JP2008111432A

JP2008111432A - Vacuum pump and method for operating the same

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Publication number: JP2008111432A
Application number: JP2007269985A
Authority: JP
Inventors: Thomas Cromm; トーマス・クロム; Stefan Kallenborn; シュテファン・カレンボルン
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2006-10-28
Filing date: 2007-10-17
Publication date: 2008-05-15
Anticipated expiration: 2027-10-17
Also published as: DE102006050943A1; US20080101962A1; JP5424550B2; EP1918585A2; EP1918585A3; DE102006050943B4; EP1918585B1

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact vacuum pump having a simple technical solution for minimizing consumption power. <P>SOLUTION: This invention relates to a vacuum pump including at least two pump stages, a motor, a motor operator and a power transmission unit. This invention moreover relates to a method for operating the vacuum pump including two pump stages and a motor operator capable of operating a motor at two different rotation speeds at least. Installation of a signal transmitter detecting gas pressure in a middle of the pump stages is proposed to automatically drop rotation speed. Evaluation of signal of the signal transmitter detecting gas pressure and establishment of rotation speed based on the signal are proposed in the method. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、少なくとも２つのポンプ段と、モータと、モータ操作器と、および駆動力伝達ユニットとを備えた真空ポンプに関するものである。本発明は、さらに、２つのポンプ段と、モータを少なくとも２つの異なる回転速度で操作可能なモータ操作器とを備えた真空ポンプの運転方法に関するものである。 The present invention relates to a vacuum pump comprising at least two pump stages, a motor, a motor operating device, and a driving force transmission unit. The invention further relates to a method of operating a vacuum pump comprising two pump stages and a motor operating device capable of operating the motor at at least two different rotational speeds.

真空技術において、通常大気に向けて排気する真空ポンプは、「粗引きポンプ」という用語で呼ばれる。この呼称は、高真空を発生可能であるが大気圧まで圧縮しない真空ポンプがしばしばこのような真空ポンプと組み合わせて使用されることに基づいている。このような高真空ポンプに対する例はターボ分子ポンプである。粗引きポンプに対する例は、回転翼形回転ポンプ、ピストン・ポンプおよび膜ポンプである。粗引きポンプはしばしば多段で形成されていることが多く、その理由は、粗引きポンプと組み合わされている高真空ポンプはそのガス出口において数ミリバールの圧力を発生するにすぎないので、広い圧力範囲がカバーされなければならないからである。 In vacuum technology, a vacuum pump that normally evacuates to the atmosphere is called by the term “rough pump”. This designation is based on the fact that vacuum pumps that can generate high vacuum but do not compress to atmospheric pressure are often used in combination with such vacuum pumps. An example for such a high vacuum pump is a turbomolecular pump. Examples for roughing pumps are rotary airfoil rotary pumps, piston pumps and membrane pumps. The roughing pump is often formed in multiple stages because the high vacuum pump combined with the roughing pump generates only a few millibars of pressure at its gas outlet, so it has a wide pressure range. Because must be covered.

粗引きポンプとしての使用においてのみならず、独立して容器内に最終圧力を発生するときにおいてもまた、粗引きポンプは、まず第１に、大量のガスを圧縮しなければならない。膜ポンプおよびピストン・ポンプのような現在の構造形式に対して、このことは、粗引きポンプがそれに対応して大きな寸法の排積空間を有していなければならないことを意味する。単位時間当たりに圧縮可能なガス量は、この例においては、最大排積空間容積および周波数の関数であり、最大排積空間容積および周波数によって、排積空間はその最大値からその最小値まで変化される。ガス量が少ない場合、粗引きポンプは、排積空間容積および回転速度に関して、その数値が過大になっている。しかしながら、粗引きポンプの消費動力はこれらの値の関数でもあり、且つこれらの値を最小にすることが望ましい。 The roughing pump must first compress a large amount of gas, not only when used as a roughing pump, but also when generating the final pressure in the container independently. For current construction types such as membrane pumps and piston pumps, this means that the roughing pump must have a correspondingly large drainage space. The amount of gas that can be compressed per unit time is, in this example, a function of the maximum volume of exhaust space and frequency, which varies from its maximum value to its minimum value. Is done. When the amount of gas is small, the roughing pump has an excessively large numerical value regarding the volume of exhaust space and the rotational speed. However, the power consumption of the roughing pump is also a function of these values, and it is desirable to minimize these values.

この問題を解決するために、従来技術は回転速度を低下させることを提案している。例えばドイツ特許公開第１０３５４２０５号は、ピストン・ポンプの回転速度を入口圧力の関数として低減することを教示している。 In order to solve this problem, the prior art proposes to reduce the rotational speed. For example, German Patent Publication No. 10354205 teaches reducing the rotational speed of a piston pump as a function of inlet pressure.

このタイプの回転速度設定においては、入口圧力を測定するために、粗引きポンプそれ自身に追加して、測定管、制御電子装置等のような他の構造要素が設けられなければならないことが欠点である。ユーザは、メーカーにより製作され且つ相互に調整されている構造要素のみを組み合わせることが多いという問題に直面している。さらに、これにより、構造全体は大きな空間を占めることになる。
ドイツ特許公開第１０３５４２０５号 This type of rotational speed setting has the disadvantage that other structural elements such as measuring tubes, control electronics, etc. must be provided in addition to the roughing pump itself in order to measure the inlet pressure. It is. Users are faced with the problem of often combining only structural elements that are manufactured by manufacturers and coordinated with each other. In addition, this results in a large space for the entire structure.
German Patent Publication No. 10354205

したがって、消費動力を最小にするための技術的に簡単な解決方法を有する、コンパクトな真空ポンプを提供することが本発明の課題である。 Accordingly, it is an object of the present invention to provide a compact vacuum pump having a technically simple solution for minimizing power consumption.

この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプおよび請求項７の特徴を有する真空ポンプの運転方法により解決される。従属請求項は有利な変更態様を示している。
真空ポンプのポンプ段の中間にガス圧力を検知する信号伝送器を配置することにより、コンパクトな統合構造が達成される。ポンプ段の中間の領域内にポンプ段それ自身が共に包含されている。ユーザは追加部品を装着する必要はなく且つそのポンプ台内に種々のメーカーの真空ポンプを組み合わせることができる。評価ユニットおよびモータ操作器が１つの共通ユニットの構成部品であるとき、さらにコンパクトな構造が達成される。まさに乾式運転真空ポンプにおいて、即ち排積空間内においていかなる作業媒体も潤滑および／またはシールしていない真空ポンプにおいては、摩耗もまた顕著に回転速度の関数であるので、この場合、回転速度の設定がきわめて有利である。大気に向けて圧縮するポンプ段のガス入口に信号伝送器が配置されていることにより、各タイプの真空ポンプ特に粗引きポンプにおける利点は向上される。この場合、圧力は最終圧力と大気圧との間の中間範囲内にあり、この範囲内に、圧力測定ヘッドおよび圧力スイッチが技術的に簡単且つ安価に形成されている。本発明は、少なくとも１つのポンプ段が接触シールされている真空ポンプにおいて使用されることが有利である。この真空ポンプにおいては、ロータとステータとの間、ピストンとシリンダとの間、膜とハウジングとの間等の隙間を介しての逆流はきわめて小さいので、あらゆる回転速度において理論排気速度が実際的にほぼ正確に達成される。さらに、本発明は、ポンプ段がピストン真空ポンプとして形成されている真空ポンプに使用されることが有利であり、その理由は、ピストン真空ポンプはピストンにおいて摩耗しやすいシールを有しているからである。この場合、他のポンプ段はピストン・ポンプ段または膜ポンプ段として形成されていてもよい。信号伝送器を、ガス入口内孔の高さにおいてシリンダを少なくとも一部包囲する各リング室内または各リング室とのガス結合内に配置することが有利である。この室は構造的に容易にアクセス可能であるので、製作は簡単であり且つポンプをのちに変更することも可能である。 This problem is solved by the vacuum pump having the features of claim 1 and the operating method of the vacuum pump having the features of claim 7. The dependent claims show advantageous modifications.
By arranging a signal transmitter for detecting gas pressure in the middle of the pump stage of the vacuum pump, a compact integrated structure is achieved. The pump stage itself is contained together in the middle region of the pump stage. Users do not need to install additional parts and can combine vacuum pumps from various manufacturers in their pump base. A more compact structure is achieved when the evaluation unit and the motor operator are components of one common unit. In very dry operation vacuum pumps, ie in vacuum pumps in which no working medium is lubricated and / or sealed in the discharge space, wear is also a function of the rotational speed, so in this case the rotational speed setting Is very advantageous. The advantage of each type of vacuum pump, in particular the roughing pump, is improved by the signal transmitter being arranged at the gas inlet of the pump stage that compresses towards the atmosphere. In this case, the pressure is in the intermediate range between the final pressure and the atmospheric pressure, in which the pressure measuring head and the pressure switch are technically simple and inexpensive. The invention is advantageously used in a vacuum pump in which at least one pump stage is contact sealed. In this vacuum pump, the reverse flow through the gaps between the rotor and the stator, between the piston and the cylinder, between the membrane and the housing, etc. is extremely small. Nearly accurately achieved. Furthermore, the present invention is advantageously used in vacuum pumps where the pump stage is configured as a piston vacuum pump, since the piston vacuum pump has a seal that is subject to wear on the piston. is there. In this case, the other pump stage may be formed as a piston pump stage or a membrane pump stage. Advantageously, the signal transmitter is arranged in each ring chamber or in a gas coupling with each ring chamber at least partially surrounding the cylinder at the height of the gas inlet bore. Since this chamber is structurally easily accessible, the fabrication is simple and the pump can be changed later.

本発明による方法は、真空ポンプが、自動的に、真空ポンプを保護し、性能を保持し且つエネルギーを節約する運転をするように配慮している。回転速度の低下は騒音および振動の発生に対して有利に働くことが他の利点である。真空ポンプの据付時または据付後においていかなる手段もとる必要はなく、回転速度の設定は真空ポンプそれ自身内において行われる。この場合、回転速度の設定はスライドして実行可能であり、即ち、回転速度はガス圧力の関数として連続的に変化される。さらに、適切なフィードバック・ループを設けることにより、それはリアルタイム制御であってもよい。フィードバック・ループに対して、例えばモータ内、駆動力伝達ユニット内または１つのポンプ段内に回転速度センサが設けられていてもよく、回転速度センサは実際回転速度をモータ操作器にフィードバックする。より簡単な場合、圧力値をフィードバックするために、ガス圧力を検知する信号伝送器が使用される。この場合、適切な位置において圧力値を設定する方法も考えられる。これは、例えばモータ操作器の適切な形態により行われてもよい。制御は回転速度設定の最適利用を可能にする。回転速度設定は切換であってもよい。この変更態様の利点は、技術的に簡単であり、したがって好ましい圧力スイッチが信号伝送器として使用可能なことである。２つの回転速度間の切換のみが行われるとき、モータに対してコスト的に有利で且つ簡単な操作電子装置が使用可能である。真空ポンプの有利な変更態様が方法およびその変更態様でも実行可能である。 The method according to the invention takes care that the vacuum pump is automatically operated to protect the vacuum pump, maintain performance and save energy. Another advantage is that the reduction in rotational speed works favorably against the generation of noise and vibration. There is no need to take any means during or after installation of the vacuum pump, and the rotation speed is set within the vacuum pump itself. In this case, the setting of the rotational speed can be performed by sliding, i.e. the rotational speed is continuously changed as a function of the gas pressure. Furthermore, it may be real-time control by providing a suitable feedback loop. For the feedback loop, for example, a rotational speed sensor may be provided in the motor, in the driving force transmission unit or in one pump stage, and the rotational speed sensor feeds back the actual rotational speed to the motor operator. In the simpler case, a signal transmitter that senses the gas pressure is used to feed back the pressure value. In this case, a method of setting the pressure value at an appropriate position is also conceivable. This may be done, for example, by a suitable form of motor operator. Control allows optimal use of the rotational speed setting. The rotation speed setting may be switching. The advantage of this variant is that it is technically simple and therefore the preferred pressure switch can be used as a signal transmitter. When only switching between two rotational speeds is performed, cost-effective and simple operating electronics for the motor can be used. An advantageous modification of the vacuum pump can also be implemented in the method and its modifications.

実施例により本発明を詳細に説明する。 The present invention will be described in detail by examples.

図１は、本発明による真空ポンプ１の構成を略図で示す。真空ポンプは第１のポンプ段２を有し、第１のポンプ段２は、ガス入口４を介して、例えば容器または高真空ポンプと結合されている。第１のポンプ段の出口はガス案内５を介して第２のポンプ段３の入口と結合されている。第２のポンプ段３はガス出口６を介して排気する。モータ８の軸と真空ポンプのポンプ作動要素との間に駆動力伝達ユニット７が配置され、両方のポンプ段のポンプ作動要素が同時に駆動されるように考慮されている。この駆動力伝達ユニットは、例えば、ピストンまたは膜を駆動する２つの連接棒がそれに支持されているクランク駆動装置であってもよい。ポンプ・システムに応じてそれぞれ、駆動力伝達ユニットは、変速機を有するかまたは有していない歯車伝動装置であってもよい。モータはモータ操作器９により操作され、この場合、このモータ操作器はモータを少なくとも２つの異なる回転速度で駆動可能である。 FIG. 1 schematically shows the construction of a vacuum pump 1 according to the invention. The vacuum pump has a first pump stage 2, which is connected via a gas inlet 4 to, for example, a container or a high vacuum pump. The outlet of the first pump stage is connected to the inlet of the second pump stage 3 via a gas guide 5. The second pump stage 3 exhausts via the gas outlet 6. A driving force transmission unit 7 is arranged between the shaft of the motor 8 and the pumping element of the vacuum pump, so that the pumping elements of both pump stages are driven simultaneously. This driving force transmission unit may be, for example, a crank driving device on which two connecting rods for driving a piston or a membrane are supported. Depending on the pump system, the driving force transmission unit may be a gear transmission with or without a transmission. The motor is operated by means of a motor operator 9, which in this case can drive the motor at at least two different rotational speeds.

電気結合を介して、評価ユニット１２はモータ操作器９と結合されている。評価ユニット１２は、ガス圧力を検知する信号伝送器１０から発生され且つ伝達された信号を評価する。この伝達は結合１１を介して行われる。この信号伝送器は圧力スイッチまたは圧力測定ヘッドであってもよい。圧力スイッチまたは圧力測定ヘッドはガス案内５内のガス圧力を電気信号に変換する。この場合、信号伝送器は、その機能がガス圧力とは独立なように形成されていてもよく、これにより、各タイプのガス混合物においてその利点が達成される。この信号をモータ操作器が評価可能であり、およびモータ操作器は評価結果の関数として適切な回転速度を設定する。例えばガス圧力が低いとき、評価により、モータ回転速度は低い値に低下される。信号伝送器の信号は例えば電圧レベルであってもよい。信号はディジタル信号であってもよく、この場合には、評価ユニットは、それがこのディジタル信号を評価可能なように形成されている。 The evaluation unit 12 is coupled to the motor operator 9 via electrical coupling. The evaluation unit 12 evaluates the signal generated and transmitted from the signal transmitter 10 that detects the gas pressure. This transmission takes place via the coupling 11. This signal transmitter may be a pressure switch or a pressure measuring head. A pressure switch or pressure measuring head converts the gas pressure in the gas guide 5 into an electrical signal. In this case, the signal transmitter may be configured so that its function is independent of the gas pressure, thereby achieving its advantages in each type of gas mixture. This signal can be evaluated by the motor operator, and the motor operator sets an appropriate rotational speed as a function of the evaluation result. For example, when the gas pressure is low, the motor rotation speed is reduced to a low value by evaluation. The signal transmitter signal may be, for example, a voltage level. The signal may be a digital signal, in which case the evaluation unit is configured so that it can evaluate this digital signal.

図２は、本発明によるポンプに使用可能なピストン真空ポンプ段３を示す。ハウジング２０内にシリンダ２１が配置され、シリンダ２１内においてピストン２２が往復運動し、これにより排積空間２９が周期的に拡大且つ縮小され、このようにしてポンプ作用が発生する。ピストン２２の運動により、ピストン２２は、２つの反転点の一方の反転点内またはその付近においてガス出口弁２４を開放し、これにより、ハウジング・カバー２６内に設けられている出口フランジ２５を介してガスを排出可能である。第２の反転点に向かう途中においてピストンはガス入口内孔２７を開放し、これにより、ガスはリング室２８から排積空間２９内に流入する。第２の反転点において運動方向が反転し、ピストンは第１の反転点に向かう途中において改めてガス入口内孔上を通過し、このようにして、ガス入口および排積空間を相互に分離している。リング室はガス入口内孔の高さにおいてシリンダを少なくとも一部包囲している。リング室は、ガス案内を介してガス流れの手前に配置されているポンプ段と結合されている。このリング室内に信号伝送器１０が配置されている。信号伝送器１０は、ハウジング２０内の内孔を介してリング室とガス結合されているフランジに接続されていてもよい。これにより、ポンプの変更および破損したガス圧力を検知する信号伝送器の交換が簡単になる。他の可能性は、ピストンを駆動するクランク駆動装置がその中に存在する各空間内にガス圧力を検知する信号伝送器を配置することである。クランク駆動装置は、このとき、リング室２８とガス結合を有していなければならない。代替態様として、信号伝送器を、排積空間と直接ガス結合しているシリンダ壁内、したがってポンプ段内に配置することもまた可能である。ピストンとシリンダ内壁との間にＬ形断面を有する接触シール２３が存在している。シリンダ内壁との接触により、このシールは摩耗する。同様に、例えば駆動力伝達ユニット内の全ての軸受もまた摩耗しやすい。摩耗は回転速度の低下により明らかに低減可能である。 FIG. 2 shows a piston vacuum pump stage 3 that can be used in a pump according to the invention. A cylinder 21 is arranged in the housing 20, and the piston 22 reciprocates in the cylinder 21, whereby the discharge space 29 is periodically expanded and contracted, thus generating a pump action. Due to the movement of the piston 22, the piston 22 opens the gas outlet valve 24 in or near one of the two reversal points, and thereby through an outlet flange 25 provided in the housing cover 26. Gas can be discharged. On the way to the second reversal point, the piston opens the gas inlet inner hole 27, whereby gas flows from the ring chamber 28 into the discharge space 29. The direction of motion is reversed at the second reversal point, and the piston passes again over the gas inlet inner hole on the way to the first reversal point, thus separating the gas inlet and the discharge space from each other. Yes. The ring chamber at least partially surrounds the cylinder at the height of the gas inlet bore. The ring chamber is connected via a gas guide to a pump stage arranged in front of the gas flow. A signal transmitter 10 is disposed in the ring chamber. The signal transmitter 10 may be connected to a flange that is gas-coupled to the ring chamber via an inner hole in the housing 20. This simplifies changing pumps and replacing signal transmitters that detect broken gas pressures. Another possibility is to place a signal transmitter that senses the gas pressure in each space in which the crank drive that drives the piston resides. The crank drive must then have a gas coupling with the ring chamber 28. As an alternative, it is also possible to arrange the signal transmitter in the cylinder wall, which is in direct gas coupling with the discharge space, and thus in the pump stage. A contact seal 23 having an L-shaped cross section exists between the piston and the cylinder inner wall. This seal is worn by contact with the cylinder inner wall. Similarly, for example, all bearings in the driving force transmission unit are also subject to wear. Wear can obviously be reduced by lowering the rotational speed.

図１に示すように形成され且つ図２に示すように改良された真空ポンプは、以下に記載の方法ステップで駆動される。第１のステップにおいて、ガス圧力を検知する信号伝送器により、ポンプ段２および３の中間のガス圧力の関数としての信号が発生される。このステップは、例えば膜圧スイッチにより作動されてもよく、膜圧スイッチにおいては、膜がガス圧力の関数として種々の大きさでたわみ且つ限界圧力において電気接点を開閉する。この場合、信号は、接点の開閉により変化される電圧レベルである。 The vacuum pump formed as shown in FIG. 1 and modified as shown in FIG. 2 is driven by the method steps described below. In the first step, a signal as a function of the gas pressure intermediate between pump stages 2 and 3 is generated by a signal transmitter that senses the gas pressure. This step may be actuated, for example, by a membrane pressure switch, in which the membrane bends in various magnitudes as a function of gas pressure and opens and closes the electrical contacts at the limit pressure. In this case, the signal is a voltage level that is changed by opening and closing the contacts.

それに続くステップにおいてこの信号が評価される。このために、評価ユニットは電圧レベルを処理するように適合されている。電圧レベルの変化によりリレーの切換位置が変化されることが考えられる。同様に作用する電子スイッチもまた考えられる。切換の代わりに、例えば電圧の所定の値との比較が行われてもよく、且つ比較結果は回転速度を設定するために利用される。 This signal is evaluated in subsequent steps. For this purpose, the evaluation unit is adapted to process voltage levels. It is conceivable that the switching position of the relay is changed by the change of the voltage level. Electronic switches that act similarly are also conceivable. Instead of switching, for example, a comparison with a predetermined value of the voltage may be performed, and the comparison result is used to set the rotation speed.

それに続くステップにおいて、ここで、モータ操作器内において、評価結果の関数として回転速度が設定される。このステップは、モータ操作器電子装置が、それに伝送された電圧値の関数として、これにより発生された回転速度を変化させる切換過程または連続過程であってもよい。 In a subsequent step, the rotational speed is set here as a function of the evaluation result in the motor operator. This step may be a switching process or a continuous process in which the motor operator electronics changes the rotational speed generated thereby as a function of the voltage value transmitted thereto.

ガス圧力を検知する信号伝送器の信号が大気圧を下回る圧力に対応したとき、回転速度の低下が行われるようにこの方法を改良することが、真空ポンプに対して有利である。この利点をさらに向上させる変更態様においては、この圧力は真空ポンプの最終圧力に近い圧力であってもよい。このときには排出されるべきガス量はきわめて小さいので、回転速度は大幅に低下可能である。まさに接触シール真空ポンプ特にピストン真空ポンプに対して、この効果は特に高くなる。 It would be advantageous for a vacuum pump to improve this method so that the rotational speed is reduced when the signal transmitter signal for sensing gas pressure corresponds to a pressure below atmospheric pressure. In a variation that further improves this advantage, this pressure may be close to the final pressure of the vacuum pump. At this time, since the amount of gas to be discharged is very small, the rotational speed can be greatly reduced. This effect is particularly high for contact seal vacuum pumps, especially piston vacuum pumps.

本発明による真空ポンプの略示図である。1 is a schematic diagram of a vacuum pump according to the present invention. 本発明による真空ポンプの粗引き真空ポンプ段の断面図である。It is sectional drawing of the roughing vacuum pump stage of the vacuum pump by this invention.

Explanation of symbols

１真空ポンプ
２第１のポンプ段
３第２のポンプ段（ピストン真空ポンプ段）
４ガス入口
５ガス案内
６ガス出口
７駆動力伝達ユニット
８モータ
９モータ操作器
１０信号伝送器
１１結合
１２評価ユニット
２０ハウジング
２１シリンダ
２２ピストン
２３シール
２４ガス出口弁
２５出口フランジ
２６ハウジング・カバー
２７ガス入口内孔
２８リング室
２９排積空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 2 1st pump stage 3 2nd pump stage (piston vacuum pump stage)
4 Gas inlet 5 Gas guide 6 Gas outlet 7 Driving force transmission unit 8 Motor 9 Motor controller 10 Signal transmitter 11 Coupling 12 Evaluation unit 20 Housing 21 Cylinder 22 Piston 23 Seal 24 Gas outlet valve 25 Outlet flange 26 Housing cover 27 Gas Inlet hole 28 Ring chamber 29 Accumulation space

Claims

In a vacuum pump (1) comprising at least two pump stages (2, 3), a motor (8), a motor operator (9), and a driving force transmission unit (7),
A signal transmitter (10) for detecting gas pressure is arranged in the middle of the pump stage, and the signal transmitter (10) is electrically coupled (11) with the evaluation unit (12), in which case the evaluation unit is operated on the one hand by motor operation. A vacuum pump (1), characterized in that the rotational speed can be set as a function of the signal provided by the signal transmitter.

2. Vacuum pump according to claim 1, characterized in that the evaluation unit (12) is contained in a motor operator (9).

3. A vacuum pump according to claim 1 or 2, characterized in that the signal transmitter (10) is arranged at the gas inlet of a pump stage (3) that vents to the atmosphere.

4. The vacuum pump according to claim 1, wherein the vacuum pump (1) has at least one contact seal pump stage.

5. The vacuum pump according to claim 1, wherein the vacuum pump (1) is a dry operation piston vacuum pump.

Gas coupling in or with the ring chamber (28) serving as a gas inlet, wherein the signal transmitter (10) at least partially surrounds the cylinder (21) at the height of the gas inlet bore (27) The vacuum pump according to claim 5, wherein the vacuum pump is disposed inside.

In a method of operating a vacuum pump (1) comprising two pump stages (2, 3) and a motor actuator (9) capable of operating the motor at at least two different rotational speeds,
It generates a signal as a function of the gas pressure in the middle of the pump stage (2, 3) by means of a signal transmitter that senses the gas pressure in the following steps:
-Evaluating this signal; and-setting the rotational speed as a function of the evaluation result;
The operating method of the vacuum pump (1) characterized by these.

8. The method of claim 7, wherein the rotational speed is controlled as a function of the signal provided by the signal transmitter.

9. A method according to claim 8, characterized in that the switching between two rotational speeds takes place as a function of the signal provided by the signal transmitter.

10. The method according to claim 7, wherein the rotational speed is reduced in a signal corresponding to a pressure below atmospheric pressure.