JP3100764B2 - 電気化学式ガスセンサ - Google Patents
電気化学式ガスセンサInfo
- Publication number
- JP3100764B2 JP3100764B2 JP04159522A JP15952292A JP3100764B2 JP 3100764 B2 JP3100764 B2 JP 3100764B2 JP 04159522 A JP04159522 A JP 04159522A JP 15952292 A JP15952292 A JP 15952292A JP 3100764 B2 JP3100764 B2 JP 3100764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- gas
- housing
- internal space
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気化学式ガスセンサ
に関し、例えば大気中等における窒素酸化物、あるいは
火災時における一酸化炭素の検知に有用な電気化学式ガ
スセンサに関する。
に関し、例えば大気中等における窒素酸化物、あるいは
火災時における一酸化炭素の検知に有用な電気化学式ガ
スセンサに関する。
【０００２】電気化学的な酸化還元反応を利用して、雰
囲気中の特定のガス、たとえば、炭酸ガス、一酸化炭
素、水素、アルコール、窒素酸化物等の検知対象ガスを
検知する電気化学式ガスセンサがこれまで数多く提案さ
れている。ここで、電気化学式ガスセンサを構成する公
知のセンサ素子１０を示す図４及び図５に基づいて説明
すると、このセンサ素子１０は、特開昭６４−８８３５
４号公報に開示されている如く、絶縁基板１００に作用
極７０と対極９０が向かい合うように形成され、この対
極９０と作用極７０の隣に参照極８０が並べられ、さら
に、含水状態に保持される固体電解質膜１１０でこれら
の電極群を被覆しており、上記作用極７０と対極９０間
に電圧を印加すると、検知対象ガスが上記作用極７０上
で酸化反応あるいは還元反応を起こし、この反応にとも
なって生成されたイオンが含水状態に保持された固体電
解質膜１１０中を移動して対極９０で還元反応あるいは
酸化反応を起こす。この電気化学的な酸化還元反応によ
って、対極９０−作用極７０間を流れる電流値をセンサ
素子１０に接続した電流計等の外部機器で測定すると、
検知対象ガスを検知できるものである。
囲気中の特定のガス、たとえば、炭酸ガス、一酸化炭
素、水素、アルコール、窒素酸化物等の検知対象ガスを
検知する電気化学式ガスセンサがこれまで数多く提案さ
れている。ここで、電気化学式ガスセンサを構成する公
知のセンサ素子１０を示す図４及び図５に基づいて説明
すると、このセンサ素子１０は、特開昭６４−８８３５
４号公報に開示されている如く、絶縁基板１００に作用
極７０と対極９０が向かい合うように形成され、この対
極９０と作用極７０の隣に参照極８０が並べられ、さら
に、含水状態に保持される固体電解質膜１１０でこれら
の電極群を被覆しており、上記作用極７０と対極９０間
に電圧を印加すると、検知対象ガスが上記作用極７０上
で酸化反応あるいは還元反応を起こし、この反応にとも
なって生成されたイオンが含水状態に保持された固体電
解質膜１１０中を移動して対極９０で還元反応あるいは
酸化反応を起こす。この電気化学的な酸化還元反応によ
って、対極９０−作用極７０間を流れる電流値をセンサ
素子１０に接続した電流計等の外部機器で測定すると、
検知対象ガスを検知できるものである。
【０００３】このセンサ素子１０を用いた電気化学式ガ
スセンサの一例を示す図３に基づいて説明すると、この
電気化学式ガスセンサは内部空間３５を有するハウジン
グ３０と、ハウジング３０に付設された貯水槽４０と外
部から検知対象ガスを内部空間３５に導入する通気口３
４と、上記のハウジング３０と貯水槽４０を分断する隔
壁２０に形成された、内部空間３５と貯水槽４０とが連
通する連絡口３６を備え、さらに上記のハウジング３０
の内部空間３５に上述のセンサ素子１０を収容して構成
されている。
スセンサの一例を示す図３に基づいて説明すると、この
電気化学式ガスセンサは内部空間３５を有するハウジン
グ３０と、ハウジング３０に付設された貯水槽４０と外
部から検知対象ガスを内部空間３５に導入する通気口３
４と、上記のハウジング３０と貯水槽４０を分断する隔
壁２０に形成された、内部空間３５と貯水槽４０とが連
通する連絡口３６を備え、さらに上記のハウジング３０
の内部空間３５に上述のセンサ素子１０を収容して構成
されている。
【０００４】しかし、上記のような電気化学式ガスセン
サは、通気口３４から、センサ素子１０を収容する内部
空間３５に導入された検知対象ガスが、内部空間３５に
留まらずに連絡口３６を通過して貯水槽４０の気相部４
５に拡散する結果、内部空間３５内のガスが希釈される
ため、実存するガス濃度に達するまでの時間が長くな
る。したがって、センサ素子１０に生ずる電気化学反応
に伴って流れる電流値は、内部空間３５のガス濃度に相
当した電流値を示し、実存するガス濃度に相当した電流
値になるのには、長く時間がかかり、その結果、検知が
遅延する点に問題がある。
サは、通気口３４から、センサ素子１０を収容する内部
空間３５に導入された検知対象ガスが、内部空間３５に
留まらずに連絡口３６を通過して貯水槽４０の気相部４
５に拡散する結果、内部空間３５内のガスが希釈される
ため、実存するガス濃度に達するまでの時間が長くな
る。したがって、センサ素子１０に生ずる電気化学反応
に伴って流れる電流値は、内部空間３５のガス濃度に相
当した電流値を示し、実存するガス濃度に相当した電流
値になるのには、長く時間がかかり、その結果、検知が
遅延する点に問題がある。
【０００５】したがって、この発明の課題は、ハウジン
グと隔壁を介してこのハウジングに付設された貯水槽を
有し、上記ハウジングは検知対象ガスを導入する通気口
と外部から導入された検知対象ガスが拡散する内部空間
を有し、上記ハウジングの内部空間にはセンサ素子が収
容され、上記隔壁には内部空間と貯水槽を連通する連絡
口が形成され、上記センサ素子は、互いに対設された作
用極と対極及びこの作用極と対極を被覆する、含水状態
に保持される固体電解質膜とを備えた電気化学式ガスセ
ンサにおいて、センサ素子を収容した内部空間内の検知
対象ガスの希釈化を防いで検知する応答時間を短縮する
点にある。
グと隔壁を介してこのハウジングに付設された貯水槽を
有し、上記ハウジングは検知対象ガスを導入する通気口
と外部から導入された検知対象ガスが拡散する内部空間
を有し、上記ハウジングの内部空間にはセンサ素子が収
容され、上記隔壁には内部空間と貯水槽を連通する連絡
口が形成され、上記センサ素子は、互いに対設された作
用極と対極及びこの作用極と対極を被覆する、含水状態
に保持される固体電解質膜とを備えた電気化学式ガスセ
ンサにおいて、センサ素子を収容した内部空間内の検知
対象ガスの希釈化を防いで検知する応答時間を短縮する
点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る電気化学式
ガスセンサは、（１）ハウジング３０と隔壁２０を介し
てこのハウジング３０に付設された貯水槽４０を有し、
（２）上記ハウジング３０は検知対象ガスを導入する通
気口３４と外部から導入された検知対象ガスが拡散する
内部空間３５を有し、（３）上記ハウジング３０の内部
空間３５にはセンサ素子１０が収容され、（４）上記隔
壁２０には内部空間３５と貯水槽４０を連通する連絡口
３６が形成され、（５）上記センサ素子１０は、互いに
対設された作用極７０と対極９０及びこの作用極７０と
対極９０を被覆する、含水状態に保持される固体電解質
膜１１０とから構成され、さらに（６）一端が上記連絡
口３６を塞ぎ、且つ他端が貯水槽４０内の水相部４６に
浸る、含水すると気密性が生じる、吸水性の幕５０を備
えるとともに、（７）上記幕５０を基準にして、貯水槽
４０内の水相部４６の反対側に連絡口３６を塞ぐ通気性
と水密性の多孔質層６０を備えたことを特徴とする。
ガスセンサは、（１）ハウジング３０と隔壁２０を介し
てこのハウジング３０に付設された貯水槽４０を有し、
（２）上記ハウジング３０は検知対象ガスを導入する通
気口３４と外部から導入された検知対象ガスが拡散する
内部空間３５を有し、（３）上記ハウジング３０の内部
空間３５にはセンサ素子１０が収容され、（４）上記隔
壁２０には内部空間３５と貯水槽４０を連通する連絡口
３６が形成され、（５）上記センサ素子１０は、互いに
対設された作用極７０と対極９０及びこの作用極７０と
対極９０を被覆する、含水状態に保持される固体電解質
膜１１０とから構成され、さらに（６）一端が上記連絡
口３６を塞ぎ、且つ他端が貯水槽４０内の水相部４６に
浸る、含水すると気密性が生じる、吸水性の幕５０を備
えるとともに、（７）上記幕５０を基準にして、貯水槽
４０内の水相部４６の反対側に連絡口３６を塞ぐ通気性
と水密性の多孔質層６０を備えたことを特徴とする。
【０００７】
【０００８】
【作用】本発明に係る電気化学式ガスセンサを構成する
センサ素子１０は、ハウジング３０の内部空間３５に収
容することによって、雰囲気中の汚染物質から保護され
る。このハウジング３０は雰囲気中の検知対象ガスを内
部空間３５に導入する通気口３４を有するので、雰囲気
中に検知対象ガスが発生すると通気口３４から検知対象
ガスが内部空間３５に入る。内部空間３５と貯水槽４０
とを連通する隔壁２０の連絡口３６は、他端が貯水槽４
０内の水相部４６に浸る、含水すると気密性が生じる、
吸水性の幕５０の一端で閉塞されているので、内部空間
３５の水蒸気が未飽和状態にある場合、幕５０の他端か
ら吸い上げられた水に起因して飽水状態に保持された一
端から水が蒸発し、連絡口３６を通過して、内部空間３
５内に拡散する。そして、内部空間３５内の水蒸気が内
部空間３５に収容されたセンサ素子１０の固体電解質膜
１１０に水添して固体電解質膜１１０を含水状態に保持
するとともに、通気口３４から導入される検知対象ガス
が発生したときには、連絡口３６を塞ぐ幕５０の一端の
飽水状態によって生じる気密性のために、内部空間３５
内に導入された検知対象ガスは連絡口３６を通過して貯
水槽４０内の水相部４６に拡散するのを阻止し、その結
果、内部空間３５内の検知対象ガスの希釈を阻止する。
すなわち、内部空間３５内に導入された検知対象ガスの
濃度の低下が阻止される。
センサ素子１０は、ハウジング３０の内部空間３５に収
容することによって、雰囲気中の汚染物質から保護され
る。このハウジング３０は雰囲気中の検知対象ガスを内
部空間３５に導入する通気口３４を有するので、雰囲気
中に検知対象ガスが発生すると通気口３４から検知対象
ガスが内部空間３５に入る。内部空間３５と貯水槽４０
とを連通する隔壁２０の連絡口３６は、他端が貯水槽４
０内の水相部４６に浸る、含水すると気密性が生じる、
吸水性の幕５０の一端で閉塞されているので、内部空間
３５の水蒸気が未飽和状態にある場合、幕５０の他端か
ら吸い上げられた水に起因して飽水状態に保持された一
端から水が蒸発し、連絡口３６を通過して、内部空間３
５内に拡散する。そして、内部空間３５内の水蒸気が内
部空間３５に収容されたセンサ素子１０の固体電解質膜
１１０に水添して固体電解質膜１１０を含水状態に保持
するとともに、通気口３４から導入される検知対象ガス
が発生したときには、連絡口３６を塞ぐ幕５０の一端の
飽水状態によって生じる気密性のために、内部空間３５
内に導入された検知対象ガスは連絡口３６を通過して貯
水槽４０内の水相部４６に拡散するのを阻止し、その結
果、内部空間３５内の検知対象ガスの希釈を阻止する。
すなわち、内部空間３５内に導入された検知対象ガスの
濃度の低下が阻止される。
【０００９】また、本発明の電気化学式ガスセンサは、
上記幕５０を基準にして、水相部４６の反対側に設けら
れた連絡口３６を塞ぐ多孔質層６０は通気性と水密性を
有するので、貯水槽４０内の水相部４６から蒸発した水
蒸気は多孔質層６０を通過して連絡口３６を通り、内部
空間３５内に拡散するが、貯水槽４０内の水相部４６の
水が液体の状態で多孔質層６０を通過して連絡口３６を
通り、内部空間３５内に入るのを阻止する。つまり、セ
ンサ素子１０が過度の水濡れから保護され、それに伴っ
て起こるセンサ素子１０の出力異常を防止する。
上記幕５０を基準にして、水相部４６の反対側に設けら
れた連絡口３６を塞ぐ多孔質層６０は通気性と水密性を
有するので、貯水槽４０内の水相部４６から蒸発した水
蒸気は多孔質層６０を通過して連絡口３６を通り、内部
空間３５内に拡散するが、貯水槽４０内の水相部４６の
水が液体の状態で多孔質層６０を通過して連絡口３６を
通り、内部空間３５内に入るのを阻止する。つまり、セ
ンサ素子１０が過度の水濡れから保護され、それに伴っ
て起こるセンサ素子１０の出力異常を防止する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を実施例に係る図面に基づいて
詳しく説明する。
詳しく説明する。
【００１１】図１に示すとおり、本発明の電気化学式ガ
スセンサは、ハウジング３０を有する。このハウジング
３０は内部空間３５を有し、かつ、隔壁２０を介してハ
ウジング３０の下方には貯水槽４０が形成されている。
ハウジング３０と貯水槽４０全体の形状は、直方体であ
るが、特に問わない。ハウジング３０と貯水槽４０全体
の材質は、例えばアクリル樹脂等の種々の樹脂やＳＵＳ
などの金属を用いることができる。このハウジング３０
の上方には内部空間３５に連通する検知対象ガスを導入
する通気口３４及び隔壁２０には貯水槽４０とハウジン
グ３０を連通する連絡口３６が設けられている。
スセンサは、ハウジング３０を有する。このハウジング
３０は内部空間３５を有し、かつ、隔壁２０を介してハ
ウジング３０の下方には貯水槽４０が形成されている。
ハウジング３０と貯水槽４０全体の形状は、直方体であ
るが、特に問わない。ハウジング３０と貯水槽４０全体
の材質は、例えばアクリル樹脂等の種々の樹脂やＳＵＳ
などの金属を用いることができる。このハウジング３０
の上方には内部空間３５に連通する検知対象ガスを導入
する通気口３４及び隔壁２０には貯水槽４０とハウジン
グ３０を連通する連絡口３６が設けられている。
【００１２】さらに、本発明に係る電気化学式ガスセン
サは、上記ハウジング３０の内部空間３５に収容された
センサ素子１０を有する。このセンサ素子１０は、絶縁
基板１００に作用極７０と対極９０が向かい合うように
形成されている。この絶縁基板１００には、アルミナ、
窒化アルミ、シリコン等のセラミックス製基板やエポキ
シ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂製基板が使用される。
また、作用極７０と対極９０は、例えば白金電極を用い
る。この対極９０あるいは作用極７０の隣に参照極８０
が並べられている。参照極８０には、例えば金電極を用
いる。電極形成には、真空蒸着やスパッタリング等通常
の薄膜形成手段が利用される。さらに、対極９０、作用
極７０及び参照極８０の電極群を被覆する固体電解質膜
１１０が設けられている。この固体電解質膜１１０は、
含水すると、電解質となる性質を持っている。固体電解
質膜１１０としては、パーフルオロスルホネートポリマ
ー等からなる高分子化合物、あるいは無機化合物が用い
られる。パーフルオロスルホネートポリマーからなる固
体電解質膜は、溶融状態で絶縁基板１００上に塗布する
等の手段で形成できる。作用極７０に一定の電位をかけ
ると、検知対象ガスが上記作用極７０上で酸化反応ある
いは還元反応がおこり、この時生成されたイオンが固体
電解質膜１１０中を移動して対極９０で還元反応あるい
は酸化反応がおこる。この電気化学的な酸化還元反応に
よって、対極９０−作用極７０間を流れる電流値で検知
対象ガスを検知し、センサ素子１０が応答する。つま
り、センサ素子１０は外部で検知対象ガスが発生し、ハ
ウジング３０の内部空間３５に検知対象ガスが流入する
とその濃度に応じた出力が得られる。ハウジング３０に
収容されたセンサ素子１０の作用極７０、対極９０、参
照極８０の一端を端子５とし、この端子５はハウジング
３０の外側に露出し、電流計などの外部機器の接続に用
いられる。
サは、上記ハウジング３０の内部空間３５に収容された
センサ素子１０を有する。このセンサ素子１０は、絶縁
基板１００に作用極７０と対極９０が向かい合うように
形成されている。この絶縁基板１００には、アルミナ、
窒化アルミ、シリコン等のセラミックス製基板やエポキ
シ樹脂、フェノール樹脂等の樹脂製基板が使用される。
また、作用極７０と対極９０は、例えば白金電極を用い
る。この対極９０あるいは作用極７０の隣に参照極８０
が並べられている。参照極８０には、例えば金電極を用
いる。電極形成には、真空蒸着やスパッタリング等通常
の薄膜形成手段が利用される。さらに、対極９０、作用
極７０及び参照極８０の電極群を被覆する固体電解質膜
１１０が設けられている。この固体電解質膜１１０は、
含水すると、電解質となる性質を持っている。固体電解
質膜１１０としては、パーフルオロスルホネートポリマ
ー等からなる高分子化合物、あるいは無機化合物が用い
られる。パーフルオロスルホネートポリマーからなる固
体電解質膜は、溶融状態で絶縁基板１００上に塗布する
等の手段で形成できる。作用極７０に一定の電位をかけ
ると、検知対象ガスが上記作用極７０上で酸化反応ある
いは還元反応がおこり、この時生成されたイオンが固体
電解質膜１１０中を移動して対極９０で還元反応あるい
は酸化反応がおこる。この電気化学的な酸化還元反応に
よって、対極９０−作用極７０間を流れる電流値で検知
対象ガスを検知し、センサ素子１０が応答する。つま
り、センサ素子１０は外部で検知対象ガスが発生し、ハ
ウジング３０の内部空間３５に検知対象ガスが流入する
とその濃度に応じた出力が得られる。ハウジング３０に
収容されたセンサ素子１０の作用極７０、対極９０、参
照極８０の一端を端子５とし、この端子５はハウジング
３０の外側に露出し、電流計などの外部機器の接続に用
いられる。
【００１３】本発明の電気化学式ガスセンサは、さらに
上記幕５０を有する。この幕５０は吸水性を有し、含水
すると気密性が生じる材質であって、例えば濾紙や布な
どが用いられる。この幕５０は垂直片５５とこの垂直片
５５の上端から水平に延びた水平片５６からなり、垂直
片５５の下端を貯水槽４０内の水相部４６に浸し、水平
片５６を隔壁２０の下面に添接させるとともに、この水
平片５６の先端で連絡口３６を塞いで配置することによ
り、含水すると気密性が生じる、吸水性の幕５０が一端
で上記連絡口３６を塞ぎ、且つ他端が貯水槽４０内の水
相部４６に浸っている。すなわち、貯水槽４０内の水相
部４６に浸水する幕５０の垂直片５５の下端から吸い上
げられた水は水平片５６を伝わって他端を飽水状態にす
る。したがって、上記連絡口３６は飽水状態に保持され
た幕５０で塞がれ、内部空間３５と貯水槽４０内の水相
部４６間の通気性は失う。
上記幕５０を有する。この幕５０は吸水性を有し、含水
すると気密性が生じる材質であって、例えば濾紙や布な
どが用いられる。この幕５０は垂直片５５とこの垂直片
５５の上端から水平に延びた水平片５６からなり、垂直
片５５の下端を貯水槽４０内の水相部４６に浸し、水平
片５６を隔壁２０の下面に添接させるとともに、この水
平片５６の先端で連絡口３６を塞いで配置することによ
り、含水すると気密性が生じる、吸水性の幕５０が一端
で上記連絡口３６を塞ぎ、且つ他端が貯水槽４０内の水
相部４６に浸っている。すなわち、貯水槽４０内の水相
部４６に浸水する幕５０の垂直片５５の下端から吸い上
げられた水は水平片５６を伝わって他端を飽水状態にす
る。したがって、上記連絡口３６は飽水状態に保持され
た幕５０で塞がれ、内部空間３５と貯水槽４０内の水相
部４６間の通気性は失う。
【００１４】以下、本発明の電気化学式ガスセンサの機
能について述べる。まず、雰囲気中に検知対象ガスが発
生すると通気口３４から検知対象ガスが内部空間３５に
入る。検知対象ガスが内部空間３５内に拡散し、そのう
ちに連絡口３６に達するが、連絡口３６を塞ぐ幕５０の
一端の飽水状態によって生じる気密性のために貯水槽４
０内の水相部４６に拡散するのを阻止する。つまり、検
知対象ガスは内部空間３５内のみで拡散し、内部空間３
５内に導入された検知対象ガスの希釈化が阻止される。
連絡口３６により検知対象ガスが希釈されると、検知対
象ガス濃度に応じた出力を得るセンサ素子１０は、外部
のガス濃度に達する時間が長くなることから応答が遅れ
るが、幕５０があるのでガスの希釈がなく、応答時間を
短縮することができる。センサ素子１０からの応答があ
ると、端子５を通じて外部機器がそれに応じて作動す
る。
能について述べる。まず、雰囲気中に検知対象ガスが発
生すると通気口３４から検知対象ガスが内部空間３５に
入る。検知対象ガスが内部空間３５内に拡散し、そのう
ちに連絡口３６に達するが、連絡口３６を塞ぐ幕５０の
一端の飽水状態によって生じる気密性のために貯水槽４
０内の水相部４６に拡散するのを阻止する。つまり、検
知対象ガスは内部空間３５内のみで拡散し、内部空間３
５内に導入された検知対象ガスの希釈化が阻止される。
連絡口３６により検知対象ガスが希釈されると、検知対
象ガス濃度に応じた出力を得るセンサ素子１０は、外部
のガス濃度に達する時間が長くなることから応答が遅れ
るが、幕５０があるのでガスの希釈がなく、応答時間を
短縮することができる。センサ素子１０からの応答があ
ると、端子５を通じて外部機器がそれに応じて作動す
る。
【００１５】図１に示すとおり、本発明の電気化学式ガ
スセンサは、さらに上記幕５０を基準にして、水相部４
６の反対側に設けられた連絡口３６を塞ぐ、多孔質層６
０を備える。この多孔質層６０は通気性と水密性を有す
る。この多孔質層６０の一例をあげると、ポリフッ化エ
チレン系繊維の不織布が用いられる。また、多孔質層６
０は先にあげたポリフッ化エチレンの一種であるテトラ
フルオロエチレン（以下ＴＦＥと略す）モノマーを用い
たプラズマケミカルベーパーディポジット（プラズマＣ
ＶＤ）により、濾紙や布の表面にＴＦＥの重合体を形成
したものを使用してもよい。この多孔質層６０は、上記
幕５０の垂直片５５の下端から吸い上げられ、水平片５
６を伝わって他端に達した水が液体状態で多孔質層６０
を通過して連絡口３６を通り、内部空間３５内に入るの
を阻止する。内部空間３５内に入るのを阻止する理由
は、多孔質層６０が水密性を有するからである。また、
内部空間３５内が未飽和状態のときは貯水槽４０内の水
相部４６から上記幕５０の垂直片５５の下端から吸い上
げられ、水平片５６を伝わって他端に達した水が蒸発
し、蒸気が多孔質層６０を通過して連絡口３６を通り、
内部空間３５内に蒸気を拡散させる。内部空間３５内に
蒸気が入り拡散する理由は、多孔質層６０が通気性を有
するからである。したがって、内部空間３５内に収容さ
れているセンサ素子１０が過度の水濡れから保護され、
それに伴って起こるセンサ素子１０の破壊や出力異常を
防止する。
スセンサは、さらに上記幕５０を基準にして、水相部４
６の反対側に設けられた連絡口３６を塞ぐ、多孔質層６
０を備える。この多孔質層６０は通気性と水密性を有す
る。この多孔質層６０の一例をあげると、ポリフッ化エ
チレン系繊維の不織布が用いられる。また、多孔質層６
０は先にあげたポリフッ化エチレンの一種であるテトラ
フルオロエチレン（以下ＴＦＥと略す）モノマーを用い
たプラズマケミカルベーパーディポジット（プラズマＣ
ＶＤ）により、濾紙や布の表面にＴＦＥの重合体を形成
したものを使用してもよい。この多孔質層６０は、上記
幕５０の垂直片５５の下端から吸い上げられ、水平片５
６を伝わって他端に達した水が液体状態で多孔質層６０
を通過して連絡口３６を通り、内部空間３５内に入るの
を阻止する。内部空間３５内に入るのを阻止する理由
は、多孔質層６０が水密性を有するからである。また、
内部空間３５内が未飽和状態のときは貯水槽４０内の水
相部４６から上記幕５０の垂直片５５の下端から吸い上
げられ、水平片５６を伝わって他端に達した水が蒸発
し、蒸気が多孔質層６０を通過して連絡口３６を通り、
内部空間３５内に蒸気を拡散させる。内部空間３５内に
蒸気が入り拡散する理由は、多孔質層６０が通気性を有
するからである。したがって、内部空間３５内に収容さ
れているセンサ素子１０が過度の水濡れから保護され、
それに伴って起こるセンサ素子１０の破壊や出力異常を
防止する。
【００１６】
【発明の効果】この発明の電気化学式ガスセンサによる
と、長期の使用や保管によって貯水槽の水が蒸発し、そ
れによって応答時間が遅れていたのを防ぐことができ、
また検知するガス種には制限なく利用することができ
る。
と、長期の使用や保管によって貯水槽の水が蒸発し、そ
れによって応答時間が遅れていたのを防ぐことができ、
また検知するガス種には制限なく利用することができ
る。
【図１】本発明の実施例に係る電気化学式ガスセンサの
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の従来例に係る電気化学式ガスセンサの
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明に係る電気化学式ガスセンサ素子の平面
図である。
図である。
【図４】図３に係る電気化学式ガスセンサ素子をＸ−Ｙ
で切った断面図である。
で切った断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】（１）ハウジング３０と隔壁２０を介して
このハウジング３０に付設された貯水槽４０を有し、 （２）上記ハウジング３０は検知対象ガスを導入する通
気口３４と外部から導入された検知対象ガスが拡散する
内部空間３５を有し、 （３）上記ハウジング３０の内部空間３５にはセンサ素
子１０が収容され、 （４）上記隔壁２０には内部空間３５と貯水槽４０を連
通する連絡口３６が形成され、 （５）上記センサ素子１０は、互いに対設された作用極
７０と対極９０及びこの作用極７０と対極９０を被覆す
る、含水状態に保持される固体電解質膜１１０とから構
成され、さらに （６）一端が上記連絡口３６を塞ぎ、且つ他端が貯水槽
４０内の水相部４６に浸る、含水すると気密性が生じ
る、吸水性の幕５０を備えるとともに、 （７）上記幕５０を基準にして、貯水槽４０内の水相部
４６の反対側に連絡口３６を塞ぐ通気性と水密性の多孔
質層６０を備え たことを特徴とする電気化学式ガスセン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04159522A JP3100764B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 電気化学式ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04159522A JP3100764B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 電気化学式ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063324A JPH063324A (ja) | 1994-01-11 |
| JP3100764B2 true JP3100764B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=15695608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04159522A Expired - Fee Related JP3100764B2 (ja) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | 電気化学式ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3100764B2 (ja) |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP04159522A patent/JP3100764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH063324A (ja) | 1994-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5215643A (en) | Electrochemical gas sensor | |
| CA1291208C (en) | Fast response time microsensors for gaseous and vaporous species | |
| US5830337A (en) | Electrochemical gas sensor | |
| EP0299780A2 (en) | Surface type microelectronic gas and vapor sensor | |
| US4724061A (en) | Automotive, internal reference, solid electrolyte, lean oxygen sensor | |
| JP4915903B2 (ja) | 多孔体の酸素拡散係数測定方法およびその測定装置 | |
| US7189364B2 (en) | Hydrogen sensor | |
| US5879526A (en) | Electrochemical measuring sensor for determining nitrogen oxides in gas mixtures | |
| JPH08122287A (ja) | ガス成分の濃度の測定装置および方法 | |
| JP3100764B2 (ja) | 電気化学式ガスセンサ | |
| US20190041351A1 (en) | Mems electrochemical gas sensor | |
| JP2020139894A (ja) | 定電位電解式ガスセンサ | |
| JP2002071621A (ja) | 定電位電解式ガスセンサ | |
| JP3164255B2 (ja) | 電気化学式ガス検出器 | |
| JPH06138084A (ja) | 電気化学式ガスセンサ | |
| JP2805811B2 (ja) | 燃焼制御用センサ | |
| JPH0611479A (ja) | 電気化学式ガスセンサ | |
| JP2002350384A (ja) | ガルバニ電池式酸素センサ | |
| EP0152636B1 (en) | Electrode assembly for measuring the concentration of an electro-chemical active species | |
| US4198281A (en) | Solvator plug | |
| JPH0623721B2 (ja) | ガスセンサー | |
| JPH09243594A (ja) | 定電位電解式アンモニアガス検出器 | |
| US20230146123A1 (en) | Gas sensing device including housing having connection passage | |
| JPH04363653A (ja) | 電気化学式ガスセンサ素子 | |
| JPH03102256A (ja) | 酸素センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000801 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |