JP2534658B2 - 流体吹付装置を有する薄膜剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜の剥離技術に関するものであり、特
に、基板の表面を保護するために張り付けられた保護膜
を流体の吹き付けで剥離する剥離技術に適用して有効な
技術に関するものである。

［従来の技術］ コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線
板は、銅等の所定パターンの配線が絶縁性基板の片面
（又は両面）に形成されたものである。

この種のプリント配線板は、次の製造工程により製造
することができる。まず、絶縁性基板の導電層上に、感
光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保護する透光性
樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体を熱圧着ラミ
ネートする。この後、配線パターンフィルムを重ね、こ
の配線パターンフィルム及び前記透光性樹脂フィルムを
通して、感光性樹脂層を所定時間露光する。そして、透
光性樹脂フィルムを剥離した後、露光された感光性樹脂
層を現像してエッチングマスクパターンを形成する。こ
の後、前記導電層の不必要部分をエッチングにより除去
し、さらに残存する感光性樹脂層を除去し、所定の配線
パターンを有するプリント配線板を形成する。

［発明が解決しようとする問題点］ 前述のプリント配線板の製造工程においては、感光性
樹脂層を露光した後現像するに際して、透光性樹脂フィ
ルムを剥離する工程が必要とされている。この透光性樹
脂フィルムの剥離は、人手作業に頼っており、該フィル
ムが薄いので、剥離応力の偏り等による感光性樹脂層の
損傷，破壊が生じないようにするため、指先の器用さ及
び非常な熟練を要する。

このため、透光性樹脂フィルムの剥離時間が増大する
ので、プリント配線板の製造工程における作業時間が長
くなるという問題があった。

そこで、前記透光性樹脂フィルムの剥離工程を機械で
自動的に行う自動薄膜剥離装置が開発されている。

この自動薄膜剥離装置は、薄膜浮上装置と流体吹付装
置とを有しており、それらで透光性樹脂フィルムを自動
的に剥離できるようにしたものである。すなわち、薄膜
浮上装置は、基板に張り付けられている積層体の端部を
突起押圧部材で押圧し、積層体のうち透光性樹脂フィル
ムの一部を浮上させるように構成されている。流体吹付
装置は、浮上させた透光性樹脂フィルムの端部に流体を
吹き付け、透光性樹脂フィルムを瞬時かつ正確に剥離す
るように構成されている。

流体吹付装置は、流体の吹き付け時に、透光性樹脂フ
ィルムの端部を浮上させた浮上位置に流体噴射ノズルの
先端部をできる限り近接させ、透光性樹脂フィルムの剥
離効果を高めるように構成されている。この流体噴射ノ
ズルの先端部は、薄い基板、厚い基板等、種々の厚さの
基板でも浮上位置に近接できるように、略中間の厚さの
基板を使用したときの浮上位置に対向するように設定さ
れている。また、流体吹付装置は、流体を吹き付けない
時、つまり、剥離前後の基板搬送時は、前記流体噴射ノ
ズルの先端部を浮上位置より離隔させ、流体噴射ノズル
の先端部が感光性樹脂層を損傷しないように構成されて
いる。

しかしながら、実際に薄い基板や厚い基板を使用した
時に、流体噴射方向と浮上位置とにずれを生じるので、
確実にしかも効率良く透光性樹脂フィルムを剥離できな
いという問題があった。

また、特に厚い基板を使用した時に、流体噴射ノズル
の先端部が基板の端部と接触し、流体噴射ノズル又は基
板を損傷するという問題があった。

なお、本発明で解決しようとする前記ならびにその他
の問題点と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面
によって明らかになるであろう。

（２）発明の構成 ［問題点を解決するための手段］ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの
概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

基板を搬送する基板搬送機構と、該基板搬送機構にお
ける基板搬送経路の近傍に、基板に張り付けられている
薄膜の端部を浮上させる薄膜浮上装置と、薄膜に流体を
吹き付けて基板から薄膜を剥離する流体吹付装置と、該
流体吹付装置と共働して部分的に剥離した薄膜を剥離し
ながら外部に排出する薄膜排出機構とを有する薄膜剥離
装置であって、前記流体吹付装置に、前記薄膜浮上装置
により浮上した薄膜浮上位置に流体を吹き付ける流体噴
射ノズルと、該流体噴射ノズルの流体噴射口を前記薄膜
浮上位置に対向させる流体噴射ノズルガイド部材と、前
記流体噴射ノズル及び前記流体噴射ノズルガイド部材を
並列に支持する回転支持軸とを設け、前記流体噴射ノズ
ルガイド部材は、前記流体噴射ノズルの流体噴射口を基
板搬送の搬送方向において薄膜浮上装置の位置より下流
側に位置させ、前記流体噴射ノズルの流体噴射方向を基
準として該流体噴射方向と基板搬送方向下流側の基板表
面とでなす角度を鋭角となし、かつ、前記流体噴射ノズ
ルの流体噴射口を基板の厚さに応じて前記薄膜浮上位置
に対向させるように前記回転支持軸を制御する回転支持
軸制御機構を有することを特徴とする。

［作用］ 本発明は、前記流体噴射ノズルの流体噴射方向を基板
の厚さに応じて浮上位置に対向させ、しかも流体噴射ノ
ズルの先端部と浮上位置とをできる限り近接させること
ができるので、確実かつ効率良く薄膜を剥離することが
できる。

また、流体噴射ノズルの先端部と浮上位置とを基板の
厚さに応じて対向させることができるので、流体噴射ノ
ズルの先端部と基板との接触によるそれら損傷をなくす
ことができる。

［実施例］ 以下、本発明をプリント配線用基板の保護膜剥離装置
に適用した一実施例について図面を用いて説明する。

なお、実施例の全図において、同一機能を有するもの
は同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の
保護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、第２図
は、第１図の要部拡大模写側面図である。

本実施例の保護膜剥離装置におけるプリント配線用基
板の搬送機構は、第１図及び第２図に示すように、主と
して、プリント配線用基板１を搬送する搬送用駆動ロー
ラ２で構成されている。

この搬送機構における搬送経路Ａ−Ａには、突起押圧
装置（薄膜浮上装置）３、流体吹付装置４、剥離角度設
定板（剥離補助板）５及び薄膜搬出機構（薄膜搬送装
置）６が設けられている。

前記プリント配線用基板１は、第２図で示すように、
絶縁性基板1Aの両面（又は片面）に銅等の導電層1Bが形
成されたものである。このプリント配線用基板１の導電
層1B上には、感光性樹脂層1Cと透光性樹脂フィルム（保
護膜）1Dとからなる積層体が熱圧着ラミネートされてい
る。感光性樹脂層1Cは所定の配線パターンフィルムが重
ねられ露光された後の状態にある。プリント配線用基板
１は、第１図に示す矢印Ａ方向に搬送用駆動ローラ２で
搬送されるように構成されている。

前記突起押圧機構３は、第３図（構成図）、第４図
（拡散分解図）及び第５図（部分断面図）に示すように
構成されている。

この突起押圧機構３は、プリント配線用基板１の両面
側に、夫々複数個の突起押圧部材3Aが搬送方向と交差す
る方向（プリント配線用基板１の軸方向）に設けられて
いる。突起押圧部材3Aは第５図で示すように針状で構成
されており、その先端部で感光性樹脂層1Cと透光性樹脂
フィルム1Dとの積層体の端部を押圧するように構成され
ている。突起押圧部材3Aは、前記積層体の端部を押圧し
たときに、導電層1Bと感光性樹脂層1Cとの界面に食込ま
ないようにし、かつ透光性樹脂フィルム1Dが感光性樹脂
層1Cから浮上するように、例えば60［度］程度の先端角
度で構成する。対向する位置に設けられた夫々の突起押
圧部材3Aは、ホルダ3Bを介して夫々別々の突起押圧部材
支持回転軸3Cに支持されている。ホルダ3Bは、符号を付
けていないが、突起押圧部材支持回転軸3Cの貫通穴をそ
れに沿って摺動できるように取り付けられている。

突起押圧部材3Aとホルダ3Bとの間及びホルダ3Bと突起
押圧部材支持回転軸3Cとの間には、夫々、同一又は異な
る弾力性の弾性部材3D及び3Eが設けられている。弾性部
材3D及び3Eは、矢印Ｂ方向、すなわち、プリント配線用
基板１に近接する方向に作用するように取り付けられて
いる。したがって、突起押圧部材3Aの先端部の位置は、
矢印Ｂ方向の所定の圧力により、突起押圧部材支持回転
軸3Cに対して変化できるように構成されている。

突起押圧部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部は、
第３図及び第４図に示すように、ガイド部材3Fのガイド
用長穴3fを通して移動アーム部材3Gの一端部と回転自在
に連結されてる。ガイド部材3Fは、図示していないが、
装置本体にビス等の取付手段で固着されている。ガイド
用長穴3fは、プリント配線用基板１に近接又はそれから
離隔させる方向（矢印Ｃ方向）に、突起押圧部材支持回
転軸3Cすなわち突起押圧部材3Aをガイドするように構成
されている。

夫々の移動アーム部材3Gの他端部は、回転軸3hを中心
に矢印Ｄ方向に回転自在に取り付けられた回転アーム部
材3Hの回転軸3hを中心として対向する端部に回転自在に
取り付けられている。回転アーム部材3Hは、夫々の移動
アーム部材3Gを異なる矢印Ｃ方向に移動させるように構
成されている。

前記突起押圧部材支持回転軸3Cをガイドするガイド部
材3F、移動アーム部材3G及び回転アーム部材3Hは、両面
兼用駆動源のシャフト3Jの矢印Ｅ方向の動作でプリント
配線用基板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材
3Aを互いに近接させ又は離隔させる突起押圧装置３のリ
ンク機構を構成している。シャフト3Jは、回転アーム部
材3Hの一端部に連結アーム部材3Iを介して接続されてい
る。リンク機構を構成する夫々の部材は、鉄、アルミニ
ウム合金、硬質樹脂等の比較的外力に対して変形しずら
い材料で構成する。駆動源としては、空圧シリンダ、油
圧シリンダ、電磁ソレノイド等を使用する。また、シャ
フト3Jは、回転アーム部材3Hの一端部に限定されず、一
方の移動アーム部材3Gの一端部に連結アーム部材3Iを介
して連結させてもよい。

このようなリンク機構を用いて突起押圧部材3Aと両面
兼用駆動源とを連結することにより、プリント配線用基
板１の両面側に設けられた夫々の突起押圧部材3Aのプリ
ント配線用基板１の表面に接触させ又は離隔させる動作
（矢印Ｃ方向の動作）を行うことができる。すなわち、
リンク機構は、プリント配線用基板１の両面側に、突起
押圧部材3Aを駆動する駆動源を別々に設けることなく、
両面兼用駆動源で両面側の突起押圧部材3Aを駆動するこ
とができる。

また、リンク機構を構成するガイド部材3F、移動アー
ム部材3G及び回転アーム部材3Hが略剛体であり、夫々の
動作範囲がガイド用長穴3fや回転軸3hで規定されている
ので、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起押圧
部材3Aの動作量及び動作時間を夫々同等にしかも正確に
制御することができる。

また、リンク機構は、ラックアンドピニオン機構や歯
車機構で構成される連結機構に比べて、部品点数が少な
く、個々の部材が単純（簡単）な形状なので、突起押圧
部材3Aと両面兼用駆動源とを連結する連結機構の構成を
簡単にすることができる。

前記移動アーム部材3Gを介在させた夫々の前記突起押
圧部材支持回転軸3Cの一端（又は両端）部には、夫々の
一端部が固着された突起押圧部材回転アーム部材3Kが設
けられている。夫々の突起押圧部材回転アーム部材3Kの
他端部には、長穴3kが設けられており、両者の長穴3kに
は、両面兼用駆動源のシャフト3Lと接続する連結アーム
部材3Mの軸部3mが通されている。すなわち、突起押圧部
材回転アーム部材3Kは、連結アーム部材3Mを介して両面
兼用駆動源のシャフト3Lと連結されている。両面兼用駆
動源としては、前述のリンク機構と同様のものを使用す
ればよい。

前記突起押圧部材回転アーム部材3K及び連結アーム部
材3Mは、シャフト3Lの矢印Ｆ方向の動作により、突起押
圧部材回転アーム部材3Kを矢印Ｇ方向に回転させるとと
もに突起押圧部材支持回転軸3Cを矢印Ｈ方向に回転さ
せ、積層体の端部を押圧する突起押圧装置３の突起押圧
部材押圧機構を構成するようになっている。

このように構成される突起押圧部材押圧機構は、前述
の突起押圧部材3Aを近接させ又は離隔させるリンク機構
と同様に、プリント配線用基板１の両面側の夫々の突起
押圧部材3Aを両面兼用駆動源で動作させることができる
とともに、その動作量、動作時間を正確に制御すること
ができる。

また、突起押圧部材押圧機構は、突起押圧部材3Aと駆
動源とを連結する連結機構の構成を簡単にすることがで
きる。

このように突起押圧装置３は、主に、突起押圧部材3A
と、突起押圧部材3Aをプリント配線用基板１に近接させ
又は離隔させるリンク機構と、積層体の端部を突起押圧
部材3Aで押圧させる突起押圧部材押圧機構とで構成され
ている。

なお、本実施例では、リンク機構又は突起押圧部材押
圧機構と両面兼用駆動源を突起押圧部材支持回転軸3Cの
一端側に設けているが、本発明は、その両端側に夫々設
けてもよい。

次に、突起押圧機構３の動作について、第１図乃至第
５図と第６図及び第７図（プリント配線用基板の要部断
面図）とを用いて簡単に説明する。

まず、図示していない薄膜端部検出装置で検出する。
この薄膜端部検出装置は、電気的にプリント配線用基板
１上に設けられている薄膜の端部を検出するタッチセン
サ又は光学的に検出するフォトセンサを用いる。

この薄膜端部検出装置でこのプリント配線用基板１に
設けられている積層体（薄膜）の端部が検出されると、
第１図及び第２図に示すピンチローラ2Aを押圧手段（図
示していない）で押圧してプリント配線用基板１に押し
付け、それと搬送用駆動ローラ２とでプリント配線用基
板１の搬送を一時停止させる。このとき、プリント配線
用基板１の位置がずれないように、ピンチローラ2Aと対
向する搬送用駆動ローラ２の外周面にゴム等の摩擦係数
の大きな材料を設け、プリント配線用基板１の搬送を確
実に停止させてプリント配線用基板１を固定する。

次に、リンク機構に連結された両面兼用駆動源のシャ
フト3Jを矢印Ｅ方向（図中、上方向）に動作させる。こ
の動作で回転アーム部材3H、移動アーム部材3G、ガイド
部材3Fで構成されるリンク機構が動作し、突起押圧部材
支持回転軸3Cが矢印Ｃ方向に移動する。この突起押圧部
材支持回転軸3Cの移動により、第６図に示すように、プ
リント配線用基板１の両面側の夫々の突起押圧部材3Aの
先端部が積層体端部の導電層1Bの表面に接触する。この
接触は、弾性部材3D（又は3E）がエネルギを有するよう
に適度な押圧力で行われる。

次に、突起押圧部材3Aが導電層1Bに接触した状態にお
いて、突起押圧部材押圧機構に連結された両面兼用駆動
源のシャフト3Lを矢印Ｆ方向（図中、左方向）に動作さ
せる。この動作で突起押圧部材回転アーム部材3K、連結
アーム部材3Mで構成される突起押圧部材押圧機構が動作
し、突起押圧部材支持回転軸3Cを矢印Ｈ方向に回転させ
る。この突起押圧部材支持回転軸3Cの回転により、第７
図に示すように、プリント配線用基板１の両面側の夫々
の突起押圧部材3Aの先端部が積層体端部を押圧する。

このように、プリント配線用基板１の感光性樹脂層1C
及び透光性樹脂フィルム1Dからなる積層体の端部を、突
起押圧装置３の突起押圧部材3Aで押圧することにより、
感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dの一部を浮上
させ、それらの界面に隙間を生じさせることができる。
この隙間は、感光性樹脂層1Cが透光性樹脂フィルム1Dよ
りも軟材質で構成されており、突起押圧部材3Aの押圧に
対して感光性樹脂層1Cは塑性変形するが、透光性樹脂フ
ィルム1Dは塑性変形する前に感光性樹脂層1Cとの接着力
が低下するために生じる。

また、前記透光性樹脂フィルム1Dの端部の浮上は、針
状の簡単な構成の突起押圧部材3Aで行うことができる。

また、突起押圧部材3Aをプリント配線用基板１の搬送
経路に設けたので、前記透光性樹脂フィルム1Dの端部の
浮上を自動的に行うことができる。

なお、浮上した透光性樹脂フィルム1Dは、熱を加えて
圧着しない限り、感光性樹脂層1Cと再度接着されること
はない。

また、本実施例では、プリント配線用基板１に対し積
層体が歪んだ熱圧着ラミネートされることを考慮して、
プリント配線用基板１の搬送方向と交差する方向（幅方
向）に複数の突起押圧部材3Aを設けてあるが、本発明は
これに限定されない。すなわち、感光性樹脂層1Cと透光
性樹脂フィルム1Dとの一端部が押圧され、後者が必らず
浮上できるならば、プリント配線用基板１の両面側に夫
々１つの突起押圧部材3Aを設けて突起押圧装置３を構成
してもよい。

また、本実施例では、プリント配線用基板１の搬送方
向と交差する方向（幅方向）に突起押圧部材3Aを設けて
あるが、本発明は、プリント配線用基板１の搬送方向と
同一方向であって、積層体の端部又は隅角部近傍に突起
押圧部材3Aを設けることもできる。この場合には、流体
吹付装置４の流体噴射ノズル4Aを突起押圧部材3Aの近傍
に設ける。

また、本実施例では、突起押圧装置３の突起押圧部材
押圧機構をリンク機構で構成したが、本発明は、積層体
の端部のプリント配線用基板１の表面に突起押圧部材3A
を接触した状態で、搬送用駆動ローラ２（又はピンチロ
ーラ2A）を回転させてプリント配線用基板１を微小に搬
送し、積層体の端部を押圧する突起押圧部材押圧機構で
構成してもよい。すなわち、本発明は、搬送機構で突起
押圧部材押圧機構を構成してもよい。

また、本発明は、ホルダ3Bを取り付ける貫通穴の加工
精度を高め、しかも簡単に加工できるように、軸心と交
差する方向の突起押圧部材支持回転軸3Cの断面形状を方
形状で構成してもよい。

前記流体吹付装置４は、第１図、第２図、第８図（要
部斜視図）及び第９図（部分断面図）に示すように構成
されている。すなわち、流体吹付装置４は、流体噴射ノ
ズル4Aの先端部から圧力を加えた流体、例えば、空気、
不活性ガス等の気体、水等の流体を吹出（噴射）し、透
光性樹脂フィルム1Dを剥離するように構成されている。
流体噴射ノズル4Aから噴射された流体は、プリント配線
用基板１の感光性樹脂層1Cから透光性樹脂フィルム1Dの
一部が浮上（剥離）した両者の隙間部分に直接吹き付け
られるように構成されている。換言すれば、流体は、突
起押圧部材3Aの押圧で透光性樹脂フィルム1Dが浮上した
浮上位置（剥離位置）に直接吹き付けられるように構成
されている。この流体噴射ノズル4Aは、突起押圧部材3A
の配置数に対応して設けられている。

流体噴射ノズル4Aは、第８図及び第９図に示すよう
に、ノズル支持回転軸4Bに固定ナット4Cで固着されてい
る。流体噴射ノズル4Aとノズル支持回転軸4Bとの嵌合部
は、オネジとメネジとで構成されており、ノズル支持回
転軸4Bに対して、流体噴射ノズル4Aの位置を矢印ａ方向
に微動できるように構成されている。流体噴射ノズル4A
は、ノズル支持回転軸4Bの回転により、矢印Ｊ方向にそ
の設定角度が可変できるように構成されている。

流体噴射ノズル4Aの近傍のノズル支持回転軸4Bには、
流体噴射ノズル4Aの流体噴射方向を前記浮上位置に対向
させる流体噴射ノズルガイド部材4Dが設けられている。
流体噴射ノズルガイド部材4Dは、流体噴射方向と浮上位
置よりも搬送方向側のプリント配線用基板１の表面とが
なす角度が鋭角になるように、流体噴射ノズル4Aの角度
が設定するように構成されている。

この流体噴射ノズルガイド部材4Dは、流体噴射ノズル
4Aと同様に、固定ナット4Eでノズル支持回転軸4Bに固着
されている。流体噴射ノズルガイド部材4Dとノズル支持
回転軸4Bとの嵌合部は、流体噴射ノズル4Aの場合と同様
に、オネジとメネジとで構成されており、ノズル支持回
転軸4Bに対して、流体噴射ノズルガイド部材4Dの位置を
矢印ｂ方向に微動できるように構成されている。

前記流体噴射ノズル4Aの流体噴射側の先端部は、流体
吹き付け時に、流体噴射ノズルガイド部材4Dで突起押圧
部材3Aの近傍した位置すなわち浮上位置に設定されるよ
うに構成されている。つまり、このように設定される流
体噴射ノズル4Aは、突起押圧部材3Aで透光性樹脂フィル
ム1Dの端部を浮上させると略同時又はその後、透光性樹
脂フィルム1Dの浮上位置に即座に流体を吹き付けること
ができる。さらに、このように設定される流体噴射ノズ
ル4Aは、流体噴射ノズルガイド部材4Dによりプリント配
線用基板１の厚さに応じて、浮上位置にできる限り近傍
させ、流体圧を高くすることができるので、透光性樹脂
フィルム1Dを確実に剥離しかつその剥離効果を高めるこ
とができる。

また、流体噴射ノズル4Aは、前述のように、流体吹き
付け時にできる限り浮上位置に近傍させることができる
とともに、ノズル支持回転軸4Bの矢印Ｊ方向の回転によ
り、流体吹き付け前後にプリント配線用基板１が接触し
ない位置に流体噴射ノズル4Aを退避できるように構成さ
れている。この流体噴射ノズル4Aの退避は、透光性樹脂
フィルム1Dの剥離後のプリント配線用基板１の搬送時
に、流体噴射ノズル4Aとの接触による感光性樹脂層1Cの
損傷、流体噴射ノズル4Aの損傷等を防止するようになっ
ている。

また、流体噴射ノズルガイド部材4Dは、プリント配線
用基板１を両面側から挟持するように構成されているの
で、浮上位置に歪みのあるプリント配線用基板を矯正
し、流体噴射ノズル4Aの流体噴射方向を浮上位置に正確
に対向させることができる。

なお、図示していないが、前記ノズル支持回転軸4Bの
回転すなわち流体噴射ノズル4Aの矢印Ｊ方向の回転は、
突起押圧装置３の突起押圧部材押圧機構と同様な機構で
行えばよい。また、この流体噴射ノズル4Aの回転の制御
は、図示していない電気又は光学的検出装置で検出し、
その検出信号で行う。また、流体噴射ノズル4Aの回転の
制御は、前記突起押圧部材3Aの動作と連動させて行って
もよい。

前記流体吹付機構４で剥離された搬送方向の先端側の
透光性樹脂フィルム1dは、第２図及び第10図（要部斜視
図）で示すように、剥離角度設定板（剥離補助板）５に
流体圧で付着し、その剥離位置及び剥離方向の剥離角度
θが設定される。透光性樹脂フィルム1dは、第２図及び
第10図において一点鎖線で示している。剥離角度θは、
プリント配線用基板１に張り付けられている透光性樹脂
フィルム1Dとその状態から引き起された透光性樹脂フィ
ルム1dとがなす角度であり、略直角になるように構成さ
れている。

剥離角度設定板５の剥離側の先端（剥離位置）は、感
光性樹脂層1Cに損傷，破壊を生じないように、プリント
配線用基板１に取り付けられた透光性樹脂フィルム1Dに
こすれない程度の間隔を置いて設けられている。そし
て、剥離角度設定板５は、その先端が、流体吹き付け時
には、透光性樹脂フィルム1Dに密着するように、移動可
能に構成され、流体の吹抜けによる剥離効果の低下を防
止する。また、剥離角度設定板５の先端は、曲率半径の
小さい円弧状になっている。例えば、曲率半径が3mm以
下に構成されている。

また、剥離角度設定板５は、その先端部を薄膜搬出機
構６よりもプリント配線用基板１側に近接させ、プリン
ト配線用基板１の搬送経路幅又は流体吹付幅の略全域の
長さで剥離方向に所定の長さを有するように構成されて
いる。すなわち、第10図に矢印Ｋで流体の流出方向を示
すように、剥離角度設定板５は、その裏側への流体の吹
抜けをできる限り防止して剥離効果を高め、かつ剥離さ
れた透光性樹脂フィルム1dの剥離角度設定板５への付着
性を高めることができる。

剥離角度設定板５は、図示していないが、ノズル4Aか
らの流体吹付方向の所定位置の装置本体に取り付けられ
ている。

このように構成される剥離角度設定板５は、剥離位置
を安定させるとともに、透光性樹脂フィルム1Dに一様な
剥離力を加えることができる。したがって、剥離角度設
定板５は、透光性樹脂フィルム1Dの剥離時における剥離
位置の変動防止，剥離応力の偏りを防止し、感光性樹脂
層1Cを損傷，破壊しないようにすることができる。

なお、剥離角度設定板５の剥離角度θは、透光性樹脂
フィルム1Dの材質、流体吹付機構４の流体圧等の条件変
化により、鈍角或はそれと直角との範囲で可変できるよ
うに構成してもよい。また、剥離角度設定板５は、異な
る厚さのプリント配線用基板１、異なる厚さの感光性樹
脂層1Cや透光性樹脂フィルム1Dの対応できるように、そ
の位置を移動できるように構成してもよい。この移動
は、例えば、空圧シリンダ、油圧シリンダ等で行うこと
ができる。

また、前記剥離角度設定板５は、剥離された透光性樹
脂フィルム1dが付着する位置に、剥離薄膜検出用の貫通
孔5Bが設けられている。この貫通孔5Bは、光センサ5Cか
らの検出光が通過するように構成されており、剥離角度
設定板５上に透光性樹脂フィルム1dが確実に剥離されて
存在しているか否かを検出するように構成されている。
この検出により透光性樹脂フィルム1dの存在が確認され
ないプリント配線用基板１（薄膜剥離不良基板）は、検
出後に搬送経路から排出される。

流体吹付機構４で剥離角度設定板５に付着した透光性
樹脂フィルム1dは、第１図、第２図及び第11図（拡散分
解斜視図）で示すように、薄膜搬送装置（薄膜搬送装
置）６で剥離しながら搬出される。

薄膜搬出装置６は、主に、プリント配線用基板１の両
面側に夫々設けられた上部搬送ベルト機構と下部搬送ベ
ルト機構とで構成されている。

上部搬送ベルト機構は、第11図で詳細に示すように、
固定搬送ベルト6A,6C,6D,6E,6Fと可動搬送ベルト6Bとで
構成されている。

固定搬送ベルト6Aは、従動軸Ｉに支持されたローラ6A
a、駆動軸IIに支持されたローラ6Ab及びローラ6Aaと6Ab
とに巻き回されたベルト6aで構成されている。

可動搬送ベルト6Bは、従動軸IIIに支持されたローラ6
Ba、駆動軸IVに支持されたローラ6Bb及びローラ6Baと6B
bとに巻き回されたベルト6bで構成されている。この可
動搬送ベルト6Bは、駆動軸IVを中心に第２図に示すよう
に、矢印Ｌ方向に回転するように構成されている。すな
わち、可動搬送ベルト6Bは、剥離された透光性樹脂フィ
ルム1dを剥離角度設定板５に付着させ易くするととも
に、この透光性樹脂フィルム1dを固定搬送ベルト6Aとで
挟持して搬送できるように構成されている。また、固定
搬送ベルト6A及び可動搬送ベルト6Bとの教示は、第10図
に示す剥離角度設定板５に設けられた切込部5Aを通して
行われる。この切込部5Aは、剥離角度設定板５で剥離位
置及び剥離角度が設定された透光性樹脂フィルム1dに固
定搬送ベルト6Aと可動搬送ベルト6Bとが達し、両者でそ
れを挟持できるように構成されている。すなわち、切込
部5Aは、固定搬送ベルト6Aと可動搬送ベルト6Bとで透光
性樹脂フィルム1dを確実に挟持できるように構成されて
いる。

固定搬送ベルト6Cは、駆動軸IIに支持されたローラ6C
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Cb及びローラ6Caと6Cb
とに巻き回されたベルト6cで構成されている。

固定搬送ベルト6Dは、従動軸IVに支持されたローラ6D
a、従動軸VIに支持されたローラ6Db、従動軸VIIに支持
されたローラ6Dc、従動軸VIIIに支持されたローラ6Dd、
従動軸Ｖに支持されたローラ6De及びローラ6Da〜6Deに
巻き回されたベルト6dで構成されている。

固定搬送ベルト6Cと6Dは、前記固定搬送ベルト6A及び
可動搬送ベルト6Bで搬送された透光性樹脂フィルム1dを
さらに排出方向に搬送するように構成されている。固定
搬送ベルト6Dのローラ6Deは、第12図（要部断面図）で
示すように、固定搬送ベルト6C及び6Dから固定搬送ベル
ト6E及び6Fに透光性樹脂フィルム1dを搬送するときに、
その搬送方向が大きな角度で変化するために設けられて
いる。すなわち、ローラ6Deは、搬送方向が変化すると
きに、ベルト6c及び6dの透光性樹脂フィルム1dに接触す
る側の曲率半径を略同等にすることができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dにシワが生じること
を防止し、ジャム等のトラブルを防止することができ
る。

また、第13図（部分断面図）に示すように、透光性樹
脂フィルム1dの一方の面に接触し、その搬送方向と交差
する透光性樹脂フィルム1dの幅方向に所定の間隔で設け
られた複数の固定搬送ベルト6C（又は6D）の間には、透
光性樹脂フィルム1dの他方の面に接触する固定搬送ベル
ト6D（又は6C）が設けられている。換言すれば、固定搬
送ベルト6Cと6Dは、夫々のベルト6c及び6dの表面（透光
性樹脂フィルム1dとの接触面）が一致しているか、或は
それよりも相手側に食込むように、透光性樹脂フィルム
1dの幅方向に千鳥状に配置されている。

このように、固定搬送ベルト6Cと6Dとを千鳥状に配置
することにより、搬送される透光性樹脂フィルム1dにそ
の幅方向の張力を与えることができるので、固定搬送ベ
ルト6Cと6Dとで均一な挟持力でしかも確実に透光性樹脂
フィルム1dを挟持し搬送することができる。

また、固定搬送ベルト6C及び6Dで挟持される透光性樹
脂フィルム1dは、夫々のベルト6c及び6dの表面及び側面
柄を包み込むような形状で搬送されるので、ローラ6Ca,
6Cbとベルト6c、又はローラ6Da〜6Deとベルト6dとのロ
ーラの軸方向のズレを防止することができる。したがっ
て、搬送時に透光性樹脂フィルム1dに加わる挟持力を均
一にし、それにシワが発生することを防止できるので、
ジャム等のトラブルを防止することができる。特に、本
実施例の装置は、後述する上部透光性樹脂フィルム排出
収納容器7Aを設けており、上部搬送ベルト機構の搬送経
路が下部搬送ベルト機構のそれよりも長いので、固定搬
送ベルト6C及び6Dのように構成することは有効である。

固定搬送ベルト6Eは、従動軸IXに支持されたローラ6E
a、従動軸Ｖに支持されたローラ6Eb及びローラ6Eaと6Eb
とに巻き回されたベルト6eで構成されている。

固定搬送ベルト6Fは、従動軸Ｘに支持されたローラ6F
a、従動軸VIIIに支持されたローラ6Fb及びローラ6Faと6
Fbとに巻き回されたベルト6fで構成されている。

固定搬送ベルト6Eと6Fは、第１図及び第２図に示すよ
うに、前記固定搬送ベルト6C及び6Dで搬送された透光性
樹脂フィルム1dを装置本体から矢印Ｍ方向に排出するよ
うに構成されている。装置本体から排出された透光性樹
脂フィルム1dは、第１図に示す上部透光性樹脂フィルム
排出収納容器７に収納される。この上部透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器7Aは、装置本体の上部に着脱自在に取
り付けられている。

前記下部搬送ベルト機構は、第２図に示すように、固
定搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hとで構成されてい
る。

固定搬送ベルト6Gは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ6Ga,6Gc、従動軸（図示して
いない）に支持されたローラ6Gb及びローラ6Ga〜6Gcに
巻き回されたベルト6gで構成されている。

可動搬送ベルト6Hは、夫々別々の従動軸（図示してい
ない）に支持されたローラ6Ha,6Hc、従動軸（図示して
いない）に支持されたローラ6Hb及びローラ6Ha〜6Hcに
巻き回されたベルト6hで構成されている。

固定搬送ベルト6Gと可動搬送ベルト6Hは、前記上部搬
送ベルト機構と同様に、剥離角度設定板５で剥離位置及
び剥離角度で設定されたもう一方の透光性樹脂フィルム
1dを剥離しながら搬送するとともに、矢印○方向に装置
本体から透光性樹脂フィルム1dを排出するように構成さ
れている。装置本体から排出された透光性樹脂フィルム
1dは、第１図に示す下部透光性樹脂フィルム排出収納容
器7Bに収納される。この下部透光性樹脂フィルム排出収
納容器7Bは、装置本体に着脱自在に取り付けられてい
る。また、前記上部透光性樹脂フィルム排出収納容器7A
は下部透光性樹脂フィルム排出収納容器7Bの上部に設け
られており、装置本体は、占有面積を縮小しコンパクト
化できるように構成されている。

また、前記固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベ
ルト6Hの排出側の夫々の搬送経路の近傍には、第２図及
び第11図に示すように、排出される透光性樹脂フィルム
1dにその排出方向（矢印Ｎ方向）に流体を吹き付ける流
体噴出機構８が設けられている。このとき、排出される
透光性樹脂フィルム1dと流体吹付方向とがなす角度は、
流体の噴出で透光性樹脂フィルム1dを確実に排出方向に
誘導できるように、鋭角θ_１（０≦θ_１≦90）に設定さ
れている。流体噴出機構８は、固定搬送ベルト6E間、6F
間、6G間及び可動搬送ベルト6H間に流体が噴出する噴出
口が設けられたパイプで構成されている。流体として
は、圧力を加えた空気，不活性ガス等の気体、水等の液
体を使用する。なお、図示されていないが、流体噴出装
置８に近接した位置には、透光性樹脂フィルム1dの帯電
を低減する除電装置が設けられている。

このように固定搬送ベルト6E、6F、6G及び可動搬送ベ
ルト6Hの夫々の排出側に流体噴出機構８を設けることに
より、排出される透光性樹脂フィルム1dが再度固定搬送
ベルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト6Hに巻き込まれる
ことを防止するとともに、流体で矢印Ｍ又はＯ方向に透
光性樹脂フィルム1dを誘導することができるので、透光
性樹脂フィルム1dを効率良く上部又は株透光性樹脂フィ
ルム排出収納容器7A又は7Bに排出することができる。

また、固定搬送ベルト6E間、6F間、6G間及び可動搬送
ベルト6H間の夫々の排出側の搬送経路の近傍には、巻込
防止用部材９が設けられており、透光性樹脂フィルム1d
が固定搬送ベルト6E、6F、6G又は可動搬送ベルト6Hに巻
き込まれることを防止している。

また、第２図に示すように、固定搬送ベルト6Aに近接
した位置及び可動搬送ベルト6Hに近接した位置には、夫
々除電装置10とイオン拡散装置11とが設けられている。
除電装置10は、イオンを放出し、剥離や搬送時に透光性
樹脂フィルム1dが帯電することを低減できるように構成
されている。イオン拡散装置11は、除電装置10から放出
されたイオンを拡散し、透光性樹脂フィルム1dの帯電を
効率良く低減できるように構成されている。イオン拡散
装置11は、例えば、圧力が加えられた空気等の流体でイ
オンを拡散するように構成されている。

なお、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲において、種々変形し得
ることは勿論である。

例えば、本発明は、突起押圧装置３の突起押圧部材3A
を針形状に代えてクサビ形状、平板形状等で構成しても
よい。

また、本発明は、回転体の円周上に複数の針が設けら
れたブラシで透光性樹脂フィルム1Dの端部を引き起す薄
膜浮上機構を有する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用
することができる。

また、本発明は、ローレットで透光性樹脂フィルム1D
の端部を押圧し、その部分を浮上させる薄膜浮上装置を
有する薄膜剥離装置の薄膜搬送装置に適用することがで
きる。

また、本発明は、建築用化粧板に張り付けられている
保護膜の剥離装置に適用することができる。

（３）効果 以上説明したように、本発明によれば、以下に述べる
効果を得ることができる。

基板を搬送する基板搬送機構と、該基板搬送機構にお
ける基板搬送経路の近傍に、基板に張り付けられている
薄膜の端部を浮上させる薄膜浮上装置と、薄膜に流体を
吹き付けて基板から薄膜を剥離する流体吹付装置と、該
流体吹付装置と共働して部分的に剥離した薄膜を剥離し
ながら外部に排出する薄膜排出機構とを有する薄膜剥離
装置であって、前記流体吹付装置に、前記薄膜浮上装置
により浮上した薄膜浮上位置に流体を吹き付ける流体噴
射ノズルと、該流体噴射ノズルの流体噴射口を前記薄膜
浮上位置に対向させる流体噴射ノズルガイド部材と、前
記流体噴射ノズル及び前記流体噴射ノズルガイド部材を
並列に支持する回転支持軸とを設け、前記流体噴射ノズ
ルガイド部材は、前記流体噴射ノズルの流体噴射口を基
板搬送の搬送方向において薄膜浮上装置の位置より下流
側に位置させ、前記流体噴射ノズルの流体噴射方向を基
準として該流体噴射方向と基板搬送方向下流側の基板表
面とでなす角度を鋭角となし、かつ、前記流体噴射ノズ
ルの流体噴射口を基板の厚さに応じて前記薄膜浮上位置
に対向させるように前記回転支持軸を制御する回転支持
軸制御機構を有することにより、流体噴射ノズルの流体
噴射方向を基板の厚さに応じて浮上位置に対向させ、し
かも流体噴射ノズルの先端部と浮上位置とをできる限り
近接させることができるので、確実かつ効率良く薄膜を
剥離することができる。

また、流体噴射ノズルの先端部と浮上位置とを基板の
厚さに応じて対向させることができるので、流体噴射ノ
ズルの先端部と基板との接触によるそれらの損傷をなく
すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例のプリント配線用基板の保
護膜剥離装置の概略構成を示す模写側面図、 第２図は、第１図の要部拡大模写側面図、 第３図は、第１図及び第２図に示す突起押圧装置の構成
図、 第４図は、第３図の拡散分解図、 第５図は、第４図に示す突起押圧部材の部分断面図、 第６図及び第７図は、第２図に示すプリント配線用基板
の要部断面図、 第８図は、第１図及び第２図に示す流体吹付装置の要部
斜視図、 第９図は、第１図及び第２図に示す流体吹付装置の部分
断面図、 第10図は、第１図及び第２図に示す剥離角度設定板の要
部斜視図、 第11図は、第１図及び第２図に示す薄膜搬出装置の拡散
分解斜視図、 第12図及び第13図は、第11図に示す薄膜搬出装置の要部
断面図である。 図中、１……プリント配線用基板、1A……絶縁性基板、
1B……導電層、1C……感光性樹脂層、1D……透光性樹脂
フィルム、２……搬送用駆動ローラ、３……突起押圧装
置、3A……突起押圧部材、４……流体吹付装置、4A……
流体噴射ノズル、4D……流体噴射ノズルガイド部材、５
……剥離角度設定板、６……薄膜搬出装置（薄膜搬送装
置）、6A〜6H……搬送ベルトである。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板を搬送する基板搬送機構と、該基板搬
   送機構における基板搬送経路の近傍に基板に張り付けら
   れている薄膜の端部を浮上させる薄膜浮上装置と、薄膜
   に流体を吹き付けて基板から薄膜を剥離する流体吹付装
   置と、該流体吹付装置と共働して部分的に剥離した薄膜
   を剥離しながら外部に排出する薄膜排出機構とを有する
   薄膜剥離装置であって、前記流体吹付装置に、前記薄膜
   浮上装置により浮上した薄膜浮上位置に流体を吹き付け
   る流体噴射ノズルと、該流体噴射ノズルの流体噴射口を
   前記薄膜浮上位置に対向させる流体噴射ノズルガイド部
   材と、前記流体噴射ノズル及び前記流体噴射ノズルガイ
   ド部材を並列に支持する回転支持軸とを設け、前記流体
   噴射ノズルガイド部材は、前記流体噴射ノズルの流体噴
   射口を基板搬送の搬送方向において薄膜浮上装置の位置
   より下流側に位置させ、前記流体噴射ノズルの流体噴射
   方向を基準として該流体噴射方向と基板搬送方向下流側
   の基板表面とでなす角度を鋭角となし、かつ、前記流体
   噴射ノズルの流体噴射口を基板の厚さに応じて前記薄膜
   浮上位置に対向させるように前記回転支持軸を制御する
   回転支持軸制御機構を有することを特徴とする薄膜剥離
   装置。