moles of the fourth subcomponent is R1 alone Ratio), the fifth subcomponent: 0 <fifth subcomponent ≦ 5 mol.
上述した本出願人によるいずれの出願も、主成分100モルに対するMgOなどの第1副成分の比率は、0.1モル以上である。 In any of the above-mentioned applications by the present applicant, the ratio of the first subcomponent such as MgO to 100 mol of the main component is 0.1 mol or more.
本出願人による上記出願に係る誘電体磁器組成物によれば、確かに誘電率が高く、X8R特性を満足し、還元性雰囲気中での焼成は可能である。 According to the dielectric ceramic composition according to the above-mentioned application by the present applicant, the dielectric constant is certainly high, the X8R characteristic is satisfied, and firing in a reducing atmosphere is possible.
しかしながら、上記出願の誘電体磁器組成物では、誘電体層をさらに薄層化した場合に、容量温度特性がX8R特性を満足することが困難であること、及び絶縁抵抗の寿命が低下する傾向にあることが本発明者らにより明らかにされた。容量温度特性に関しては、特に高温側の容量変化率が増大する傾向にあり、これを改善することが望まれている。また、希土類酸化物のうちランタノイド系列元素を含むものは高価であり、同特性を得られる安価な置換元素の探索が進められてきた。さらに、回路の集積化・高密度化の傾向は、近年ますます強まり、小型で大容量のコンデンサの需要が増加していることを受け、内部の誘電体層をより一層薄層化することが求められている。 However, in the dielectric ceramic composition of the above application, when the dielectric layer is further thinned, it is difficult for the capacity-temperature characteristic to satisfy the X8R characteristic, and the life of the insulation resistance tends to decrease. It has been made clear by the inventors. Regarding the capacity-temperature characteristics, the capacity change rate on the high temperature side tends to increase, and it is desired to improve this. Further, among rare earth oxides, those containing lanthanoid series elements are expensive, and search for inexpensive substitution elements that can obtain the same characteristics has been advanced. In addition, the trend toward higher integration and higher density of circuits has become stronger in recent years, and in response to the increasing demand for small and large-capacitance capacitors, internal dielectric layers can be made even thinner. It has been demanded.
そこで本出願人は、これらの要求を満足させるために、既に以下に示す誘電体磁器組成物を提案している(特許文献10)。この特許文献10に記載の誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウムを含む主成分と、AEの酸化物(ただし、AEはMg、Ca、BaおよびSrから選択される少なくとも1種)を含む第1副成分と、Rの酸化物(ただし、RはY、Dy、HoおよびErから選択される少なくとも1種)を含む第2副成分とを有し、前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、第1副成分:0モル<第1副成分<0.1モル、第2副成分:1モル<第2副成分<7モルである。
特許文献10の技術では、X8R特性を満足できるものの、室温から高温部までのIR温度依存性が悪く、製品としての実際の使用が困難になることがあった。
Therefore, in order to satisfy these requirements, the present applicant has already proposed the dielectric ceramic composition shown below (Patent Document 10). The dielectric ceramic composition described in
Although the technique of
本発明の目的は、比誘電率が高く、絶縁抵抗の寿命を維持でき、容量温度特性がEIA規格のX8R特性(−55〜150℃、ΔC/C=±15%以内)を満足し、還元性雰囲気中での焼成が可能であるとともに、IR温度依存性が改善された誘電体磁器組成物を提供することである。また本発明は、このような誘電体磁器組成物を用い、小型・大容量化を実現でき、特に薄層小型化対応の積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することも目的とする。 The object of the present invention is that the dielectric constant is high, the life of the insulation resistance can be maintained, and the capacitance-temperature characteristic satisfies the X8R characteristic (−55 to 150 ° C., ΔC / C = ± 15% or less) of the EIA standard. It is intended to provide a dielectric ceramic composition that can be fired in a neutral atmosphere and has improved IR temperature dependency. Another object of the present invention is to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor that can be reduced in size and increased in capacity using such a dielectric porcelain composition, and is particularly suitable for thin layer size reduction.
上記目的を達成するために、本発明によれば、
チタン酸バリウムからなる主成分と、
AEの酸化物(但し、AEはMg、Ca、Ba及びSrから選択される少なくとも1種)からなる第1副成分と、
Rの酸化物(但し、RはY、Dy、Tm、Ho及びErから選択される少なくとも1種)からなる第2副成分と、
MxSiO3 (但し、Mは、Ba、Ca、Sr、Li、Bから選択される少なくとも1種であり、M=Baの場合にはx=1、M=Caの場合にはx=1、M=Srの場合にはx=1、M=Liの場合にはx=2、M=Bの場合にはx=2/3である)からなる第3副成分と、
MnOからなる第4副成分と、
V2 O5 、MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種からなる第5副成分と、
CaZrO 3 からなる第6副成分と、
Aの酸化物(但し、Aは、Al、Cr、Ga、Geの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種)からなる第7副成分とを、有する誘電体磁器組成物であって、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0〜0.1モル(但し、0モルと0.1モルを除く)、
第2副成分:1〜7モル(但し、1モルと7モルを除く)、
第3副成分:2〜10モル、
第4副成分:0〜0.5モル(但し、0モルを除く)、
第5副成分:0.01〜0.5モル、
第6副成分:0〜5モル(但し、0モルと5モルを除く)、
第7副成分:1〜3.5モル(但し、1モルと3.5モルを除く。A酸化物に換算した値)であり、
第1副成分のモル数に対する第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)が10〜500(但し、10と500を除く)である誘電体磁器組成物が提供される。
In order to achieve the above object, according to the present invention,
A main component consisting of barium titanate,
A first subcomponent comprising an oxide of AE (where AE is at least one selected from Mg, Ca, Ba and Sr);
A second subcomponent comprising an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tm, Ho and Er);
MxSiO 3 (where M is at least one selected from Ba, Ca, Sr, Li, and B. When M = Ba, x = 1, when M = Ca, x = 1, M A third subcomponent consisting of x = 1 for S =, x = 2 for M = Li, and x = 2/3 for M = B;
A fourth subcomponent comprising MnO;
A fifth subcomponent consisting of at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ;
A sixth subcomponent consisting of CaZrO 3 ;
A dielectric ceramic composition comprising a seventh subcomponent comprising an oxide of A (where A is at least one selected from the group of cation elements of Al, Cr, Ga, Ge ),
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 to 0.1 mol (excluding 0 mol and 0.1 mol),
Second subcomponent: 1 to 7 mol (excluding 1 mol and 7 mol),
Third subcomponent: 2 to 10 mol,
Fourth subcomponent: 0 to 0.5 mol (excluding 0 mol),
5th subcomponent: 0.01-0.5 mol,
Sixth subcomponent: 0 to 5 mol (excluding 0 mol and 5 mol),
Seventh subcomponent: 1 to 3.5 mol (excluding 1 mol and 3.5 mol; value converted to oxide A),
Provided is a dielectric ceramic composition in which the ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is 10 to 500 (excluding 10 and 500). Is done.
本発明に係る電子部品は、誘電体層を有する電子部品であれば、特に限定されず、たとえば誘電体層と共に内部電極層とが交互に積層してあるコンデンサ素子本体を有する積層セラミックコンデンサ素子である。本発明では、前記誘電体層が、上記いずれかの誘電体磁器組成物で構成してある。内部電極層に含まれる導電材としては、特に限定されないが、たとえばNiまたはNi合金である。本発明では、特に誘電体層の厚みが、10μm未満程度であるときに、その効果が大きい。 The electronic component according to the present invention is not particularly limited as long as it is an electronic component having a dielectric layer. For example, the electronic component is a multilayer ceramic capacitor element having a capacitor element body in which internal electrodes are alternately laminated together with dielectric layers. is there. In the present invention, the dielectric layer is composed of any one of the above dielectric ceramic compositions. The conductive material contained in the internal electrode layer is not particularly limited, but is Ni or Ni alloy, for example. In the present invention, the effect is great particularly when the thickness of the dielectric layer is less than about 10 μm.
なお、本明細書に記載のイオン半径は、文献「R.D.Shannon,Acta Crystallogr.,A32,751(1976)」に基づく値である。 In addition, the ionic radius described in the present specification is a value based on the document “RD Shannon, Acta Crystallogr., A32, 751 (1976)”.
本発明者らは、目的とする温度特性(X8R特性)に影響を与えることなくIR温度依存性を改善できる特定の元素群に関して研究を進めた結果、6配位時の有効イオン半径が所定範囲に入る陽イオン元素群が有効であることを見出し、この知見に基づき本発明に到達した。 As a result of research on a specific element group that can improve IR temperature dependency without affecting the target temperature characteristic (X8R characteristic), the present inventors have found that the effective ion radius at the time of six coordination is within a predetermined range. The present inventors have found that a group of cation elements that fall within the range is effective, and have reached the present invention based on this finding.
”IR温度依存性”は、絶縁抵抗IRが温度変化に対してどのように変動するのかを見極める指標である。このIR温度依存性は、所定温度(たとえば150℃)でのIRが、基準温度(たとえば室温25℃)でのIRに対して変化する割合(変化率)を算出することで評価できる。複数の温度間でのIRの変化率が小さいほどIR温度依存性が良く、大きいほどIR温度依存性が悪いと判断できる。静電容量の温度特性がEIA規格のX8Rを満足していたとしても、X8Rの温度範囲内(特に室温から高温部まで)でのIR温度依存性が悪いと、製品としての実際の使用が困難になる。 “IR temperature dependency” is an index for ascertaining how the insulation resistance IR fluctuates with respect to a temperature change. This IR temperature dependency can be evaluated by calculating a rate (change rate) at which IR at a predetermined temperature (for example, 150 ° C.) changes with respect to IR at a reference temperature (for example, room temperature of 25 ° C.). It can be determined that the IR temperature dependency is better as the IR change rate between a plurality of temperatures is smaller, and the IR temperature dependency is worse as the IR change rate is larger. Even if the temperature characteristics of capacitance satisfy the EIA standard X8R, if the IR temperature dependence in the temperature range of X8R (especially from room temperature to high temperature) is poor, actual use as a product is difficult. become.
本発明では、複数の温度として室温(25℃)と高温部(150℃)を例示し、それぞれの温度での絶縁抵抗をIR25、IR150 としたときに、下記式1で示される”IR桁落ち”の大小を算出することで、IR温度依存性の善し悪しを評価している。
log(IR150 /IR25) …式1
In the present invention, room temperature (25 ° C.) and high temperature part (150 ° C.) are exemplified as a plurality of temperatures, and when the insulation resistance at each temperature is IR 25 and IR 150 , “IR” By calculating the magnitude of “digit loss”, the IR temperature dependency is evaluated for good or bad.
log (IR 150 / IR 25 ) ... Equation 1
本発明では、比誘電率が高く、X8R特性を満足できる誘電体組成に対して、特定の元素群で構成される第7副成分を添加する。このため、本発明に係る誘電体磁器組成物は、X8R特性を満足すると共に、室温(25℃)から高温部(150℃)のIR温度依存性が小さい。具体的には、上記式1で示されるIR桁落ちを−2.00以上とすることができる。 In the present invention, the seventh subcomponent composed of a specific element group is added to the dielectric composition having a high relative dielectric constant and satisfying the X8R characteristic. For this reason, the dielectric ceramic composition according to the present invention satisfies the X8R characteristic and has a small IR temperature dependency from room temperature (25 ° C.) to a high temperature portion (150 ° C.). Specifically, the IR loss represented by the above formula 1 can be set to −2.00 or more.
本発明に係る誘電体磁器組成物は、比誘電率が高く、容量温度特性がEIA規格のX8R特性を満足するため、本発明の誘電体磁器組成物を用いたセラミックチップコンデンサなどの電子部品は、自動車のエンジンルームのような高温下に晒される様な環境でも好適に使用できる。 Since the dielectric ceramic composition according to the present invention has a high relative dielectric constant and the capacitance-temperature characteristic satisfies the X8R characteristic of the EIA standard, an electronic component such as a ceramic chip capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention is It can also be suitably used in an environment such as an automobile engine room exposed to high temperatures.
また、本発明に係る誘電体磁器組成物は、蒸発飛散するようなPb、Bi、Znのような元素を含有しない。このため、還元雰囲気中での焼成が可能である。 Moreover, the dielectric ceramic composition according to the present invention does not contain an element such as Pb, Bi, or Zn that evaporates and scatters. For this reason, firing in a reducing atmosphere is possible.
すなわち、本発明によれば、比誘電率が高く、絶縁抵抗の寿命を維持でき、容量温度特性がEIA規格のX8R特性を満足し、還元性雰囲気中での焼成が可能であるとともに、IR温度依存性が改善された誘電体磁器組成物を提供できる。 That is, according to the present invention, the dielectric constant is high, the life of the insulation resistance can be maintained, the capacitance-temperature characteristic satisfies the X8R characteristic of the EIA standard, the firing in a reducing atmosphere is possible, and the IR temperature A dielectric ceramic composition with improved dependency can be provided.
本発明の誘電体磁器組成物を用いてセラミックチップコンデンサなどの電子部品を製造するに際し、内部電極としてNi及びNi合金などの卑金属を使用することが可能となり、電子部品の低コスト化が実現する。しかも、誘電体磁器組成物を還元雰囲気中で焼成しても、得られる電子部品は、X8R特性を満足し、直流電界印加による容量エージング特性が良好(=容量の経時変化が小さい)であり、絶縁抵抗の劣化が小さく、信頼性にも優れる。 When manufacturing electronic parts such as ceramic chip capacitors using the dielectric ceramic composition of the present invention, it becomes possible to use base metals such as Ni and Ni alloys as internal electrodes, thereby realizing cost reduction of electronic parts. . Moreover, even when the dielectric ceramic composition is fired in a reducing atmosphere, the obtained electronic component satisfies the X8R characteristics and has good capacity aging characteristics by applying a DC electric field (= small change in capacity with time). Insulation resistance is small and reliability is excellent.
すなわち、本発明の誘電体磁器組成物で構成された誘電体層を有する積層セラミックコンデンサなどの電子部品は、自動車の電子装置のように厳しい環境下で使用される各種機器内において安定した動作が可能であるため、適用される機器の信頼性を著しく向上させることができる。 That is, an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having a dielectric layer composed of the dielectric ceramic composition of the present invention operates stably in various devices used in harsh environments such as an automobile electronic device. Since it is possible, the reliability of the applied apparatus can be remarkably improved.
以上より、本発明の誘電体組成は、誘電体層の薄層化に伴う高温領域の温度変化率の悪化を抑制する手法としても効果が期待できる。 As described above, the dielectric composition of the present invention can be expected to be effective as a technique for suppressing the deterioration of the temperature change rate in the high temperature region accompanying the thinning of the dielectric layer.
さらに、本発明に係る誘電体磁器組成物は、絶縁抵抗の寿命が長く、さらにDCバイアス特性(誘電率の直流電圧印加依存性)及びTCバイアス特性(直流電圧印加時の容量温度特性)が安定している。特に第7副成分を添加することで、TCバイアス特性の顕著な向上が認められる。 Furthermore, the dielectric ceramic composition according to the present invention has a long life of insulation resistance, and further has stable DC bias characteristics (dependence of dielectric constant on DC voltage application) and TC bias characteristics (capacitance-temperature characteristics when DC voltage is applied). is doing. In particular, the TC bias characteristics are remarkably improved by adding the seventh subcomponent.
さらにまた、本発明に係る誘電体磁器組成物は、Pb,Biなどの有害物質を含有しないため、使用後の廃棄、処分などによる環境への悪影響が小さい。 Furthermore, since the dielectric ceramic composition according to the present invention does not contain harmful substances such as Pb and Bi, the adverse effects on the environment due to disposal and disposal after use are small.
したがって、本発明の誘電体磁器組成物を用いることで、優れた特性を有する積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することが容易になる。また、本発明に係る誘電体磁器組成物を用いれば、誘電体層を薄層化しても、X8R特性を満足することができ、しかも絶縁抵抗の寿命の低下を効果的に防止できる。したがって、積層セラミックコンデンサなどの電子部品では、小型・大容量化を実現でき、特にさらなる薄層小型化に対応させることが容易である。このため、高集積回路への実装がより容易となる。 Therefore, by using the dielectric ceramic composition of the present invention, it becomes easy to provide an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having excellent characteristics. In addition, when the dielectric ceramic composition according to the present invention is used, the X8R characteristic can be satisfied even when the dielectric layer is thinned, and the life of the insulation resistance can be effectively prevented from decreasing. Therefore, electronic parts such as multilayer ceramic capacitors can be reduced in size and increased in capacity, and can be easily adapted to further downsizing of the thin layer. For this reason, mounting on a highly integrated circuit becomes easier.
従来の誘電体磁器組成物では、一層あたりの誘電体層の薄層化に伴い、特に高温側の容量温度特性が悪化する傾向があった。すなわち高温側の容量温度変化率カーブが時計回りの方向に向かう傾向があった。これに対し、本発明によれば、高温側の容量温度変化率カーブを反時計回りの方向に向かわせることができる。この現象を、X7R特性を満たす電子部品において応用すれば、従来よりも、一層あたりの誘電体層のさらなる薄層化を実現することができる。 In the conventional dielectric ceramic composition, the capacity-temperature characteristic on the high temperature side tends to deteriorate as the dielectric layer per layer is made thinner. That is, the capacity-temperature change rate curve on the high temperature side tended to go in the clockwise direction. On the other hand, according to the present invention, the capacity temperature change rate curve on the high temperature side can be directed in the counterclockwise direction. If this phenomenon is applied to an electronic component that satisfies the X7R characteristic, it is possible to realize a further thinner dielectric layer per layer than in the past.
本発明に係る電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップインダクタ、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品などが例示される。 The electronic component according to the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric element, a chip inductor, a chip varistor, a chip thermistor, a chip resistor, and other surface mount (SMD) chip type electronic components.
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
本実施形態では、電子部品として図1に示される積層セラミックコンデンサ1を例示し、その構造及び製造方法を説明する。 In this embodiment, the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 is illustrated as an electronic component, and the structure and manufacturing method thereof will be described.
積層セラミックコンデンサ
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る電子部品としての積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層されたコンデンサ素子本体10を有する。コンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
Multilayer Ceramic Capacitor As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 as an electronic component according to an embodiment of the present invention has a
コンデンサ素子本体10の外形や寸法には特に制限はなく、用途に応じて適宜設定することができ、通常、外形はほぼ直方体形状とし、寸法は通常、縦(0.4〜5.6mm)×横(0.2〜5.0mm)×高さ(0.2〜1.9mm)程度とすることができる。
The outer shape and dimensions of the
誘電体層
誘電体層2は、本発明に係る誘電体磁器組成物を含有する。
The dielectric layer dielectric layer 2 contains the dielectric ceramic composition according to the present invention.
本発明の誘電体磁器組成物は、チタン酸バリウム(好ましくは、組成式Bam TiO2+m で表され、mが0.995≦m≦1.010であり、BaとTiとの比が0.995≦Ba/Ti≦1.010である)を含む主成分と、
AEの酸化物(但し、AEはMg、Ca、Ba及びSrから選択される少なくとも1種)を含む第1副成分と、
Rの酸化物(但し、RはY、Dy、Tm、Ho及びErから選択される少なくとも1種)を含む第2副成分と、
MxSiO3 (但し、Mは、Ba、Ca、Sr、Li、Bから選択される少なくとも1種であり、M=Baの場合にはx=1、M=Caの場合にはx=1、M=Srの場合にはx=1、M=Liの場合にはx=2、M=Bの場合にはx=2/3である)を含む第3副成分と、
MnOを含む第4副成分と、
V2 O5 、MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種を含む第5副成分と、
Aの酸化物(但し、Aは、6配位時の有効イオン半径が0.065nm〜0.085nmの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種)を含む第7副成分とを、有する。
The dielectric ceramic composition of the present invention has barium titanate (preferably represented by the composition formula Ba m TiO 2 + m , m is 0.995 ≦ m ≦ 1.010, and the ratio of Ba to Ti is 0.00. 995 ≦ Ba / Ti ≦ 1.010)
A first subcomponent comprising an oxide of AE (wherein AE is at least one selected from Mg, Ca, Ba and Sr);
A second subcomponent comprising an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tm, Ho and Er);
MxSiO 3 (where M is at least one selected from Ba, Ca, Sr, Li, and B. When M = Ba, x = 1, when M = Ca, x = 1, M A third subcomponent including: x = 1 when = Sr, x = 2 when M = Li, and x = 2/3 when M = B;
A fourth subcomponent comprising MnO;
A fifth subcomponent comprising at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ;
And a seventh subcomponent including an oxide of A (provided that A is at least one selected from the group of cationic elements having an effective ionic radius of 0.065 nm to 0.085 nm at the time of six coordination).
第1副成分は、容量温度特性を平坦化させる効果を示す。
第2副成分は、キュリー温度を高温側へシフトさせる効果と、容量温度特性を平坦化させる効果とを示す。
第3副成分は、主として焼結助剤として作用するが、薄層化した際の初期の絶縁抵抗IRの不良率を改善する効果を有する。
第4副成分は、焼結を促進する効果と、IRを高くする効果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。
第5副成分は、キュリー温度以上での容量温度特性を平坦化する効果と、IR寿命を向上させる効果とを示す。
第7副成分は、容量温度特性にあまり影響を与えず、IR温度依存性を改善する効果を有する。
本発明では、X8R特性を満足する誘電体組成に対して、特定の元素群で構成される第7副成分を所定量で含有させる点に特徴がある。
The first subcomponent exhibits an effect of flattening the capacity-temperature characteristic.
The second subcomponent exhibits an effect of shifting the Curie temperature to the high temperature side and an effect of flattening the capacity-temperature characteristic.
The third subcomponent mainly acts as a sintering aid, but has an effect of improving the defective rate of the initial insulation resistance IR when the layer is thinned.
The fourth subcomponent exhibits an effect of promoting sintering, an effect of increasing IR, and an effect of improving the IR life.
The fifth subcomponent exhibits the effect of flattening the capacity-temperature characteristic above the Curie temperature and the effect of improving the IR lifetime.
The seventh subcomponent does not significantly affect the capacity-temperature characteristics and has the effect of improving the IR temperature dependency.
The present invention is characterized in that a seventh subcomponent composed of a specific element group is contained in a predetermined amount with respect to the dielectric composition satisfying the X8R characteristic.
前記第7副成分の陽イオン元素群には、I(0.067nm)、Ge(0.067nm)、Al(0.0675nm)、Cu(0.068nm)、Fe(0.069nm)、Ni(0.070nm)、Au(0.071nm)、As(0.072nm)、Cr(0.0755nm)、Ga(0.076nm)、At(0.076nm)、Os(0.077nm)、Nb(0.078nm)、Ta(0.078nm)、Co(0.079nm)、Rh(0.080nm)、Ir(0.082nm)、Ru(0.082nm)、Sn(0.083nm)が含まれるが、P(0.052nm)、K(0.152nm)は含まれない。なお、括弧内の数字は6配位時の有効イオン半径を示す。以下同様である。 The cationic element group of the seventh subcomponent includes I (0.067 nm), Ge (0.067 nm), Al (0.0675 nm), Cu (0.068 nm), Fe (0.069 nm), Ni ( 0.070 nm), Au (0.071 nm), As (0.072 nm), Cr (0.0755 nm), Ga (0.076 nm), At (0.076 nm), Os (0.077 nm), Nb (0 0.078 nm), Ta (0.078 nm), Co (0.079 nm), Rh (0.080 nm), Ir (0.082 nm), Ru (0.082 nm), Sn (0.083 nm), P (0.052 nm) and K (0.152 nm) are not included. In addition, the number in parenthesis shows the effective ion radius at the time of 6 coordination. The same applies hereinafter.
前記陽イオン元素群の中でも6配位時の有効イオン半径が0.067〜0.076nmの元素を用いることが好ましい。このような好ましい元素群には、I、Ge、Al、Cu、Fe、Ni、Au、As、Cr、Ga、Atが含まれ、より好ましくはAl、Cr、Ga、Geの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種を用いる。2種以上を組み合わせて用いる場合、特に好ましい組み合わせはAl+Cr、Al+Ga、Al+Geである。 Among the cation element group, it is preferable to use an element having an effective ion radius of 0.067 to 0.076 nm at the time of six coordination. Such preferred element groups include I, Ge, Al, Cu, Fe, Ni, Au, As, Cr, Ga, At, and more preferably from the cationic element group of Al, Cr, Ga, Ge. At least one selected is used. When two or more types are used in combination, particularly preferred combinations are Al + Cr, Al + Ga, and Al + Ge.
第7副成分の含有量は、前記主成分100モルに対して、A酸化物に換算した値で、0〜3.5モル(但し、0モルと3.5モルを除く)、好ましくは0〜3モル(但し、0モルを除く)、より好ましくは0.5〜3モル、さらに好ましくは1〜2モル、特に好ましくは1〜1.5モルである。第7副成分の含有量が少なすぎると、IR温度依存性を改善する効果が不十分となる。一方、含有量が多すぎると容量温度特性が悪化する傾向にある。特に1モルを超える第7副成分を添加することで、TCバイアス特性の顕著な向上が認められる。
第7副成分の上記比率は、A単独のモル比ではなく、A酸化物のモル比である。すなわち、例えば第7副成分としてAlの酸化物を用いた場合、第7副成分の比率が1モルであることは、Alの比率が1モルなのではなく、Al2 O3 の比率が1モルであることを意味する。
なお、第7副成分として2種以上の複数の元素(酸化物)を用いる場合には、合計含有量が前記主成分100モルに対して、上記範囲となるようにすればよい。すなわち第7副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。
The content of the seventh subcomponent is a value converted to oxide A with respect to 100 mol of the main component, and is 0 to 3.5 mol (excluding 0 mol and 3.5 mol), preferably 0. -3 mol (excluding 0 mol), more preferably 0.5-3 mol, still more preferably 1-2 mol, particularly preferably 1-1.5 mol. When there is too little content of a 7th subcomponent, the effect which improves IR temperature dependence will become inadequate. On the other hand, if the content is too large, the capacity-temperature characteristic tends to deteriorate. In particular, when the seventh subcomponent exceeding 1 mol is added, the TC bias characteristics are remarkably improved.
The ratio of the seventh subcomponent is not the molar ratio of A alone but the molar ratio of A oxide. That is, for example, when using an oxide of Al as the seventh subcomponent, that the ratio of the seventh subcomponent being 1 mole ratio of Al instead of 1 mole, the ratio of Al 2 O 3 is 1 mole It means that.
In addition, when using 2 or more types of multiple elements (oxide) as a 7th subcomponent, what is necessary is just to make it a total content be the said range with respect to 100 mol of said main components. That is, the constituent ratio of each oxide in the seventh subcomponent is arbitrary.
上記第1〜5副成分を含有させることで、高い誘電率を維持しながら、X8R特性を満足させることができる。第1〜5副成分の好ましい含有量及び理由は以下の通りである。 By containing the first to fifth subcomponents, the X8R characteristic can be satisfied while maintaining a high dielectric constant. The preferred contents and reasons for the first to fifth subcomponents are as follows.
前記主成分100モルに対する第1副成分の比率は、0〜0.1モル(但し、0モルと0.1モルを除く)、好ましくは0.01〜0.1モル(但し、0.1モルを除く)、より好ましくは0.04〜0.08モルである。 The ratio of the first subcomponent to 100 mol of the main component is 0 to 0.1 mol (excluding 0 mol and 0.1 mol), preferably 0.01 to 0.1 mol (provided that 0.1 mol). Excluding moles), more preferably 0.04 to 0.08 moles.
前記主成分100モルに対する第2副成分の比率は、1〜7モル(但し、1モルと7モルを除く)、好ましくは1〜6モル(但し、1モルを除く)、より好ましくは3〜5モルである。 The ratio of the second subcomponent to 100 mol of the main component is 1 to 7 mol (excluding 1 mol and 7 mol), preferably 1 to 6 mol (excluding 1 mol), more preferably 3 to 3 mol. 5 moles.
前記第1副成分のモル数に対する前記第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)は、好ましくは10〜500(但し、10と500を除く)、より好ましくは37.5〜250、さらに好ましくは37.5〜125である。 The ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is preferably 10 to 500 (excluding 10 and 500), more preferably It is 37.5 to 250, more preferably 37.5 to 125.
前記主成分100モルに対する前記第3副成分の比率は、2〜10モルが好ましく、より好ましくは2〜6モルである。 The ratio of the third subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 2 to 10 mol, more preferably 2 to 6 mol.
前記主成分100モルに対する前記第4副成分の比率が、0〜0.5モル(但し、0モルを除く)が好ましく、より好ましくは0.1〜0.5モルである。 The ratio of the fourth subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 to 0.5 mol (excluding 0 mol), more preferably 0.1 to 0.5 mol.
前記主成分100モルに対する前記第5副成分の比率が、0.01〜0.5モルが好ましく、より好ましくは0.01〜0.2モルである。 The ratio of the fifth subcomponent with respect to 100 mol of the main component is preferably 0.01 to 0.5 mol, more preferably 0.01 to 0.2 mol.
本明細書では、主成分及び各副成分を構成する各酸化物を化学量論組成で表しているが、各酸化物の酸化状態は、化学量論組成から外れるものであってもよい。但し、各副成分の上記比率は、各副成分を構成する酸化物に含有される金属量から上記化学量論組成の酸化物に換算して求める。 In this specification, each oxide constituting the main component and each subcomponent is represented by a stoichiometric composition, but the oxidation state of each oxide may be out of the stoichiometric composition. However, the said ratio of each subcomponent is calculated | required by converting into the oxide of the said stoichiometric composition from the metal amount contained in the oxide which comprises each subcomponent.
上記各副成分の含有量の限定理由は以下のとおりである。 The reasons for limiting the contents of the subcomponents are as follows.
第1副成分の含有量が少なすぎると、この効果が不十分となり、容量温度特性は全般的に悪化する。一方、第1副成分の含有量が本発明の範囲を超えて多くなると、高温側の容量温度特性が再び悪化する傾向がある。 If the content of the first subcomponent is too small, this effect is insufficient, and the capacity-temperature characteristic is generally deteriorated. On the other hand, when the content of the first subcomponent increases beyond the range of the present invention, the capacity-temperature characteristic on the high temperature side tends to deteriorate again.
第2副成分の含有量が少なすぎると、このような効果が不十分となり、容量温度特性が悪くなってしまう。一方、含有量が多すぎると、焼結性が急激に悪化する傾向にある。特に、第1副成分の含有量を可能な限り少なくしつつ、第2副成分の含有量を多くすることにより、容量温度特性を一層平坦化できるメリットがある。 When there is too little content of a 2nd subcomponent, such an effect will become inadequate and a capacity | capacitance temperature characteristic will worsen. On the other hand, when there is too much content, it exists in the tendency for sinterability to deteriorate rapidly. In particular, there is a merit that the capacity-temperature characteristic can be further flattened by increasing the content of the second subcomponent while reducing the content of the first subcomponent as much as possible.
第1副成分のモル数に対する第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)が小さすぎると、容量温度特性が悪くなってしまい、X8R特性を満足できない。一方、これらの比が大きすぎると、焼結性が悪化する傾向にある。 When the ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is too small, the capacity-temperature characteristic is deteriorated and the X8R characteristic cannot be satisfied. On the other hand, if these ratios are too large, the sinterability tends to deteriorate.
なお、第2副成分の上記比率は、R単独のモル比ではなく、Rの酸化物のモル比である。すなわち、たとえば第2副成分としてYの酸化物を用いた場合、第2副成分の比率が1モルであることは、Yの比率が1モルなのではなく、Y2 O3 の比率が1モルであることを意味する。 The ratio of the second subcomponent is not the molar ratio of R alone but the molar ratio of the oxide of R. That is, for example, when an oxide of Y is used as the second subcomponent, the ratio of the second subcomponent is 1 mol. The ratio of Y is not 1 mol but the ratio of Y 2 O 3 is 1 mol. It means that.
第3副成分の含有量が少なすぎると、容量温度特性を満足できない傾向があり、また絶縁抵抗が悪化する傾向があり、特に焼結性が著しく悪くなる傾向にある。一方、含有量が多すぎると、絶縁抵抗の寿命特性が不十分となり、誘電率の急激な低下が起こる傾向がある。なお、第3副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。 If the content of the third subcomponent is too small, the capacity-temperature characteristic tends to be unsatisfactory, the insulation resistance tends to deteriorate, and the sinterability tends to deteriorate particularly. On the other hand, when the content is too large, the life characteristics of the insulation resistance become insufficient, and the dielectric constant tends to decrease rapidly. The constituent ratio of each oxide in the third subcomponent is arbitrary.
第4副成分の含有量が多すぎると、容量温度特性に悪影響を与え、IR寿命を悪化させるおそれがある。 When there is too much content of a 4th subcomponent, there exists a possibility of having a bad influence on a capacity temperature characteristic and making IR life worse.
第5副成分の含有量が少なすぎると、上述した効果が不十分となる傾向がある。一方、含有量が多すぎると、IRが著しく低下する。なお、第5副成分中における各酸化物の構成比率は任意である。 When there is too little content of a 5th subcomponent, there exists a tendency for the effect mentioned above to become inadequate. On the other hand, when there is too much content, IR will fall remarkably. The constituent ratio of each oxide in the fifth subcomponent is arbitrary.
本発明の誘電体磁器組成物には、CaZrO3 またはCaO+ZrO2 を含む第6副成分がさらに添加してあることが好ましい。第6副成分は、キュリー温度を高温側にシフトさせるほか、容量温度特性の平坦化、絶縁抵抗(IR)の向上、破壊電圧の向上、焼成温度を低下させる、などの効果を有する。 It is preferable that a sixth subcomponent containing CaZrO 3 or CaO + ZrO 2 is further added to the dielectric ceramic composition of the present invention. In addition to shifting the Curie temperature to the high temperature side, the sixth subcomponent has effects such as flattening of the capacitance temperature characteristic, improvement of insulation resistance (IR), improvement of breakdown voltage, and reduction of the firing temperature.
前記主成分100モルに対する前記第6副成分の比率は、0〜5モル(但し、0モルと5モルを除く)が好ましく、より好ましくは0〜3モル(但し、0モルを除く)である。第6副成分の添加量が多すぎると、IR寿命が著しく低下し、容量温度特性が悪化する傾向がある。 The ratio of the sixth subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 to 5 mol (excluding 0 mol and 5 mol), more preferably 0 to 3 mol (excluding 0 mol). . When the added amount of the sixth subcomponent is too large, the IR life is remarkably lowered and the capacity-temperature characteristic tends to be deteriorated.
CaZrO3 の添加形態は特に限定されず、CaOなどのCaから構成される酸化物、CaCO3 などの炭酸塩、有機化合物、CaZrO3 などが挙げられる。CaとZrの比率は特に限定されず、主成分に含まれるチタン酸バリウムに固溶させない程度に決定すればよいが、Zrに対するCaのモル比(Ca/Zr)は、好ましくは0.5〜1.5,より好ましくは0.8〜1.5、特に好ましくは0.9〜1.1である。 The addition form of CaZrO 3 is not particularly limited, and examples thereof include oxides composed of Ca such as CaO, carbonates such as CaCO 3 , organic compounds, and CaZrO 3 . The ratio of Ca and Zr is not particularly limited, and may be determined so as not to be dissolved in barium titanate contained in the main component. The molar ratio of Ca to Zr (Ca / Zr) is preferably 0.5 to 1.5, more preferably 0.8 to 1.5, particularly preferably 0.9 to 1.1.
なお、Sr,Zr及びSnの少なくとも1種が、ペロブスカイト構造を構成する主成分中のBaまたはTiを置換している場合、キュリー温度が低温側にシフトするため、125℃以上での容量温度特性が悪くなる。このため、これらの元素を含むBaTiO3 [例えば(Ba,Sr)TiO3 ]を主成分として用いないことが好ましい。但し、不純物として含有されるレベル(誘電体磁器組成物全体の0.1モル%程度以下)であれば、特に問題はない。 In addition, when at least one of Sr, Zr, and Sn substitutes Ba or Ti in the main component constituting the perovskite structure, the Curie temperature shifts to a low temperature side, so that the capacity-temperature characteristics at 125 ° C. or higher Becomes worse. For this reason, it is preferable not to use BaTiO 3 [for example, (Ba, Sr) TiO 3 ] containing these elements as a main component. However, there is no particular problem as long as the level is contained as an impurity (about 0.1 mol% or less of the entire dielectric ceramic composition).
本発明の誘電体磁器組成物の平均結晶粒径は、特に限定されず、誘電体層の厚さなどに応じて例えば0.1〜3μmの範囲から適宜決定すればよい。容量温度特性は、誘電体層が薄いほど悪化し、また、平均結晶粒径を小さくするほど悪化する傾向にある。このため、本発明の誘電体磁器組成物は、平均結晶粒径を小さくする必要がある場合に、具体的には、平均結晶粒径が0.1〜0.5μmである場合に特に有効である。また、平均結晶粒径を小さくすれば、IR寿命が長くなり、また、直流電界下での容量の経時変化が少なくなるため、この点からも平均結晶粒径は上記のように小さいことが好ましい。 The average crystal grain size of the dielectric ceramic composition of the present invention is not particularly limited, and may be appropriately determined from a range of, for example, 0.1 to 3 μm according to the thickness of the dielectric layer. Capacitance-temperature characteristics tend to deteriorate as the dielectric layer is thinner, and worsen as the average crystal grain size is reduced. Therefore, the dielectric ceramic composition of the present invention is particularly effective when the average crystal grain size needs to be reduced, specifically when the average crystal grain size is 0.1 to 0.5 μm. is there. In addition, if the average crystal grain size is reduced, the IR lifetime becomes longer, and the change with time of the capacity under a direct current electric field is reduced. From this point, the average crystal grain size is preferably small as described above. .
本発明の誘電体磁器組成物のキュリー温度(強誘電体から常誘電体への相転移温度)は、組成を選択することにより変更することができるが、X8R特性を満足するためには、好ましくは120℃以上、より好ましくは123℃以上とする。なお、キュリー温度は、DSC(示差走査熱量測定)などによって測定することができる。 The Curie temperature (phase transition temperature from ferroelectric to paraelectric) of the dielectric ceramic composition of the present invention can be changed by selecting the composition, but is preferable for satisfying the X8R characteristics. Is 120 ° C. or higher, more preferably 123 ° C. or higher. The Curie temperature can be measured by DSC (differential scanning calorimetry) or the like.
本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサは、80℃以上、特に125〜150℃の環境下で使用される機器用電子部品として用いて好適である。そして、このような温度範囲において、容量の温度特性がEIA規格のR特性を満足し、さらに、X8R特性も満足する。また、EIA規格のX7R特性(−55〜125℃、ΔC/C=±15%以内)も同時に満足することが可能である。
しかも、たとえば、室温(25℃)と高温部(150℃)のそれぞれの温度での絶縁抵抗をIR25、IR150 としたときに、下記式1で示される”IR桁落ち”を−2.00以上とすることができる。すなわち、IR温度依存性が小さい。
log(IR150 /IR25) …式1
The multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention is suitable for use as an electronic component for equipment used in an environment of 80 ° C. or higher, particularly 125 to 150 ° C. In such a temperature range, the temperature characteristic of the capacitance satisfies the R characteristic of the EIA standard, and further satisfies the X8R characteristic. In addition, the X7R characteristic (-55 to 125 ° C., ΔC / C = within ± 15%) of the EIA standard can be satisfied at the same time.
Moreover, for example, when the insulation resistances at room temperature (25 ° C.) and high temperature part (150 ° C.) are IR 25 and IR 150 , the “IR digit loss” expressed by the following formula 1 is −2. It can be set to 00 or more. That is, IR temperature dependency is small.
log (IR 150 / IR 25 ) ... Equation 1
積層セラミックコンデンサでは、誘電体層に、通常、0.02V/μm以上、特に0.2V/μm以上、さらには0.5V/μm以上、一般に5V/μm程度以下の交流電界と、これに重畳して5V/μm以下の直流電界とが加えられるが、このような電界が加わっても、容量の温度特性は安定している。 In a multilayer ceramic capacitor, an AC electric field of 0.02 V / μm or more, particularly 0.2 V / μm or more, more preferably 0.5 V / μm or more, and generally about 5 V / μm or less is superimposed on the dielectric layer. Then, a DC electric field of 5 V / μm or less is applied, but even if such an electric field is applied, the temperature characteristics of the capacitance are stable.
内部電極層
内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,Co及びAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。
Although the conductive material contained in the
なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。 In addition, in Ni or Ni alloy, various trace components, such as P, may be contained about 0.1 wt% or less.
内部電極層の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.5〜5μm、特に0.5〜2.5μm程度であることが好ましい。 The thickness of the internal electrode layer may be appropriately determined according to the application, etc., but it is usually preferably about 0.5 to 5 μm, particularly preferably about 0.5 to 2.5 μm.
外部電極
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。
The conductive material contained in the external electrode external electrode 4 is not particularly limited, but in the present invention, inexpensive Ni, Cu, and alloys thereof can be used.
外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。 The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the use, etc., but is usually preferably about 10 to 50 μm.
積層セラミックコンデンサの製造方法
本発明の誘電体磁器組成物を用いた積層セラミックコンデンサは、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor A multilayer ceramic capacitor using the dielectric ceramic composition of the present invention is a green chip produced by a normal printing method or sheet method using a paste, as in the case of a conventional multilayer ceramic capacitor. After firing, the external electrode is printed or transferred and fired. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.
まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物粉末を準備し、これを塗料化して、誘電体層用ペーストを調整する。 First, the dielectric ceramic composition powder contained in the dielectric layer paste is prepared, and this is made into a paint to prepare the dielectric layer paste.
誘電体層用ペーストは、誘電体磁器組成物粉末と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。 The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition powder and an organic vehicle, or may be a water-based paint.
誘電体磁器組成物粉末としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。誘電体磁器組成物粉末中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。 As the dielectric ceramic composition powder, the above-described oxides, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the above-described oxides and composite oxides by firing, such as carbonates and An acid salt, a nitrate, a hydroxide, an organometallic compound, or the like can be appropriately selected and mixed for use. What is necessary is just to determine content of each compound in a dielectric ceramic composition powder so that it may become a composition of the above-mentioned dielectric ceramic composition after baking.
塗料化する前の状態で、誘電体磁器組成物粉末の粒径は、通常、平均粒径0.1〜3μm程度である。 The particle size of the dielectric ceramic composition powder is usually about 0.1 to 3 [mu] m in average before the coating.
有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。 An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. Further, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene, and the like, depending on a method to be used such as a printing method or a sheet method.
また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。 Further, when the dielectric layer paste is used as a water-based paint, a water-based vehicle in which a water-soluble binder or a dispersant is dissolved in water and a dielectric material may be kneaded. The water-soluble binder used for the water-based vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, or the like may be used.
内部電極層用ペーストは、上記した各種誘電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。 The internal electrode layer paste is prepared by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals made of various dielectric metals and alloys, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare.
外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。 The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.
上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、例えば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。 There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in each above-mentioned paste, For example, what is necessary is just about 1-5 weight% of binders, for example, about 10-50 weight% of binders. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.
印刷法を用いる場合、誘電体層用ペースト及び内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。 When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then peeled from the substrate to obtain a green chip.
また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。 When the sheet method is used, a dielectric layer paste is used to form a green sheet, the internal electrode layer paste is printed thereon, and these are stacked to form a green chip.
焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、内部電極層ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、脱バインダ雰囲気中の酸素分圧を10−45 〜105 Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、脱バインダ効果が低下する。また酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 Before firing, the green chip is subjected to binder removal processing. The binder removal treatment may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen partial pressure in the binder removal atmosphere is 10 It is preferable to be −45 to 10 5 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the binder removal effect is lowered. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to oxidize.
また、それ以外の脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、より好ましくは10〜100℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、より好ましくは200〜350℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜24時間、より好ましくは2〜20時間とする。また、焼成雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とすることが好ましく、還元性雰囲気における雰囲気ガスとしては、たとえばN2 とH2 との混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other binder removal conditions, the temperature rising rate is preferably 5 to 300 ° C./hour, more preferably 10 to 100 ° C./hour, and the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C., more preferably 200 to 350. The temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours, more preferably 2 to 20 hours. The firing atmosphere is preferably air or a reducing atmosphere, and as an atmosphere gas in the reducing atmosphere, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.
グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−7〜10−3Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 The atmosphere at the time of green chip firing may be appropriately determined according to the type of conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere The pressure is preferably 10 −7 to 10 −3 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may be abnormally sintered and may be interrupted. Further, when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.
また、焼成時の保持温度は、好ましくは1100〜1400℃、より好ましくは1200〜1380℃、さらに好ましくは1260〜1360℃である。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結による電極の途切れや、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。 Moreover, the holding temperature at the time of baking becomes like this. Preferably it is 1100-1400 degreeC, More preferably, it is 1200-1380 degreeC, More preferably, it is 1260-1360 degreeC. If the holding temperature is lower than the above range, the densification becomes insufficient. If the holding temperature is higher than the above range, the electrode temperature is interrupted due to abnormal sintering of the internal electrode layer, the capacity temperature characteristic deteriorates due to diffusion of the constituent material of the internal electrode layer, and the dielectric Reduction of the body porcelain composition is likely to occur.
これ以外の焼成条件としては、昇温速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間、温度保持時間を好ましくは0.5〜8時間、より好ましくは1〜3時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間とする。また、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、N2 とH2 との混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other firing conditions, the rate of temperature rise is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour, and the temperature holding time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 1 to 3 hours. The time and cooling rate are preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour. Further, the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and as the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used by humidification.
還元性雰囲気中で焼成した場合、コンデンサ素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。 When firing in a reducing atmosphere, it is preferable to anneal the capacitor element body. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer, and this can significantly increase the IR lifetime, thereby improving the reliability.
アニール雰囲気中の酸素分圧は、0.1Pa以上、特に0.1〜10Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると誘電体層の再酸化が困難であり、前記範囲を超えると内部電極層が酸化する傾向にある。 The oxygen partial pressure in the annealing atmosphere is preferably 0.1 Pa or more, particularly 0.1 to 10 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, it is difficult to reoxidize the dielectric layer, and when it exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.
アニールの際の保持温度は、1100℃以下、特に500〜1100℃とすることが好ましい。保持温度が前記範囲未満であると誘電体層の酸化が不十分となるので、IRが低く、また、IR寿命が短くなりやすい。一方、保持温度が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化して容量が低下するだけでなく、内部電極層が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。なお、アニールは昇温過程及び降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。 The holding temperature at the time of annealing is preferably 1100 ° C. or less, particularly 500 to 1100 ° C. When the holding temperature is lower than the above range, the dielectric layer is not sufficiently oxidized, so that the IR is low and the IR life tends to be short. On the other hand, if the holding temperature exceeds the above range, not only the internal electrode layer is oxidized and the capacity is lowered, but the internal electrode layer reacts with the dielectric substrate, the capacity temperature characteristic is deteriorated, the IR is lowered, the IR Life is likely to decrease. In addition, you may comprise annealing only from a temperature rising process and a temperature falling process. That is, the temperature holding time may be zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.
これ以外のアニール条件としては、温度保持時間を好ましくは0〜20時間、より好ましくは2〜10時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。また、アニールの雰囲気ガスとしては、たとえば、加湿したN2 ガス等を用いることが好ましい。 As other annealing conditions, the temperature holding time is preferably 0 to 20 hours, more preferably 2 to 10 hours, and the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. . Further, as the annealing atmosphere gas, for example, humidified N 2 gas or the like is preferably used.
上記した脱バインダ処理、焼成及びアニールにおいて、N2 ガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。 In the above-described binder removal processing, firing and annealing, for example, a wetter or the like may be used to wet the N 2 gas, mixed gas, or the like. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.
脱バインダ処理、焼成及びアニールは、連続して行なっても、独立に行なってもよい。これらを連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して焼成を行ない、次いで冷却し、アニールの保持温度に達したときに雰囲気を変更してアニールを行なうことが好ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までN2 ガスあるいは加湿したN2 ガス雰囲気下で昇温した後、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、アニール時の保持温度まで冷却した後は、再びN2 ガスあるいは加湿したN2 ガス雰囲気に変更して冷却を続けることが好ましい。また、アニールに際しては、N2 ガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更してもよく、アニールの全過程を加湿したN2 ガス雰囲気としてもよい。 The binder removal treatment, firing and annealing may be performed continuously or independently. When these are performed continuously, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of baking to perform baking, and then cooled to reach the annealing holding temperature. Sometimes it is preferable to perform annealing by changing the atmosphere. On the other hand, when performing these independently, at the time of firing, after raising the temperature under N 2 gas atmosphere with N 2 gas or wet to the holding temperature of the binder removal processing, further continuing the heating to change the atmosphere Preferably, after cooling to the holding temperature at the time of annealing, it is preferable to change to the N 2 gas or humidified N 2 gas atmosphere again and continue cooling. In annealing, the temperature may be changed to a holding temperature in an N 2 gas atmosphere, and then the atmosphere may be changed, or the entire annealing process may be a humidified N 2 gas atmosphere.
上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、加湿したN2 とH2 との混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。 The capacitor element body obtained as described above is subjected to end surface polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing conditions of the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。 The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。 As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to such embodiment at all, Of course, in the range which does not deviate from the summary of this invention, it can implement in various aspects. .
たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、上記組成の誘電体磁器組成物で構成してある誘電体層を有するものであれば何でも良い。 For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and is composed of a dielectric ceramic composition having the above composition. Any material having a dielectric layer can be used.
次に、本発明の実施の形態をより具体化した実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。但し、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to examples that further embody the embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to only these examples.
実施例1
まず、誘電体材料を作製するための出発原料として、それぞれ平均粒径0.1〜1μmの主成分原料(BaTiO3 )、第1〜第7副成分原料を用意した。MgO及びMnOの原料には炭酸塩(第1副成分:MgCO3 、第4副成分:MnCO3 )を用い、他の原料には酸化物(第2副成分:Y2 O3 、第3副成分:(Ba0.6 Ca0.4 )SiO3 、第5副成分:V2 O5 、第6副成分:CaZrO3 、第7副成分:Al2 O3 )を用いた。第2副成分である(Ba0.6 Ca0.4 )SiO3 は、BaCO3 ,CaCO3 及びSiO2 をボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1150℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルにより100時間湿式粉砕することにより製造した。第6副成分であるCaZrO3 は、CaCO3 及びZrO2 をボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1150℃にて空気中で焼成し、さらにボールミルにより24時間湿式粉砕することにより製造した。
Example 1
First, as starting materials for producing a dielectric material, a main component material (BaTiO 3 ) and first to seventh subcomponent materials having an average particle diameter of 0.1 to 1 μm were prepared. Carbonates (first subcomponent: MgCO 3 , fourth subcomponent: MnCO 3 ) are used as raw materials for MgO and MnO, and oxides (second subcomponent: Y 2 O 3 , third subcomponents) are used as the other raw materials. Component: (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 , fifth subcomponent: V 2 O 5 , sixth subcomponent: CaZrO 3 , and seventh subcomponent: Al 2 O 3 ) were used. The second subcomponent (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 is obtained by wet-mixing BaCO 3 , CaCO 3 and SiO 2 with a ball mill for 16 hours, drying, and firing in air at 1150 ° C., It was manufactured by wet grinding with a ball mill for 100 hours. CaZrO 3 as the sixth subcomponent was produced by wet mixing CaCO 3 and ZrO 2 with a ball mill for 16 hours, drying, firing in air at 1150 ° C., and further wet pulverizing with a ball mill for 24 hours.
なお、主成分であるBaTiO3 は、BaCO3 及びTiO2 をそれぞれ秤量し、ボールミルを用いて約16時間湿式混合し、これを乾燥したのち、1100℃の温度で空気中にて焼成したものをボールミルにより約16時間湿式粉砕して作製したものを用いても同様の特性が得られた。また、主成分であるBaTiO3 は、水熱合成粉、蓚酸塩法などによって作製されたものを用いても同様の特性が得られた。 In addition, BaTiO 3 as a main component is obtained by weighing BaCO 3 and TiO 2 respectively, wet-mixing them for about 16 hours using a ball mill, drying them, and then firing them in air at a temperature of 1100 ° C. Similar characteristics were obtained even when a ball mill was used for approximately 16 hours of wet pulverization. Further, the same characteristics were obtained even when BaTiO 3 as the main component was produced by hydrothermal synthesis powder, oxalate method or the like.
これらの原料を、焼成後の組成が、主成分であるBaTiO3 100モルに対して、表1に示すものとなるように配合して、ボールミルにより16時湿式混合し、乾燥させて誘電体材料とした。 These raw materials are blended so that the composition after firing is as shown in Table 1 with respect to 100 moles of BaTiO 3 as a main component, wet mixed by a ball mill for 16 hours, and dried to obtain a dielectric material. It was.
次いで、得られた乾燥後の誘電体原料100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部と、酢酸エチル100重量部と、ミネラルスピリット6重量部と、トルエン4重量部とをボールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペーストを得た。 Next, 100 parts by weight of the obtained dielectric material after drying, 4.8 parts by weight of acrylic resin, 100 parts by weight of ethyl acetate, 6 parts by weight of mineral spirit, and 4 parts by weight of toluene were mixed with a ball mill. A dielectric layer paste was obtained by pasting.
次いで、平均粒径0.2〜0.8μmのNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部と、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練してペースト化し、内部電極層用ペーストを得た。 Next, 100 parts by weight of Ni particles having an average particle size of 0.2 to 0.8 μm, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol Were kneaded with three rolls to obtain a paste, and an internal electrode layer paste was obtained.
次いで、平均粒径0.5μmのCu粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)35重量部及びブチルカルビトール7重量部とを混練してペースト化し、外部電極用ペーストを得た。 Next, 100 parts by weight of Cu particles having an average particle size of 0.5 μm, 35 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose resin dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol) and 7 parts by weight of butyl carbitol were kneaded. To obtain a paste for an external electrode.
次いで、上記誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上に、厚さ4.5μmのグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷したのち、PETフィルムからグリーンシートを剥離した。次いで、これらのグリーンシートと保護用グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積層、圧着して、グリーンチップを得た。内部電極を有するシートの積層数は4層とした。 Next, a 4.5 μm-thick green sheet was formed on the PET film using the dielectric layer paste, and the internal electrode layer paste was printed thereon, and then the green sheet was peeled from the PET film. Next, these green sheets and protective green sheets (not printed with internal electrode layer paste) were laminated and pressure-bonded to obtain green chips. The number of sheets having internal electrodes was four.
次いで、グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理、焼成及びアニールを行って、積層セラミック焼成体を得た。 Next, the green chip was cut into a predetermined size and subjected to binder removal processing, firing and annealing to obtain a multilayer ceramic fired body.
脱バインダ処理は、昇温時間15℃/時間、保持温度280℃、保持時間2時間、空気雰囲気の条件で行った。 The binder removal treatment was performed under conditions of a temperature rising time of 15 ° C./hour, a holding temperature of 280 ° C., a holding time of 2 hours, and an air atmosphere.
焼成は、昇温速度200℃/時間、保持温度1260〜1340℃、保持時間2時間、冷却速度300℃/時間、加湿したN2 +H2 混合ガス雰囲気(酸素分圧は10−6Pa)の条件で行った。 Firing is performed in a temperature rising rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1260 to 1340 ° C., a holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (oxygen partial pressure is 10 −6 Pa). Performed under conditions.
アニールは、保持温度1050℃、温度保持時間2時間、冷却速度300℃/時間、窒素雰囲気の条件で行った。なお、脱バインダー処理及び焼成の際の雰囲気ガスの加湿には、水温を35℃としたウェッターを用いた。 The annealing was performed under the conditions of a holding temperature of 1050 ° C., a temperature holding time of 2 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a nitrogen atmosphere. Note that a wetter with a water temperature of 35 ° C. was used for humidifying the atmospheric gas during the debinding process and firing.
次いで、積層セラミック焼成体の端面をサンドブラストにて研磨したのち、外部電極用ペーストを端面に転写し、加湿したN2 +H2 雰囲気中において、800℃にて10分間焼成して外部電極を形成し、図1に示される構成の積層セラミックコンデンサのサンプルを得た。 Next, after polishing the end face of the multilayer ceramic fired body by sand blasting, the external electrode paste is transferred to the end face and fired at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified N 2 + H 2 atmosphere to form the external electrode. A sample of the multilayer ceramic capacitor having the configuration shown in FIG. 1 was obtained.
このようにして得られた各サンプルのサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は4、その厚さは3.5μmであり、内部電極層の厚さは1.0μmであった。 The size of each sample thus obtained is 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between internal electrode layers is 4, and the thickness is 3.5 μm. The thickness of the internal electrode layer was 1.0 μm.
得られたコンデンササンプルに対して、IR温度依存性(桁落ち)、容量温度特性(Tc)及びTCバイアスを評価した。結果を表1に示す。 The obtained capacitor sample was evaluated for IR temperature dependency (digit loss), capacitance temperature characteristic (Tc), and TC bias. The results are shown in Table 1.
IR温度依存性(桁落ち)は、得られたサンプルの150℃における絶縁抵抗IR150 と、25℃における絶縁抵抗IR25とを測定し、下記式1で示される桁落ちを算出して評価した。評価基準は、−2.00以上を良好とした。
log(IR150 /IR25) …式1
なお、各温度での絶縁抵抗の測定には、温度可変IR測定器を用い、測定電圧7.0V/μm、電圧印加時間60sで測定した。
The IR temperature dependency (digit loss) was evaluated by measuring the insulation resistance IR 150 at 150 ° C. and the insulation resistance IR 25 at 25 ° C. of the obtained sample, and calculating the digit loss represented by the following formula 1. . The evaluation criterion was -2.00 or better.
log (IR 150 / IR 25 ) ... Equation 1
The insulation resistance at each temperature was measured using a variable temperature IR measuring instrument at a measurement voltage of 7.0 V / μm and a voltage application time of 60 s.
容量温度特性(Tc)は、得られたサンプルに対し、−55℃〜150℃の温度範囲で静電容量を測定した。静電容量の測定にはデジタルLCRメータ(YHP製4274A)を用い、周波数1kHz、入力信号レベル1Vrmsの条件下で測定した。そして、これらの温度範囲で最も容量温度特性が悪くなる150℃の温度環境下での静電容量の変化率(△C/C。単位は%)を算出し、X8R特性(−55〜150℃、ΔC/C=±15%以内)を満足するかどうかを調べ、満足するものを◎、満足しないものを×とした。 For the capacity-temperature characteristic (Tc), the capacitance was measured in the temperature range of −55 ° C. to 150 ° C. for the obtained sample. The capacitance was measured using a digital LCR meter (YHP 4274A) under the conditions of a frequency of 1 kHz and an input signal level of 1 Vrms. Then, the rate of change in capacitance (ΔC / C. The unit is%) under a temperature environment of 150 ° C. at which the capacity-temperature characteristic becomes the worst in these temperature ranges is calculated, and the X8R characteristic (−55 to 150 ° C. is calculated). , ΔC / C = within ± 15%).
TCバイアスは、得られたサンプルを、デジタルLCRメータ(YHP製4274A)にて、1kHz,1Vrms,7.0V/μmのバイアス電圧(直流電圧)で−55℃から150℃まで温度を変化させて測定し、25℃のバイアス電圧無印加中の測定値からの静電容量の変化率を算出して評価した。なお、静電容量の測定にはLCRメーターを用い、周波数1kHz、入力信号レベル1Vrmsの条件下で測定した。評価基準は、−40%以上を良好とした。 The TC bias is obtained by changing the temperature of the obtained sample from −55 ° C. to 150 ° C. with a digital LCR meter (YHP 4274A) at a bias voltage (DC voltage) of 1 kHz, 1 Vrms, 7.0 V / μm. Measurement was performed, and the rate of change in capacitance was calculated and evaluated from a measured value during application of no bias voltage at 25 ° C. The capacitance was measured using an LCR meter under conditions of a frequency of 1 kHz and an input signal level of 1 Vrms. The evaluation standard was -40% or better.
なお、得られたコンデンササンプルに対して、比誘電率(ε)、誘電損失(tanδ)、直流電界下でのIR寿命、直流絶縁破壊強度、DCバイアス特性(誘電率の直流電圧印加依存性)も併せて評価した。 In addition, relative permittivity (ε), dielectric loss (tan δ), IR life under DC electric field, DC breakdown strength, DC bias characteristics (dependence of dielectric constant on DC voltage application) for the obtained capacitor sample Was also evaluated.
比誘電率εは、コンデンササンプルに対し、基準温度25℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1.0Vrmsの条件下で測定された静電容量から算出した(単位なし)。その結果、いずれのサンプルも1000以上と良好な結果が得られた。 The relative dielectric constant ε was measured for a capacitor sample at a reference temperature of 25 ° C. using a digital LCR meter (4274A manufactured by YHP) under the conditions of a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1.0 Vrms. Calculated from the electric capacity (no unit). As a result, all the samples had a good result of 1000 or more.
誘電損失(tanδ)は、コンデンサのサンプルに対し、基準温度25℃において、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1.0Vrmsの条件下で測定した。その結果、いずれのサンプルも10%以下と良好な結果が得られた。 Dielectric loss (tan δ) was measured with a digital LCR meter (YHP 4274A) at a reference temperature of 25 ° C. and a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1.0 Vrms with respect to a capacitor sample. . As a result, good results were obtained for all samples of 10% or less.
直流電界下でのIR寿命は、コンデンサのサンプルに対し、200℃にて10V/μmの電界下で加速試験を行い、絶縁抵抗が1MΩ以下になるまでの時間を寿命時間として算出した。その結果、いずれのサンプルも10時間以上と良好な結果が得られた。 The IR life under a direct current electric field was calculated by performing an acceleration test on a capacitor sample at 200 ° C. under an electric field of 10 V / μm, and calculating the time until the insulation resistance was 1 MΩ or less as the life time. As a result, good results were obtained for all samples of 10 hours or more.
直流絶縁破壊強度は、コンデンササンプルに対し、直流電圧を100V/sec.の昇温速度で印加し、100mAの漏洩電流を検知した時の電圧(直流破壊電圧VB、単位はV/μm)を測定し、その平均値を算出した。その結果、いずれのサンプルも100V/μm以上と良好な結果が得られた。 The DC breakdown strength is 100 V / sec. The voltage (DC breakdown voltage VB, unit is V / μm) when a leakage current of 100 mA was detected was measured and the average value was calculated. As a result, good results were obtained for all samples of 100 V / μm or more.
DCバイアス特性は、コンデンサのサンプルに対し、一定温度(25℃)において、各サンプルに徐々に直流電圧をかけていった場合の静電容量の変化(△C/C)を測定し、プロットした結果、いずれのサンプルでも、高い電圧をかけても静電容量が減少しにくく、安定したDCバイアス特性を有することが確認された。 The DC bias characteristics were plotted by measuring the change in capacitance (ΔC / C) when a DC voltage was gradually applied to each sample at a constant temperature (25 ° C.) with respect to the capacitor sample. As a result, it was confirmed that any sample had a stable DC bias characteristic because the capacitance was difficult to decrease even when a high voltage was applied.
表1に示すように、第7副成分の含有量が少なすぎると、X8R特性を満足するもののIRの桁落ちが−2.00超となり、IR温度依存性が悪化し、しかもTCバイアス特性も悪化する。第7副成分の含有量が多すぎると、IR温度依存性は改善されているもののX8R特性を満足できない。
これに対し、第7副成分の含有量が適正範囲にあることで、X8R特性を満足するとともに、IRの桁落ちが−2.00以上となり、IR温度依存性が改善されることが確認できた。
As shown in Table 1, if the content of the seventh subcomponent is too small, the X8R characteristic is satisfied, but the IR loss is over -2.00, the IR temperature dependency is deteriorated, and the TC bias characteristic is also improved. Getting worse. If the content of the seventh subcomponent is too large, the IR temperature dependency is improved, but the X8R characteristics cannot be satisfied.
On the other hand, it can be confirmed that the content of the seventh subcomponent is in the appropriate range, satisfies the X8R characteristic, and the IR loss becomes −2.00 or more, and the IR temperature dependency is improved. It was.
実施例2
第7副成分原料の種類及び含有量を、表2〜5のように変化させた以外は、実施例1と同様にコンデンササンプルを作製し、同様の評価をした。
Example 2
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and content of the seventh subcomponent material were changed as shown in Tables 2 to 5, and the same evaluation was performed.
表2〜4に示すように、第7副成分原料をCr2 O3 、Ge2 O2 、Ga2 O3 に変えても、実施例1のAl2 O3 と同様の効果が得られることが確認できる。 As shown in Tables 2 to 4, even if the seventh subcomponent material is changed to Cr 2 O 3 , Ge 2 O 2 , or Ga 2 O 3 , the same effect as that of Al 2 O 3 of Example 1 can be obtained. Can be confirmed.
表5に示すように、第7副成分原料をAl2 O3 とCr2 O3 の複合形式に変えても、Al2 O3 単独で添加した場合と同様の効果が得られることが確認できる。 As shown in Table 5, it can be confirmed that even if the seventh subcomponent material is changed to a composite form of Al 2 O 3 and Cr 2 O 3 , the same effect as that obtained when Al 2 O 3 is added alone can be obtained. .
比較例1
第7副成分原料の種類及び含有量を、表6のように変化させた以外は、実施例1と同様にコンデンササンプルを作製し、同様の評価をした。
Comparative Example 1
A capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the type and content of the seventh subcomponent material were changed as shown in Table 6, and the same evaluation was performed.
表6に示すように、6配位時の有効イオン半径が適正範囲を外れた陽イオン元素P(0.052nm)、K(0.152nm)に変えた場合には、含有量を適正範囲にしても、第7副成分添加の効果が得られないことが確認できた。 As shown in Table 6, when the effective ionic radius at the time of 6 coordination is changed to a cation element P (0.052 nm) or K (0.152 nm) outside the appropriate range, the content is set to the appropriate range. However, it was confirmed that the effect of adding the seventh subcomponent could not be obtained.
1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素子本体
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer
Claims (3)
AEの酸化物(但し、AEはMg、Ca、Ba及びSrから選択される少なくとも1種)からなる第1副成分と、
Rの酸化物(但し、RはY、Dy、Tm、Ho及びErから選択される少なくとも1種)からなる第2副成分と、
MxSiO3 (但し、Mは、Ba、Ca、Sr、Li、Bから選択される少なくとも1種であり、M=Baの場合にはx=1、M=Caの場合にはx=1、M=Srの場合にはx=1、M=Liの場合にはx=2、M=Bの場合にはx=2/3である)からなる第3副成分と、
MnOからなる第4副成分と、
V2 O5 、MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種からなる第5副成分と、
CaZrO 3 からなる第6副成分と、
Aの酸化物(但し、Aは、Al、Cr、Ga、Geの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種)からなる第7副成分とを、有する誘電体磁器組成物であって、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0〜0.1モル(但し、0モルと0.1モルを除く)、
第2副成分:1〜7モル(但し、1モルと7モルを除く)、
第3副成分:2〜10モル、
第4副成分:0〜0.5モル(但し、0モルを除く)、
第5副成分:0.01〜0.5モル、
第6副成分:0〜5モル(但し、0モルと5モルを除く)、
第7副成分:1〜3.5モル(但し、1モルと3.5モルを除く。A酸化物に換算した値)であり、
第1副成分のモル数に対する第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)が10〜500(但し、10と500を除く)である誘電体磁器組成物。 A main component consisting of barium titanate,
A first subcomponent comprising an oxide of AE (where AE is at least one selected from Mg, Ca, Ba and Sr);
A second subcomponent comprising an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tm, Ho and Er);
MxSiO 3 (where M is at least one selected from Ba, Ca, Sr, Li, and B. When M = Ba, x = 1, when M = Ca, x = 1, M A third subcomponent consisting of x = 1 for S =, x = 2 for M = Li, and x = 2/3 for M = B;
A fourth subcomponent comprising MnO;
A fifth subcomponent consisting of at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ;
A sixth subcomponent consisting of CaZrO 3 ;
A dielectric ceramic composition comprising a seventh subcomponent comprising an oxide of A (where A is at least one selected from the group of cation elements of Al, Cr, Ga, Ge ),
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 to 0.1 mol (excluding 0 mol and 0.1 mol),
Second subcomponent: 1 to 7 mol (excluding 1 mol and 7 mol),
Third subcomponent: 2 to 10 mol,
Fourth subcomponent: 0 to 0.5 mol (excluding 0 mol),
5th subcomponent: 0.01-0.5 mol,
Sixth subcomponent: 0 to 5 mol (excluding 0 mol and 5 mol),
Seventh subcomponent: 1 to 3.5 mol (excluding 1 mol and 3.5 mol; value converted to oxide A),
A dielectric ceramic composition wherein the ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is 10 to 500 (excluding 10 and 500).
前記誘電体磁器組成物が、チタン酸バリウムからなる主成分と、
AEの酸化物(但し、AEはMg、Ca、Ba及びSrから選択される少なくとも1種)からなる第1副成分と、
Rの酸化物(但し、RはY、Dy、Tm、Ho及びErから選択される少なくとも1種)からなる第2副成分と、
MxSiO3 (但し、Mは、Ba、Ca、Sr、Li、Bから選択される少なくとも1種であり、M=Baの場合にはx=1、M=Caの場合にはx=1、M=Srの場合にはx=1、M=Liの場合にはx=2、M=Bの場合にはx=2/3である)からなる第3副成分と、
MnOからなる第4副成分と、
V2 O5 、MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種からなる第5副成分と、
CaZrO 3 からなる第6副成分と、
Aの酸化物(但し、Aは、Al、Cr、Ga、Geの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種)からなる第7副成分とを、有し、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0〜0.1モル(但し、0モルと0.1モルを除く)、
第2副成分:1〜7モル(但し、1モルと7モルを除く)、
第3副成分:2〜10モル、
第4副成分:0〜0.5モル(但し、0モルを除く)、
第5副成分:0.01〜0.5モル、
第6副成分:0〜5モル(但し、0モルと5モルを除く)、
第7副成分:1〜3.5モル(但し、1モルと3.5モルを除く。A酸化物に換算した値)であり、
第1副成分のモル数に対する第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)が10〜500(但し、10と500を除く)である電子部品。 An electronic component having a dielectric layer composed of a dielectric ceramic composition,
The dielectric ceramic composition comprises a main component comprising barium titanate;
A first subcomponent comprising an oxide of AE (where AE is at least one selected from Mg, Ca, Ba and Sr);
A second subcomponent comprising an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tm, Ho and Er);
MxSiO 3 (where M is at least one selected from Ba, Ca, Sr, Li, and B. When M = Ba, x = 1, when M = Ca, x = 1, M A third subcomponent consisting of x = 1 for S =, x = 2 for M = Li, and x = 2/3 for M = B;
A fourth subcomponent comprising MnO;
A fifth subcomponent consisting of at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ;
A sixth subcomponent consisting of CaZrO 3 ;
A seventh subcomponent consisting of an oxide of A (where A is at least one selected from the group of cation elements of Al, Cr, Ga, Ge ),
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 to 0.1 mol (excluding 0 mol and 0.1 mol),
Second subcomponent: 1 to 7 mol (excluding 1 mol and 7 mol),
Third subcomponent: 2 to 10 mol,
Fourth subcomponent: 0 to 0.5 mol (excluding 0 mol),
5th subcomponent: 0.01-0.5 mol,
Sixth subcomponent: 0 to 5 mol (excluding 0 mol and 5 mol),
Seventh subcomponent: 1 to 3.5 mol (excluding 1 mol and 3.5 mol; value converted to oxide A),
An electronic component in which the ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is 10 to 500 (excluding 10 and 500).
前記誘電体磁器組成物が、チタン酸バリウムからなる主成分と、
AEの酸化物(但し、AEはMg、Ca、Ba及びSrから選択される少なくとも1種)からなる第1副成分と、
Rの酸化物(但し、RはY、Dy、Tm、Ho及びErから選択される少なくとも1種)からなる第2副成分と、
MxSiO3 (但し、Mは、Ba、Ca、Sr、Li、Bから選択される少なくとも1種であり、M=Baの場合にはx=1、M=Caの場合にはx=1、M=Srの場合にはx=1、M=Liの場合にはx=2、M=Bの場合にはx=2/3である)からなる第3副成分と、
MnOからなる第4副成分と、
V2 O5 、MoO3 及びWO3 から選択される少なくとも1種からなる第5副成分と、
CaZrO 3 からなる第6副成分と、
Aの酸化物(但し、Aは、Al、Cr、Ga、Geの陽イオン元素群から選択される少なくとも1種)からなる第7副成分とを、有し、
前記主成分100モルに対する各副成分の比率が、
第1副成分:0〜0.1モル(但し、0モルと0.1モルを除く)、
第2副成分:1〜7モル(但し、1モルと7モルを除く)、
第3副成分:2〜10モル、
第4副成分:0〜0.5モル(但し、0モルを除く)、
第5副成分:0.01〜0.5モル、
第6副成分:0〜5モル(但し、0モルと5モルを除く)、
第7副成分:1〜3.5モル(但し、1モルと3.5モルを除く。A酸化物に換算した値)であり、
第1副成分のモル数に対する第2副成分のモル数の比(第2副成分/第1副成分)が10〜500(但し、10と500を除く)である積層セラミックコンデンサ。 A multilayer ceramic capacitor having a capacitor element body in which dielectric layers composed of dielectric ceramic compositions and internal electrode layers are alternately laminated,
The dielectric ceramic composition comprises a main component comprising barium titanate;
A first subcomponent comprising an oxide of AE (where AE is at least one selected from Mg, Ca, Ba and Sr);
A second subcomponent comprising an oxide of R (where R is at least one selected from Y, Dy, Tm, Ho and Er);
MxSiO 3 (where M is at least one selected from Ba, Ca, Sr, Li, and B. When M = Ba, x = 1, when M = Ca, x = 1, M A third subcomponent consisting of x = 1 for S =, x = 2 for M = Li, and x = 2/3 for M = B;
A fourth subcomponent comprising MnO;
A fifth subcomponent consisting of at least one selected from V 2 O 5 , MoO 3 and WO 3 ;
A sixth subcomponent consisting of CaZrO 3 ;
Oxide of A (where, A is, Al, Cr, Ga, at least one selected from cationic group of elements Ge) and a seventh auxiliary component composed of, has,
The ratio of each subcomponent to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 to 0.1 mol (excluding 0 mol and 0.1 mol),
Second subcomponent: 1 to 7 mol (excluding 1 mol and 7 mol),
Third subcomponent: 2 to 10 mol,
Fourth subcomponent: 0 to 0.5 mol (excluding 0 mol),
5th subcomponent: 0.01-0.5 mol,
Sixth subcomponent: 0 to 5 mol (excluding 0 mol and 5 mol),
Seventh subcomponent: 1 to 3.5 mol (excluding 1 mol and 3.5 mol; value converted to oxide A),
A multilayer ceramic capacitor wherein a ratio of the number of moles of the second subcomponent to the number of moles of the first subcomponent (second subcomponent / first subcomponent) is 10 to 500 (excluding 10 and 500).
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