JP2010237637A5 - - Google Patents

Description

本発明の他の態様の１つは、光学基材と、光学基材の上に直にまたは他の層を介して形成された、金属酸化物を含む透光性の第１の層であって、表層域に、イオン照射により酸素欠陥が導入された酸素欠損域を含む第１の層とを有する光学物品である。この光学物品においては、第１の層の表層域に酸素欠損域を含み、この酸素欠損域は、酸素欠陥が導入されただけであり、さらに表層域に限られるので第１の層の透光性に影響を与えにくく、さらに、酸素欠陥による導電性の向上が望まれる。したがって、この光学物品は、光学物品としての性能の低下を抑制しながら、帯電防止、ゴミ付着防止などの機能を付与できる。

Claims (8)

1. 光学基材に直にまたは他の層を介して、金属酸化物を含む透光性の第１の層を形成することと、
   前記第１の層の表面にイオンを照射することにより、前記第１の層の表層域に酸素欠陥を導入することと、を有する、
   光学物品の製造方法。
2. 請求項１において、
   前記イオンは、アルゴン、キセノン、ヘリウム、窒素およびネオンの少なくともいずれかを含む不活性ガスのイオンである、
   光学物品の製造方法。
3. 請求項１または請求項２において、
   前記金属酸化物は遷移金属酸化物である、
   光学物品の製造方法。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記第１の層は多層構造の反射防止層に含まれる１つの層である、光学物品の製造方法。
5. 光学基材と、
   前記光学基材に直にまたは他の層を介して形成された、金属酸化物を含む透光性の第１の層と、を含み、
   前記第1の層は、酸素欠陥が導入された酸素欠損域を含む、
   光学物品。
6. 請求項５において、
   前記第１の層は多層構造の反射防止層に含まれる、
   光学物品。
7. 請求項５または６において、
   前記金属酸化物は遷移金属酸化物である、
   光学物品。
8. 請求項７において、
   前記遷移金属酸化物は酸化チタンである、
   光学物品。