JP2021082497A - Mass spectroscope - Google Patents

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Abstract

To provide a technique for facilitating attachment/detachment of a deliquoring tube for an ion source for a mass spectroscope.SOLUTION: A mass spectroscope includes an ionization chamber 22 for ionizing a sample component under atmospheric pressure and a vacuum chamber for introducing ions and performing mass spectrometry, and includes a vacuum chamber side front wall portion 10a having an ion receiving opening 100, an ionization chamber side rear wall portion 21 which is connected to the ion receiving opening 100 and has an ion introduction portion for transporting ions from the ionization chamber 22 to the vacuum chamber, and an ionization chamber 20 which has a holding portion for holding the ionization chamber side rear wall portion 21 so that the distance between the vacuum chamber side front wall portion 10a and the ionization chamber rear wall portion 21 is variable, forms the ionization chamber 22, is movably arranged between an analysis position for ionizing a sample and an open position where the ionization chamber side rear wall portion 21 is exposed, and pushes the ionization chamber side rear wall portion 10a to a position at a predetermined distance when moved from the open position to the analysis position.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は質量分析装置に関し、さらに詳しくは、大気圧イオン源を備える質量分析装置に関する。 The present invention relates to a mass spectrometer, and more particularly to a mass spectrometer provided with an atmospheric pressure ion source.

液体クロマトグラフ質量分析装置(LC−MS)に用いられる質量分析装置では、液体クロマトグラフ(LC)のカラムから溶出する成分を含む溶出液中の成分をイオン化するために、いわゆる大気圧イオン化法によるイオン源が使用される。大気圧イオン化法としては、エレクトロスプレーイオン化(ESI)法、大気圧化学イオン化(APCI)法、大気圧光イオン化(APPI)法などがよく知られている。 In the mass spectrometer used for the liquid chromatograph mass spectrometer (LC-MS), a so-called atmospheric pressure ionization method is used to ionize the components in the eluate containing the components eluted from the column of the liquid chromatograph (LC). An ion source is used. As the atmospheric pressure ionization method, an electrospray ionization (ESI) method, an atmospheric pressure chemical ionization (APCI) method, an atmospheric pressure photoionization (APPI) method and the like are well known.

こうした大気圧イオン源を搭載した質量分析装置では、略大気圧雰囲気であるイオン化室の内部で生成された試料成分由来のイオンを真空室に導入し、真空室内に配置された四重極マスフィルタ等の質量分離器により質量電荷比(m/z)に応じて分離して検出する。一般的に、質量分離器が配置される真空室の真空度は非常に高いため、この真空室の真空度を高く保つために、質量分離器が配置される高真空室とイオン化室との間に1又は複数の中間真空室が設けられ、イオン化室から高真空室まで段階的に真空度が高まるような構成が採られる。こうした構成は多段差動排気系と呼ばれる。 In a mass spectrometer equipped with such an atmospheric pressure ion source, ions derived from sample components generated inside an ionization chamber, which has a substantially atmospheric pressure atmosphere, are introduced into the vacuum chamber, and a quadrupole mass filter arranged in the vacuum chamber is used. It is separated and detected according to the mass-to-charge ratio (m / z) by a mass separator such as. Generally, the degree of vacuum in the vacuum chamber in which the mass separator is placed is very high, so in order to keep the degree of vacuum in this vacuum chamber high, between the high vacuum chamber in which the mass separator is placed and the ionization chamber. One or a plurality of intermediate vacuum chambers are provided in the vacuum chamber, and the degree of vacuum is gradually increased from the ionization chamber to the high vacuum chamber. Such a configuration is called a multi-stage differential exhaust system.

例えば特許文献1に記載の質量分析装置では、イオン化室と次段の第1中間真空室とは脱溶媒管と呼ばれる細径の管路で連通しており、イオン化スプレーからイオン化室内に帯電噴霧された液体試料により生成されたイオンは、脱溶媒管を通って第1中間真空室まで輸送される。脱溶媒管には溶媒が十分に気化していない帯電液滴がそのまま飛び込む場合もあり、こうした液滴からの溶媒の気化を促進してイオン化を図るために、脱溶媒管は該管に周設されたカートリッジヒータ等によって加熱される。 For example, in the mass spectrometer described in Patent Document 1, the ionization chamber and the first intermediate vacuum chamber in the next stage are communicated with each other by a small-diameter pipe called a desolving tube, and the ionization spray is charged and sprayed into the ionization chamber. The ions generated by the liquid sample are transported to the first intermediate vacuum chamber through the desolving tube. In some cases, charged droplets in which the solvent is not sufficiently vaporized may jump into the desolvation tube as they are, and in order to promote the vaporization of the solvent from these droplets and achieve ionization, the desolvation tube is provided around the tube. It is heated by a cartridge heater or the like.

非特許文献1等に記載された従来の質量分析装置では、イオン化室の後壁と第1中間真空室の前壁との間に形成される空間(以下「配設空間」という)に、上記カートリッジヒータや、該ヒータに加熱電流を供給するための配線やコネクタ類(場合によっては回路基板)などが配設される。また、この配設空間に、帯電液滴の脱溶媒化を促進するために脱溶媒管の入口の周囲からイオン化室内へ乾燥ガスを噴出するためのガス配管、さらには、APCI法によるイオン化のためにスプレーからの噴霧流の進行方向前方に配置される針電極に高電圧を印加するための配線やコネクタ類などが配設されることもある。 In the conventional mass spectrometer described in Non-Patent Document 1 and the like, the space formed between the rear wall of the ionization chamber and the front wall of the first intermediate vacuum chamber (hereinafter referred to as “arrangement space”) is described above. A cartridge heater, wiring and connectors (in some cases, a circuit board) for supplying a heating current to the heater are arranged. Further, in this arrangement space, a gas pipe for ejecting dry gas from the periphery of the inlet of the desolvation tube into the ionization chamber in order to promote desolvation of charged droplets, and further, for ionization by the APCI method. In some cases, wiring or connectors for applying a high voltage to the needle electrode arranged in front of the spray flow from the spray in the traveling direction may be arranged.

上記非特許文献1に記載の質量分析装置では、イオン化室の後壁となり、イオン導入部である脱溶媒管(DL:Desolvation Line)が取り付けられるDLフランジと、第1中間真空室の前壁である真空フランジとの間隔が所定間隔になるように、DLフランジを真空フランジに対して複数本の六角穴付ボルトで固定することで、イオン化室と第1中間真空室との間に配設空間を形成している。この構成では、ボルトを弛めDLフランジを取り外すことで、脱溶媒管や配設空間に配置されている上記部品のメンテナンスを行うことが可能である。 In the mass analyzer described in Non-Patent Document 1, the DL flange that serves as the rear wall of the ionization chamber and to which the desolvation line (DL), which is the ion introduction portion, is attached, and the front wall of the first intermediate vacuum chamber. By fixing the DL flange to the vacuum flange with a plurality of hexagon socket bolts so that the distance from a certain vacuum flange is a predetermined interval, an arrangement space is provided between the ionization chamber and the first intermediate vacuum chamber. Is forming. In this configuration, by loosening the bolts and removing the DL flange, it is possible to perform maintenance on the desolvation pipe and the above-mentioned parts arranged in the arrangement space.

特開2015−50085号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-5805

「LCMSTM-8060 超高速トリプル四重極型LC/MS/MSシステム}、[online]、[2019年11月1日検索]、株式会社島津製作所、インターネット<URL : https://www.an.shimadzu.co.jp/lcms/lcms8060/index.htm>"LCMSTM-8060 Ultra High Speed Triple Quadrupole LC / MS / MS System}, [online], [Search November 1, 2019], Shimadzu Corporation, Internet <URL: https://www.an. shimadzu.co.jp/lcms/lcms8060/index.htm >

しかしながら、上記従来の質量分析装置では、上述したようにDLフランジを真空フランジに対してボルトで固定しているため、DLフランジを取り外す際に工具を用いてボルトを弛める必要があり、メンテナンス作業に手間が掛かる。また、分析実行時にイオン化室内は高温になるうえ、イオン化スプレーから噴霧された液体試料がイオン化室内部に突出しているボルト頭部に掛かるため、ボルトの焼付きが生じて該ボルトを外しにくくなる場合がある。また、担当者がDLフランジの汚れを拭き取る際に、ボルト頭部が邪魔になり、汚れが残り易いという問題もある。さらにまた、DLフランジを取り付ける際に、複数本のボルトをバランス良く締結しないと、DLフランジが傾いて損傷するおそれもある。 However, in the above-mentioned conventional mass spectrometer, since the DL flange is fixed to the vacuum flange with a bolt as described above, it is necessary to loosen the bolt with a tool when removing the DL flange, which is necessary for maintenance work. Take the trouble. In addition, when the analysis is performed, the temperature inside the ionization chamber becomes high, and the liquid sample sprayed from the ionization spray hangs on the head of the bolt protruding into the ionization chamber, which causes seizure of the bolt and makes it difficult to remove the bolt. There is. Further, when the person in charge wipes off the dirt on the DL flange, there is a problem that the head of the bolt becomes an obstacle and the dirt tends to remain. Furthermore, when attaching the DL flange, if a plurality of bolts are not fastened in a well-balanced manner, the DL flange may be tilted and damaged.

本発明の目的とするところは、上述したようなボルトを用いてDLフランジを取り付けることにより生じる種々の問題点を解決し、装置のメンテナンスの作業性が良好である質量分析装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a mass spectrometer that solves various problems caused by attaching a DL flange using bolts as described above and has good maintenance workability of the device. is there.

上記課題を解決するために成された本発明に係る質量分析装置の一態様は、大気圧下で試料成分をイオン化するイオン化室と、該イオン化室で生成されたイオンが導入され、該イオン又は該イオンから派生するイオンを質量分析するための真空室と、を具備する質量分析装置であって、
イオン受入開口を有する真空室側前壁部と、
前記イオン受入開口と接続され、前記イオン化室から前記真空室へとイオンを輸送するイオン導入部を有するイオン化室側後壁部と、
前記真空室側前壁部と前記イオン化室後壁部との間の間隔が可変であるように該真空室側前壁部に対し該イオン化室側後壁部を保持する保持部と、
前記イオン化室を形成するものであり、試料をイオン化するための分析位置と前記イオン化室側後壁部が露出する開放位置との間で移動可能に配置され、前記開放位置から前記分析位置に移動される際に、前記保持部により保持されている前記イオン化室側後壁部に接触して前記真空室側前壁部との間の間隔が所定間隔になる位置まで該イオン化室側後壁部を押し込むイオン化チャンバと、
を備えるものである。
One aspect of the mass spectrometer according to the present invention, which has been made to solve the above problems, is an ionization chamber for ionizing a sample component under atmospheric pressure, and an ion generated in the ionization chamber is introduced into the ion or the ion or the ion. A mass spectrometer comprising a vacuum chamber for mass spectrometry of ions derived from the ions.
The front wall on the vacuum chamber side with an ion receiving opening,
An ionization chamber side rear wall portion connected to the ion receiving opening and having an ion introduction portion for transporting ions from the ionization chamber to the vacuum chamber, and a rear wall portion on the ionization chamber side.
A holding portion that holds the ionization chamber side rear wall portion with respect to the vacuum chamber side front wall portion so that the distance between the vacuum chamber side front wall portion and the ionization chamber rear wall portion is variable.
It forms the ionization chamber, is movably arranged between an analysis position for ionizing a sample and an open position where the rear wall portion on the ionization chamber side is exposed, and moves from the open position to the analysis position. At that time, the ionization chamber side rear wall portion comes into contact with the ionization chamber side rear wall portion held by the holding portion and the distance between the ionization chamber side rear wall portion and the vacuum chamber side front wall portion becomes a predetermined distance. Ionization chamber to push in and
Is provided.

本発明に係る質量分析装置の上記態様において、真空室側前壁部及びイオン化室側後壁部はそれぞれ、上述した従来の質量分析装置における真空フランジ及びDLフランジに相当する。 In the above aspect of the mass spectrometer according to the present invention, the vacuum chamber side front wall portion and the ionization chamber side rear wall portion correspond to the vacuum flange and the DL flange in the above-mentioned conventional mass spectrometer, respectively.

また本発明に係る質量分析装置の上記態様において、真空室は一室でもよいが、一般に、イオン化法として大気圧イオン化法が用いられる場合、多段差動排気系の構成が採られる。そのため、真空室は複数であり、上記真空室側前壁部は最も前段にある真空室(つまりは真空度が最も低い真空室)の前壁を構成する部材である。 Further, in the above aspect of the mass spectrometer according to the present invention, the vacuum chamber may be one chamber, but in general, when the atmospheric pressure ionization method is used as the ionization method, a configuration of a multi-stage differential exhaust system is adopted. Therefore, there are a plurality of vacuum chambers, and the vacuum chamber side front wall portion is a member constituting the front wall of the vacuum chamber at the frontmost stage (that is, the vacuum chamber having the lowest degree of vacuum).

本発明に係る上記態様の質量分析装置では、イオン化チャンバが開放された状態から作業者がイオン化チャンバを閉じる、つまり分析位置まで移動させると、イオン化室側後壁部はイオン化チャンバによって真空室側前壁部に近づくように押し込まれる。そして、イオン化チャンバが完全に閉鎖されると、イオン化室側後壁部は適切な位置まで押し込まれて位置決めされ、イオン化室側後壁部と真空室側前壁部との間に所定間隔の空間が形成される。 In the mass spectrometer of the above aspect according to the present invention, when the operator closes the ionization chamber from the open state, that is, moves it to the analysis position, the rear wall portion on the ionization chamber side is moved to the front of the vacuum chamber side by the ionization chamber. It is pushed closer to the wall. When the ionization chamber is completely closed, the rear wall portion on the ionization chamber side is pushed to an appropriate position and positioned, and a space at a predetermined interval between the rear wall portion on the ionization chamber side and the front wall portion on the vacuum chamber side is provided. Is formed.

したがって、本発明に係る上記態様の質量分析装置によれば、従来のようにイオン化室側後壁部を真空室側前壁部に対してボルト等の別の部材で固定する必要がない。そのため、イオン化室側後壁部に設けられているイオン導入部や、イオン化室側後壁部と真空室側前壁部との間の空間に配置されているヒータ、各種の配線、コネクタ類、ガス配管等のメンテナンスを行う際に、工具を用いることなく容易にイオン化室側前壁部を取り外すことができ、メンテナンス作業を効率的に行うことができる。また、イオン化室側にボルト頭部が突出していないので、担当者がイオン化室側後壁部の汚れを拭き取り易く、汚れが残りにくい。さらにまた、イオン化チャンバを閉める操作を行うだけでイオン化室側後壁部を適切に取り付けることができ、取り付け時にイオン化室側後壁部を損傷する等の不具合も回避することができる。 Therefore, according to the mass spectrometer of the above aspect according to the present invention, it is not necessary to fix the ionization chamber side rear wall portion to the vacuum chamber side front wall portion with another member such as a bolt as in the conventional case. Therefore, the iontophoresis portion provided on the rear wall portion on the ionization chamber side, the heater arranged in the space between the rear wall portion on the ionization chamber side and the front wall portion on the vacuum chamber side, various wirings, connectors, etc. When performing maintenance on gas pipes and the like, the front wall on the ionization chamber side can be easily removed without using tools, and maintenance work can be performed efficiently. Further, since the bolt head does not protrude toward the ionization chamber side, it is easy for the person in charge to wipe off the dirt on the rear wall portion on the ionization chamber side, and the dirt is less likely to remain. Furthermore, the rear wall portion on the ionization chamber side can be appropriately attached only by closing the ionization chamber, and problems such as damage to the rear wall portion on the ionization chamber side at the time of attachment can be avoided.

本発明の一実施形態である質量分析装置の外観斜視図。The external perspective view of the mass spectrometer which is one Embodiment of this invention. 本実施形態の質量分析装置の要部の構成図。The block diagram of the main part of the mass spectrometer of this embodiment. 本実施形態の質量分析装置においてイオン化チャンバが分析位置にあるときのイオン化ユニット周辺の概略構成図。The schematic block diagram around the ionization unit when the ionization chamber is in the analysis position in the mass spectrometer of this embodiment. 本実施形態の質量分析装置においてイオン化チャンバが開放位置にあるときのイオン化ユニット周辺の概略構成図。The schematic block diagram around the ionization unit when the ionization chamber is in an open position in the mass spectrometer of this embodiment. 本実施形態の質量分析装置の変形例におけるイオン化ユニット周辺の概略構成図。The schematic block diagram around the ionization unit in the modification of the mass spectrometer of this embodiment. 本実施形態の質量分析装置の別の変形例におけるイオン化ユニット周辺の概略構成図。The schematic block diagram around the ionization unit in another modification of the mass spectrometer of this embodiment.

本発明の一実施形態である質量分析装置について、添付図面を参照して説明する。
この質量分析装置は、大気圧イオン源を搭載したシングルタイプの四重極型質量分析装置であり、大気圧イオン化法としてESI法、APCI法の両方を利用可能である。
A mass spectrometer according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
This mass spectrometer is a single-type quadrupole mass spectrometer equipped with an atmospheric pressure ion source, and both the ESI method and the APCI method can be used as the atmospheric pressure ionization method.

[本実施形態の質量分析装置の全体構成]
図1は、本実施形態の質量分析装置の外観斜視図である。図2は、本実施形態の質量分析装置の要部の概略構成図である。なお、説明の便宜上、図1中に示すように、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸を定めている。つまり、Z軸方向は高さ方向であり、Y軸方向は奥行方向であり、X軸方向は幅方向である。
[Overall configuration of the mass spectrometer of the present embodiment]
FIG. 1 is an external perspective view of the mass spectrometer of the present embodiment. FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a main part of the mass spectrometer of the present embodiment. For convenience of explanation, as shown in FIG. 1, the X-axis, Y-axis, and Z-axis that are orthogonal to each other are defined. That is, the Z-axis direction is the height direction, the Y-axis direction is the depth direction, and the X-axis direction is the width direction.

図1に示すように、本実施形態の質量分析装置はその外形が略矩形状であり、イオン化室が内部に形成されるイオン化チャンバ20が前方に突出している。イオン化チャンバ20の後方には奥行き方向に細長い形状の真空チャンバ10が配置されている。また、真空チャンバ10の下方には、真空チャンバ10内を真空排気するための真空ポンプユニット50が配置され、真空チャンバ10の上方と左方は、様々な電気回路が収容されている回路ユニット60である。 As shown in FIG. 1, the mass spectrometer of the present embodiment has a substantially rectangular outer shape, and the ionization chamber 20 in which the ionization chamber is formed is projected forward. A vacuum chamber 10 having an elongated shape in the depth direction is arranged behind the ionization chamber 20. Further, a vacuum pump unit 50 for evacuating the inside of the vacuum chamber 10 is arranged below the vacuum chamber 10, and a circuit unit 60 in which various electric circuits are housed above and to the left of the vacuum chamber 10 is arranged. Is.

図2に示すように、真空チャンバ10の内部は奥行き方向(Y軸方向)に、第1中間真空室11、第2中間真空室12、及び高真空室13の三室に区画されている。また、真空チャンバ10の前方には、内部にイオン化室22を画成するイオン化チャンバ20及びDLフランジ21が取り付けられている。第1中間真空室11、第2中間真空室12、及び高真空室13の三室は、それぞれ上記真空ポンプユニット50内の又は本装置の外側に設置された真空ポンプにより真空排気され、第1中間真空室11、第2中間真空室12、高真空室13と段階的にその真空度は高くなる。一方、イオン化室22は外部に連通しており、その内部は略大気圧である。 As shown in FIG. 2, the inside of the vacuum chamber 10 is divided into three chambers, a first intermediate vacuum chamber 11, a second intermediate vacuum chamber 12, and a high vacuum chamber 13 in the depth direction (Y-axis direction). Further, in front of the vacuum chamber 10, an ionization chamber 20 and a DL flange 21 that define an ionization chamber 22 inside are attached. The three chambers of the first intermediate vacuum chamber 11, the second intermediate vacuum chamber 12, and the high vacuum chamber 13 are evacuated by a vacuum pump installed in the vacuum pump unit 50 or outside the apparatus, respectively, and are evacuated in the first intermediate. The degree of vacuum is gradually increased in the vacuum chamber 11, the second intermediate vacuum chamber 12, and the high vacuum chamber 13. On the other hand, the ionization chamber 22 communicates with the outside, and the inside thereof has a substantially atmospheric pressure.

イオン化室22には液体試料を噴霧するイオン化プローブ(スプレー)23が設けられ、イオン化プローブ23の前方には、APCI法によるイオン化の際にコロナ放電を生起させる針電極27が配置されている。イオン化室22と第1中間真空室11との間は細径の脱溶媒管24を通して連通している。イオン化室22側の脱溶媒管24の入口であるイオン導入口24aの周囲には、複数の乾燥ガス噴出口26が設けられ、乾燥ガス噴出口26からは加熱された窒素等の不活性ガスが噴出する。また、脱溶媒管24の周囲にはカートリッジヒータ25が設けられ、カートリッジヒータ25によって脱溶媒管24は所定温度に加熱されるようになっている。 An ionization probe (spray) 23 for spraying a liquid sample is provided in the ionization chamber 22, and a needle electrode 27 for causing a corona discharge during ionization by the APCI method is arranged in front of the ionization probe 23. The ionization chamber 22 and the first intermediate vacuum chamber 11 communicate with each other through a small-diameter desolvation tube 24. A plurality of dry gas outlets 26 are provided around the ion introduction port 24a, which is the inlet of the desolvation pipe 24 on the ionization chamber 22 side, and heated inert gas such as nitrogen is discharged from the dry gas outlet 26. Squirt. Further, a cartridge heater 25 is provided around the desolvation tube 24, and the desolvation tube 24 is heated to a predetermined temperature by the cartridge heater 25.

第1中間真空室11の内部には第1イオンガイド14が配置され、第1中間真空室11と第2中間真空室12とはスキマー15の頂部に形成された小孔を通して連通している。第2中間真空室12の内部には第2イオンガイド16が配置され、第2中間真空室12と高真空室13とはレンズ電極17の中心に形成された小孔を通して連通している。高真空室13の内部には、プリロッド電極とメインロッド電極とを含む四重極マスフィルタ18と、イオン検出器19とが配置されている。 A first ion guide 14 is arranged inside the first intermediate vacuum chamber 11, and the first intermediate vacuum chamber 11 and the second intermediate vacuum chamber 12 communicate with each other through a small hole formed at the top of the skimmer 15. A second ion guide 16 is arranged inside the second intermediate vacuum chamber 12, and the second intermediate vacuum chamber 12 and the high vacuum chamber 13 communicate with each other through a small hole formed in the center of the lens electrode 17. Inside the high vacuum chamber 13, a quadrupole mass filter 18 including a pre-rod electrode and a main rod electrode, and an ion detector 19 are arranged.

図2に示すように、脱溶媒管24、第1イオンガイド14、スキマー15、第2イオンガイド16、レンズ電極17、四重極マスフィルタ18、及びイオン検出器19は、概ね直線状のイオン光軸Cに沿って配置されている。 As shown in FIG. 2, the desolvation tube 24, the first ion guide 14, the skimmer 15, the second ion guide 16, the lens electrode 17, the quadrupole mass filter 18, and the ion detector 19 are generally linear ions. It is arranged along the optical axis C.

[本実施形態の質量分析装置の分析動作]
本実施形態の質量分析装置における分析動作を簡単に説明する。
イオン化プローブ23には、図示しない液体クロマトグラフ(LC)のカラムで分離された成分を含む溶出液が供給される。イオン化プローブ23は溶出液を略大気圧雰囲気であるイオン化室22内に噴霧し、該溶出液に含まれる試料成分をイオン化する。
[Analytical operation of the mass spectrometer of the present embodiment]
The analysis operation in the mass spectrometer of the present embodiment will be briefly described.
The ionization probe 23 is supplied with an eluate containing components separated by a liquid chromatograph (LC) column (not shown). The ionization probe 23 sprays the eluate into the ionization chamber 22 which has a substantially atmospheric pressure atmosphere, and ionizes the sample components contained in the eluate.

イオン化法としてESI法を用いる場合には、イオン化プローブ23の先端に高電圧を印加する。その電圧により形成される電場によって液体試料は片寄った電荷を付与されつつ噴霧され、噴霧された帯電液滴中の溶媒が気化する過程で試料成分はイオン化される。一方、イオン化法としてAPCI法を用いる場合には、イオン化プローブ23の先端に高電圧を印加する代わりに、針電極27に高電圧を印加することでコロナ放電を生起させる。このコロナ放電によって、イオン化プローブ23から噴霧された液滴から生じた溶媒ガスをイオン化し、溶媒イオンと成分分子との化学反応により該成分分子をイオン化する。 When the ESI method is used as the ionization method, a high voltage is applied to the tip of the ionization probe 23. The liquid sample is sprayed while being given a biased charge by the electric field formed by the voltage, and the sample components are ionized in the process of vaporizing the solvent in the sprayed charged droplets. On the other hand, when the APCI method is used as the ionization method, instead of applying a high voltage to the tip of the ionization probe 23, a high voltage is applied to the needle electrode 27 to cause a corona discharge. By this corona discharge, the solvent gas generated from the droplets sprayed from the ionization probe 23 is ionized, and the component molecules are ionized by a chemical reaction between the solvent ions and the component molecules.

上述したようにしてイオン化室22内で生成された試料成分由来のイオンは、脱溶媒管24の両端の圧力差によって生じるガス流に乗ってイオン導入口24aから脱溶媒管24中に吸い込まれる。溶媒が十分に気化していない帯電液滴がイオン導入口24aに近づくと乾燥ガス噴出口26から吹き出す乾燥ガスに晒されるため、溶媒の気化が促進されてイオン化が進む。さらにまた、溶媒が十分に気化していない帯電液滴が脱溶媒管24中に吸い込まれた場合でも、高温になっている脱溶媒管24中で脱溶媒が進行し、イオン化が促進される。 The ions derived from the sample components generated in the ionization chamber 22 as described above are sucked into the desolvation tube 24 from the ion introduction port 24a on the gas flow generated by the pressure difference between both ends of the desolvation tube 24. When the charged droplet in which the solvent is not sufficiently vaporized approaches the ion introduction port 24a, it is exposed to the dry gas blown out from the dry gas outlet 26, so that the vaporization of the solvent is promoted and the ionization proceeds. Furthermore, even when charged droplets in which the solvent is not sufficiently vaporized are sucked into the desolvation tube 24, desolvation proceeds in the desolvation tube 24 which is at a high temperature, and ionization is promoted.

こうして脱溶媒管24を通して第1中間真空室11内へと送られたイオンは、第1イオンガイド14、スキマー15、第2イオンガイド16、レンズ電極17を経て高真空室13まで送られ、四重極マスフィルタ18に導入される。ロッド電極に印加されている電圧に対応する特定の質量電荷比を有するイオンのみが四重極マスフィルタ18を通り抜け、それ以外のイオンは途中で発散する。イオン検出器19は四重極マスフィルタ18を通り抜けて来たイオンを検出し、そのイオンの量に応じた検出信号を出力する。 The ions thus sent into the first intermediate vacuum chamber 11 through the solvent removal tube 24 are sent to the high vacuum chamber 13 via the first ion guide 14, the skimmer 15, the second ion guide 16, and the lens electrode 17. It is introduced into the multi-pole mass filter 18. Only ions having a specific mass-to-charge ratio corresponding to the voltage applied to the rod electrode pass through the quadrupole mass filter 18, and other ions are emitted on the way. The ion detector 19 detects ions that have passed through the quadrupole mass filter 18 and outputs a detection signal according to the amount of the ions.

このようにして本実施形態の質量分析装置では、作業者から見て最も手前側に位置するイオン化室22において生成された試料成分由来のイオンが、その後方にある真空チャンバ10内に導入され、前方側から後方側へと向かって送られる。送られたイオンは、四重極マスフィルタ18で質量電荷比に応じて分離されたあと、最終段のイオン検出器19により検出される。 In this way, in the mass spectrometer of the present embodiment, the ions derived from the sample components generated in the ionization chamber 22 located on the foremost side when viewed from the operator are introduced into the vacuum chamber 10 behind the sample component. It is sent from the front side to the rear side. The sent ions are separated by the quadrupole mass filter 18 according to the mass-to-charge ratio, and then detected by the ion detector 19 in the final stage.

[イオン化ユニット周辺の詳細な構成]
上述したように分析時にはイオン化プローブからイオン化室22内に溶出液が噴霧されるため、イオン化室22の内壁やイオン化室22内に配置されている部材には溶出液が付着して汚れる。また、脱溶媒管24の内部にも溶出液が付着して汚れる。さらにまた、カートリッジヒータ25や乾燥ガスを供給するガス配管など、イオン化室22と真空チャンバ10(第1中間真空室11)との間の空間に配置されている部材もメンテナンスする必要がある。そのため、本実施形態の質量分析装置では、イオン化チャンバ20を開放するとともに、イオン化チャンバ20を開放した状態でDLフランジ21を前方に取り外すことが可能となっている。次にこのイオン化ユニット周辺の構成を詳細に述べる。
[Detailed configuration around the ionization unit]
As described above, since the eluate is sprayed from the ionization probe into the ionization chamber 22 at the time of analysis, the eluate adheres to the inner wall of the ionization chamber 22 and the members arranged in the ionization chamber 22 and becomes dirty. In addition, the eluate also adheres to the inside of the solvent removal tube 24 and becomes dirty. Furthermore, it is also necessary to maintain the members arranged in the space between the ionization chamber 22 and the vacuum chamber 10 (first intermediate vacuum chamber 11), such as the cartridge heater 25 and the gas pipe for supplying the drying gas. Therefore, in the mass spectrometer of the present embodiment, the ionization chamber 20 can be opened and the DL flange 21 can be removed forward with the ionization chamber 20 open. Next, the configuration around this ionization unit will be described in detail.

図3は、本実施形態の質量分析装置においてイオン化チャンバが分析位置にあるときのイオン化ユニット周辺の概略構成図である。図4は、本実施形態の質量分析装置においてイオン化チャンバが開放位置にあるときのイオン化ユニット周辺の概略構成図である。
図3及び図4は本実施形態の質量分析装置を上から見たときの概略的な横断面図であるが、内部構造を見易く示したものであり、必ずしもX−Y面に平行な面での断面ではない。また、一部は簡略的に示している。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the periphery of the ionization unit when the ionization chamber is in the analysis position in the mass spectrometer of the present embodiment. FIG. 4 is a schematic configuration diagram of the periphery of the ionization unit when the ionization chamber is in the open position in the mass spectrometer of the present embodiment.
3 and 4 are schematic cross-sectional views of the mass spectrometer of the present embodiment when viewed from above, but the internal structure is shown in an easy-to-see manner, and the surface is not necessarily parallel to the XY plane. It is not a cross section of. In addition, some are shown briefly.

イオン化チャンバ20は、イオン化室22の底面、天面(上面)、両側面、及び前面という後面以外の五面を形成する略箱状の部材である。DLフランジ21はイオン化室22の後面を形成する略平板状の部材である。イオン化チャンバ20及びDLフランジ21は例えばステンレス等の金属から成る。真空フランジ10aは、真空チャンバ10において第1中間真空室11の前壁を構成する部材である。 The ionization chamber 20 is a substantially box-shaped member that forms five surfaces other than the rear surface, that is, the bottom surface, the top surface (upper surface), both side surfaces, and the front surface of the ionization chamber 22. The DL flange 21 is a substantially flat plate-shaped member that forms the rear surface of the ionization chamber 22. The ionization chamber 20 and the DL flange 21 are made of a metal such as stainless steel. The vacuum flange 10a is a member that constitutes the front wall of the first intermediate vacuum chamber 11 in the vacuum chamber 10.

イオン化チャンバ20は、垂直方向(Z軸方向)に延伸するヒンジ200を介して真空フランジ10aに取り付けられている。イオン化チャンバ20はヒンジ200を中心として蝶動自在であり、図3に示す状態(つまり分析位置)では、イオン化チャンバ20はDLフランジ21とともにイオン化室22を画成している。一方、図4に示す状態(開放位置)では、イオン化チャンバ20は開放されており、DLフランジ21がほぼ完全に露出している。また、イオン化チャンバ20には、該イオン化チャンバ20を分析位置に移動した状態で該チャンバ20の位置を固定するロック機構28が設けられている。このロック機構28は真空フランジ10aや外装カバーなどに設けられていてもよい。 The ionization chamber 20 is attached to the vacuum flange 10a via a hinge 200 extending in the vertical direction (Z-axis direction). The ionization chamber 20 is hingeable around the hinge 200, and in the state shown in FIG. 3 (that is, the analysis position), the ionization chamber 20 defines the ionization chamber 22 together with the DL flange 21. On the other hand, in the state shown in FIG. 4 (open position), the ionization chamber 20 is open and the DL flange 21 is almost completely exposed. Further, the ionization chamber 20 is provided with a lock mechanism 28 for fixing the position of the chamber 20 in a state where the ionization chamber 20 is moved to the analysis position. The lock mechanism 28 may be provided on the vacuum flange 10a, the exterior cover, or the like.

DLフランジ21の略中央には脱溶媒ユニット210が取り付けられている。脱溶媒ユニット210は、Y軸方向に延伸する脱溶媒管24と、脱溶媒管24が貫通するカートリッジヒータ25と、乾燥ガス噴出口26にまで乾燥ガスを導く内部ガス管路211と、を含む。脱溶媒管24は例えばステンレスなどの金属から成る。カートリッジヒータ25は、アルミニウムなどの熱伝導率が高い金属により形成される略円柱状の加熱ブロックと、加熱ブロックを加熱するヒータと、を含む。加熱ブロックにはその流れ方向に貫通孔が形成され、その貫通孔の内周面に接触するように脱溶媒管24が挿通されている。 A solvent removal unit 210 is attached to the substantially center of the DL flange 21. The desolvation unit 210 includes a desolvation pipe 24 extending in the Y-axis direction, a cartridge heater 25 through which the desolvation pipe 24 penetrates, and an internal gas pipeline 211 for guiding the dry gas to the dry gas outlet 26. .. The solvent removal tube 24 is made of a metal such as stainless steel. The cartridge heater 25 includes a substantially columnar heating block formed of a metal having high thermal conductivity such as aluminum, and a heater for heating the heating block. A through hole is formed in the heating block in the flow direction, and the desolvation tube 24 is inserted so as to come into contact with the inner peripheral surface of the through hole.

イオン導入口24aと反対側の脱溶媒管24の先端部は、脱溶媒ユニット210の後方側に突出しており、この先端部にはフランジ部材212が装着されている。フランジ部材212は脱溶媒管24が貫通する筒状の部材であり、外側に張り出した板状部212aがカートリッジヒータ25の加熱ブロックの端面25aに当接している。フランジ部材212の板状部212aにあって、加熱ブロックの端面25aとの当接面と反対側の面には、Oリング等のシール部材213が設けられている。 The tip of the desolvation tube 24 on the side opposite to the ion introduction port 24a protrudes to the rear side of the desolvation unit 210, and a flange member 212 is attached to this tip. The flange member 212 is a tubular member through which the desolvation pipe 24 penetrates, and the plate-shaped portion 212a projecting outward is in contact with the end surface 25a of the heating block of the cartridge heater 25. A sealing member 213 such as an O-ring is provided on the plate-shaped portion 212a of the flange member 212 on the surface opposite to the contact surface with the end surface 25a of the heating block.

真空フランジ10aの略中央には、フランジ部材212の筒状部212bの外径よりも一回り大きな内径のイオン受入開口100が穿設されている。図3に示すように、DLフランジ21が奥側に最も押し込まれた状態では、脱溶媒管24の先端部はイオン受入開口100に挿通され、第1中間真空室11内に突出している。また、このようにDLフランジ21が奥側に押し込まれた状態では、シール部材213が真空フランジ10aの前面に接触する。DLフランジ21が押し込まれると、シール部材213が潰れ、真空フランジ10aとフランジ部材212との間の隙間が閉塞される。 An ion receiving opening 100 having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the tubular portion 212b of the flange member 212 is bored at substantially the center of the vacuum flange 10a. As shown in FIG. 3, when the DL flange 21 is pushed most to the back side, the tip of the desolvation tube 24 is inserted into the ion receiving opening 100 and protrudes into the first intermediate vacuum chamber 11. Further, in the state where the DL flange 21 is pushed to the back side in this way, the seal member 213 comes into contact with the front surface of the vacuum flange 10a. When the DL flange 21 is pushed in, the sealing member 213 is crushed and the gap between the vacuum flange 10a and the flange member 212 is closed.

真空フランジ10aの前面には、イオン受入開口100を挟んでその両側に、ガス配管中継部110と高電圧配線中継部120とが設けられている。ガス配管中継部110は、側方にガス供給口を有し、該ガス供給口には外部から乾燥ガスを供給するガス配管が接続される。また、ガス配管中継部110は前方に開口したガス配管部が内部に形成され、前方に突出する接続軸を有する。また、高電圧配線中継部120は、その内部に高電圧配線が設けられ、前方に突出する接続軸を有する。この高電圧配線は真空フランジ10a側から外部の高電圧電源に接続される。 On the front surface of the vacuum flange 10a, a gas pipe relay portion 110 and a high voltage wiring relay portion 120 are provided on both sides of the ion receiving opening 100. The gas pipe relay unit 110 has a gas supply port on the side, and a gas pipe for supplying dry gas from the outside is connected to the gas supply port. Further, the gas pipe relay portion 110 has a gas pipe portion that opens forward and has a connecting shaft that protrudes forward. Further, the high-voltage wiring relay unit 120 is provided with high-voltage wiring inside, and has a connecting shaft protruding forward. This high voltage wiring is connected to an external high voltage power supply from the vacuum flange 10a side.

一方、DLフランジ21には、真空フランジ10aのガス配管中継部110及び高電圧配線中継部120にそれぞれ対応する位置に、ガス配管二次中継部220と高電圧配線二次中継部221とが設けられている。即ち、ガス配管二次中継部220と高電圧配線二次中継部221とは脱溶媒ユニット210を挟んでその両側に設けられている。
ガス配管二次中継部220は、真空フランジ10a側のガス配管中継部110の接続軸が挿入される被接続軸を有する。被接続軸はその内部にガス配管を備え、この被接続軸に接続軸を或る程度の深さまで挿入すると、両方のガス配管が繋がるようになっている。また、このガス配管二次中継部220のガス配管は別のガス配管によって、脱溶媒ユニット210の内部ガス管路211に接続されている。
On the other hand, the DL flange 21 is provided with a gas pipe secondary relay unit 220 and a high voltage wiring secondary relay unit 221 at positions corresponding to the gas pipe relay unit 110 and the high voltage wiring relay unit 120 of the vacuum flange 10a, respectively. Has been done. That is, the gas pipe secondary relay unit 220 and the high voltage wiring secondary relay unit 221 are provided on both sides of the solvent removal unit 210.
The gas pipe secondary relay unit 220 has a connected shaft into which the connection shaft of the gas pipe relay unit 110 on the vacuum flange 10a side is inserted. The connected shaft is provided with a gas pipe inside, and when the connected shaft is inserted to a certain depth in the connected shaft, both gas pipes are connected. Further, the gas pipe of the gas pipe secondary relay unit 220 is connected to the internal gas pipe line 211 of the desolving unit 210 by another gas pipe.

高電圧配線二次中継部221も、真空フランジ10a側の高電圧配線中継部120の接続軸が挿入される被接続軸を有する。被接続軸はその内部に高電圧配線を備え、この被接続軸に接続軸を或る程度の深さまで挿入すると、両方の高電圧配線が繋がるようになっている。また、この高電圧配線はDLフランジ21の前面側にまで配設され、針電極27に接続されている。また、高電圧配線二次中継部221の被接続軸には、挿入された接続軸を保持するボールプランジャ221aが内装されている。そのため、高電圧配線中継部120の接続軸を高電圧配線二次中継部221の被接続軸に挿入すると、ボールプランジャ221aによってその接続軸はY軸方向に摺動自在に保持される。これによって、接続軸が被接続軸から抜けにくくなり、後述するようにDLフランジ21を取り付ける際にDLフランジ21の脱落を防止することができる。 The high-voltage wiring secondary relay unit 221 also has a connected shaft into which the connection shaft of the high-voltage wiring relay unit 120 on the vacuum flange 10a side is inserted. The connected shaft is provided with high-voltage wiring inside, and when the connecting shaft is inserted into the connected shaft to a certain depth, both high-voltage wirings are connected. Further, the high voltage wiring is arranged up to the front side of the DL flange 21 and is connected to the needle electrode 27. Further, a ball plunger 221a for holding the inserted connecting shaft is built in the connected shaft of the high voltage wiring secondary relay unit 221. Therefore, when the connecting shaft of the high-voltage wiring relay unit 120 is inserted into the connected shaft of the high-voltage wiring secondary relay unit 221, the connecting shaft is slidably held in the Y-axis direction by the ball plunger 221a. This makes it difficult for the connecting shaft to come off from the connected shaft, and as will be described later, it is possible to prevent the DL flange 21 from falling off when the DL flange 21 is attached.

なお、この実施形態では、高電圧配線二次中継部221の被接続軸にのみボールプランジャを設けているが、ガス配管二次中継部220の被接続軸にもボールプランジャを設けてもよい。それにより、DLフランジ21の脱落をより確実に防止することができる。 In this embodiment, the ball plunger is provided only on the connected shaft of the high voltage wiring secondary relay unit 221. However, the ball plunger may also be provided on the connected shaft of the gas pipe secondary relay unit 220. Thereby, the DL flange 21 can be more reliably prevented from falling off.

図4に示すように、ロック機構28によるロックが解除されてイオン化チャンバ20が開放された状態では、DLフランジ21はY軸方向に固定されていない。そのため、図4中の矢印Bで示すようにDLフランジ21は移動可能であり、作業者がDLフランジ21を手前側に引き出すと、ガス配管中継部110とガス配管二次中継部220との接続、及び、高電圧配線中継部120と高電圧配線二次中継部221との接続がいずれも外れ、また、脱溶媒管24の先端部がイオン受入開口100から抜け、DLフランジ21を取り出すことができる。このようにDLフランジ21を外部に取り外し、該DLフランジ21に取り付けられている脱溶媒管24やカートリッジヒータ25等のメンテナンスを行ったり、露出している真空フランジ10aの前面に設けられている部品等のメンテナンスを行ったりすることができる。 As shown in FIG. 4, the DL flange 21 is not fixed in the Y-axis direction when the lock by the lock mechanism 28 is released and the ionization chamber 20 is opened. Therefore, as shown by the arrow B in FIG. 4, the DL flange 21 is movable, and when the operator pulls out the DL flange 21 toward the front side, the connection between the gas pipe relay unit 110 and the gas pipe secondary relay unit 220 is established. , And the connection between the high-voltage wiring relay unit 120 and the high-voltage wiring secondary relay unit 221 can be disconnected, and the tip of the desolving pipe 24 can be pulled out from the ion receiving opening 100 to take out the DL flange 21. it can. In this way, the DL flange 21 is removed to the outside to perform maintenance on the desolvation pipe 24 and the cartridge heater 25 attached to the DL flange 21, and parts provided on the front surface of the exposed vacuum flange 10a. Etc. can be performed.

メンテナンス作業の終了後、作業者は、脱溶媒管24の先端部が真空フランジ10aのイオン受入開口100に挿入され、ガス配管中継部110とガス配管二次中継部220、及び、高電圧配線中継部120と高電圧配線二次中継部221、がそれぞれ接続されるDLフランジ21を取り付ける。ガス配管二次中継部220と高電圧配線二次中継部221とは脱溶媒ユニット210を挟んで両側に位置しているため、ガス配管二次中継部220と高電圧配線二次中継部221とのそれぞれの被接続軸と、ガス配管中継部110と高電圧配線中継部120とのそれぞれの接続軸とが嵌め合うように二つの軸を合わせることで、真空フランジ10aに対しDLフランジ21を適切な位置に取り付けることができる。即ち、二つの軸によってDLフランジ21の位置決めを行うことができる。 After the maintenance work is completed, the operator inserts the tip of the desolving pipe 24 into the ion receiving opening 100 of the vacuum flange 10a, and the gas pipe relay part 110, the gas pipe secondary relay part 220, and the high voltage wiring relay are relayed. A DL flange 21 to which the unit 120 and the high-voltage wiring secondary relay unit 221 are connected is attached. Since the gas piping secondary relay section 220 and the high voltage wiring secondary relay section 221 are located on both sides of the solvent removal unit 210, the gas piping secondary relay section 220 and the high voltage wiring secondary relay section 221 The DL flange 21 is suitable for the vacuum flange 10a by aligning the two shafts so that the respective connected shafts of the above and the respective connecting shafts of the gas pipe relay unit 110 and the high voltage wiring relay unit 120 are fitted to each other. Can be installed in any position. That is, the DL flange 21 can be positioned by the two axes.

また、上述したように高電圧配線中継部120と高電圧配線二次中継部221とを嵌合させると、ボールプランジャ221aによって高電圧配線二次中継部221が高電圧配線中継部120に対し保持されるので、DLフランジ21を奥側に押さえ付けなくてもDLフランジ21は真空フランジ10aから脱落せずに保持される。 Further, when the high voltage wiring relay unit 120 and the high voltage wiring secondary relay unit 221 are fitted as described above, the high voltage wiring secondary relay unit 221 is held by the ball plunger 221a with respect to the high voltage wiring relay unit 120. Therefore, the DL flange 21 is held without falling off from the vacuum flange 10a without pressing the DL flange 21 to the back side.

上述したようにDLフランジ21を真空フランジ10aに装着したあと、作業者は図3に示したようにイオン化チャンバ20を分析位置まで閉じロック機構28によりロックを掛ける。イオン化チャンバ20を閉じると、該イオン化チャンバ20に取り付けられているガスケット222がDLフランジ21の前面に接触し、ガスケット222が潰れながらDLフランジ21を後方へと押圧する。押されたDLフランジ21は真空フランジ10aに近づくように後退し、フランジ部材212に取り付けられているシール部材213が真空フランジ10aの前面に接触する。 After mounting the DL flange 21 on the vacuum flange 10a as described above, the operator closes the ionization chamber 20 to the analysis position and locks it by the lock mechanism 28 as shown in FIG. When the ionization chamber 20 is closed, the gasket 222 attached to the ionization chamber 20 comes into contact with the front surface of the DL flange 21, and the gasket 222 is crushed to press the DL flange 21 rearward. The pushed DL flange 21 retracts so as to approach the vacuum flange 10a, and the seal member 213 attached to the flange member 212 comes into contact with the front surface of the vacuum flange 10a.

ロック機構28によりロックされることでイオン化チャンバ20が完全に閉鎖されると、カートリッジヒータ25の加熱ブロックに押されてシール部材213は十分に潰れる。これにより、イオン受入開口100とフランジ部材212との間の隙間がシール部材213で塞がれ、第1中間真空室11が気密状態となる。このとき、DLフランジ21と真空フランジ10aとの間の間隔dは、概ねカートリッジヒータ25のY軸方向の長さで決まる。 When the ionization chamber 20 is completely closed by being locked by the lock mechanism 28, the seal member 213 is sufficiently crushed by being pushed by the heating block of the cartridge heater 25. As a result, the gap between the ion receiving opening 100 and the flange member 212 is closed by the seal member 213, and the first intermediate vacuum chamber 11 becomes airtight. At this time, the distance d between the DL flange 21 and the vacuum flange 10a is approximately determined by the length of the cartridge heater 25 in the Y-axis direction.

このようにDLフランジ21が十分に押し込まれて所定の位置に来ると、真空フランジ10a側のガス配管とDLフランジ21側のガス配管とが十分に接続され、外部の乾燥ガス供給源から真空フランジ10aに供給されたガスは、ガス配管中継部110→ガス配管二次中継部220→脱溶媒ユニット210の内部ガス管路211、を経て乾燥ガス噴出口26からイオン化室22内へと噴出する。一方、外部の高電圧電源から真空フランジ10aに供給されたコロナ放電用の電力は、高電圧配線中継部120→高電圧配線二次中継部221を経て針電極27に供給され、コロナ放電が生起される。このようにイオン化チャンバ20によってDLフランジ21が所定位置まで確実に押し込まれることで、ガス配管、高電圧配線はいずれも確実に接続され、ガスや電力の供給が行われる。 When the DL flange 21 is sufficiently pushed in and comes to a predetermined position in this way, the gas pipe on the vacuum flange 10a side and the gas pipe on the DL flange 21 side are sufficiently connected, and the vacuum flange is sufficiently connected from the external dry gas supply source. The gas supplied to 10a is ejected from the dry gas ejection port 26 into the ionization chamber 22 via the gas pipe relay section 110 → the gas piping secondary relay section 220 → the internal gas pipeline 211 of the desolving unit 210. On the other hand, the power for corona discharge supplied from the external high-voltage power supply to the vacuum flange 10a is supplied to the needle electrode 27 via the high-voltage wiring relay unit 120 → the high-voltage wiring secondary relay unit 221 to cause corona discharge. Will be done. By surely pushing the DL flange 21 to a predetermined position by the ionization chamber 20 in this way, both the gas pipe and the high voltage wiring are surely connected, and gas and electric power are supplied.

このように本実施形態の質量分析装置では、着脱に工具が必要であるボルト等の部品を用い、真空フランジ10aに対してDLフランジ21を固定する必要がない。したがって、DLフランジ21を着脱する作業が容易であり、メンテナンスに要する手間を軽減することができる。また、ボルトの焼き付き等のためにDLフランジ21が取り外しにくいといった事態も回避することができる。また、DLフランジ21を取り付けるためのボルトの頭部がイオン化室22内に突出しないので、DLフランジ21の前面の汚れの拭き取り作業が容易で且つ汚れ残りも軽減することができる。 As described above, in the mass spectrometer of the present embodiment, it is not necessary to fix the DL flange 21 to the vacuum flange 10a by using parts such as bolts that require a tool for attachment / detachment. Therefore, the work of attaching and detaching the DL flange 21 is easy, and the labor required for maintenance can be reduced. In addition, it is possible to avoid a situation in which the DL flange 21 is difficult to remove due to seizure of bolts or the like. Further, since the head of the bolt for attaching the DL flange 21 does not protrude into the ionization chamber 22, it is possible to easily wipe off the dirt on the front surface of the DL flange 21 and reduce the remaining dirt.

なお、上記実施形態は本発明の一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲でさらに適宜、変形、追加、修正を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。 It is clear that the above embodiment is merely an example of the present invention, and is included in the claims of the present application even if it is further modified, added, or modified as appropriate within the scope of the present invention.

例えば上記実施形態では、ガス配管と高電圧配線という二つの軸で真空フランジ10aに対するDLフランジ21の位置を決めるようにしていたが、この軸は三以上でもよい。また、高電圧配線はコロナ放電用ではなく、ESI法によるイオン化のためにイオン化プローブ23の先端に高電圧を印加するための配線でもよい。
また、上記実施形態では、DLフランジ21を押し入れたときにカートリッジヒータ25がシール部材213を介して真空フランジ10aを押しているが、カートリッジヒータ25以外の部材が真空フランジ10aを押す構成としてもよい。
For example, in the above embodiment, the position of the DL flange 21 with respect to the vacuum flange 10a is determined by two shafts, a gas pipe and a high voltage wiring, but the number of shafts may be three or more. Further, the high voltage wiring may not be for corona discharge, but may be wiring for applying a high voltage to the tip of the ionization probe 23 for ionization by the ESI method.
Further, in the above embodiment, the cartridge heater 25 pushes the vacuum flange 10a via the seal member 213 when the DL flange 21 is pushed in, but a member other than the cartridge heater 25 may push the vacuum flange 10a.

また上記実施形態の質量分析装置では、DLフランジ21がイオン化チャンバ20と共にイオン化室22を画成していたが、実質的にイオン化チャンバ20のみがイオン化室22を画成し、DLフランジ21はイオン化室22の外側にあってもよい。図5は一変形例におけるイオン化ユニット周辺の概略構成図である。この例では、イオン化チャンバ20は後壁面20aを有しており、該後面20aには、脱溶媒ユニット210の前方の凸部や針電極27及びそのホルダが挿通し得る開口や切欠が形成されている。イオン化チャンバ20を閉じると後壁面20aによってDLフランジ21が後方へと押され、所定の位置に収まることは上記実施形態と同じである。 Further, in the mass spectrometer of the above embodiment, the DL flange 21 defines the ionization chamber 22 together with the ionization chamber 20, but substantially only the ionization chamber 20 defines the ionization chamber 22, and the DL flange 21 is ionized. It may be outside the chamber 22. FIG. 5 is a schematic configuration diagram around the ionization unit in one modification. In this example, the ionization chamber 20 has a rear wall surface 20a, and the rear surface 20a is formed with a protrusion in front of the solvent removal unit 210 and an opening or notch through which the needle electrode 27 and its holder can be inserted. There is. When the ionization chamber 20 is closed, the DL flange 21 is pushed backward by the rear wall surface 20a and is settled in a predetermined position, which is the same as the above embodiment.

また上記実施形態の質量分析装置では、イオン化チャンバ20はヒンジ200を介して真空フランジ10aに蝶動自在に取り付けられているが、こうした構造でなくても前方から真空フランジ10a又は装置の外装等にイオン化チャンバ20を取り付け可能な構造であればよい。図6は一変形例におけるイオン化ユニット周辺の概略構成図である。この例では、二つ(又はそれ以上でもよい)のロック機構29により、イオン化チャンバ20を真空フランジ10aに対し取り付けるようになっている。図6中の符号29’はロック機構29のロックを解除した状態を示しており、このようにロック解除状態では、イオン化チャンバ20は前方に取り外し可能である。この場合でも、イオン化チャンバ20を適切な位置に取り付けるとDLフランジ21が後方へと押され、所定の位置に収まることは上記実施形態と同じである。 Further, in the mass spectrometer of the above embodiment, the ionization chamber 20 is freely attached to the vacuum flange 10a via the hinge 200, but even if it does not have such a structure, it can be attached to the vacuum flange 10a or the exterior of the device from the front. Any structure may be used as long as the ionization chamber 20 can be attached. FIG. 6 is a schematic configuration diagram around the ionization unit in one modification. In this example, the ionization chamber 20 is attached to the vacuum flange 10a by two (or more) locking mechanisms 29. Reference numeral 29'in FIG. 6 indicates a state in which the lock mechanism 29 is unlocked. As described above, in the unlocked state, the ionization chamber 20 can be removed forward. Even in this case, when the ionization chamber 20 is attached to an appropriate position, the DL flange 21 is pushed backward and is settled in the predetermined position, which is the same as the above embodiment.

また、上記実施形態は本発明をシングルタイプの四重極型質量分析装置に適用した例であるが、本発明は大気圧イオン源を用いた、他のタイプの質量分析装置、具体的には、トリプル四重極型質量分析装置などにも適用することができる。
また、大気圧イオン源は、ESI法、APCI法に限らず、大気圧光イオン化(APPI)法、探針エレクトロスプレーイオン化(PESI)法、脱離エレクトロスプレーイオン化(DESI)法等を用いることもできる。
Further, the above embodiment is an example in which the present invention is applied to a single type quadrupole mass spectrometer, but the present invention is another type of mass spectrometer using an atmospheric pressure ion source, specifically, a mass spectrometer of another type. , Triple quadrupole mass spectrometer, etc.
The atmospheric pressure ion source is not limited to the ESI method and the APCI method, but the atmospheric pressure photoionization (APPI) method, the probe electrospray ionization (PESI) method, the desorption electrospray ionization (DESI) method, and the like can also be used. it can.

[種々の態様]
上述した例示的な実施形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。
[Various aspects]
It will be understood by those skilled in the art that the above-described exemplary embodiments are specific examples of the following embodiments.

(第1項)本発明に係る質量分析装置の一態様は、大気圧下で試料成分をイオン化するイオン化室と、該イオン化室で生成されたイオンが導入され、該イオン又は該イオンから派生するイオンを質量分析するための真空室と、を具備する質量分析装置であって、
イオン受入開口を有する真空室側前壁部と、
前記イオン受入開口と接続され、前記イオン化室から前記真空室へとイオンを輸送するイオン導入部を有するイオン化室側後壁部と、
前記真空室側前壁部と前記イオン化室後壁部との間の間隔が可変であるように該真空室側前壁部に対し該イオン化室側後壁部を保持する保持部と、
前記イオン化室を形成するものであり、試料をイオン化するための分析位置と前記イオン化室側後壁部が露出する開放位置との間で移動可能に配置され、前記開放位置から前記分析位置に移動される際に、前記保持部により保持されている前記イオン化室側後壁部に接触して前記真空室側前壁部との間の間隔が所定間隔になる位置まで該イオン化室側後壁部を押し込むイオン化チャンバと、
を備えるものである。
(Item 1) In one aspect of the mass spectrometer according to the present invention, an ionization chamber for ionizing a sample component under atmospheric pressure and an ion generated in the ionization chamber are introduced and derived from the ion or the ion. A mass spectrometer equipped with a vacuum chamber for mass spectrometry of ions.
The front wall on the vacuum chamber side with an ion receiving opening,
An ionization chamber side rear wall portion connected to the ion receiving opening and having an ion introduction portion for transporting ions from the ionization chamber to the vacuum chamber, and a rear wall portion on the ionization chamber side.
A holding portion that holds the ionization chamber side rear wall portion with respect to the vacuum chamber side front wall portion so that the distance between the vacuum chamber side front wall portion and the ionization chamber rear wall portion is variable.
It forms the ionization chamber, is movably arranged between an analysis position for ionizing a sample and an open position where the rear wall portion on the ionization chamber side is exposed, and moves from the open position to the analysis position. At that time, the ionization chamber side rear wall portion comes into contact with the ionization chamber side rear wall portion held by the holding portion and the distance between the ionization chamber side rear wall portion and the vacuum chamber side front wall portion becomes a predetermined distance. Ionization chamber to push in and
Is provided.

第1項に記載の質量分析装置によれば、従来のようにイオン化室側後壁部を真空室側前壁部に対してボルトで固定する必要がない。そのため、イオン化室側後壁部と真空室側前壁部との間の空間に配置されているカートリッジヒータや各種の配線、コネクタ類、ガス配管等のメンテナンスを行う際に、工具を用いることなく容易にイオン化室側後壁部を取り外すことができ、メンテナンス作業を効率的に行うことができる。また、イオン化室側にボルト頭部が突出していないので、担当者がイオン化室側後壁部の汚れを拭き取り易く、汚れが残りにくい。さらにまた、イオン化チャンバを閉める操作だけでイオン化室後壁部を適切な位置に取り付けることができ、イオン化室側後壁部を損傷する等の不具合も防止することができる。 According to the mass spectrometer according to the first item, it is not necessary to fix the rear wall portion on the ionization chamber side to the front wall portion on the vacuum chamber side with a bolt as in the conventional case. Therefore, no tools are used when performing maintenance on the cartridge heater, various wiring, connectors, gas piping, etc. located in the space between the rear wall on the ionization chamber side and the front wall on the vacuum chamber side. The rear wall on the ionization chamber side can be easily removed, and maintenance work can be performed efficiently. Further, since the bolt head does not protrude toward the ionization chamber side, it is easy for the person in charge to wipe off the dirt on the rear wall portion on the ionization chamber side, and the dirt is less likely to remain. Furthermore, the rear wall portion of the ionization chamber can be attached to an appropriate position only by closing the ionization chamber, and problems such as damage to the rear wall portion on the ionization chamber side can be prevented.

(第2項)第1項に記載の質量分析装置では、前記イオン化チャンバは前記真空室側前壁部に対して蝶動自在に取り付けられているものとすることができる。 (Item 2) In the mass spectrometer according to the item 1, the ionization chamber can be attached to the front wall portion on the vacuum chamber side in a butterfly motion.

第2項に記載の質量分析装置によれば、作業者は簡単にイオン化チャンバを開閉することができる。また、イオン化チャンバを装置本体から取り外さないので、メンテナンス作業時にイオン化チャンバを保管する場所の確保も不要である。 According to the mass spectrometer according to the second item, the operator can easily open and close the ionization chamber. Further, since the ionization chamber is not removed from the main body of the apparatus, it is not necessary to secure a place for storing the ionization chamber during maintenance work.

(第3項)第1項又は第2項に記載の質量分析装置では、前記イオン化チャンバが前記イオン化室側後壁部を所定位置まで押し込んだ状態で該イオン化チャンバを閉鎖状態にロックするロック部、をさらに備えることができる。 (Item 3) In the mass spectrometer according to the first or second item, the lock portion that locks the ionization chamber to a closed state in a state where the ionization chamber pushes the rear wall portion on the ionization chamber side to a predetermined position. , Can be further prepared.

第3項に記載の質量分析装置によれば、作業者がロック部によりイオン化チャンバを完全に閉鎖することで、イオン化室側後壁部を所定の位置に固定することができる。 According to the mass spectrometer according to the third item, the operator can completely close the ionization chamber by the lock portion, so that the rear wall portion on the ionization chamber side can be fixed in a predetermined position.

(第4項)第1項〜第3項のいずれか1項に記載の質量分析装置において、前記イオン化室側後壁部は前記イオン化室内にガスを噴出するガス噴出口を有し、
前記保持部は、前記ガス噴出口から噴出するガスを、真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと輸送するガス配管を接続するものとすることができる。
(Item 4) In the mass spectrometer according to any one of items 1 to 3, the rear wall portion on the ionization chamber side has a gas outlet for ejecting gas into the ionization chamber.
The holding portion may be connected to a gas pipe that transports the gas ejected from the gas ejection port from the front wall portion side on the vacuum chamber side to the rear wall portion side on the ionization chamber side.

(第5項)第1項〜第3項のいずれか1項に記載の質量分析装置において、前記イオン化室は大気圧化学イオン化法により試料成分をイオン化するものであり、
前記イオン化室側後壁部にはコロナ放電を生起させる針電極が設けられ、
前記保持部は、前記針電極に高電圧を印加するための電力を真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと供給する電気配線を接続するものとすることができる。
(Item 5) In the mass spectrometer according to any one of items 1 to 3, the ionization chamber ionizes a sample component by an atmospheric chemical ionization method.
A needle electrode that causes a corona discharge is provided on the rear wall on the ionization chamber side.
The holding portion may be connected to an electric wiring that supplies electric power for applying a high voltage to the needle electrode from the front wall portion side on the vacuum chamber side to the rear wall portion side on the ionization chamber side.

第4項又は第5項に記載の質量分析装置によれば、外部からイオン化室内に供給するガス又は電力の供給路を、イオン化室側後壁部を真空室側前壁部に対して保持する保持部として用いることができる。 According to the mass spectrometer according to the fourth or fifth paragraph, the gas or electric power supply path supplied from the outside to the ionization chamber is held by the rear wall portion on the ionization chamber side with respect to the front wall portion on the vacuum chamber side. It can be used as a holding part.

(第6項)第1項〜第5項のいずれか1項に記載の質量分析装置において、
前記イオン化室は大気圧化学イオン化法により試料成分をイオン化するものであり、
前記イオン化室側後壁部は前記イオン化室内にガスを噴出するガス噴出口を有し、また該イオン化室側後壁部にはコロナ放電を生起させる針電極が設けられ、
前記ガス噴出口から噴出するガスを、真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと輸送するガス配管を接続する接続部と、前記針電極に高電圧を印加するための電力を真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと供給する電気配線を接続する接続部とが、前前記イオン化室側後壁部の中央に配置された前記イオン導入部を挟んで両側に設けられているものとすることができる。
(Section 6) In the mass spectrometer according to any one of paragraphs 1 to 5,
The ionization chamber ionizes the sample components by the atmospheric pressure chemical ionization method.
The rear wall portion on the ionization chamber side has a gas outlet for ejecting gas into the ionization chamber, and the rear wall portion on the ionization chamber side is provided with a needle electrode for causing a corona discharge.
Electric power for applying a high voltage to the needle electrode and the connection part that connects the gas pipe that transports the gas ejected from the gas outlet from the front wall side on the vacuum chamber side to the rear wall side on the ionization chamber side. The connection portion for connecting the electrical wiring for supplying the electric wiring from the front wall portion on the vacuum chamber side to the rear wall portion on the ionization chamber side sandwiches the ion introduction portion arranged in the center of the rear wall portion on the front ionization chamber side. It can be provided on both sides with.

第6項に記載の質量分析装置によれば、真空室側前壁部に対しイオン化室側後壁部を二つの軸において位置決めすることができる。それにより、イオン導入部を中心とする周方向にイオン化室側後壁部の位置が確実に決まり、真空室側前壁部に対しイオン化室側後壁部を的確に取り付けることができる。 According to the mass spectrometer according to the sixth item, the rear wall portion on the ionization chamber side can be positioned on two axes with respect to the front wall portion on the vacuum chamber side. As a result, the position of the rear wall portion on the ionization chamber side is reliably determined in the circumferential direction centered on the iontophoresis portion, and the rear wall portion on the ionization chamber side can be accurately attached to the front wall portion on the vacuum chamber side.

(第7項)第1項〜第6項のいずれか1項に記載の質量分析装置において、前記保持部は、前記真空室側前壁部と前記イオン化室側後壁部との両方の対向面の一方に設けられた突出部を、他方に設けられたボールプランジャで保持するものとすることができる。 (Section 7) In the mass spectrometer according to any one of paragraphs 1 to 6, the holding portion faces both the front wall portion on the vacuum chamber side and the rear wall portion on the ionization chamber side. The protrusion provided on one side of the surface may be held by a ball plunger provided on the other side.

第7項に記載の質量分析装置によれば、イオン化室側後壁部が抜け落ちることを回避しながら、イオン化チャンバによりイオン化室側後壁部を適切な位置まで押し込むことができる。 According to the mass spectrometer according to the seventh item, the rear wall portion on the ionization chamber side can be pushed to an appropriate position by the ionization chamber while avoiding the rear wall portion on the ionization chamber side from falling off.

(第8項)第1項〜第7項のいずれか1項に記載の質量分析装置において、前記イオン導入部は、イオンが通過する管路と、該管路を囲むヒータ部と、を含み、前記イオン化チャンバが前記イオン化室側後壁部を押し込んだ状態で、前記管路の先端部が前記イオン受入開口に挿通され、前記ヒータ部の先端がシール部材を介して前記真空室側前壁部に当接するものとすることができる。 (Item 8) In the mass spectrometer according to any one of items 1 to 7, the ion introduction section includes a conduit through which ions pass and a heater portion surrounding the conduit. In a state where the ionization chamber pushes the rear wall portion on the ionization chamber side, the tip end portion of the pipeline is inserted into the ion receiving opening, and the tip end of the heater portion passes through the seal member to the front wall on the vacuum chamber side. It can be in contact with the portion.

第8項に記載の質量分析装置によれば、イオン導入部とイオン受入開口とを適切に接続しつつ、シール部材によってイオン受入開口が設けられている真空室の気密性を確保することができる。 According to the mass spectrometer according to the eighth item, the airtightness of the vacuum chamber provided with the ion receiving opening by the sealing member can be ensured while appropriately connecting the ion introducing portion and the ion receiving opening. ..

10…真空チャンバ
10a…真空フランジ
100…イオン受入開口
11…第1中間真空室
20…イオン化チャンバ
20a…後壁面
110…ガス配管中継部
120…高電圧配線中継部
200…ヒンジ
21…DLフランジ
210…脱溶媒ユニット
211…内部ガス管路
212…フランジ部材
212a…板状部
212b…筒状部
213…シール部材
22…イオン化室
220…ガス配管二次中継部
221…高電圧配線二次中継部
221a…ボールプランジャ
222…ガスケット
23…イオン化プローブ
24…脱溶媒管
24a…イオン導入口
25…カートリッジヒータ
25a…端面
26…乾燥ガス噴出口
27…針電極
28、29…ロック機構
10 ... Vacuum chamber 10a ... Vacuum flange 100 ... Ion receiving opening 11 ... First intermediate vacuum chamber 20 ... Ionization chamber 20a ... Rear wall surface 110 ... Gas piping relay unit 120 ... High voltage wiring relay unit 200 ... Hinge 21 ... DL flange 210 ... Desolving unit 211 ... Internal gas pipe 212 ... Flange member 212a ... Plate-shaped part 212b ... Cylindrical part 213 ... Sealing member 22 ... Ionization chamber 220 ... Gas piping secondary relay part 221 ... High-voltage wiring secondary relay part 221a ... Ball plunger 222 ... Gasket 23 ... Ionization probe 24 ... Desolving pipe 24a ... Ion inlet 25 ... Cartridge heater 25a ... End face 26 ... Dry gas outlet 27 ... Needle electrodes 28, 29 ... Lock mechanism

Claims (8)

大気圧下で試料成分をイオン化するイオン化室と、該イオン化室で生成されたイオンが導入され、該イオン又は該イオンから派生するイオンを質量分析するための真空室と、を具備する質量分析装置であって、
イオン受入開口を有する真空室側前壁部と、
前記イオン受入開口と接続され、前記イオン化室から前記真空室へとイオンを輸送するイオン導入部を有するイオン化室側後壁部と、
前記真空室側前壁部と前記イオン化室後壁部との間の間隔が可変であるように該真空室側前壁部に対し該イオン化室側後壁部を保持する保持部と、
前記イオン化室を形成するものであり、試料をイオン化するための分析位置と前記イオン化室側後壁部が露出する開放位置との間で移動可能に配置され、前記開放位置から前記分析位置に移動される際に、前記保持部により保持されている前記イオン化室側後壁部に接触して前記真空室側前壁部との間の間隔が所定間隔になる位置まで該イオン化室側後壁部を押し込むイオン化チャンバと、
を備える質量分析装置。
A mass spectrometer including an ionization chamber for ionizing sample components under atmospheric pressure and a vacuum chamber for mass spectrometry of the ions or ions derived from the ions into which the ions generated in the ionization chamber are introduced. And
The front wall on the vacuum chamber side with an ion receiving opening,
An ionization chamber side rear wall portion connected to the ion receiving opening and having an ion introduction portion for transporting ions from the ionization chamber to the vacuum chamber, and a rear wall portion on the ionization chamber side.
A holding portion that holds the ionization chamber side rear wall portion with respect to the vacuum chamber side front wall portion so that the distance between the vacuum chamber side front wall portion and the ionization chamber rear wall portion is variable.
It forms the ionization chamber, is movably arranged between an analysis position for ionizing a sample and an open position where the rear wall portion on the ionization chamber side is exposed, and moves from the open position to the analysis position. At that time, the ionization chamber side rear wall portion comes into contact with the ionization chamber side rear wall portion held by the holding portion and the distance between the ionization chamber side rear wall portion and the vacuum chamber side front wall portion becomes a predetermined distance. Ionization chamber to push in and
A mass spectrometer equipped with.
前記イオン化チャンバは前記真空室側前壁部に対して蝶動自在に取り付けられている、請求項1に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 1, wherein the ionization chamber is attached to the front wall portion on the vacuum chamber side in a butterfly motion. 前記イオン化チャンバが前記イオン化室側後壁部を所定位置まで押し込んだ状態で該イオン化チャンバを閉鎖状態にロックするロック部、をさらに備える、請求項1又は2に記載の質量分析装置。 The mass spectrometer according to claim 1 or 2, further comprising a lock portion that locks the ionization chamber in a closed state in a state where the ionization chamber pushes the rear wall portion on the ionization chamber side to a predetermined position. 前記イオン化室側後壁部は前記イオン化室内にガスを噴出するガス噴出口を有し、
前記保持部は、前記ガス噴出口から噴出するガスを、真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと輸送するガス配管を接続するものである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の質量分析装置。
The rear wall portion on the ionization chamber side has a gas outlet for ejecting gas into the ionization chamber.
The holding portion is any of claims 1 to 3, wherein the holding portion connects a gas pipe that transports the gas ejected from the gas ejection port from the front wall portion side on the vacuum chamber side to the rear wall portion side on the ionization chamber side. The mass spectrometer according to item 1.
前記イオン化室は大気圧化学イオン化法により試料成分をイオン化するものであり、
前記イオン化室側後壁部にはコロナ放電を生起させる針電極が設けられ、
前記保持部は、前記針電極に高電圧を印加するための電力を真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと供給する電気配線を接続するものである、請求項1〜3のいずれか1項に記載の質量分析装置。
The ionization chamber ionizes the sample components by the atmospheric pressure chemical ionization method.
A needle electrode that causes a corona discharge is provided on the rear wall on the ionization chamber side.
The holding portion connects an electric wiring for supplying electric power for applying a high voltage to the needle electrode from the front wall portion side on the vacuum chamber side to the rear wall portion on the ionization chamber side. The mass spectrometer according to any one of 3.
前記イオン化室は大気圧化学イオン化法により試料成分をイオン化するものであり、
前記イオン化室側後壁部は前記イオン化室内にガスを噴出するガス噴出口を有し、また該イオン化室側後壁部にはコロナ放電を生起させる針電極が設けられ、
前記ガス噴出口から噴出するガスを、真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと輸送するガス配管を接続する接続部と、前記針電極に高電圧を印加するための電力を真空室側前壁部側からイオン化室側後壁部側へと供給する電気配線を接続する接続部とが、前前記イオン化室側後壁部の中央に配置された前記イオン導入部を挟んで両側に設けられている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の質量分析装置。
The ionization chamber ionizes the sample components by the atmospheric pressure chemical ionization method.
The rear wall portion on the ionization chamber side has a gas outlet for ejecting gas into the ionization chamber, and the rear wall portion on the ionization chamber side is provided with a needle electrode for causing a corona discharge.
Power for applying a high voltage to the needle electrode and the connection part that connects the gas pipe that transports the gas ejected from the gas outlet from the front wall side on the vacuum chamber side to the rear wall side on the ionization chamber side. The connection portion for connecting the electrical wiring for supplying the electric wiring from the front wall portion on the vacuum chamber side to the rear wall portion on the ionization chamber side sandwiches the ion introduction portion arranged in the center of the rear wall portion on the ionization chamber side. The mass spectrometer according to any one of claims 1 to 5, which is provided on both sides of the above.
前記保持部は、前記真空室側前壁部と前記イオン化室側後壁部との両方の対向面の一方に設けられた突出部を、他方に設けられたボールプランジャで保持するものである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の質量分析装置。 The holding portion holds a protruding portion provided on one of the facing surfaces of both the front wall portion on the vacuum chamber side and the rear wall portion on the ionization chamber side with a ball plunger provided on the other side. The mass spectrometer according to any one of claims 1 to 6. 前記イオン導入部は、イオンが通過する管路と、該管路を囲むヒータ部と、を含み、前記イオン化チャンバが前記イオン化室側後壁部を押し込んだ状態で、前記管路の先端部が前記イオン受入開口に挿通され、前記ヒータ部の先端がシール部材を介して前記真空室側前壁部に当接する、請求項1〜7のいずれか1項に記載の質量分析装置。 The ion introduction portion includes a conduit through which ions pass and a heater portion surrounding the conduit, and the tip of the conduit is in a state where the ionization chamber pushes the rear wall portion on the ionization chamber side. The mass spectrometer according to any one of claims 1 to 7, wherein the tip of the heater portion is inserted into the ion receiving opening and the tip of the heater portion abuts on the front wall portion on the vacuum chamber side via a sealing member.
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