JP3452706B2 - Test equipment and test method - Google Patents

Test equipment and test method

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JP3452706B2
JP3452706B2 JP24948195A JP24948195A JP3452706B2 JP 3452706 B2 JP3452706 B2 JP 3452706B2 JP 24948195 A JP24948195 A JP 24948195A JP 24948195 A JP24948195 A JP 24948195A JP 3452706 B2 JP3452706 B2 JP 3452706B2
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test
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signal terminal
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Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、集積回路、機能回
路等の機能試験を行うための試験装置及び試験方法に係
り、特に、テストパターンを発生させてメモリ回路、順
序回路等の試験を行うために用いて好適な試験装置及び
試験方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test apparatus and a test method for performing a functional test of an integrated circuit, a functional circuit, etc., and more particularly, a test pattern is generated to test a memory circuit, a sequential circuit, etc. suitable test equipment and used for
Regarding test methods .

【0002】[0002]

【従来の技術】テストパターンを発生させて各種回路の
試験を行う試験装置に関する従来技術として、例えば、
特開昭61−142476号公報等に記載された技術が
知られている。
2. Description of the Related Art As a conventional technique relating to a test apparatus for generating a test pattern to test various circuits, for example,
The technique described in Japanese Patent Laid-Open No. 61-142476 is known.

【0003】図4はこの種の従来技術による試験装置の
概略構成を示すブロック図である。図4において、1は
制御回路、2はテストパターン蓄積メモリ群、3は専用
テストパターン発生機、4は信号選択回路、5−1、5
−nは切替回路、6−1、6−nはドライバ/コンパレ
ータ、7は被試験物である。
FIG. 4 is a block diagram showing a schematic structure of a conventional test apparatus of this type. In FIG. 4, 1 is a control circuit, 2 is a test pattern storage memory group, 3 is a dedicated test pattern generator, 4 is a signal selection circuit, 5-1 and 5
-N is a switching circuit, 6-1 and 6-n are drivers / comparators, and 7 is a device under test.

【0004】図4に示す従来技術による試験装置は、被
試験物7として、ランダム論理回路、メモリ回路等を被
試験物7として試験を行うことができるものであり、ラ
ンダム論理回路等に対する試験を行うための試験パター
ンを蓄積しているテストパターン蓄積メモリ群2と、メ
モリ回路等に対する試験を行うための試験パターンを発
生させる専用テストパターン発生機3とを備えて構成さ
れる。
The test apparatus according to the prior art shown in FIG. 4 can test a random logic circuit, a memory circuit, etc. as the device under test 7, and can test the random logic circuit etc. A test pattern storage memory group 2 that stores test patterns to be performed and a dedicated test pattern generator 3 that generates a test pattern to test a memory circuit or the like are configured.

【0005】ランダム論理回路等に対するテストパター
ン蓄積メモリ群2と、メモリ回路等に対する専用テスト
パターン発生機3とを備える理由は、論理回路の試験の
場合、ランダムなテストパターンが被試験論理回路の信
号端子に印加されても効率的な試験を行うことができな
いため、予め作成された有効な信号を端子に印加すべき
テストパターンとして複数組蓄積しておくことが、効率
的な試験を行うために効果的であり、また、長大なテス
トパターンの組を必要とするメモリ回路の試験では、そ
れらのテストパターンを蓄積するために、大量のメモリ
を必要とするため、これを避けるためである。
The reason for providing the test pattern storage memory group 2 for a random logic circuit or the like and the dedicated test pattern generator 3 for a memory circuit or the like is that in the case of a logic circuit test, a random test pattern is a signal of the logic circuit under test. Since it is not possible to perform an efficient test even if applied to the terminal, it is necessary to store multiple sets of valid signals created in advance as test patterns to be applied to the terminal in order to perform an efficient test. This is to avoid this because testing of a memory circuit that is effective and requires a large set of test patterns requires a large amount of memory to store those test patterns.

【0006】図示試験装置において、テストパターン蓄
積メモリ群2の出力端子は、被試験物7の信号端子毎に
具備されているのが通例であり、また、専用テストパタ
ーン発生機3の出力端子は、専用テストパターン発生機
3のパターン発生原理上及びコスト的な観点から、被試
験物の信号端子毎には具備しておらず、発生した試験パ
ターンの中から被試験物7の各信号端子に必要な信号
が、信号選択回路4で選択される。
In the illustrated test apparatus, the output terminal of the test pattern storage memory group 2 is usually provided for each signal terminal of the device under test 7, and the output terminal of the dedicated test pattern generator 3 is From the viewpoint of the pattern generation principle of the dedicated test pattern generator 3 and from the viewpoint of cost, it is not provided for each signal terminal of the device under test, and each signal terminal of the device under test 7 is connected to the signal terminal of the device under test 7 from the generated test pattern. The required signal is selected by the signal selection circuit 4.

【0007】そして、図示試験装置は、被試験物7が論
理回路であるか、メモリ回路であるか等の被試験物の種
類に応じて、テストパターン蓄積メモリ群2の出力と専
用テストパターン発生機3の信号選択回路4により選択
された出力とを、切替回路5−1〜5−nで切り替えて
使用するものであり、切替回路からの信号を、ドライバ
/コンパレータ6−1〜6−nを介して被試験物7の信
号端子に与えて被試験物7の機能試験を行っている。
The testing apparatus shown in the figure outputs the test pattern storage memory group 2 and a dedicated test pattern according to the type of the DUT such as whether the DUT 7 is a logic circuit or a memory circuit. The output selected by the signal selection circuit 4 of the machine 3 is used by switching the switching circuits 5-1 to 5-n. The signals from the switching circuit are used as drivers / comparators 6-1 to 6-n. The signal is applied to the signal terminal of the DUT 7 via the to perform the functional test of the DUT 7.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】前述した従来技術によ
る試験装置は、集積回路、メモリ回路等の被試験物の高
集積化が進み信号端子数が増加すると、専用テストパタ
ーン発生機のテストパターン信号を被試験物の各信号端
子に選択分配するために必要なハードウエア量、被試験
物の各信号端子毎に具備しているテストパターン信号蓄
積メモリ群からのテストパターンとを切替えるためのハ
ードウエア量が増大するという問題点を生じる。
The test apparatus according to the prior art described above has a test pattern signal of a dedicated test pattern generator when the number of signal terminals increases as the degree of integration of the device under test such as an integrated circuit and a memory circuit increases. Hardware required to selectively distribute the signal to each signal terminal of the device under test, and the hardware for switching the test pattern from the test pattern signal storage memory group provided for each signal terminal of the device under test The problem arises that the amount increases.

【0009】本発明の目的は、前記従来技術の問題点を
解決し、簡単な方法でテストパターンを発生することを
可能にし、ハードウエア量を削減してテストパターンを
発生させることのできる試験装置及び試験方法を提供す
ることにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, to enable a test pattern to be generated by a simple method, and to reduce the amount of hardware to generate a test pattern. And to provide a test method .

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、被試験物の各
信号端子毎に印加する値、あるいは、各信号端子からの
出力に対する比較期待値が、繰り返し規則性を持ってい
ることを前提とすものであり、本発明によれば前記目的
は、被試験物が有する複数のアドレス信号端子に同時に
テストパターンを印加して、前記被試験物の試験を行な
う試験装置において、前記試験装置は、前記複数のアド
レス信号端子のそれぞれのアドレス信号端子にテストパ
ターンを印加する各アドレス信号端子に対応して設けら
れた複数のテストパターン発生手段を有し、前記テスト
パターン発生手段のそれぞれは、テストパターンを保持
するメモリと、前記メモリに保持されたテストパターン
を、前記対応付けられた1つのアドレス信号端子へ任意
の回数繰り返して出力する制御部とを有し、前記複数の
アドレス信号端子のうち隣り合う2つのアドレス信号端
子を、第1のアドレス信号端子及び第2のアドレス信号
端子とし、これらのアドレス信号端子に対応付けられた
2つのテストパターン発生手段を第1のテストパターン
発生手段及び第2のテストパターン発生手段としたと
き、前記第1の信号アドレス端子にテストパターンを出
力する第1のテストパターン発生手段は、前記第1のテ
ストパターン発生手段が有する第1のメモリに保持され
た0の信号が2 n (nは整数)ビット連続した後に1の
信号が2 n ビット連続してなる第1のテストパターン
を、前記第1のテストパターン発生手段が有する制御部
により、前記第1のアドレス信号端子へ所定の回数繰り
返して出力し、前記第2のアドレス信号端子にテストパ
ターンを出力する第2のテストパターン発生手段は、前
記第2のテストパターン発生手段が有する第2のメモリ
に保持された0の信号が2 n+1 ビット連続した後に1の
信号が2 n+1 ビット連続してなる第2のテストパターン
を、前記第2のテストパターン発生手段が有する制御部
により、前記第2のアドレス信号端子へ、前記第1のテ
ストパターン発生手段と同期して所定の回数繰り返して
出力することにより達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is based on the premise that a value applied to each signal terminal of a device under test or a comparative expected value with respect to an output from each signal terminal has a repetitive regularity. According to the present invention, the object is to simultaneously provide a plurality of address signal terminals of the device under test.
Apply a test pattern to test the DUT.
In the test equipment, the test equipment is
Address signal terminal of each address signal terminal
Provided corresponding to each address signal terminal that applies a turn
A plurality of test pattern generating means,
Each of the pattern generation means holds a test pattern
Memory and the test pattern held in the memory
To any one of the associated address signal terminals
And a control unit for repeatedly outputting the number of times,
Two adjacent address signal terminals of the address signal terminals
A first address signal terminal and a second address signal
Terminals and associated with these address signal terminals
The two test pattern generating means are the first test pattern
As the generating means and the second test pattern generating means,
Output a test pattern to the first signal address terminal.
The first test pattern generating means that applies the force is the first test pattern.
Stored in the first memory of the strike pattern generating means.
After the signal of 0 continues for 2 n (n is an integer) bits,
The first test pattern in which the signal is continuous for 2 n bits
And a control unit included in the first test pattern generating means.
To the first address signal terminal a predetermined number of times.
Return and output the test pattern to the second address signal terminal.
The second test pattern generating means for outputting a turn is
A second memory included in the second test pattern generating means
After the signal of 0 held at 2 n + 1 bits continues,
Second test pattern in which the signal is 2 n + 1 consecutive bits
And a control unit included in the second test pattern generating means.
To the second address signal terminal by the
Repeated a predetermined number of times in synchronization with the strike pattern generation means
It is achieved by outputting .

【0011】また、前記目的は、被試験物が有する複数
のアドレス信号端子に同時に0あるいは1の信号を印加
して、前記被試験物の試験を行なう試験方法において、
前記複数のアドレス信号端子の各々のアドレス信号端子
に対し、0及び1の信号を組み合わせてなるテストパタ
ーンをそれぞれ用意し、前記用意されたテストパターン
を任意の回数繰り返して前記それぞれのアドレス信号端
子に印加し、前記複数のアドレス信号端子のうちの隣り
合う2つのアドレス信号端子を、第1のアドレス信号端
子及び第2のアドレス信号端子としたとき、前記第1の
アドレス信号端子には、0の信号が2 n (nは整数)ビ
ット連続した後に1の信号が2 n ビット連続してなる第
1のテストパターンを用意し、前記第1のテストパター
ンを所定の回数繰り返して前記第1のアドレス信号端子
に印加し、前記第2のアドレス信号端子には、0の信号
が2 n+1 ビット連続した後に1の信号が2 n+1 ビット連
続してなる第2のテストパターンを用意し、前記第2の
テストパターンを所定の回数繰り返して、前記第1のテ
ストパターンと同期して前記第2のアドレス信号端子に
印加することにより達成される。
Further, the above-mentioned object is to provide a plurality of objects to be tested.
0 or 1 signal is simultaneously applied to the address signal terminals of
Then, in the test method for performing the test of the DUT,
Address signal terminals of each of the plurality of address signal terminals
On the other hand, a test pattern that combines 0 and 1 signals
Each of the test patterns prepared above is prepared.
Repeatedly any number of times,
Of the plurality of address signal terminals applied to the child
Connect the two address signal terminals that match to the first address signal end.
When used as a child and a second address signal terminal,
A signal of 0 is 2 n (n is an integer)
The first signal is 2 n bits in succession after
1 test pattern is prepared, and the first test pattern
Are repeated a predetermined number of times to generate the first address signal terminal.
And a signal of 0 is applied to the second address signal terminal.
1 signal is 2 n + 1 bits with the following but a continuous 2 n + 1 bit
A second test pattern that follows is prepared, and the second test pattern
The test pattern is repeated a predetermined number of times to repeat the first test.
To the second address signal terminal in synchronization with the strike pattern.
It is achieved by applying .

【0012】本発明は、前述の構成を備え、メモリ回
路、順序回路等に対するテストパターンの各信号端子毎
に持っている繰返し性を活用し、各信号端子毎に繰り返
し制御を行わせることによって、短いテストパターンの
繰返しによる任意のテストパターンを任意数容易に発生
させるさせることができる。
According to the present invention, which has the above-mentioned structure, the test pattern for the memory circuit, the sequential circuit, etc. is utilized repetitively for each signal terminal, and repetitive control is performed for each signal terminal. It is possible to easily generate an arbitrary number of arbitrary test patterns by repeating short test patterns.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明による試験装置及び
試験方法の実施の形態を図面により説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A test apparatus according to the present invention and
An embodiment of the test method will be described with reference to the drawings.

【0014】図1は本発明の一実施の形態による試験装
置の構成を示すブロック図、図2は被試験物の各信号端
子毎のテストパターン発生の動作を説明するフローチャ
ート、図3は被試験物をメモリ回路とした場合のテスト
パターンの例を示す図である。図1において、1−1〜
1−nは制御回路、2−1〜2−nはテストパターン蓄
積メモリであり、他の符号は図4の場合と同一である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a flow chart for explaining an operation of generating a test pattern for each signal terminal of a device under test, and FIG. It is a figure which shows the example of the test pattern when a thing is a memory circuit. In FIG. 1, 1-1 to
1-n is a control circuit, 2-1 to 2-n are test pattern storage memories, and other symbols are the same as in the case of FIG.

【0015】本発明の一実施の形態による試験装置は、
図4により説明した従来技術の試験装置の構成から、専
用テストパターン発生機3、信号選択回路4、及び、切
替回路5−1〜5−nを除き、代わりに、メモリ回路、
順序回路等の被試験物7の各信号端子毎に対応して独立
に設けられる制御回路1−1〜1−nとテストパターン
蓄積メモリ2−1〜2−nとの各1により構成されるテ
ストパターン発生手段を備えて構成されている。
A test apparatus according to one embodiment of the present invention is
The dedicated test pattern generator 3, the signal selection circuit 4, and the switching circuits 5-1 to 5-n are removed from the configuration of the conventional test apparatus described with reference to FIG.
Each of the control circuits 1-1 to 1-n and the test pattern storage memories 2-1 to 2-n provided independently corresponding to each signal terminal of the device under test 7 such as a sequential circuit is configured. The test pattern generating means is provided.

【0016】前述において、テストパターン蓄積メモリ
2−1〜2−nのそれぞれには、核となる短いテストパ
ターンが格納されており、このテストパターンは、制御
回路1−1〜1−nにより制御されて、テストパターン
発生手段毎に異なる所定の繰り返し規則に従って読み出
されて出力される。各テストパターン発生手段は、それ
ぞれ同期した周期で動作させられてテストパターンを出
力するが、それぞれの繰り返し制御内容が異なってもよ
いように独立させている。
In the above description, each of the test pattern storage memories 2-1 to 2-n stores a core short test pattern, and the test pattern is controlled by the control circuits 1-1 to 1-n. Then, it is read out and output according to a predetermined repeating rule which differs for each test pattern generating means. Each test pattern generating means is operated in a synchronized cycle and outputs a test pattern, but it is independent so that the respective repetitive control contents may be different.

【0017】図2は被試験物がメモリ回路である場合の
図1におけるそれぞれ独立したテストパターン発生手段
が、被試験物の各信号端子毎に試験パターンを発生させ
るためのフローチャート群の例を示している。
FIG. 2 shows an example of a flow chart group for generating test patterns for each signal terminal of the device under test by the independent test pattern generating means in FIG. 1 when the device under test is a memory circuit. ing.

【0018】図2において、信号A0〜信号A3、……
は、被試験メモリ回路のアドレス信号であり、これらの
アドレス信号A0〜A3の信号端子に対応するテストパ
ターン発生手段が試験パターンを発生させるためのフロ
ーチャートが信号A0〜信号A3に対応して示されてい
る。同様に、信号Wは、被試験メモリ回路の書き込み制
御信号である。また、図2には示していないが、被試験
物7がメモリ回路である場合、後述するように、テスト
パターンとして、データ入力信号列、読み出しデータに
対する期待値を示すデータ出力信号列が発生される。
In FIG. 2, signals A0 to A3, ...
Is an address signal of the memory circuit under test, and a flow chart for the test pattern generating means corresponding to the signal terminals of these address signals A0 to A3 to generate a test pattern is shown corresponding to the signals A0 to A3. ing. Similarly, the signal W is a write control signal for the memory circuit under test. Although not shown in FIG. 2, when the device under test 7 is a memory circuit, as will be described later, a data input signal sequence and a data output signal sequence indicating an expected value for read data are generated as test patterns. It

【0019】この図2から判るように、信号A0は、テ
ストパターン蓄積メモリに蓄積されている“01”の2
ビットの核となる短いパターンを、512回繰り返し、
さらに、それを2回繰り返す信号となって被試験物の信
号端子に印加される。また、同様に、信号A1は、“0
011”の4ビットの核となる短いパターンをテストパ
ターン蓄積メモリに蓄積しておき、それを256回繰り
返し、さらに、それが4回繰り返される信号となって被
試験物に印加される。
As can be seen from FIG. 2, the signal A0 is 2 of "01" stored in the test pattern storage memory.
Repeat the short pattern that is the core of the bit 512 times,
Further, a signal that repeats this twice is applied to the signal terminal of the DUT. Similarly, the signal A1 is "0".
The 011 ″ 4-bit core short pattern is stored in the test pattern storage memory, and this is repeated 256 times, and further, a signal that is repeated 4 times is applied to the DUT.

【0020】このように、各テストパターン発生手段
は、短いテストパターンを指定回数ずつ繰り返し発生す
ることにより、任意の長さのテストパターンを発生させ
ることができる。
As described above, each test pattern generating means can generate a test pattern of an arbitrary length by repeatedly generating a short test pattern a specified number of times.

【0021】本発明の一実施の形態による試験装置は、
被試験物7の全ての信号端子に対応するテストパターン
発生手段に、前述したように、必要な核となるテストパ
ターンと繰り返し制御とを準備し、図2に示すフローチ
ャート群による処理を一斉に同期させてスタートさせこ
とにより、ドライバ/コンパレータを介してテストパタ
ーンを被試験物7の全ての信号端子に印加するものであ
る。図2に示す例では、全てのフローチャートにおける
試験パターン数を同一にしたので、パターンの終了も全
信号について一斉に終わることになる。
A test apparatus according to one embodiment of the present invention is
As described above, the test pattern generating means corresponding to all the signal terminals of the device under test 7 are provided with the necessary core test pattern and the repeat control, and the processes by the flowchart group shown in FIG. 2 are simultaneously synchronized. The test pattern is applied to all the signal terminals of the device under test 7 via the driver / comparator by starting them. In the example shown in FIG. 2, the number of test patterns in all the flow charts is the same, so the pattern ends at the same time for all signals.

【0022】図3には図2に示すフローチャートにより
動作するテストパターン発生手段により発生させた被試
験物をメモリ回路とした場合のテストパターンの例を示
している。この図は、各信号端子毎の試験パターン信号
を、試験の進行順に左から右へ羅列したものであり、縦
列方向が被試験物に同時に印加される信号値を表わして
いる。
FIG. 3 shows an example of a test pattern when the device under test generated by the test pattern generating means operating according to the flow chart shown in FIG. 2 is a memory circuit. In this figure, the test pattern signals for each signal terminal are listed from left to right in the order of test progress, and the column direction represents the signal value applied to the DUT at the same time.

【0023】図3において、信号DOは、被試験物であ
るメモリ回路に印加する信号ではなく、メモリ回路から
の出力信号に対する期待値信号を表わし、“X”は比較
しないことを表わし、また、その“1”及び“0”は、
メモリ回路から読み出された出力信号の期待値であり、
これらの値と、メモリ回路から読み出された出力信号の
値とがドライバ/コンパレータにより比較される。信号
Wは、書き込み制御信号であり、“1”が書き込みを、
“0”が読み出しを指示している。また、信号DIは、
書き込み入力信号であり、信号W=1のときの“1”及
び“0”は、これらの値がメモリに書き込まれるもので
ある。
In FIG. 3, the signal DO is not a signal applied to the memory circuit which is the DUT, but an expected value signal with respect to the output signal from the memory circuit, "X" indicates that no comparison is made, and The "1" and "0" are
The expected value of the output signal read from the memory circuit,
These values are compared with the value of the output signal read from the memory circuit by the driver / comparator. The signal W is a write control signal, and "1" indicates write.
"0" indicates reading. Also, the signal DI is
"1" and "0" when the signal W = 1 is a write input signal, and these values are written in the memory.

【0024】図3に示す例では、2048のテストパタ
ーンが、被試験物であるメモリ回路に入力され、書き込
み、読み出しの機能試験を行うものとしているが、テス
トパターンの数は、各テストパターン発生手段の制御回
路により任意に設定することができ、また、それらのパ
ターン形状も任意に発生させることができる。
In the example shown in FIG. 3, 2048 test patterns are input to the memory circuit as the device under test to perform a functional test of writing and reading, but the number of test patterns is the number of test patterns generated. It can be arbitrarily set by the control circuit of the means, and their pattern shapes can be arbitrarily generated.

【0025】前述した本発明の一実施の形態では、被試
験物としてメモリ回路の機能試験を行うとして説明した
が、本発明は、その他の集積回路、機能回路、順序回路
等に対しても同様に試験を行うことができる。
In the above-described embodiment of the present invention, the function test of the memory circuit is performed as the device under test, but the present invention is also applicable to other integrated circuits, functional circuits, sequential circuits and the like. The test can be conducted.

【0026】前述したように本発明の一実施の形態によ
れば、被試験物の各信号端子対応に設けたテストパター
ン発生手段内に、核となる短い試験パターンを蓄積して
おき、それを適切な繰り返し制御を行って出力すること
により、長大なテストパターンを容易に発生させること
ができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, a short test pattern serving as a core is stored in the test pattern generating means provided corresponding to each signal terminal of the device under test, and this is stored. A long test pattern can be easily generated by performing appropriate repetitive control and outputting.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、専
用の試験パターン発生機及びそれを切り換えるための回
路等を備える必要なく、少ないハードウエア量で、容易
に目的とする長大なテストパターンを発生させることが
でき、被試験物の機能試験等を行うための試験装置を安
価に提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is not necessary to provide a dedicated test pattern generator and a circuit for switching the test pattern generator, and with a small amount of hardware, a desired long test pattern can be easily obtained. Therefore, it is possible to inexpensively provide a test device for performing a functional test or the like of the device under test.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施の形態による試験装置の構成を
示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a test apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】被試験物の各信号端子毎のテストパターン発生
の動作を説明するフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart illustrating an operation of generating a test pattern for each signal terminal of a device under test.

【図3】被試験物をメモリ回路とした場合のテストパタ
ーンの例を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of a test pattern when the device under test is a memory circuit.

【図4】従来技術による試験装置の概略構成を示すブロ
ック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a schematic configuration of a test apparatus according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1−1〜1−n 制御回路 2 テストパターン蓄積メモリ群 2−1〜2−n テストパターン蓄積メモリ 3 専用テストパターン発生機 4 信号選択回路 5−1、5−n 切替回路 6−1、6−n ドライバ/コンパレータ 7 被試験物 1, 1-1 to 1-n control circuit 2 Test pattern storage memory group 2-1 to 2-n Test pattern storage memory 3 Dedicated test pattern generator 4 signal selection circuit 5-1 and 5-n switching circuit 6-1, 6-n driver / comparator 7 DUT

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/28 G01R 31/3183 G11C 29/00 657 ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01R 31/28 G01R 31/3183 G11C 29/00 657

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】被試験物が有する複数のアドレス信号端子
に同時にテストパターンを印加して、前記被試験物の試
験を行なう試験装置において、 前記試験装置は、前記複数のアドレス信号端子のそれぞ
れのアドレス信号端子にテストパターンを印加する各ア
ドレス信号端子に対応して設けられた複数のテストパタ
ーン発生手段を有し、 前記テストパターン発生手段のそれぞれは、テストパタ
ーンを保持するメモリと、前記メモリに保持されたテス
トパターンを、前記対応付けられた1つのアドレス信号
端子へ任意の回数繰り返して出力する制御部とを有し、 前記複数のアドレス信号端子のうち隣り合う2つのアド
レス信号端子を、第1のアドレス信号端子及び第2のア
ドレス信号端子とし、これらのアドレス信号端子に対応
付けられた2つのテストパターン発生手段を第1のテス
トパターン発生手段及び第2のテストパターン発生手段
としたとき、 前記第1の信号アドレス端子にテストパターンを出力す
る第1のテストパターン発生手段は、前記第1のテスト
パターン発生手段が有する第1のメモリに保持された0
の信号が2n (nは整数)ビット連続した後に1の信号
が2n ビット連続してなる第1のテストパターンを、前
記第1のテストパターン発生手段が有する制御部によ
り、前記第1のアドレス信号端子へ所定の回数繰り返し
て出力し、 前記第2のアドレス信号端子にテストパターンを出力す
る第2のテストパターン発生手段は、前記第2のテスト
パターン発生手段が有する第2のメモリに保持された0
の信号が2n+1ビット連続した後に1の信号が2n+1ビッ
ト連続してなる第2のテストパターンを、前記第2のテ
ストパターン発生手段が有する制御部により、前記第2
のアドレス信号端子へ、前記第1のテストパターン発生
手段と同期して所定の回数繰り返して出力することを特
徴とする試験装置。
1. A test apparatus for testing a device under test by simultaneously applying a test pattern to a plurality of address signal terminals of the device under test, wherein the test device comprises: A plurality of test pattern generating means provided corresponding to each address signal terminal for applying a test pattern to an address signal terminal is provided, and each of the test pattern generating means includes a memory for holding a test pattern and a memory for holding the test pattern. A control unit that repeatedly outputs the held test pattern to the associated one address signal terminal an arbitrary number of times, and sets two adjacent address signal terminals of the plurality of address signal terminals to a first address signal terminal. One address signal terminal and a second address signal terminal, and two address signal terminals associated with these address signal terminals. When the strike pattern generating means is the first test pattern generating means and the second test pattern generating means, the first test pattern generating means for outputting a test pattern to the first signal address terminal is the first test pattern generating means. 0 stored in the first memory of the test pattern generating means
Of the first test pattern in which the 1st signal continues for 2n bits after the 2nd signal continues for 2n (n is an integer) bits by the control unit included in the first test pattern generating means. The second test pattern generating means for repeatedly outputting to the address signal terminal a predetermined number of times and outputting the test pattern to the second address signal terminal is held in a second memory included in the second test pattern generating means. Was 0
The second test pattern in which the signal of 1 continues for 2 n + 1 bits after the signal of 2 n + 1 continues for the second test pattern by the control unit included in the second test pattern generating means.
To the address signal terminal of the first test pattern generating means repeatedly and repeatedly outputting a predetermined number of times.
【請求項2】被試験物が有する複数のアドレス信号端子
に同時に0あるいは1の信号を印加して、前記被試験物
の試験を行なう試験方法において、 前記複数のアドレス信号端子の各々のアドレス信号端子
に対し、0及び1の信号を組み合わせてなるテストパタ
ーンをそれぞれ用意し、 前記用意されたテストパターンを任意の回数繰り返して
前記それぞれのアドレス信号端子に印加し、 前記複数のアドレス信号端子のうちの隣り合う2つのア
ドレス信号端子を、第1のアドレス信号端子及び第2の
アドレス信号端子としたとき、 前記第1のアドレス信号端子には、0の信号が2n (n
は整数)ビット連続した後に1の信号が2n ビット連続
してなる第1のテストパターンを用意し、前記第1のテ
ストパターンを所定の回数繰り返して前記第1のアドレ
ス信号端子に印加し、 前記第2のアドレス信号端子には、0の信号が2n+1
ット連続した後に1の信号が2n+1 ビット連続してなる
第2のテストパターンを用意し、前記第2のテストパタ
ーンを所定の回数繰り返して、前記第1のテストパター
ンと同期して前記第2のアドレス信号端子に印加するこ
とを特徴とする試験方法。
2. A test method for testing a device under test by simultaneously applying signals of 0 or 1 to a plurality of address signal terminals of the device under test, the address signals of each of the plurality of address signal terminals. A test pattern formed by combining signals of 0 and 1 is prepared for each terminal, and the prepared test pattern is repeated an arbitrary number of times to be applied to each of the address signal terminals. When the two adjacent address signal terminals of are the first address signal terminal and the second address signal terminal, a signal of 0 is 2 n (n
Is an integer), and a first test pattern in which 1 signal is continuously 2 n bits is prepared, and the first test pattern is repeated a predetermined number of times and applied to the first address signal terminal, A second test pattern in which a 0 signal continues for 2 n + 1 bits and a 1 signal continues for 2 n + 1 bits is prepared for the second address signal terminal. Is repeated a predetermined number of times and is applied to the second address signal terminal in synchronization with the first test pattern.
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