JP2006133052A - Foreign matter inspection method and device - Google Patents

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Toshimichi Mizuno
利通 水野
Masashi Tanaka
政司 田中
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Ishizuka Glass Co Ltd
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Ishizuka Glass Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foreign matter measuring method and a device capable of improving inspection accuracy of the foreign matter, and reducing the load of an inspector. <P>SOLUTION: When detecting an intermingled foreign matter in an inspection object on a conveyor by image processing of a camera arranged over the conveyor, an illumination for irradiating the inspection object M from above is constituted of a coaxial illumination part 21 which is approximately coaxial B with an imaging shaft A of the camera 10, a reflection illumination part 25 by an approximately hemispherical reflecting surface 27 of a reflection part 26 formed over the conveyor 6, and a direct illumination part 29 from a lower part of the reflection part 26, to thereby put at least a surface part of the inspection object M into a shadeless state. Illumination light from each illumination part 21, 25, 29 is irradiated in the state where each color of RGB and UV can be combined in order to actualize the foreign matter according to the kind of the foreign matter, and an infrared light illumination 31 comprising LED's 32 arranged kin a matrix form is arranged under the conveyor 6, and inspection is performed by irradiating the inspection object M with infrared light through the conveyor 6. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

この発明は、被検査物の混入異物を検出する異物検査方法及び装置に関する。   The present invention relates to a foreign matter inspection method and apparatus for detecting foreign matter mixed in an inspection object.

一般に、食品等が包装された被検査物に混入した異物を検出するため、X線検査が行われている。このX線検査は、被検査物を透過したX線によって得られる画像に基づいて、被検査物に混入した異物(鉄粉、プラスチック等)を検出するものである(特許文献1参照。)。   In general, an X-ray inspection is performed in order to detect foreign matter mixed in an inspection object in which food or the like is packaged. This X-ray inspection detects foreign matters (iron powder, plastics, etc.) mixed in the inspection object based on an image obtained by X-rays transmitted through the inspection object (see Patent Document 1).

他の検査方法として、被検査物の上部から光を照射して撮影した画像に基づいて、被検査物に混入した異物を検出するものがある。   As another inspection method, there is a method for detecting foreign matter mixed in an inspection object based on an image taken by irradiating light from above the inspection object.

しかしながら、このX線検査は、異物の種類によってはX線の透過によって得られる画像が鮮明ではなく、特に毛髪や虫等の異物を検出することができない。また、被検査物の上部から光を照射して異物を検出する方法は、被検査物の包装によって乱反射が生じて混入異物を検出することが困難である。従来の検査方法は、毛髪や虫等の異物検査が目視によってなされており、見落としにより検査精度が低下したり検査者が負担に感じるものであった。
特開2000−39407号公報
However, in this X-ray inspection, an image obtained by transmission of X-rays is not clear depending on the type of foreign matter, and in particular, foreign matters such as hair and insects cannot be detected. Further, the method of detecting a foreign object by irradiating light from the upper part of the inspection object makes it difficult to detect a mixed foreign object due to irregular reflection caused by the packaging of the inspection object. In the conventional inspection method, inspection of foreign matters such as hair and insects is made by visual observation, and the inspection accuracy is lowered due to oversight or the inspector feels a burden.
JP 2000-39407 A

この発明は、このような状況に鑑み提案されたものであって、毛髪や虫等の異物の検査精度を向上させるとともに検査者の負担を軽減する異物検査方法及び装置を提供することを目的とする。   The present invention has been proposed in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a foreign matter inspection method and apparatus that improve the inspection accuracy of foreign matters such as hair and insects and reduce the burden on the inspector. To do.

すなわち、請求項1の発明は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射することを特徴とする異物検査方法に係る。   That is, in the invention of claim 1, when detecting the foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by the image processing of the camera arranged above the conveyor, the illumination for irradiating the inspection object from above is set as the imaging axis of the camera. At least a surface portion of the object to be inspected is configured by a substantially coaxial coaxial illumination portion, a reflection illumination portion formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection portion formed above the conveyor, and a direct illumination portion from the lower portion of the reflection portion. According to the foreign matter inspection method, the illumination light from each of the illumination units is irradiated in such a manner that each color of RGB and UV can be combined in order to make the foreign matter appear in accordance with the kind of the foreign matter. .

請求項2の発明は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査することを特徴とする異物検査方法に係る。   In the invention of claim 2, when detecting foreign matters mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of a camera arranged above the conveyor, infrared light illumination composed of LEDs arranged in a matrix is arranged below the conveyor. Then, the present invention relates to a foreign matter inspection method, wherein the inspection object is irradiated with the infrared light through the conveyor and inspected.

請求項3の発明は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するとともに、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査することを特徴とする異物検査方法に係る。   According to a third aspect of the present invention, the illumination for irradiating the inspection object from above is substantially coaxial with the imaging axis of the camera when detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of a camera disposed above the conveyor. A coaxial illumination part, a reflection illumination part formed by a substantially hemispherical reflection surface of the reflection part formed above the conveyor, and a direct illumination part from the lower part of the reflection part, so that at least the surface part of the object to be inspected is shaded In addition, the illumination light from each of the illuminating units irradiates each color of RGB and UV so as to be able to be combined according to the type of the foreign matter, and is arranged in a matrix form below the conveyor. The present invention relates to a foreign matter inspection method characterized in that infrared light illumination composed of LEDs is disposed, and the inspection object is irradiated with the infrared light through the conveyor and inspected.

請求項4の発明は、請求項1において、前記被検査物がプリンである異物検査方法に係る。   The invention of claim 4 relates to a foreign matter inspection method according to claim 1, wherein the object to be inspected is pudding.

請求項5の発明は、請求項1又は3において、前記被検査物の混入異物が毛髪である異物検査方法に係る。   The invention of claim 5 relates to a foreign matter inspection method according to claim 1 or 3, wherein the foreign matter mixed in the object to be inspected is hair.

請求項6の発明は、コンベア上の被検査物の混入異物を検査する装置において、コンベアの上方に配置して被検査物の検査画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像軸と略同軸の同軸照明部と、前記コンベアの上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって、前記被検査物を上部から照射する照明を構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに前記被検査物を上部から照射する照明光を異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射する上部照明手段と、前記コンベアの下方に配置して該コンベアを透過して前記被検査物に対して赤外光を照射する下部照明手段と、前記検査画像に基づいて前記被検査物の混入異物の有無を判定する判定手段とを有することを特徴とする異物検査装置に係る。   According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an apparatus for inspecting foreign matters mixed in an object to be inspected on a conveyor, an image pickup unit arranged above the conveyor to pick up an inspection image of the object to be inspected, and an image pickup axis of the image pickup means. The object to be inspected is irradiated from above by a coaxial coaxial illumination unit, a reflection illumination unit formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection unit formed above the conveyor, and a direct illumination unit from the lower part of the reflection unit. In order to make illumination at least the surface part of the object to be inspected by constituting illumination and to illuminate the object from above, the RGB light and UV are used to make the object appear according to the type of the object. Upper illumination means for irradiating in a combinable manner, lower illumination means arranged below the conveyor, passing through the conveyor and irradiating the inspection object with infrared light, and the object to be inspected based on the inspection image Inspected According to the foreign matter inspection apparatus characterized by having a determining means for determining whether the incoming foreign object.

請求項7の発明は、請求項6において、前記判定手段が前記検査画像を2値化して予め定めた閾値と対比するものである異物検査装置に係る。   The invention of claim 7 relates to the foreign matter inspection apparatus according to claim 6, wherein the determination means binarizes the inspection image and compares it with a predetermined threshold value.

請求項8の発明は、請求項6又は7において、前記判定手段が線状画像を識別するものである異物検査装置に係る。   The invention of claim 8 relates to a foreign matter inspection apparatus according to claim 6 or 7, wherein the determination means identifies a linear image.

請求項1の発明に係る異物検査方法によれば、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射することから、乱反射を防ぐとともにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能にした照明光によって被検査物の少なくとも表面部を無影化して異物の画像を鮮明にすることができ、異物の検査精度を向上させることができる。   According to the foreign matter inspection method of the first aspect of the present invention, when detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of a camera disposed above the conveyor, the illumination for irradiating the inspection object from above is An object to be inspected comprising a coaxial illumination unit that is substantially coaxial with the imaging axis of the camera, a reflection illumination unit formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection unit formed above the conveyor, and a direct illumination unit from the lower part of the reflection unit Since the illumination light from each of the illuminating portions is irradiated in such a manner that each color of RGB and UV can be combined in order to reveal the foreign matter according to the type of the foreign matter. It is possible to make the image of the foreign object clear by illuminating at least the surface part of the object to be inspected by the illumination light that can prevent and combine each color of RGB and UV, and the inspection accuracy of the foreign object It can also be improved.

請求項2の発明に係る異物検査方法によれば、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査することから、コンベアを透過した赤外光によって被検査物の混入異物を鮮明にすることができ、異物の検査精度を向上させることができる。   According to the foreign matter inspection method of the second aspect of the invention, when detecting the foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by the image processing of the camera arranged above the conveyor, from the LEDs arranged in a matrix form below the conveyor Infrared light illumination is arranged, and the inspection object is irradiated with the infrared light and inspected by the infrared light. It can be made clear and the inspection accuracy of foreign matters can be improved.

請求項3の発明に係る異物検査方法によれば、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するとともに、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査することから、乱反射を防ぐとともにコンベアの上方及び下方から光を照射して被検査物の少なくとも表面部を無影化して画像を鮮明にすることができ、異物の検査精度を向上させることができる。   According to the foreign matter inspection method of the third aspect of the present invention, when detecting the foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of a camera arranged above the conveyor, the illumination for irradiating the inspection object from above is described above. An object to be inspected comprising a coaxial illumination unit that is substantially coaxial with the imaging axis of the camera, a reflection illumination unit formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection unit formed above the conveyor, and a direct illumination unit from the lower part of the reflection unit In addition, the illumination light from each of the illuminating units irradiates each of the RGB colors and UV in a combined manner in order to reveal the foreign matter according to the type of the foreign matter, Infrared illumination consisting of LEDs arranged in a matrix at the bottom is arranged, and the object is inspected by passing through the conveyor and irradiating the object with the infrared light. From above and below the Gutotomoni conveyor is irradiated with light to free Kageka at least the surface portion of the specimen image can sharpen it, it is possible to improve the inspection accuracy of the foreign matter.

請求項4に係る発明によれば、請求項1において、前記被検査物がプリンであることから、乱反射を防ぐとともにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能にした照明光を上部から照射することよってプリンの少なくとも表面部を無影化して異物の画像を鮮明にすることができ、プリンに混入した異物を、精度を高めて検出することができる。   According to the invention of claim 4, since the object to be inspected is pudding according to claim 1, printing is performed by irradiating from above the illumination light that can prevent irregular reflection and can combine RGB colors and UV. The image of the foreign matter can be made clear by making at least the surface portion of the image clear, and the foreign matter mixed in the pudding can be detected with high accuracy.

請求項5に係る発明によれば、請求項1又は3において、前記被検査物の混入異物が毛髪であることから、光をコンベアの上方又はコンベアの上方及び下方から照射することによって異物の画像を鮮明にすることができ、被検査物に混入した毛髪を、精度を高めて検出することができる。   According to the invention according to claim 5, in claim 1 or 3, since the foreign matter mixed in the object to be inspected is hair, an image of the foreign matter is obtained by irradiating light from above the conveyor or from above and below the conveyor. The hair can be detected clearly with high accuracy.

請求項6の発明に係る異物検査装置によれば、コンベア上の被検査物の混入異物を検査する装置において、コンベアの上方に配置して被検査物の検査画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の撮像軸と略同軸の同軸照明部と、前記コンベアの上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって、前記被検査物を上部から照射する照明を構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに前記被検査物を上部から照射する照明光を異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射する上部照明手段と、前記コンベアの下方に配置して該コンベアを透過して前記被検査物に対して赤外光を照射する下部照明手段と、前記検査画像に基づいて前記被検査物の混入異物の有無を判定する判定手段とを有することから、乱反射を防ぐとともにコンベアの上方及び下方から光を照射して被検査物の少なくとも表面部を無影化して画像を鮮明にすることができ、異物の検査精度を向上させ検査者の負担を軽減する異物検査装置とすることができる。   According to the foreign matter inspection apparatus according to the invention of claim 6, in the device for inspecting the mixed foreign matter in the inspection object on the conveyor, the imaging means that is arranged above the conveyor and images the inspection image of the inspection object, A coaxial illumination unit that is substantially coaxial with the imaging axis of the imaging unit, a reflection illumination unit formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection unit formed above the conveyor, and a direct illumination unit from the lower part of the reflection unit. In order to make the illumination to irradiate the inspection object from the upper part and to make at least the surface part of the inspection object non-shadowed, and to make the illumination light to irradiate the inspection object from the upper part according to the type of the foreign object An upper illumination means for irradiating each color of RGB and UV in a combinable manner, a lower illumination means for irradiating infrared light to the object to be inspected by being disposed below the conveyor and passing through the conveyor, Inspection image And determining means for determining the presence or absence of foreign matter in the inspected object based on the above, preventing irregular reflection and irradiating light from above and below the conveyor to make at least the surface portion of the inspected object shadowless and image Therefore, the foreign matter inspection apparatus can improve the foreign matter inspection accuracy and reduce the burden on the inspector.

請求項7に係る発明によれば、請求項6において、前記判定手段が前記検査画像を2値化して予め定めた閾値と対比するものであるから、被検査物に混入した異物が明確となって検査精度を向上させることができる。   According to the invention according to claim 7, in claim 6, the determination means binarizes the inspection image and compares it with a predetermined threshold value, so that the foreign matter mixed in the inspection object becomes clear. Inspection accuracy can be improved.

請求項8に係る発明によれば、請求項6又は7において、前記判定手段が線状画像を識別するものであるから、毛髪等の線状の異物を有効に検出することができる。   According to the eighth aspect of the invention, in the sixth or seventh aspect, since the determination means identifies a linear image, linear foreign matters such as hair can be detected effectively.

以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。図1はこの発明の異物検査方法のうち被検査物の上部からRGBの各色及びUVを組み合わせ可能な照明光を照射する実施例の概略側面図、図2は被検査物の下方から赤外光を照射する実施例の概略側面図、図3は被検査物の上部及び下部から光を照射する実施例の概略側面図、図4はこの発明の一実施例に係る異物検査装置の概略構成図である。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic side view of an embodiment of the foreign matter inspection method according to the present invention in which illumination light capable of combining RGB colors and UV is irradiated from the upper part of an inspection object, and FIG. 2 is infrared light from the lower side of the inspection object. 3 is a schematic side view of an embodiment in which light is irradiated from above and below the object to be inspected, and FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a foreign substance inspection apparatus according to an embodiment of the present invention. It is.

請求項1の発明に係る異物検査方法は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するものである。この異物検査方法は、被検査物を上部から照射する照明を、同軸照明部と、反射照明部と、直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するものである。   In the foreign matter inspection method according to the first aspect of the present invention, the foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor is detected by image processing of a camera arranged above the conveyor. In this foreign matter inspection method, the illumination for irradiating the object to be inspected from above is constituted by a coaxial illumination part, a reflective illumination part, and a direct illumination part, and at least the surface part of the object to be inspected is made shadowless. .

図1は、この異物検査方法の一実施例を示すものである。同軸照明部21は、図示するように、照明光を被検査物Mに対してカメラ10の撮像軸Aと略同軸Bに照射する。符号22は偏光レンズである。   FIG. 1 shows an embodiment of this foreign matter inspection method. As shown in the figure, the coaxial illumination unit 21 irradiates illumination light to the object M to be inspected substantially coaxially B with the imaging axis A of the camera 10. Reference numeral 22 denotes a polarizing lens.

反射照明部25は、コンベア5の上方に形成された反射部26の略半球状反射面27からなるものである。この反射照明部25は、発光体28からの照明光を、前記反射面27に反射させ、被検査物Mに対してC方向から照射する。発光体28は円周状に配置される。   The reflection illumination unit 25 is composed of a substantially hemispherical reflection surface 27 of the reflection unit 26 formed above the conveyor 5. The reflection illumination unit 25 reflects the illumination light from the light emitter 28 to the reflection surface 27 and irradiates the inspection object M from the C direction. The light emitters 28 are arranged circumferentially.

直接照明部29は、反射部26の下部から照明光を被検査物Mに対して照射するものである。この直接照明部29は、図示するように、照明光を被検査物Mに対してD方向から照射する。直接照明部29は、照明光を被検査物Mに対して全方向から照射するように配置される。   The direct illumination unit 29 irradiates the inspection object M with illumination light from below the reflection unit 26. As shown in the figure, the direct illumination unit 29 irradiates the inspection object M with the illumination light from the D direction. The direct illumination unit 29 is arranged so as to irradiate the inspection object M from all directions with illumination light.

被検査物Mは、各照明部21,25,29により、照明光がB方向ないしD方向から照射される。これによって、被検査物Mの少なくとも表面部を無影化することができる。   The inspected object M is irradiated with illumination light from the B direction or the D direction by the illumination units 21, 25, and 29. As a result, at least the surface portion of the inspection object M can be made non-shadowed.

さらに、この異物検査方法は、図示するように、各照明部21,25,29からの照明光を異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するものである。   Further, as shown in the figure, this foreign matter inspection method irradiates illumination light from each illumination unit 21, 25, 29 in such a manner that each color of RGB and UV can be combined in order to reveal the foreign matter according to the type of foreign matter. To do.

被検査物Mは、各照明部21,25,29によって、RGB(赤色、緑色、青色)の各色及びUV(紫外線)を組み合わせ可能な照明光がB方向ないしD方向から照射される。ここでは、3種類(赤色、緑色、青色)のLEDと公知の紫外線LEDと公知の調光器とを組み合わせることにより、適宜の照明色が得られる。照明光は、乱反射を防ぐとともに被検査物Mに混入した異物の画像を鮮明にする。被検査物Mは、照明光を照射して撮像され、画像処理して混入異物が検出される。符号M1は検査前の被検査物、M2は検査後の被検査物、Sはスプロケットである。   The inspected object M is irradiated with illumination light capable of combining RGB (red, green, blue) colors and UV (ultraviolet rays) from the B direction or the D direction by the illumination units 21, 25, 29. Here, an appropriate illumination color can be obtained by combining three types of LEDs (red, green, and blue), a known ultraviolet LED, and a known dimmer. The illumination light prevents diffuse reflection and sharpens the image of the foreign matter mixed in the inspection object M. The inspection object M is imaged by irradiating illumination light, and image processing is performed to detect mixed foreign matter. Reference numeral M1 is an object to be inspected before inspection, M2 is an object to be inspected after inspection, and S is a sprocket.

実施例では、被検査物Mが、プラスチック製容器に納められたもずくである。もずくは、各照明部21,25,29によって、B方向ないしD方向からUV(紫外線)が照射される。これによって、乱反射を防ぐとともにもずくに混入した異物の画像を鮮明にすることができる。もずくは、UV(紫外線)に限らず、前記RGBの各色を適宜に組み合わせたり前記RGBの各色及び該UVを適宜に組み合わせて混入異物の画像を鮮明にして検査される。   In the embodiment, the inspection object M is a mozuku housed in a plastic container. Mozuku is irradiated with UV (ultraviolet rays) from the B direction or the D direction by the illuminators 21, 25, and 29. Thereby, irregular reflection can be prevented and the image of the foreign matter mixed in can be made clear. The mozuku is not limited to UV (ultraviolet rays), and the RGB color is appropriately combined or the RGB color and the UV are appropriately combined to inspect the image of the contaminated foreign matter.

実施例では、請求項4の発明として規定したように、前記被検査物Mをプリンとしている。RGBの各色及びUVを組み合わせ可能な照明光を上部から照射することにより、プリンの少なくとも表面部を無影化して異物の画像を鮮明にすることができ、プリンに混入した異物を、精度を高めて検出することができる。ここでは、プリンの表面に存在する異物(毛髪や虫)を、赤色の照明光を照射することによって検出した。   In the embodiment, the inspection object M is a pudding as defined in the invention of claim 4. By illuminating from the top with illumination light that can combine RGB colors and UV, at least the surface part of the pudding can be made shadowless and the image of the foreign matter can be sharpened. Can be detected. Here, foreign matters (hair and insects) present on the surface of the pudding were detected by irradiating red illumination light.

実施例では、請求項5の発明として規定したように、前記被検査物Mに混入した毛髪を検出することができる。ここでは、被検査物Mが、プラスチック製容器に納められたひじきである。実施例の異物検査方法は、白色の照明光をコンベア5の上方から照射して毛髪の画像を鮮明にすることができ、ひじきの表面に存在する毛髪を検出することができる。   In the embodiment, as defined as the invention of claim 5, it is possible to detect the hair mixed in the inspection object M. Here, the inspection object M is a hijiki placed in a plastic container. The foreign matter inspection method of the embodiment can irradiate white illumination light from above the conveyor 5 to make the hair image clearer, and can detect the hair present on the surface of the hijiki.

請求項2の発明に係る異物検査方法は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査するものである。   In the foreign matter inspection method according to the second aspect of the present invention, when detecting foreign matter mixed in an object to be inspected on a conveyor by image processing of a camera arranged above the conveyor, red consisting of LEDs arranged in a matrix form below the conveyor Outside light illumination is arranged, and the inspection object is irradiated with the infrared light through the conveyor and inspected.

図2に図示するように、赤外光照明31が、コンベア6の下方に配置される。このコンベア6は、赤外光を透過させることができるものである。赤外光照明31は、マトリックス状に配置したLED32から放たれる。実施例では、被検査物Mが、プラスチック製容器に納められたくるみである。図1と同一の装置等は同一の符号を付しその説明を省略する。   As illustrated in FIG. 2, the infrared light illumination 31 is disposed below the conveyor 6. The conveyor 6 can transmit infrared light. The infrared illumination 31 is emitted from the LEDs 32 arranged in a matrix. In the embodiment, the inspection object M is a walnut housed in a plastic container. The same devices as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

赤外光は、コンベア6とプラスチック製容器とを透過してくるみに照射される。これによって、くるみに混入した異物(例えばくるみの殻)を鮮明にすることができる。くるみは、赤外光を照射して撮像され、画像処理して混入異物が検出される。   Infrared light is irradiated only through the conveyor 6 and the plastic container. As a result, foreign matters (for example, walnut shells) mixed in the case can be made clear. The walnut is imaged by irradiating with infrared light, and image processing is performed to detect a foreign substance.

請求項3の発明に係る異物検査方法は、コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するとともに、前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査するものである。   In the foreign matter inspection method according to the invention of claim 3, when detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of a camera disposed above the conveyor, the illumination for irradiating the inspection object from above is performed on the camera. Consists of a coaxial illumination unit that is substantially coaxial with the imaging axis, a reflected illumination unit formed by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection unit formed above the conveyor, and a direct illumination unit from the lower part of the reflection unit. In addition to making the surface non-shadowed, the illumination light from each of the illuminating units irradiates the respective colors of RGB and UV so as to make the foreign matter appear depending on the type of the foreign matter, and below the conveyor Infrared light illumination composed of LEDs arranged in a matrix is disposed, and the inspection object is irradiated with the infrared light through the conveyor and inspected.

図3に図示するように、被検査物Mは、コンベア6によって搬送されて検査位置P に移動する。この被検査物Mは、同軸照明部21によってカメラ10の撮像軸Aと略同軸のB方向から、反射照明部25によって略半球状反射面27に反射させたC方向から、直接照明部29によってD方向から、それぞれ照明光が照射される。ここでは、各照明部21,29及び発光体28が、公知の調光器によりRGBの各色及びUVを組み合わせ可能な照明光を被検査物Mに照射する。照明光は、乱反射を防ぐとともにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能にして被検査物Mに混入した異物の画像を鮮明にする。   As shown in FIG. 3, the inspection object M is conveyed by the conveyor 6 and moves to the inspection position P 1. The inspection object M is directly directed by the illumination unit 29 from the B direction substantially coaxial with the imaging axis A of the camera 10 by the coaxial illumination unit 21 and from the C direction reflected by the reflection illumination unit 25 on the substantially hemispherical reflecting surface 27. Illumination light is irradiated from the D direction. Here, each illumination part 21 and 29 and the light-emitting body 28 irradiate the to-be-inspected object M with the illumination light which can combine each color of RGB and UV with a well-known dimmer. The illuminating light prevents diffuse reflection and allows the combination of RGB colors and UV to make the image of foreign matter mixed in the inspection object M clear.

この異物検査方法は、赤外光照明31によって赤外光を前記被検査物Mに照射する。ここでは、赤外光が、マトリックス状に配置したLED32によって照射される。この赤外光は、コンベア6と被検査物Mの収納容器とを透過して照射されて被検査物Mに混入した異物の画像を鮮明にする。被検査物Mは、図示するように、コンベア6の上方及び下方から光を照射して撮像され、画像処理して混入異物が検出される。この異物検査方法は、コンベア6の上方及び下方から光を照射して乱反射を防ぐとともに被検査物の少なくとも表面部を無影化して画像を鮮明にすることができ、被検査物Mに混入した異物を、精度を高めて検出することができる。図1及び図2と同一の装置等は同一の符号を付しその説明を省略する。   In this foreign matter inspection method, the inspection object M is irradiated with infrared light by the infrared light illumination 31. Here, infrared light is irradiated by the LEDs 32 arranged in a matrix. This infrared light is transmitted through the conveyor 6 and the container for the inspection object M, and is irradiated to make a clear image of the foreign matter mixed in the inspection object M. As shown in the figure, the inspection object M is imaged by irradiating light from above and below the conveyor 6, and image processing is performed to detect mixed foreign matters. This foreign matter inspection method can irradiate light from above and below the conveyor 6 to prevent irregular reflection, and at least the surface portion of the inspection object can be made shadowless so that the image is clear and mixed into the inspection object M. Foreign matter can be detected with high accuracy. The same devices as those in FIG. 1 and FIG.

実施例の異物検査方法は、請求項5の発明として規定したように、前記被検査物Mに混入した毛髪を検出することができる。ここでは、被検査物Mが、プラスチック製容器に納められてラップにより包まれた餃子である。この異物検査方法は、赤色の照明光をコンベア6の上方、赤外光をコンベア6の下方からそれぞれ照射して乱反射を防ぐとともに餃子の表面部を無影化して毛髪の画像を鮮明にすることができ、餃子の表面に存在する毛髪を、精度を高めて検出することができる。   As defined in the invention of claim 5, the foreign matter inspection method of the embodiment can detect hair mixed in the inspection object M. Here, the inspection object M is dumplings that are put in a plastic container and wrapped by wrapping. This foreign matter inspection method irradiates red illumination light from above the conveyor 6 and infrared light from below the conveyor 6 to prevent irregular reflection and to make the surface of the dumplings shadowless so that the hair image is clear. The hair existing on the surface of the dumpling can be detected with high accuracy.

次に、上述した検査方法を実施する異物検査装置について説明する。この異物検査装置1は、図4に図示し請求項6の発明として規定したように、撮像手段10と、上部照明手段20と、下部照明手段30と、判定手段40とを有する。   Next, a foreign substance inspection apparatus that performs the above-described inspection method will be described. As shown in FIG. 4 and defined as the invention of claim 6, the foreign matter inspection apparatus 1 includes an imaging unit 10, an upper illumination unit 20, a lower illumination unit 30, and a determination unit 40.

撮像手段10は、図示するように、コンベア6の上方に配置される。この撮像手段10は、上部照明手段20と下部照明手段30とによって被検査物Mに光が照射された検査画像を撮像するものである。実施例では、撮像手段10が、公知のCCDカメラによって構成される。ここでは、200万画像又は400万画素のCCDカメラを用いて被検査物Mの混入異物の検査精度を向上させている。   The imaging means 10 is arranged above the conveyor 6 as shown in the figure. The image pickup means 10 picks up an inspection image obtained by irradiating the inspection object M with light by the upper illumination means 20 and the lower illumination means 30. In the embodiment, the imaging means 10 is constituted by a known CCD camera. Here, the inspection accuracy of the foreign matter mixed in the inspection object M is improved by using a CCD camera having 2 million images or 4 million pixels.

被検査物Mに反射あるいは透過した光は、偏光レンズ22を介して撮像手段10に到達して検出される。撮像手段10は、検出された像を検査画像として撮像する。この検査画像は、各照明手段20,30によって鮮明となる。これによって、被検査物Mの混入異物の検査精度が向上する。   The light reflected or transmitted to the inspection object M reaches the imaging means 10 via the polarizing lens 22 and is detected. The imaging unit 10 captures the detected image as an inspection image. This inspection image becomes clear by the illumination means 20 and 30. Thereby, the inspection accuracy of the foreign matter mixed in the inspection object M is improved.

上部照明手段20は、被検査物Mを上部から照射する照明を構成して被検査物Mの少なくとも表面部を無影化するとともに被検査物を上部から照射する照明光を異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するものである。この上部照明手段20は、前記同軸照明部21と、反射照明部25と、直接照明部29とからなるものである。   The upper illumination means 20 constitutes illumination for irradiating the inspection object M from above to make at least the surface portion of the inspection object M shadowless, and the illumination light for irradiating the inspection object from above according to the type of foreign matter In order to make the foreign matter appear, the respective colors of RGB and UV are irradiated so that they can be combined. The upper illumination means 20 is composed of the coaxial illumination unit 21, the reflection illumination unit 25, and the direct illumination unit 29.

実施例の同軸照明部21は、3種類(赤色、緑色、青色)のLEDと公知の紫外線LEDとによって構成され、照明光を被検査物Mに対して撮像手段10の撮像軸Aと略同軸Bに照射する。   The coaxial illumination unit 21 according to the embodiment includes three types (red, green, and blue) of LEDs and a known ultraviolet LED, and the illumination light is substantially coaxial with the imaging axis A of the imaging unit 10 with respect to the inspection object M. B is irradiated.

実施例の反射照明部25は、ドーム状の金属製部材によって形成される。この反射照明部25は、コンベア6の上方に形成された反射部26の略半球状反射面27からなり、発光体28からの照明光を、該反射面27に反射させ、被検査物Mに対してC方向から照射する。発光体28は、前記3種類のLEDと公知の紫外線LEDとによって構成されて円周状に配置される。   The reflective illumination part 25 of an Example is formed with a dome-shaped metal member. The reflection illumination unit 25 is composed of a substantially hemispherical reflection surface 27 of the reflection unit 26 formed above the conveyor 6, and reflects the illumination light from the light emitter 28 to the reflection surface 27 and causes the object M to be inspected. Irradiate from the C direction. The light emitter 28 is composed of the three types of LEDs and a known ultraviolet LED, and is arranged circumferentially.

実施例の直接照明部29は、前記3種類のLEDと公知の紫外線LEDとによって構成され、照明光を前記反射部26の下部から被検査物Mに対して照射する。ここでは、各LEDが、照明光を被検査物Mに対して全方向(D方向)から照射するように配置される。   The direct illumination unit 29 according to the embodiment is configured by the three types of LEDs and a known ultraviolet LED, and irradiates the inspection object M with illumination light from the lower portion of the reflection unit 26. Here, each LED is arrange | positioned so that illumination light may be irradiated with respect to the to-be-inspected object M from all directions (D direction).

被検査物Mは、搬入部8からコンベア6に載せられて検査位置Pに移動する。被検査物Mは、検査位置Pに位置し上部照明手段20によって照明光が照射される。これによって、乱反射を防ぐことができる。この照明光は、照明色が公知の調光器によって被検査物Mの少なくとも表面部を無影化するように変えられる。この照明光は、照明色を被検査物に応じて適宜に変更し、異物の画像を鮮明することもできる。   The inspection object M is placed on the conveyor 6 from the carry-in portion 8 and moves to the inspection position P. The inspection object M is located at the inspection position P and irradiated with illumination light by the upper illumination means 20. Thereby, irregular reflection can be prevented. The illumination light is changed so that at least the surface portion of the inspection object M is made shadowless by a dimmer whose illumination color is known. This illumination light can change the illumination color as appropriate according to the object to be inspected, and can also sharpen the image of the foreign matter.

下部照明手段30は、前記コンベア6の下方に配置して該コンベア6を透過して前記被検査物Mに対して赤外光を照射するものである。実施例では、下部照明手段30が、コンベア6の下方にマトリックス状に配置したLED32からなり、赤外光を照射するものである。ここでは、LED32が約1万個配置される。符号31は赤外光照明である。   The lower illumination means 30 is disposed below the conveyor 6 and passes through the conveyor 6 to irradiate the inspection object M with infrared light. In the embodiment, the lower illumination means 30 is composed of LEDs 32 arranged in a matrix below the conveyor 6 and irradiates infrared light. Here, about 10,000 LEDs 32 are arranged. Reference numeral 31 denotes infrared light illumination.

検査位置Pの被検査物Mは、赤外光がLED32によってコンベア6を透過して照射される。赤外光は、被検査物Mに混入した異物を鮮明にする。例えば被検査物Mがプラスチック製容器に納めてラップにより包まれた餃子であるときは、赤外光が、該容器を透過し餃子の影を消して混入異物を鮮明にする。この赤外光は、強度が被検査物Mに応じて自動的に調節される。   The inspection object P at the inspection position P is irradiated with infrared light transmitted through the conveyor 6 by the LED 32. The infrared light sharpens foreign matter mixed in the inspection object M. For example, when the object to be inspected M is a dumpling wrapped in a plastic container and wrapped in a wrap, infrared light passes through the container and erases the shadow of the dumpling, thereby clarifying the contaminated foreign matter. The intensity of the infrared light is automatically adjusted according to the inspection object M.

判定手段40は、前記検査画像に基づいて被検査物Mの混入異物の有無を判定するものである。実施例では、判定手段40が、公知の画像処理装置によって構成される。   The determination means 40 determines the presence or absence of foreign matter mixed in the inspection object M based on the inspection image. In the embodiment, the determination unit 40 is configured by a known image processing apparatus.

この判定手段40は、信号線S1によって検査画像の信号を受信する。判定手段40は、混入異物の画像を強調するように処理する。この画像処理は、判定手段40に入力されたプログラムによってなされる。このプログラムは、各種の異物を混入した被検査物を用いて試行し、各異物が検出できるように設計されている。符号50は画像表示装置(モニター)、S2は信号線である。検査者は、強調された異物画像を画像表示装置50によって確認することができ、検査の負担が軽減される。   The determination means 40 receives the inspection image signal through the signal line S1. The determination unit 40 performs processing so as to enhance the image of the mixed foreign matter. This image processing is performed by a program input to the determination means 40. This program is designed so that each foreign object can be detected by trial using an inspection object mixed with various foreign objects. Reference numeral 50 is an image display device (monitor), and S2 is a signal line. The inspector can confirm the emphasized foreign object image by the image display device 50, and the burden of the inspection is reduced.

実施例の判定手段40は、請求項7の発明として規定したように、前記検査画像を2値化して予め定めた閾値と対比するものである。判定手段40は、異物の画像が濃く、他の画像が該異物画像よりも薄くなるように2値化する。これによって、異物が明確となって検査精度を向上させることができる。この判定手段40は、2値化した画像を予め定めた閾値と対比して、濃い画像が異物であると判定する。   As defined in the invention of claim 7, the determination means 40 of the embodiment binarizes the inspection image and compares it with a predetermined threshold value. The determination unit 40 binarizes so that the image of the foreign object is dark and the other image is lighter than the foreign object image. As a result, the foreign matter becomes clear and the inspection accuracy can be improved. This determination means 40 compares the binarized image with a predetermined threshold value and determines that the dark image is a foreign object.

さらに、判定手段40は、請求項8の発明として規定したように、線状画像を識別するものである。判定手段40は、検査画像を2値化する際に線状画像を識別する。この実施例では、判定手段40が、異物(毛髪や釣り糸)を線状画像として識別して有効に検出することができる。判定手段40は、微分処理によって、検査画像のコントラストを大きくして異物の検査精度を向上させることもできる。   Furthermore, the determination means 40 identifies a linear image as prescribed | regulated as invention of Claim 8. The determination unit 40 identifies a linear image when binarizing the inspection image. In this embodiment, the determination unit 40 can identify and effectively detect a foreign object (hair or fishing line) as a linear image. The determination means 40 can also increase the inspection accuracy of the foreign matter by increasing the contrast of the inspection image by differential processing.

異物が検出された被検査物Mは、公知の自動排出装置によってコンベア6から排出される。一方、異物が検出されなかった被検査物M2は、コンベア6によって搬送されて搬出部9から取り出される。   The inspection object M in which the foreign matter is detected is discharged from the conveyor 6 by a known automatic discharge device. On the other hand, the inspection object M2 from which no foreign matter has been detected is conveyed by the conveyor 6 and taken out from the carry-out section 9.

この実施例では、異物検査装置1が、表1に示すように、上部から被検査物Mに照射する照明色を適宜に調節して、各種の異物を検出することができる。   In this embodiment, as shown in Table 1, the foreign matter inspection apparatus 1 can detect various foreign matters by appropriately adjusting the illumination color applied to the inspection object M from above.

Figure 2006133052
Figure 2006133052

この発明の異物検査方法のうち被検査物の上部からRGBの各色及びUVを組み合わせ可能な照明光を照射する実施例の概略側面図である。It is a schematic side view of the Example which irradiates the illumination light which can combine each color of RGB and UV from the upper part of a to-be-inspected object among the foreign material inspection methods of this invention. 被検査物の下方から赤外光を照射する実施例の概略側面図である。It is a schematic side view of the Example which irradiates infrared light from the downward direction of a to-be-inspected object. 被検査物の上部及び下部から光を照射する実施例の概略側面図である。It is a schematic side view of the Example which irradiates light from the upper part and lower part of a to-be-inspected object. この発明の一実施例に係る異物検査装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the foreign material inspection apparatus which concerns on one Example of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 異物検査装置
5,6 コンベア
10 撮像手段(カメラ)
20 上部照明手段
21 同軸照明部
25 反射照明部
26 反射部
27 略半球状反射面
29 直接照明部
30 下部照明手段
31 赤外光照明
32 LED
40 判定手段
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Foreign material inspection apparatus 5,6 Conveyor 10 Imaging means (camera)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 Upper illumination means 21 Coaxial illumination part 25 Reflection illumination part 26 Reflection part 27 Substantially hemispherical reflective surface 29 Direct illumination part 30 Lower illumination means 31 Infrared light illumination 32 LED
40 judgment means

Claims (8)

コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、
被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射することを特徴とする異物検査方法。
When detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of the camera arranged above the conveyor,
Illumination for irradiating the object to be inspected from above is performed from the coaxial illumination part substantially coaxial with the imaging axis of the camera, the reflection illumination part by the substantially hemispherical reflection surface of the reflection part formed above the conveyor, and from the lower part of the reflection part In order to make at least the surface part of the inspection object non-shadowed by the direct illumination part, and the illumination light from each of the illumination parts makes each color of RGB and A foreign matter inspection method characterized by irradiating UV in a combinable manner.
コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、
前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査することを特徴とする異物検査方法。
When detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of the camera arranged above the conveyor,
Infrared illumination comprising LEDs arranged in a matrix form is disposed below the conveyor, and the foreign matter is inspected by passing through the conveyor and irradiating the inspection object with the infrared light. Inspection method.
コンベア上の被検査物の混入異物をコンベア上方に配置したカメラの画像処理によって検出するに際して、
被検査物を上部から照射する照明を、前記カメラの撮像軸と略同軸の同軸照明部と、コンベア上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに、前記各照明部からの照明光は異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射するとともに、
前記コンベアの下方にマトリックス状に配置したLEDよりなる赤外光照明を配置して、前記コンベアを透過して被検査物に対して該赤外光を照射して検査する
ことを特徴とする異物検査方法。
When detecting foreign matter mixed in the inspection object on the conveyor by image processing of the camera arranged above the conveyor,
Illumination for irradiating the object to be inspected from above is provided from a coaxial illumination part that is substantially coaxial with the imaging axis of the camera, a reflective illumination part by a substantially hemispherical reflection surface of a reflection part formed above the conveyor, and In order to make at least the surface part of the inspection object non-shadowed by the direct illumination part, and the illumination light from each of the illumination parts makes each color of RGB and While irradiating UV in a combinable way,
Infrared illumination consisting of LEDs arranged in a matrix form is disposed below the conveyor, and the object is inspected by passing through the conveyor and irradiating the object with the infrared light. Inspection method.
前記被検査物がプリンである請求項1に記載の異物検査方法。   The foreign matter inspection method according to claim 1, wherein the inspection object is pudding. 前記被検査物の混入異物が毛髪である請求項1又は3に記載の異物検査方法。   The foreign matter inspection method according to claim 1 or 3, wherein the foreign matter mixed in the inspection object is hair. コンベア上の被検査物の混入異物を検査する装置において、
コンベアの上方に配置して被検査物の検査画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段の撮像軸と略同軸の同軸照明部と、前記コンベアの上方に形成された反射部の略半球状反射面による反射照明部と、前記反射部下部からの直接照明部とによって、前記被検査物を上部から照射する照明を構成して被検査物の少なくとも表面部を無影化するとともに前記被検査物を上部から照射する照明光を異物の種類に応じて当該異物を顕在化させるためにRGBの各色及びUVを組み合わせ可能に照射する上部照明手段と、
前記コンベアの下方に配置して該コンベアを透過して前記被検査物に対して赤外光を照射する下部照明手段と、
前記検査画像に基づいて前記被検査物の混入異物の有無を判定する判定手段
とを有することを特徴とする異物検査装置。
In a device for inspecting foreign matter mixed in objects to be inspected on a conveyor,
An imaging means for imaging an inspection image of an object to be inspected by placing it above the conveyor;
By the coaxial illumination part substantially coaxial with the imaging axis of the imaging means, the reflection illumination part by the substantially hemispherical reflection surface of the reflection part formed above the conveyor, and the direct illumination part from the lower part of the reflection part, The illumination that irradiates the inspection object from above is configured to make at least the surface portion of the inspection object shadowless, and the illumination light that irradiates the inspection object from above is made to manifest the foreign object according to the type of the foreign object. Therefore, the upper illumination means for irradiating each color of RGB and UV in a combinable manner,
A lower illumination means arranged below the conveyor and irradiating the inspection object with infrared light through the conveyor;
A foreign matter inspection apparatus comprising: determination means for determining the presence or absence of foreign matter mixed in the inspection object based on the inspection image.
前記判定手段が前記検査画像を2値化して予め定めた閾値と対比するものである請求項6に記載の異物検査装置。   The foreign matter inspection apparatus according to claim 6, wherein the determination unit binarizes the inspection image and compares it with a predetermined threshold value. 前記判定手段が線状画像を識別するものである請求項6又は7に記載の異物検査装置。   The foreign matter inspection apparatus according to claim 6 or 7, wherein the determination unit identifies a linear image.
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