JP2003105207A - Resin composition and display device using the same - Google Patents

Resin composition and display device using the same

Info

Publication number
JP2003105207A
JP2003105207A JP2001301660A JP2001301660A JP2003105207A JP 2003105207 A JP2003105207 A JP 2003105207A JP 2001301660 A JP2001301660 A JP 2001301660A JP 2001301660 A JP2001301660 A JP 2001301660A JP 2003105207 A JP2003105207 A JP 2003105207A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
resin composition
film
alkali
meth
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001301660A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiji Watanabe
英司 渡邊
Seiju Mitani
清樹 三谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JNC Corp
Original Assignee
Chisso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chisso Corp filed Critical Chisso Corp
Priority to JP2001301660A priority Critical patent/JP2003105207A/en
Publication of JP2003105207A publication Critical patent/JP2003105207A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Graft Or Block Polymers (AREA)
  • Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a resin composition, especially a photosensitive resin composition, giving a film with good in-plane uniformity of thickness, and to provide a display device such as a liquid crystal device with uniform thickness of layer using the composition. SOLUTION: The photosensitive resin composition comprises (1) a copolymer having an unsaturated carboxylic acid monomer and a vinylic monomer whose homopolymer is insoluble in alkali as structural units (hereinafter referred to as an alkali-soluble resin), (2) an alkali-insoluble epoxy group-containing polymer, (3) an ethylenically unsaturated bond-containing compound and (4) a photopolymerization initiator and a photosensitizer, and further added with a fluorine-containing glyceral derivative expressed by the formula and a solvent.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、塗布時の膜厚均一
性が極めて優れた表示素子用樹脂組成物、特に感光性樹
脂組成物、及びそれを用いた表示素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin composition for a display device, which is particularly excellent in film thickness uniformity during coating, particularly a photosensitive resin composition, and a display device using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】マイクロコンピュータ、ワードプロセッ
サ、テレビ、時計や電卓に用いられている液晶素子に
は、上、下2枚で一対をなす透明電極基板の間でネマチ
ック液晶分子の配列方向を90度に捻った構造のツイス
ト・ネマチック(以下、TNと略す)モードが採用され
ている。また、ねじれ角を180〜300度と大きくし
たスーパーツイステッドネマチック(以下、STNと略
す)モードも開発され、大画面でも表示品位の良好な液
晶素子が得られるようになった。さらに、近年では、マ
トリックス表示やカラー表示等を行うようになってきた
ため、多数の画素電極とこれらのON−OFFを行うこ
とのできるアクティブ型TNモードを採用したMIM
(金属−絶縁相−金属)素子やTFT(電界効果型薄膜
トランジスタ)素子の開発が盛んになってきた。また、
高速応答が可能な強誘電性液晶や高精細な表示を可能に
する反強誘電性液晶を用いた素子も開発されている。さ
らに、横方向電界を用いたIPS(In−Plane Switchin
g)方式、液晶のベンドモードと補償フィルムを組み合
わせたOCB(Optically Compensated Bend)方式、ホ
メオトロピック配向(基板に垂直な配向、垂直配向)を
利用したVA(VerticallyAligned Nematic)方式等を
用いた素子も開発されている。
2. Description of the Related Art In liquid crystal elements used in microcomputers, word processors, televisions, watches and calculators, nematic liquid crystal molecules are aligned at 90 degrees between a pair of upper and lower transparent electrode substrates. A twisted nematic (TN) mode with a twisted structure is adopted. In addition, a super twisted nematic (hereinafter abbreviated as STN) mode having a large twist angle of 180 to 300 degrees has been developed, and a liquid crystal element having a good display quality even on a large screen can be obtained. Furthermore, in recent years, since matrix display and color display have come to be performed, a large number of pixel electrodes and an MIM adopting an active TN mode capable of performing ON / OFF of these pixel electrodes are employed.
The development of (metal-insulating phase-metal) elements and TFT (field effect thin film transistor) elements has become active. Also,
A device using a ferroelectric liquid crystal capable of high-speed response or an antiferroelectric liquid crystal capable of high-definition display has also been developed. Furthermore, IPS (In-Plane Switchin) using a lateral electric field
g) method, OCB (Optically Compensated Bend) method that combines a bend mode of liquid crystal and a compensation film, and VA (Vertically Aligned Nematic) method that uses homeotropic alignment (alignment perpendicular to the substrate, vertical alignment) Being developed.

【0003】これらのモード全てに共通する液晶素子の
ギャップ制御技術としては、二枚の基板の中間にガラス
ビーズ、プラスチックビーズなどのスペーサー粒子を散
布し、それらの大きさによって液晶層の厚みを制御する
方式が用いられてきた。しかし、この方式では、つぎの
ような問題があった。 1)スペーサー粒子が有効画素部内に配置された場合、
スペーサー粒子の存在する面積部分の画素は表示に寄与
しないため、コントラストおよび開口率が低下し、表示
品位が低下する。 2)スペーサー粒子の移動による配向膜の損傷、スペー
サー粒子の凝集、またはスペーサー粒子周辺の配向異常
により表示不良を引き起こす。 3)スペーサー粒子径が小さくなるとパネル強度が低下
する。 さらに、これらの問題は、LCDが大画面化、高精細化
(狭ギャップ化、高解像度化)するにつれて顕著にな
る。
As a gap control technique for a liquid crystal element common to all of these modes, spacer particles such as glass beads and plastic beads are dispersed in the middle of two substrates, and the thickness of the liquid crystal layer is controlled by their size. The method of doing has been used. However, this method has the following problems. 1) When spacer particles are arranged in the effective pixel area,
Pixels in the area where the spacer particles are present do not contribute to the display, so that the contrast and aperture ratio are lowered, and the display quality is lowered. 2) Display defects are caused by damage to the alignment film due to the movement of the spacer particles, aggregation of the spacer particles, or abnormal alignment around the spacer particles. 3) The panel strength decreases as the spacer particle size decreases. Further, these problems become more remarkable as the LCD has a larger screen and higher definition (narrower gap, higher resolution).

【0004】これらの問題を解決するためにスペーサー
をフォトリソグラフィーにより形成する方法が提案され
ている。この方法によれば、感光性樹脂を基板に塗布し
所定のマスクを介し紫外線を照射した後、現像してドッ
ト状やストライプ状のスペーサーを形成することができ
る。これによると有効画素部以外の場所にスペーサーを
形成することができる。さらにこの方法であれば、セル
ギャップを感光性樹脂の塗布膜厚によりコントロールで
きるためギャップ厚みの制御が容易で、精度が高くな
る。さらに、スペーサー粒子を感光性樹脂に混合して使
用することも可能である。しかしながら、感光性樹脂の
塗布膜厚が基板面内においてばらつきがあり、その結
果、得られたスペーサーの膜厚のばらつきにつながり、
セルギャップの均一性が低くなるという問題点があっ
た。
In order to solve these problems, a method of forming a spacer by photolithography has been proposed. According to this method, it is possible to form a dot-shaped or stripe-shaped spacer by applying a photosensitive resin to a substrate, irradiating ultraviolet rays through a predetermined mask, and then developing. According to this, the spacer can be formed in a place other than the effective pixel portion. Further, according to this method, the cell gap can be controlled by the coating film thickness of the photosensitive resin, so that the control of the gap thickness is easy and the accuracy is high. Further, it is possible to use spacer particles mixed with a photosensitive resin. However, there is variation in the coating thickness of the photosensitive resin within the substrate surface, which results in variation in the thickness of the obtained spacers,
There is a problem that the uniformity of the cell gap becomes low.

【0005】液晶素子を製造する工程において、スペー
サーとラビングされた配向膜を備える方法として、以下
の3通りの方法を使用できる。 a.配向膜を塗布する前にスペーサーを形成させ、ラビ
ングを行う。 b.配向膜を塗布した後にスペーサーを形成させ、ラビ
ングを行う。 c.ラビングした配向膜にスペーサーを形成させる。 感光性樹脂により形成されたスペーサーを、これらa〜
cのすべての方法で使用可能にするためには、つぎのよ
うな特性が必要とされる。
In the process of manufacturing a liquid crystal device, the following three methods can be used as a method of providing a spacer and a rubbed alignment film. a. Before applying the alignment film, a spacer is formed and rubbing is performed. b. After applying the alignment film, a spacer is formed and rubbing is performed. c. A spacer is formed on the rubbed alignment film. The spacer formed of the photosensitive resin is
In order to be usable in all methods of c, the following properties are required.

【0006】1)スペーサーを形成させるフォトリソグ
ラフィー工程においては、歩留まり向上のため、 塗膜の厚さが面内において均一であること、 高感度であること、 現像後、現像残渣(スカム)がないこと、 形状を制御できることなどが必要である。 2)また、形成されたスペーサーには、 スペーサーの高さが面内において均一であること、 配向膜を塗布する前の洗浄工程における耐アルカリ
性、耐水性を備えていること、 配向膜に使用されている溶剤への耐溶剤性を備えてい
ること、 配向膜の焼成工程で熱変形を起こさない耐熱性を備え
ていること、 ラビングにより表示不良が生じないようラビング耐性
が高いこと、および 液晶配向不良を生じさせず、電圧保持率、残留DCを
低下させないことなどが必要である。
1) In the photolithography process for forming spacers, in order to improve the yield, the thickness of the coating film is uniform within the surface, the sensitivity is high, and there is no development residue (scum) after development. It is necessary to be able to control the shape. 2) In addition, the formed spacer has a uniform height in the plane, has alkali resistance and water resistance in the washing step before applying the alignment film, and is used for the alignment film. Solvent resistance to the solvent used, heat resistance that does not cause thermal deformation in the baking process of the alignment film, high rubbing resistance to prevent display defects due to rubbing, and liquid crystal alignment It is necessary not to cause a defect and to reduce the voltage holding ratio and the residual DC.

【0007】また従来、液晶素子の張り合わせ用接着剤
及び液晶化合物(液晶組成物)の密閉用としてシール剤
が使用されている。一般に、このシール剤としてはエポ
キシ系の熱硬化樹脂が使用されているが、このシール剤
周辺部での配向不良の発生が問題となっており、その原
因はエポキシの硬化促進剤やその樹脂自身が液晶中に溶
出するためと考えられている。そこで、感光性樹脂によ
り、シール部を形成することでシール部周辺の配向不良
を防止することができる。
Further, conventionally, a sealant has been used as an adhesive for bonding liquid crystal elements and for sealing a liquid crystal compound (liquid crystal composition). Generally, an epoxy thermosetting resin is used as this sealing agent, but the problem of the occurrence of misalignment in the peripheral area of this sealing agent is caused by the epoxy curing accelerator and the resin itself. Is believed to be dissolved in the liquid crystal. Therefore, by forming the seal portion with the photosensitive resin, it is possible to prevent the defective orientation around the seal portion.

【0008】また従来、反射型や半透過型液晶素子の拡
散反射面として、ランダムな凹凸面にアルミニウム等を
蒸着した金属表面がある。この凹凸の形状を形成させる
ため、フォトレジストが用いられている。しかしなが
ら、従来のフォトレジストでは膜厚の面内均一性が不十
分であり、反射光の分布を制御することが困難であると
いう問題がある。
Conventionally, as a diffuse reflection surface of a reflection type or semi-transmission type liquid crystal element, there is a metal surface having aluminum or the like deposited on a random uneven surface. A photoresist is used to form the uneven shape. However, the conventional photoresist has a problem that the in-plane uniformity of the film thickness is insufficient and it is difficult to control the distribution of reflected light.

【0009】また従来、VA方式を用いた液晶素子の画
素分割による視野角向上のための突起材料としてフォト
レジストが用いられているが、従来のフォトレジストで
は膜厚の面内均一性が不十分であり視野角のムラが発生
するという問題がある。
Conventionally, a photoresist has been used as a projection material for improving the viewing angle by dividing a pixel of a liquid crystal element using the VA method, but the conventional photoresist has insufficient in-plane uniformity of the film thickness. Therefore, there is a problem that the viewing angle becomes uneven.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の問題点すなわち塗膜の厚みの面内均一性を向上させる
ことが主目的であり、それに加えて上述した物理的かつ
化学的特性を備えた樹脂組成物、感光性樹脂組成物を提
供することである。さらに、詳しくは良好な液晶配向性
を有し、残像現象、電圧保持率等の電気特性の低下がな
く、開口率及びコントラストに優れ、機械的強度が高
く、液晶層の層厚の均一な液晶素子およびフラットパネ
ルディスプレー等の表示素子を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION The main object of the present invention is to improve the in-plane uniformity of the above-mentioned problems, namely, the thickness of the coating film. In addition to the above-mentioned physical and chemical characteristics. A resin composition and a photosensitive resin composition having the above are provided. More specifically, the liquid crystal has good liquid crystal orientation, has no deterioration in electrical characteristics such as afterimage phenomenon and voltage holding ratio, has excellent aperture ratio and contrast, has high mechanical strength, and has a uniform liquid crystal layer thickness. An element and a display element such as a flat panel display.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、有機高分
子化合物、有機溶媒を含む樹脂組成物、特に、感光性樹
脂組成物に一般式(I)
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have found that a resin composition containing an organic polymer compound and an organic solvent, particularly a photosensitive resin composition, has a general formula (I).

【化2】 (式中、A1Oはオキシエチレン基、A2Oはオキシプロ
ピレン基を表わし、オキシエチレン基及びオキシプロピ
レン基の配列は、ランダム、ブロックあるいはマルチブ
ロックでもよく、R1〜R3及び各R4は独立にC6
11−、C917−、C917O−C64−CO−、若しく
は水素原子を表わすが、そのうち少なくとも1つは上記
含フッ素基の何れかであり、m11、m12、m21、m22
31、m32、m 41、及びm42は独立に0〜30の整数で
あり、(m11+m12)、(m21+m22)、(m31
32)及び(m41+m42)は0〜30であり、nは0も
しくは1〜9の整数を表わす。)で示される界面活性剤
を添加し、その結果得られる樹脂組成物を用いることに
より上述の問題点を解決しうることを見出し、本発明を
完成するに至った。
[Chemical 2] (In the formula, A1O is an oxyethylene group, A2O is oxypro
Represents a pyrene group, an oxyethylene group and an oxypropyl group.
The array of len groups can be random, block or multi-block.
You can use lock, R1~ R3And each RFourIs independently C6F
11-, C9F17-, C9F17OC6HFour-CO-, young
Represents a hydrogen atom, at least one of which is
Any of fluorinated groups, m11, M12, Mtwenty one, Mtwenty two,
m31, M32, M 41, And m42Are independently integers from 0 to 30
Yes, (m11+ M12), (Mtwenty one+ Mtwenty two), (M31+
m32) And (m41+ M42) Is 0 to 30, and n is 0
Specifically, it represents an integer of 1 to 9. ) Surfactant
And to use the resulting resin composition
The present invention was found to be able to solve the above problems, and
It came to completion.

【0012】本発明は以下の構成よりなる。本発明にお
ける第1の発明は、一般式(I)で示される界面活性剤
を含有し、有機高分子化合物及び有機溶媒を必須成分と
する表示素子用樹脂組成物である。
The present invention has the following configuration. A first invention of the present invention is a resin composition for display devices, which contains a surfactant represented by the general formula (I) and contains an organic polymer compound and an organic solvent as essential components.

【0013】更に、好ましい態様は、一般式(I)にお
いて、R1〜R3及び各R4のうち少なくとも2つが含フ
ッ素基C611−、C917−もしくはC917O−C6
4−CO−を表わし、残りは水素原子である界面活性剤
を含有する上記樹脂組成物である。更に、好ましい態様
は、一般式(I)において、m12、m22、m32及びm42
は全て0である場合であり、そのような界面活性剤を含
有する上記何れかの樹脂組成物である。
Furthermore, preferred embodiments are the compounds of formula (I), R 1 ~R 3 and at least 2 Tsuga含fluorine group C 6 F 11 of the R 4 -, C 9 F 17 - or C 9 F 17 O -C 6 H
4- CO- is represented, and the rest is the above resin composition containing a surfactant which is a hydrogen atom. Furthermore, a preferred embodiment is that in the general formula (I), m 12 , m 22 , m 32 and m 42
Is the case where all are 0, which is any of the above resin compositions containing such a surfactant.

【0014】別の好ましい態様は、上記有機高分子化合
物が下記(1)及び(2)に示した重合体であり、更に
それに必須成分として下記(3)及び(4)を添加する
ことにより感光性樹脂組成物を形成させてなる請求項1
〜3の何れかに記載の樹脂組成物。 (1)不飽和カルボン酸モノマーと、その単独重合体が
アルカリ不溶性であるビニルモノマーとを構造単位に有
する共重合体(以下、アルカリ可溶性樹脂と略称す
る)、(2)アルカリ不溶性エポキシ基含有重合体、
(3)エチレン性不飽和結合含有化合物、(4)光重合
開始剤、光増感剤。更に好ましい態様は、有機溶媒が、
プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−
アセテートを含有する溶媒である上記感光性樹脂組成物
である。
In another preferred embodiment, the above organic polymer compound is a polymer shown in the following (1) and (2), and by further adding the following (3) and (4) as an essential component to it, it is exposed to light. A photosensitive resin composition is formed.
The resin composition according to any one of 1 to 3. (1) a copolymer having an unsaturated carboxylic acid monomer and a vinyl monomer whose homopolymer is alkali-insoluble as a structural unit (hereinafter abbreviated as alkali-soluble resin), (2) alkali-insoluble epoxy group-containing weight Coalescing,
(3) Ethylenically unsaturated bond-containing compound, (4) Photopolymerization initiator, Photosensitizer. In a further preferred embodiment, the organic solvent is
Propylene glycol-1-monomethyl ether-2-
The photosensitive resin composition is a solvent containing acetate.

【0015】本発明における第2の発明は、上記感光性
樹脂組成物を基板上に塗布する工程、得られた塗布膜を
プリベークする工程、フォトマスクを通して露光する工
程、現像液を用いて露光部もしくは未露光部を除去する
工程及びポストベークする工程を含むパターニング工程
からなる、パターン化された樹脂皮膜を含有する液晶素
子である。
A second aspect of the present invention is a step of applying the above-mentioned photosensitive resin composition onto a substrate, a step of prebaking the obtained coating film, a step of exposing through a photomask, and an exposing part using a developing solution. Alternatively, it is a liquid crystal element containing a patterned resin film, which comprises a patterning step including a step of removing an unexposed portion and a step of post-baking.

【0016】更に好ましい態様は、パターン化された樹
脂皮膜が液晶素子のスペーサーである液晶素子である。
別の好ましい態様は、パターン化された樹脂皮膜がビー
ズを含むスペーサーである液晶素子である。別の好まし
い態様は、パターン化された樹脂皮膜が液晶素子のシー
ル剤である液晶素子である。別の好ましい態様は、パタ
ーン化された樹脂皮膜が液晶素子の光反射散乱用の突起
である液晶素子である。別の好ましい態様は、パターン
化された樹脂皮膜が液晶素子の垂直配向モード用の突起
である液晶素子である。
A more preferred embodiment is a liquid crystal element in which the patterned resin film is a spacer of the liquid crystal element.
Another preferred embodiment is a liquid crystal device in which the patterned resin film is a spacer containing beads. Another preferred embodiment is a liquid crystal element in which the patterned resin film is a sealant for the liquid crystal element. Another preferred embodiment is a liquid crystal element in which the patterned resin film is a projection for light reflection and scattering of the liquid crystal element. Another preferred embodiment is a liquid crystal element in which the patterned resin film is a protrusion for the vertical alignment mode of the liquid crystal element.

【0017】本発明における第3の発明は、上記樹脂組
成物から得られたカラーフィルター保護膜を含有する液
晶素子である。本発明における第4の発明は、上記樹脂
組成物から得られた樹脂皮膜を含有するプラズマ・ディ
スプレイ・パネルである。本発明における第5の発明
は、上記樹脂組成物から得られた樹脂皮膜を含有する発
光ダイオード素子である。本発明における第6の発明
は、上記樹脂組成物から得られた樹脂皮膜を含有する有
機エレクトロルミネッセンス素子である。
The third invention of the present invention is a liquid crystal device containing a color filter protective film obtained from the above resin composition. A fourth invention in the present invention is a plasma display panel containing a resin film obtained from the above resin composition. A fifth aspect of the present invention is a light emitting diode element containing a resin film obtained from the above resin composition. A sixth invention in the present invention is an organic electroluminescence device containing a resin film obtained from the above resin composition.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明で用いられる界面活性剤と
しては一般式(I)で示される含フッ素グリセリン誘導
体である。この様な化合物は特開平4−145041号
公報に記載の方法により合成することができる。一般式
(I)において、C611−、C917−若しくはC9
17O−C64−CO−におけるC611−、C917
は、ヘキサフルオロプロペンのダイマー若しくはトリマ
ーの残基である。この様な化合物の1種または数種を混
合して使用することができる。界面活性剤は、下地基板
への濡れ性、レベリング性、塗布性を向上させるために
使用するものであり、樹脂組成物100重量部に対し
0.005〜1重量部、より好ましくは0.01〜0.5
重量部の添加量で用いられる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The surfactant used in the present invention is a fluorinated glycerin derivative represented by the general formula (I). Such a compound can be synthesized by the method described in JP-A-4-140441. In the general formula (I), C 6 F 11- , C 9 F 17 -or C 9 F
17 O-C 6 H 4 C 6 in -CO- F 11 -, C 9 F 17 -
Is a dimer or trimer residue of hexafluoropropene. One kind or several kinds of such compounds can be mixed and used. The surfactant is used to improve the wettability to the base substrate, the leveling property and the coating property, and is 0.005 to 1 part by weight, more preferably 0.01 part by weight with respect to 100 parts by weight of the resin composition. ~ 0.5
It is used in the addition amount of parts by weight.

【0019】式(I)で示される化合物のうちで好まし
い化合物は、R1〜R3及び各R4のうち少なくとも2つ
が含フッ素基C611−、C917−若しくはC917
−C64−CO−であり、残りが水素原子である場合で
ある。また、式(I)において、(A1O)及び(A
2O)からなるセグメントにおいてこれらの配列はラン
ダム、ブロックあるいはマルチブロックの何れでもよい
が、全てがオキシエチレン基(A1O)である場合が最
も好ましい。
[0019] Formula Preferred compounds among the compounds represented by (I) is, R 1 to R 3 and at least 2 Tsuga含fluorine group C 6 F 11 of the R 4 -, C 9 F 17 - or C 9 F 17 O
-C 6 H 4 is -CO-, is the remainder are hydrogen atoms. Further, in the formula (I), (A 1 O) and (A
In the segment consisting of 2 O), these sequences may be random, block or multi-block, but most preferably all are oxyethylene groups (A 1 O).

【0020】界面活性剤の具体例として、次の化合物を
挙げることができるが、必ずしもこれらに限定されるも
のではない。 界面活性剤A:
The following compounds may be mentioned as specific examples of the surfactant, but the surfactant is not necessarily limited to these. Surfactant A:

【化3】 (但し、オキシエチレン基の5は平均値を表わす。)[Chemical 3] (However, 5 of the oxyethylene group represents an average value.)

【0021】界面活性剤B:Surfactant B:

【化4】 (但し、オキシエチレン基の10は平均値を表わす。)[Chemical 4] (However, 10 of the oxyethylene group represents an average value.)

【0022】界面活性剤C:Surfactant C:

【化5】 (但し、オキシエチレン基の15は平均値を表わす。)[Chemical 5] (However, 15 of the oxyethylene group represents an average value.)

【0023】界面活性剤D:Surfactant D:

【化6】 (但し、オキシエチレン基の8は平均値を表わす。)[Chemical 6] (However, 8 of the oxyethylene group represents an average value.)

【0024】界面活性剤E:Surfactant E:

【化7】 (但し、オキシエチレン基の10は平均値を表わす。)[Chemical 7] (However, 10 of the oxyethylene group represents an average value.)

【0025】また、市販の界面活性剤として、(株)ネオ
ス製のFT−250、FT−251、FTX−218お
よびDFX−18などを挙げることができる。また、そ
の他の界面活性剤として、シリコン系界面活性剤、アク
リル系界面活性剤、その他のフッソ系界面活性剤なども
混合して使用することができる。
Examples of commercially available surfactants include FT-250, FT-251, FTX-218 and DFX-18 manufactured by Neos Co., Ltd. Further, as other surfactants, silicon-based surfactants, acrylic-based surfactants, other fluorine-based surfactants, etc. can be mixed and used.

【0026】本発明の樹脂組成物に用いられる有機高分
子化合物としては、その用途に応じて公知の化合物から
選択して用いることができる。例えばカラーフィルター
保護膜等の透明樹脂の場合にはアクリル系樹脂、エポキ
シ系樹脂、あるいはポリイミド系樹脂が用いられる。ア
クリル系樹脂、エポキシ系樹脂としては、(メタ)アク
リル酸グリシジル、(メタ)アクリル酸メチル等の(メ
タ)アクリル酸エステルの単独重合体若しくは共重合体
である。これら(メタ)アクリル樹脂にエポキシ樹脂を
混合した樹脂組成物、更にこれらにトリメリット酸無水
物、フタル酸等のエポキシ硬化剤を添加した樹脂組成物
である。更に後述する感光性樹脂組成物から感光性成分
である光重合開始剤、光増感剤を除いた組成物、あるい
は感光性成分とモノマー成分を除いた組成物を用いるこ
ともできる。これらのアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂
の溶媒としては後述する感光性樹脂組成物で用いられる
溶媒を使用することができる。また、パターニングが必
要な場合には、感光性樹脂組成物をそのまま使用するこ
ともできる。
The organic polymer compound used in the resin composition of the present invention may be selected from known compounds according to its use. For example, in the case of a transparent resin such as a color filter protective film, an acrylic resin, an epoxy resin, or a polyimide resin is used. The acrylic resin and epoxy resin are homopolymers or copolymers of (meth) acrylic acid esters such as glycidyl (meth) acrylate and methyl (meth) acrylate. A resin composition in which an epoxy resin is mixed with these (meth) acrylic resins, and a resin composition in which an epoxy curing agent such as trimellitic anhydride or phthalic acid is further added thereto. Further, a composition obtained by removing a photopolymerization initiator or a photosensitizer which is a photosensitive component from a photosensitive resin composition described below, or a composition obtained by removing a photosensitive component and a monomer component can also be used. As the solvent for these acrylic resins and epoxy resins, the solvent used in the photosensitive resin composition described later can be used. Further, when patterning is required, the photosensitive resin composition can be used as it is.

【0027】また、ポリイミド系樹脂は、通常溶媒に対
する溶解性に劣るためにその前駆体であるポリアミド酸
が用いられる。ポリアミド酸はテトラカルボン酸二無水
物とジアミンの反応により得られる。テトラカルボン酸
二無水物としては3,3′,4,4′−ベンゾフェノンテ
トラカルボン酸二無水物、ビス−(3,4−ジカルボキ
シフェニル)スルホン二無水物、ビス−(3,4−ジカ
ルボキシフェニル)エーテル二無水物、2,2−ビス−
(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロ
パン二無水物等である。ジアミンとしては、3,3′−
ジアミノジフェニルスルホン、2,2−ビス(4−(4
−アミノフェノキシ)フェニル)ヘキサフルオロプロパ
ン等である。これらを適当に組み合わせ、N−メチル−
2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N
−ジメチルアセトアミドあるいは後述する有機溶媒中で
反応させることによりポリアミド酸を得ることができ
る。この様な溶液にエポキシ樹脂及びトリメリット酸無
水物やフタル酸等の硬化剤を添加した系も用いることが
できる。
Further, since the polyimide resin is usually inferior in solubility in a solvent, its precursor polyamic acid is used. Polyamic acid is obtained by the reaction of tetracarboxylic dianhydride and diamine. Examples of the tetracarboxylic dianhydride include 3,3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, bis- (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride and bis- (3,4-dianhydride. Carboxyphenyl) ether dianhydride, 2,2-bis-
(3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride and the like. As a diamine, 3,3'-
Diaminodiphenyl sulfone, 2,2-bis (4- (4
-Aminophenoxy) phenyl) hexafluoropropane and the like. These are combined appropriately and N-methyl-
2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N
-Polyamic acid can be obtained by reacting in dimethylacetamide or an organic solvent described later. A system obtained by adding an epoxy resin and a curing agent such as trimellitic anhydride or phthalic acid to such a solution can also be used.

【0028】しかし、本発明の樹脂組成物として好まし
い態様は感光性樹脂組成物である。とりわけ以下に詳述
する感光性樹脂組成物が好ましい。即ち、不飽和カルボ
ン酸モノマーとその単独重合体がアルカリ不溶性である
ビニルモノマーを構造単位に有する共重合体(以下、ア
ルカリ可溶性樹脂と略称する)、エポキシ基含有重合
体、エチレン性不飽和結合含有化合物、光重合開始剤お
よび光増感剤を必須成分とし、さらに一般式(I)で表
わされる界面活性剤を添加し、これらを有機溶媒に溶解
させることにより得られる溶液である。
However, the preferred embodiment of the resin composition of the present invention is a photosensitive resin composition. The photosensitive resin composition described in detail below is particularly preferable. That is, a copolymer having a vinyl monomer in which an unsaturated carboxylic acid monomer and its homopolymer are alkali-insoluble as a structural unit (hereinafter referred to as an alkali-soluble resin), an epoxy group-containing polymer, an ethylenically unsaturated bond-containing polymer It is a solution obtained by using a compound, a photopolymerization initiator and a photosensitizer as essential components, further adding a surfactant represented by the general formula (I), and dissolving these in an organic solvent.

【0029】本発明で用いられる感光性樹脂組成物の第
1の成分であるアルカリ可溶性樹脂は、不飽和カルボン
酸モノマーの少なくとも1種とそれ以外のラジカル重合
性モノマーの少なくとも1種を重合させることにより得
られる。不飽和カルボン酸モノマーとしては、(メタ)
アクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フ
マル酸、シトラコン酸およびメサコン酸などが挙げられ
る。これらは、単独または組み合わせて用いられる。
(なお、上記の(メタ)は接頭語「メタ」が付く場合と
付かない場合の両方の化合物を含むことを示し、以下も
同様である。)
The alkali-soluble resin which is the first component of the photosensitive resin composition used in the present invention is obtained by polymerizing at least one unsaturated carboxylic acid monomer and at least one other radically polymerizable monomer. Is obtained by As the unsaturated carboxylic acid monomer, (meth)
Examples thereof include acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid and mesaconic acid. These are used alone or in combination.
(Note that the above (meta) indicates that the compound includes both compounds with and without the prefix "meta", and the same shall apply hereinafter.)

【0030】本発明で用いるアルカリ可溶性樹脂は、ア
ルカリ水溶液に対する溶解性を適度に調節するために、
不飽和カルボン酸モノマーとそれ以外のラジカル重合性
モノマーとを共重合させて得られる。アルカリ可溶性樹
脂中の不飽和カルボン酸モノマーに由来する重合成分の
含有量は、5〜40重量%であり、10〜20重量%で
あることが好ましい。不飽和カルボン酸モノマーに由来
する重合成分が、アルカリ可溶性樹脂中の5重量%未満
であるとアルカリ水溶液に溶解しにくくなり、40重量
%を超えるとアルカリ水溶液に対する溶解性が大きくな
りすぎて現像後の皮膜に膜荒れが発生しやすくなる傾向
がある。即ち、不飽和カルボン酸モノマー以外のラジカ
ル重合性モノマーは、その単独重合体がアルカリ不溶性
であるラジカル重合性モノマーであるか、またはアルカ
リ不溶性であるラジカル重合性モノマーを含むものでな
ければならない。
The alkali-soluble resin used in the present invention has an appropriate solubility in an alkaline aqueous solution,
It is obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid monomer and a radically polymerizable monomer other than that. The content of the polymerization component derived from the unsaturated carboxylic acid monomer in the alkali-soluble resin is 5 to 40% by weight, preferably 10 to 20% by weight. If the amount of the polymerization component derived from the unsaturated carboxylic acid monomer is less than 5% by weight in the alkali-soluble resin, it becomes difficult to dissolve it in the alkaline aqueous solution, and if it exceeds 40% by weight, the solubility in the alkaline aqueous solution becomes too large, and after development. Roughness of the film tends to occur. That is, the radical-polymerizable monomer other than the unsaturated carboxylic acid monomer must be a radical-polymerizable monomer whose homopolymer is alkali-insoluble or contain a radical-polymerizable monomer which is alkali-insoluble.

【0031】その単独重合体がアルカリ不溶性であるラ
ジカル重合性モノマーとして、スチレン、メチルスチレ
ン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合物、(メ
タ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、
(メタ)アクリル酸ブチル、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ク
ロトン酸エチル、マレイン酸ジエチルなどの不飽和カル
ボン酸アルキルエステル、(メタ)アクリルアミド、ジ
メチルアミノプロピル(メタ)アクリルアミド、N,N
−ジメチル(メタ)アクリルアミドなどの(メタ)アク
リルアミド類、グリシジル(メタ)アクリレート、3,
4−エポキシブチル(メタ)アクリレート、2−メチル
−3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレー
トなどのエポキシ基を有する(メタ)アクリル酸エステ
ル、3−シクロヘキセニルメチル(メタ)アクリレー
ト、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシク
ロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、トリ
シクロ[5・2・1・02,6]デカニル(メタ)アクリレー
ト、2,2,6,6−テトラメチルピペリジニル(メタ)
アクリレート、N−メチル−2,2,6,6−テトラメチ
ルピペリジニル(メタ)アクリレート、5−テトラヒド
ロフルフリルオキシカルボニルペンチルアクリレートな
どの脂環式基または複素環式基を有する(メタ)アクリ
ル酸エステルなどが例示されるが、必ずしもこれらに限
定される物ではない。そして、これらは単品または混合
品を市販品として入手できる。
As the radical-polymerizable monomer whose homopolymer is insoluble in alkali, aromatic vinyl compounds such as styrene, methylstyrene and vinyltoluene, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate,
Unsaturated carboxylic acid alkyl esters such as butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, ethyl crotonate, diethyl maleate, (meth) acrylamide, dimethylaminopropyl (meth) acrylamide , N, N
-(Meth) acrylamides such as dimethyl (meth) acrylamide, glycidyl (meth) acrylate, 3,
(Meth) acrylic acid ester having an epoxy group such as 4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2-methyl-3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, 3-cyclohexenylmethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl ( (Meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decanyl (meth) acrylate, 2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl (meth)
(Meth) acryl having an alicyclic group or a heterocyclic group such as acrylate, N-methyl-2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate, 5-tetrahydrofurfuryloxycarbonylpentyl acrylate Examples thereof include acid esters, but are not necessarily limited thereto. And these can obtain a single item or a mixed item as a commercial item.

【0032】本発明で用いられる感光性樹脂組成物の第
2の成分であるアルカリ不溶性エポキシ基含有重合体
は、エポキシ基を有するラジカル重合性モノマーの単独
重合、エポキシ基を有するラジカル重合性モノマーの2
種以上の共重合、またはエポキシ基を有するラジカル重
合性モノマーの少なくとも1種と不飽和カルボン酸では
ないラジカル重合性モノマーであってエポキシ基を有し
ない化合物の少なくとも1種との共重合により得られ
る。エポキシ基を有するラジカル重合性モノマーとして
は、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキ
シブチル(メタ)アクリレート、2−メチル−3,4−
エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレートなどが挙
げられる。これらは、単独であるいは2種以上を組み合
わせて用いられる。不飽和カルボン酸ではないラジカル
重合性モノマーであってエポキシ基を有しない化合物と
しては、その単独重合体がアルカリ不溶性であるラジカ
ル重合性モノマーのうちのエポキシ基を有する(メタ)
アクリル酸エステル以外の化合物を例として挙げること
ができる。そして、これらも単独でまたは2種以上を組
み合わせて用いることができる。
The second component of the photosensitive resin composition used in the present invention is an alkali-insoluble epoxy group-containing polymer, which is a homopolymer of a radical polymerizable monomer having an epoxy group or a radical polymerizable monomer having an epoxy group. Two
Obtained by copolymerization of one or more species or by copolymerization of at least one radical polymerizable monomer having an epoxy group with at least one radical polymerizable monomer which is not an unsaturated carboxylic acid and does not have an epoxy group. . As the radical polymerizable monomer having an epoxy group, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2-methyl-3,4-
Examples thereof include epoxycyclohexyl (meth) acrylate. These may be used alone or in combination of two or more. As a compound which is a radical-polymerizable monomer which is not an unsaturated carboxylic acid and which does not have an epoxy group, a homopolymer thereof has an epoxy group of the radical-polymerizable monomer which is insoluble in alkali (meth)
A compound other than an acrylic ester can be mentioned as an example. And these can also be used individually or in combination of 2 or more types.

【0033】なお、本発明で用いられる感光性樹脂組成
物の第2の成分であるアルカリ不溶性エポキシ基含有重
合体としては、アルカリ不溶性エポキシ樹脂を用いるこ
とも可能である。アルカリ不溶性エポキシ樹脂として
は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂などが挙げられる。具体例とし
ては、エピコート801、エピコート802、エピコー
ト807、エピコート815、エピコート825、エピ
コート827、エピコート828、エピコート152、
エピコート152、エピコート190P、エピコート1
91P(以上商品名、油化シェルエポキシ(株)製)、ア
ラルダイトCY177、アラルダイトCY184(以上
商品名、日本チバガイギー(株)製)、セロキサイド20
21、EHPE−3150(以上商品名、ダイセル化学
工業(株)製)などを挙げることができる。
It is also possible to use an alkali-insoluble epoxy resin as the alkali-insoluble epoxy group-containing polymer which is the second component of the photosensitive resin composition used in the present invention. Examples of the alkali-insoluble epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, and alicyclic epoxy resin. As a specific example, Epicoat 801, Epicoat 802, Epicoat 807, Epicoat 815, Epicoat 825, Epicoat 827, Epicoat 828, Epicoat 152,
Epicoat 152, Epicoat 190P, Epicoat 1
91P (trade name, manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), Araldite CY177, Araldite CY184 (trade name, manufactured by Nippon Ciba Geigy Co., Ltd.), Celoxide 20
21, EHPE-3150 (above trade name, manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) and the like.

【0034】アルカリ不溶性エポキシ基含有重合体中の
エポキシ基を有するラジカル重合性モノマーに由来する
重合成分の含有量は、通常20〜100重量%、好まし
くは50〜100重量%である。エポキシ基を有するラ
ジカル重合性モノマーに由来する重合成分の含有量が2
0重量%未満であると、パターニング後、熱硬化して得
られた皮膜の耐アルカリ性が低下する傾向があるためで
ある。
The content of the polymerization component derived from the radical-polymerizable monomer having an epoxy group in the alkali-insoluble epoxy group-containing polymer is usually 20 to 100% by weight, preferably 50 to 100% by weight. The content of the polymerization component derived from the radically polymerizable monomer having an epoxy group is 2
This is because if it is less than 0% by weight, the alkali resistance of the coating film obtained by thermosetting after patterning tends to decrease.

【0035】アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ不溶性
エポキシ基含有重合体は、従来の公知の重合方法によっ
て得られる。重合溶媒は、重合反応に不活性で重合反応
条件下で安定な化合物であれば何でもよい。具体的に
は、メタノール、エタノール、2−プロパノール、酢酸
エチル、酢酸ブチル、エチレングリコールモノイソプロ
ピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテ
ル、エチルカルビトール、プロピレングリコールモノメ
チルエーテル、プロピレングリコール−1−モノメチル
エーテル−2−アセテート、エチレングリコールモノブ
チルエーテルアセテート、メチルエチルケトン、シクロ
ヘキサノン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールジエチルエーテル、トルエン、キ
シレン、γ−ブチロラクトン、N,N−ジメチルアセト
アミド、テトラヒドロフランなどが好ましく、これらの
中でもメタノール、酢酸エチル、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテルなどが特に好ましい。もちろん2種以上の混合溶
媒でもよい。
The alkali-soluble resin and the alkali-insoluble epoxy group-containing polymer can be obtained by a conventionally known polymerization method. The polymerization solvent may be any compound that is inert to the polymerization reaction and stable under the polymerization reaction conditions. Specifically, methanol, ethanol, 2-propanol, ethyl acetate, butyl acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate. , Ethylene glycol monobutyl ether acetate, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol dimethyl ether,
Diethylene glycol diethyl ether, toluene, xylene, γ-butyrolactone, N, N-dimethylacetamide, tetrahydrofuran and the like are preferable, and among these, methanol, ethyl acetate, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether and the like are particularly preferable. Of course, a mixed solvent of two or more kinds may be used.

【0036】重合反応は、通常、反応液中のモノマー濃
度を5〜50重量%、同じく重合開始剤濃度を0.01
〜5重量%とし、反応温度50〜160℃、反応時間3
〜12時間で行う。分子量を調節するためにチオグリコ
ール酸などの連鎖移動剤を加えてもよい。重合反応終了
後、反応液をそのまま次のステップで使用することもで
きるが、あるいは反応液を大量の非溶媒中に投入してポ
リマーを沈殿させ、オリゴマーや未反応モノマーを除去
し、その沈殿物を乾燥して用いることもできる。反応液
を大量の非溶媒中に投入して精製する場合は、メタノー
ルと酢酸エチルの混合液を反応溶媒とし、シクロヘキサ
ンもしくは酢酸エチル/シクロヘキサン混合液を非溶媒
として使用すると乾燥性が良好で好ましい。
In the polymerization reaction, the monomer concentration in the reaction solution is usually 5 to 50% by weight, and the polymerization initiator concentration is 0.01%.
-5% by weight, reaction temperature 50-160 ° C, reaction time 3
~ 12 hours. Chain transfer agents such as thioglycolic acid may be added to control the molecular weight. After the completion of the polymerization reaction, the reaction solution can be used as it is in the next step, or the reaction solution is poured into a large amount of a non-solvent to precipitate the polymer, and oligomers and unreacted monomers are removed to precipitate the polymer. Can also be used after drying. When the reaction solution is poured into a large amount of a non-solvent for purification, it is preferable to use a mixed solution of methanol and ethyl acetate as a reaction solvent and cyclohexane or an ethyl acetate / cyclohexane mixed solution as a non-solvent because the drying property is good.

【0037】アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ不溶性
エポキシ基含有重合体はどちらも、N,N−ジメチルホ
ルムアミドを溶媒とするGPC分析で、ポリエチレンオ
キシド換算重量平均分子量(Mw)が1,000〜10
0,000であることが望ましく、2,000〜30,0
00であることが更に好ましい。この平均分子量(M
w)が1,000未満では膜の強度が弱く、現像時の膜
荒れ、パターンの剥離が起きやすい。一方、200,0
00を超えると、現像性や感度が低下したり、現像後に
残査が残ることがある。
Both the alkali-soluble resin and the polymer containing an alkali-insoluble epoxy group have a weight average molecular weight (Mw) of 1,000 to 10 in terms of polyethylene oxide in GPC analysis using N, N-dimethylformamide as a solvent.
It is desirable that it is 2,000, and it is 2,000 to 30,000.
It is more preferably 00. This average molecular weight (M
When w) is less than 1,000, the strength of the film is weak and the film is rough during development, and pattern peeling easily occurs. On the other hand, 200,0
If it exceeds 00, the developability and sensitivity may be deteriorated, or a residue may remain after development.

【0038】本発明で用いられる感光性樹脂組成物の第
3の成分であるエチレン性不飽和結合含有化合物として
は(メタ)アクリル酸エステルが好ましく、具体例とし
てメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリ
レート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキ
シル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレ
ート、ベンジル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)
アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エ
ポキシブチル(メタ)アクリレート、2−メチル−3,
4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、ω
−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレ
ート、フタル酸モノヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピル(メ
タ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリ
レート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アク
リレート、トリシクロ[5・2・1・02,6]デカニル(メ
タ)アクリレート、2,2,6,6−テトラメチルピペリ
ジニル(メタ)アクリレート、N−メチル−2,2,6,
6−テトラメチルピペリジニル(メタ)アクリレート、
5−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチル
アクリレート、
The ethylenically unsaturated bond-containing compound which is the third component of the photosensitive resin composition used in the present invention is preferably a (meth) acrylic acid ester, and specific examples thereof include methyl (meth) acrylate and ethyl (meth). ) Acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxy Butyl (meta)
Acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxybutyl (meth) acrylate, 2-methyl-3,
4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, ω
-Carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate, monohydroxyethyl phthalate (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate , Tricyclo [5.2.1 · 0 2,6 ] decanyl (meth) acrylate, 2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate, N-methyl-2,2,6,
6-tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate,
5-tetrahydrofurfuryloxycarbonylpentyl acrylate,

【0039】1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリ
レート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレ
ート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネ
オペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレン
グリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリ
メチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキ
シ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレー
ト、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレ
ート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペン
タエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジシク
ロペンタニルジ(メタ)アクリレート、エトキシ化水添
ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化
ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、エトキシ化
ビスフェノールFジ(メタ)アクリレート、エトキシ化
ビスフェノールSジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシ
プロピルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコー
ルビスヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、モノ
ヒドロキシペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレ
ートなどを挙げることができる。これらの化合物は、単
独でまたは組み合わせて用いられるが、必ずしもこれら
に限定されるものではない。
1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate , Triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, Ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate,
Pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dicyclopentanyl di (meth) acrylate, ethoxylated hydrogenated bisphenol A Di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol F di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol S di (meth) acrylate, hydroxypropyl di (meth) acrylate, diethylene glycol bishydroxypropyl (meth ) Acrylate and monohydroxypentaerythritol tri (meth) acrylate. These compounds may be used alone or in combination, but are not necessarily limited thereto.

【0040】なお、エチレン性不飽和結合含有化合物と
しては、3個以上のエチレン性不飽和結合を含有する化
合物が好ましく、上記化合物のうちからその例の一部を
選べば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレー
トおよびジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリ
レートなどを挙げることができる。
The ethylenically unsaturated bond-containing compound is preferably a compound containing three or more ethylenically unsaturated bonds, and if a part of the examples is selected from the above compounds, trimethylolpropane tri ( Examples thereof include (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol hexa (meth) acrylate.

【0041】本発明で用いられる感光性樹脂組成物の第
4の成分である光重合開始剤及び光増感剤としては公知
の化合物でよいが、それらの一種または数種を混合して
使用することができる。光重合開始剤の具体例として、
次の化合物を上げることができるが、必ずしもこれらに
限定されるものではない。すなわち、ベンゾフェノン、
キサントン、チオキサントン、イソプロピルチオキサン
トン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−エチルア
ントラキノン、アセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−
メチルプロピオフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル
−4′−イソプロピルプロピオフェノン、1−ヒドロキ
シシクロヘキシルフェニルケトン、イソプロピルベンゾ
インエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、2,2
−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2
−フェニルアセトフェノン、ベンジル、2−メチル−1
−{4−(メチルチオ)フェニル}−2−モルフォリノ
プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチル−1
−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1,3,
3′,4,4′−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニ
ル)ベンゾフェノン、N−フェニルグリシン、p−ヒド
ロキシ−N−フェニルグリシン、テトラメチルチウラム
モノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド、
p−トリルジスルフィド、2,6−ビス(p−アジドベ
ンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−ア
ジドベンジリデン)−4−t−ブチルシクロヘキサノ
ン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニ
ルフォスフィンオキサイド、2−(4−メトキシ−1−
ナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−
トリアジンなどを挙げることができる。
The photopolymerization initiator and the photosensitizer which are the fourth component of the photosensitive resin composition used in the present invention may be known compounds, but one kind or a mixture of several kinds thereof is used. be able to. As a specific example of the photopolymerization initiator,
The following compounds may be included, but are not necessarily limited to these. That is, benzophenone,
Xanthone, thioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, acetophenone, 2-hydroxy-2-
Methyl propiophenone, 2-hydroxy-2-methyl-4'-isopropylpropiophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, isopropyl benzoin ether, isobutyl benzoin ether, 2,2
-Diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2
-Phenylacetophenone, benzyl, 2-methyl-1
-{4- (Methylthio) phenyl} -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethyl-1
-(4-morpholinophenyl) -butanone-1,3,
3 ', 4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, N-phenylglycine, p-hydroxy-N-phenylglycine, tetramethylthiuram monosulfide, tetramethylthiuram disulfide,
p-Tolyl disulfide, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-t-butylcyclohexanone, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenyl Phosphine oxide, 2- (4-methoxy-1-)
Naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-
Examples thereof include triazine.

【0042】光増感剤の具体例として、次の化合物を上
げることができるが、必ずしもこれらに限定されるもの
ではない。すなわち、ミヒラーズケトン、4,4′−ジ
エチルアミノベンゾフェノン、カンファーキノン、ベン
ズアンスロン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4
−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、3,3′−カル
ボニル−ビス(7−ジエチルアミノ)クマリン、エチル
−p−(N,N−ジメチルアミノ)ベンゾエートなどを
挙げることができる。
The following compounds may be mentioned as specific examples of the photosensitizer, but they are not necessarily limited to these. That is, Michler's ketone, 4,4'-diethylaminobenzophenone, camphorquinone, benzanthrone, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4
-Isoamyl dimethylaminobenzoate, 3,3'-carbonyl-bis (7-diethylamino) coumarin, ethyl-p- (N, N-dimethylamino) benzoate and the like can be mentioned.

【0043】本発明で用いられる感光性樹脂組成物は、
第1の成分であるアルカリ可溶性樹脂、第2の成分であ
るアルカリ不溶性エポキシ基含有重合体、第3の成分で
あるエチレン性不飽和結合含有化合物、第4の成分であ
る光重合開始剤及び光増感剤、第5の成分である界面活
性剤からなるが、第3の成分または第4の成分の何れか
若しく両方を用いずに、樹脂組成物として使用すること
ができる。これらの樹脂組成物から得られた樹脂皮膜
は、感光性を必要としないカラーフィルター保護膜、プ
ラズマディスプレーパネル、発光ダイオード素子、有機
エレクトロルミネッセンス素子用に使用することができ
る。
The photosensitive resin composition used in the present invention is
Alkali-soluble resin as the first component, alkali-insoluble epoxy group-containing polymer as the second component, ethylenically unsaturated bond-containing compound as the third component, photopolymerization initiator and light as the fourth component Although it comprises a sensitizer and a surfactant which is the fifth component, it can be used as a resin composition without using either the third component or the fourth component or both of them. The resin film obtained from these resin compositions can be used for a color filter protective film which does not require photosensitivity, a plasma display panel, a light emitting diode element, and an organic electroluminescence element.

【0044】本発明で用いられる感光性樹脂組成物の各
成分の含有比率は、アルカリ可溶性樹脂とアルカリ不溶
性エポキシ基含有重合体との混合物(以下、この混合物
を「重合体成分」と表記する)100重量部に対し、エ
チレン性不飽和結合含有化合物が10〜200重量部、
好ましくは20〜150重量部、光重合開始剤が0.1
〜50重量部、好ましくは0.5〜30重量部、および
光増感剤が0.1〜30重量部、好ましくは0.5〜20
重量部、該界面活性剤が感光性樹脂組成物溶液に対し
0.005〜1重量部、好ましくは0.01〜0.5重量
部である。
The content ratio of each component of the photosensitive resin composition used in the present invention is a mixture of an alkali-soluble resin and an alkali-insoluble epoxy group-containing polymer (hereinafter, this mixture is referred to as "polymer component"). 10 to 200 parts by weight of the compound containing an ethylenically unsaturated bond with respect to 100 parts by weight,
Preferably 20 to 150 parts by weight, 0.1 photopolymerization initiator
To 50 parts by weight, preferably 0.5 to 30 parts by weight, and 0.1 to 30 parts by weight of the photosensitizer, preferably 0.5 to 20 parts by weight.
The amount of the surfactant is 0.005 to 1 part by weight, preferably 0.01 to 0.5 part by weight, based on the photosensitive resin composition solution.

【0045】重合体成分に対して、エチレン性不飽和結
合含有化合物が10重量部未満であると、感光性樹脂の
光による硬化が不十分となり、現像液への溶解性が増加
して現像後の塗膜表面に膜荒れが生じることがある。重
合体成分に対するエチレン性不飽和結合含有化合物の割
合が200重量部を超えた場合にも、塗膜表面のタック
が大きくなりすぎ、硬化後に得られる皮膜に膜荒れが生
じたり、現像後に残査が残ったりすることがある。重合
体成分に対する光重合開始剤の割合が0.1重量部未満
であると、エチレン性不飽和結合含有化合物の架橋(硬
化)反応が十分に進行しないことがある。重合体成分に
対する光重合開始剤の割合が50重量部を超えると、現
像性が低下することがある。重合体成分に対する光増感
剤の割合が0.1重量部未満であると、光重合開始剤へ
の増感作用が不十分となって感度が低下し、現像後膜荒
れが生じることがある。そして、重合体成分に対する光
増感剤の割合が30重量部を超えると、得られる皮膜の
残膜率が低下しすぎることがある。
When the amount of the ethylenically unsaturated bond-containing compound is less than 10 parts by weight with respect to the polymer component, the curing of the photosensitive resin by light becomes insufficient, and the solubility in the developing solution increases, and after development, Roughness may occur on the coating film surface. Even when the ratio of the ethylenically unsaturated bond-containing compound to the polymer component exceeds 200 parts by weight, the tack on the surface of the coating film becomes too large, and the film obtained after curing has film roughness or remains after development. May remain. If the ratio of the photopolymerization initiator to the polymer component is less than 0.1 part by weight, the crosslinking (curing) reaction of the ethylenically unsaturated bond-containing compound may not proceed sufficiently. If the ratio of the photopolymerization initiator to the polymer component exceeds 50 parts by weight, the developability may decrease. When the ratio of the photosensitizer to the polymer component is less than 0.1 part by weight, the sensitizing effect on the photopolymerization initiator is insufficient, the sensitivity is lowered, and the film may be roughened after development. . When the ratio of the photosensitizer to the polymer component exceeds 30 parts by weight, the residual film rate of the obtained film may be too low.

【0046】感光性樹脂組成物溶液に対して、該界面活
性剤の割合が0.005重量部未満であると、塗膜の膜
厚の面内均一性が低下し、ストリエーションが発生する
ことがある。また、感光性樹脂組成物溶液に対する該界
面活性剤の割合が1重量部を越えると、感光性樹脂がも
ろくなったり、耐熱性が低下することがある。
When the ratio of the surfactant to the photosensitive resin composition solution is less than 0.005 part by weight, the in-plane uniformity of the film thickness of the coating film is deteriorated and striation occurs. There is. If the ratio of the surfactant to the photosensitive resin composition solution exceeds 1 part by weight, the photosensitive resin may become brittle or the heat resistance may be lowered.

【0047】重合体成分は、前述のようにアルカリ可溶
性樹脂とアルカリ不溶性エポキシ基含有重合体との混合
物である。重合体成分中に占めるアルカリ不溶性エポキ
シ基含有重合体の含量は1〜60重量%であり、好まし
くは10〜40重量%である。アルカリ不溶性エポキシ
基含有重合体は熱硬化後の皮膜に耐アルカリ性および耐
熱性を付与するために用いられ、上記の割合が5重量%
未満になるとこれらの物性が低下する可能性があるが、
アルカリ可溶性樹脂を製造する際の共重合用モノマーと
してエポキシ基を有するラジカル重合性モノマーを用い
るか、または前記のエチレン性不飽和結合含有化合物と
してエポキシ基を含有する化合物を用いる場合には、ア
ルカリ不溶性エポキシ基含有重合体は1重量%でもよい
場合がある。
The polymer component is a mixture of the alkali-soluble resin and the alkali-insoluble epoxy group-containing polymer as described above. The content of the alkali-insoluble epoxy group-containing polymer in the polymer component is 1 to 60% by weight, preferably 10 to 40% by weight. The alkali-insoluble epoxy group-containing polymer is used for imparting alkali resistance and heat resistance to the film after thermosetting, and the above ratio is 5% by weight.
If it is less than 100%, these physical properties may deteriorate,
When using a radical polymerizable monomer having an epoxy group as a copolymerization monomer when producing an alkali-soluble resin, or when using a compound having an epoxy group as the ethylenically unsaturated bond-containing compound, an alkali-insoluble The epoxy group-containing polymer may be 1% by weight in some cases.

【0048】本発明で用いられる樹脂組成物は、本発明
の目的を損なわない範囲で、必要に応じて上記成分以外
の他の成分を含有してもよい。このような他の成分とし
ては、カップリング剤(表面処理剤)などが挙げられ
る。カップリング剤は、基板との密着性を向上させるた
めに使用するものであり、上記樹脂組成物、感光性樹脂
組成物から溶媒を除いた残りの成分(以下「固形分」と
略記する)に対し10重量部以下の添加量で用いられ
る。
The resin composition used in the present invention may contain components other than the above components, if necessary, within a range not impairing the object of the present invention. Examples of such other components include a coupling agent (surface treatment agent). The coupling agent is used to improve the adhesiveness to the substrate, and the resin composition, the remaining components of the photosensitive resin composition excluding the solvent (hereinafter abbreviated as "solid content") It is used in an amount of 10 parts by weight or less.

【0049】カップリング剤としては、シラン系、アル
ミニウム系およびチタネート系の化合物が用いられる。
具体的には、3−グリシドキシプロピルジメチルエトキ
シシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシ
シラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラ
ン、3−アクリロキシプロピルジメチルエトキシシラ
ン、3−アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラ
ン、3−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3
−メタクリロキシプロピルジメチルエトキシシラン、3
−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3
−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−メ
タクリロキシプロピルジメチルメトキシシラン、3−メ
タクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシランなどのシラン
系、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート
などのアルミニウム系、テトライソプロピルビス(ジオ
クチルホスファイト)チタネートなどのチタネート系化
合物を挙げることができる。
As the coupling agent, silane-based, aluminum-based and titanate-based compounds are used.
Specifically, 3-glycidoxypropyldimethylethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyldimethylethoxysilane, 3-acryloxypropyl Methyldiethoxysilane, 3-acryloxypropyltriethoxysilane, 3
-Methacryloxypropyldimethylethoxysilane, 3
-Methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3
-Silane-based compounds such as methacryloxypropyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropyldimethylmethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, aluminum-based compounds such as acetoalkoxyaluminum diisopropylate, A titanate compound such as tetraisopropyl bis (dioctyl phosphite) titanate can be mentioned.

【0050】本発明で用いられる感光性樹脂組成物は、
通常、適当な溶媒に溶解させて溶液状態で用いられる。
この溶液は、溶媒中に重合体成分を投入して完全に溶解
させた後、その溶液中にエチレン性不飽和結合含有化合
物、光重合開始剤、光増感剤、界面活性剤および必要に
応じてカップリング剤などを所定の割合で混合し、固形
分濃度が10〜60重量%となるように調製し、その
後、撹拌して完全に溶解させることによって得られる。
The photosensitive resin composition used in the present invention is
Usually, it is dissolved in an appropriate solvent and used in a solution state.
This solution is prepared by adding a polymer component to a solvent and completely dissolving it, and then adding an ethylenically unsaturated bond-containing compound, a photopolymerization initiator, a photosensitizer, a surfactant and, if necessary, to the solution. A coupling agent or the like is mixed at a predetermined ratio to prepare a solid content concentration of 10 to 60% by weight, and then the mixture is stirred to completely dissolve it.

【0051】この固形分濃度は、基板表面への塗布を円
滑に行うために、または塗膜の厚みを調節するための手
段として必要な設定であり、重合体成分の分子量が大き
いとき、または塗膜の厚みを薄くしようとするときには
固形分濃度を低く、また重合体成分の分子量が小さいと
き、または塗膜の厚みを厚くしようとするときには固形
分濃度を高く調整すればよい。
This solid content concentration is a setting necessary for smooth coating on the surface of the substrate or as means for adjusting the thickness of the coating film, and when the molecular weight of the polymer component is large, or The solid content concentration may be adjusted to be low when the thickness of the film is to be reduced, and the solid content concentration may be adjusted to be high when the molecular weight of the polymer component is small or when the thickness of the coating film is to be increased.

【0052】この際に使用される溶媒としては、メトキ
シジエタノール、エトキシエタノール、1−メトキシ−
2−プロパノール、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブ、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールジエチルエーテール、ジプロピレングリコールジメ
チルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセ
ロソルブアセテート、乳酸エチル、ピルビン酸エチル、
3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピ
オン酸エチル、2−ヘプタノン、酢酸ブチル、N−メチ
ル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミドな
どを挙げることができ、特に好ましくはプロピレングリ
コール−1−モノメチルエーテル−2−アセテートであ
る。これらの溶媒は単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。
The solvent used at this time is methoxydiethanol, ethoxyethanol, 1-methoxy-
2-propanol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, Ethyl pyruvate,
Methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, 2-heptanone, butyl acetate, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide and the like can be mentioned, and particularly preferably propylene glycol-1- It is monomethyl ether-2-acetate. These solvents may be used alone or in admixture of two or more.

【0053】上述のようにして調製された樹脂組成物溶
液、あるいは感光性樹脂組成物溶液を、基板表面に塗布
し、加熱により溶媒を除去することにより塗膜を形成す
ることができる。基板表面への感光性樹脂組成物溶液の
塗布は、スピンコート法、ロールコート法、ディッピン
グ法など従来からの公知の方法により行うことができ
る。次いで、この塗膜はホットプレート、オーブンなど
で加熱、乾燥(以下「プリベーク」と略記する)され
る。プリベーク条件は各成分の種類、配合割合によって
異なるが、通常70〜110℃で、ホットプレートなら
1〜5分間、オーブンなら5〜15分間である。
A coating film can be formed by applying the resin composition solution or the photosensitive resin composition solution prepared as described above on the surface of a substrate and removing the solvent by heating. The photosensitive resin composition solution can be applied to the surface of the substrate by a conventionally known method such as a spin coating method, a roll coating method, or a dipping method. Next, this coating film is heated and dried (hereinafter abbreviated as "prebaking") on a hot plate, an oven, or the like. The pre-baking condition varies depending on the type and blending ratio of each component, but is usually 70 to 110 ° C., 1 to 5 minutes for a hot plate, and 5 to 15 minutes for an oven.

【0054】基板としては、たとえば、白板ガラス、青
板ガラス、シリカコート青板ガラスなどの透明ガラス基
板、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂、
塩化ビニール樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリアミド
イミド、ポリイミドなどの合成樹脂製シート、フィルム
または基板、アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステ
ンレス板などの金属基板、その他セラミック板、光電変
換素子を有する半導体基板などが挙げることができる。
これらの基板には所望により、シランカップリング剤な
どの薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、
スパッタリング、気相反応法、真空蒸着などの前処理を
行うことができる。
As the substrate, for example, a transparent glass substrate such as white plate glass, blue plate glass, silica-coated blue plate glass, polycarbonate, polyester, acrylic resin,
Sheets of synthetic resin such as vinyl chloride resin, aromatic polyamide resin, polyamideimide, and polyimide, film or substrate, metal substrate such as aluminum plate, copper plate, nickel plate, and stainless plate, other ceramic plate, semiconductor substrate having photoelectric conversion element And so on.
If desired, these substrates may be treated with a chemical such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating,
A pretreatment such as sputtering, a vapor phase reaction method, or vacuum deposition can be performed.

【0055】本発明で用いられる感光性樹脂組成物から
得られた樹脂皮膜は、液晶素子用の電極基板上に塗膜を
形成させた後、所定のパターンが形成されたフォトマス
クを介して紫外線などの放射線を照射した後、現像液に
より現像し、不要な部分を除去することにより得られ
る。該樹脂皮膜を形成する際に使用される放射線として
は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線などを
挙げることができる。特に好ましくは、波長が190n
m〜450nmの範囲の放射線である。放射線の照射エ
ネルギーは、好ましくは1〜1000mJ/cm2であ
る。
The resin film obtained from the photosensitive resin composition used in the present invention is formed by forming a coating film on an electrode substrate for a liquid crystal element, and then applying ultraviolet rays through a photomask on which a predetermined pattern is formed. It is obtained by irradiating radiation such as, and then developing with a developing solution to remove unnecessary portions. Examples of the radiation used when forming the resin film include visible rays, ultraviolet rays, far ultraviolet rays, electron beams, and X-rays. Particularly preferably, the wavelength is 190n
Radiation in the range of m to 450 nm. The irradiation energy of radiation is preferably 1 to 1000 mJ / cm 2 .

【0056】現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化
ナトリウム、水酸化カリウムなどの無機アルカリ類、ま
たはテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエ
チルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アルカリ類な
どの水溶液を用いることができる。また、上記アルカリ
水溶液にメタノール、エタノール、界面活性剤などを適
当量添加して用いることもできる。現像方法は、ディッ
ピング法、シャワー法、スプレー法など何れを用いても
よく、現像時間は通常30〜240秒であり、現像後、
流水でリンスし、乾燥させることによりパターンを形成
させることができる。
As the developing solution, an aqueous solution of an inorganic alkali such as sodium carbonate, sodium hydroxide or potassium hydroxide, or an organic alkali such as tetramethylammonium hydroxide or tetraethylammonium hydroxide can be used. In addition, it is also possible to add an appropriate amount of methanol, ethanol, a surfactant or the like to the above alkaline aqueous solution and use it. The developing method may be any of a dipping method, a shower method, a spray method, etc., and the developing time is usually 30 to 240 seconds.
A pattern can be formed by rinsing with running water and drying.

【0057】その後、このパターンをホットプレート、
オーブンなどで加熱(以下「ポストベーク」と略記す
る)することによって、エチレン性不飽和結合含有化合
物の未反応分の架橋をさらに進めると同時に溶媒を完全
に除去し、所定の樹脂皮膜パターンを得ることができ
る。ポストベーク条件は各成分を構成する化合物の種
類、配合割合によって異なるが、通常180〜250℃
で、ホットプレートなら5〜30分間、オーブンなら3
0〜90分間である。
After that, this pattern was applied to a hot plate,
By heating in an oven or the like (hereinafter abbreviated as "post-baking"), the unreacted portion of the ethylenically unsaturated bond-containing compound is further crosslinked, and at the same time the solvent is completely removed to obtain a predetermined resin film pattern. be able to. The post-baking conditions vary depending on the type of compound constituting each component and the compounding ratio, but usually 180 to 250 ° C.
Then 5-30 minutes for hot plate, 3 for oven
0 to 90 minutes.

【0058】上述したように本発明の該界面活性剤を必
須成分とする感光性樹脂組成物から、この感光性樹脂組
成物を基板上に塗布する工程、得られた塗膜をプリベー
クする工程、その塗膜にフォトマスクを通して露光する
工程、現像液を用いて未露光部を除去する工程及びポス
トベークする工程より構成されるパターニング工程より
なり、上記各工程の条件を調整することにより、膜厚の
面内均一性に優れたパターン化された皮膜を得ることが
できる。該界面活性剤の感光性樹脂組成物溶液に対する
添加量が0.005重量部未満では、得られたパターン
化された樹脂皮膜の膜厚の面内均一性が低く、逆に添加
量が1重量部を越えると、パターン化された樹脂皮膜が
もろくなり、耐熱性も低下し好ましくない。該界面活性
剤の添加量が、樹脂組成物、感光性樹脂組成物溶液に対
して0.005〜1重量部である場合に限って、膜厚の
面内均一性に優れた塗膜、パターンを形成させることが
可能であり、パターン化されたその皮膜も耐液晶性を有
すると共に、良好な物理的かつ化学的特性を備えてい
る。
As described above, a step of applying the photosensitive resin composition of the present invention on the substrate from the photosensitive resin composition containing the surfactant as an essential component, a step of prebaking the obtained coating film, It consists of a patterning process consisting of exposing the coating film through a photomask, removing the unexposed part using a developing solution, and post-baking. It is possible to obtain a patterned film having excellent in-plane uniformity of. When the amount of the surfactant added to the photosensitive resin composition solution is less than 0.005 part by weight, the in-plane uniformity of the film thickness of the obtained patterned resin film is low, and conversely, the amount added is 1 part by weight. If it exceeds the amount, the patterned resin film becomes brittle and the heat resistance is lowered, which is not preferable. Only when the amount of the surfactant added is 0.005 to 1 part by weight with respect to the resin composition or the photosensitive resin composition solution, a coating film or pattern having excellent in-plane uniformity of film thickness Can be formed, and the patterned film also has liquid crystal resistance and has good physical and chemical properties.

【0059】本発明の液晶素子は、前述の本発明で用い
られる感光性樹脂組成物により形成される樹脂皮膜を備
えていることが特徴である。その液晶素子の作製方法に
ついて説明する。スペーサーは液晶層の層厚を制御する
物であるが、以下のような方法で作製することができ
る。すなわち、上、下の基板の内側には、透明導電性電
極(例えばインジウム−スズ酸化物(ITO)、酸化ス
ズ(SnOX)等) と配向処理された配向膜が順次積層
されている。その配向膜表面または配向膜が積層されて
いない電極表面に該樹脂皮膜を、目的とする厚さになる
ように感光性樹脂組成物を塗布し、フォトマスクを通し
て光照射し、その後、現像、焼成を行い開口部以外の場
所(例えば、画素間)に柱状のスペーサーを形成する。
樹脂皮膜は上下基板のどちらか一方、若しくは両方に作
成してもよい。ここで、該スペーサーは、点状でも線状
でも良いが各画素間の光抜けを防止する点から後者の方
が好ましい。さらに、該樹脂皮膜中に従来から用いられ
てきたビーズを分散させ、固定させて使用することもで
きる。
The liquid crystal element of the present invention is characterized in that it has a resin film formed of the above-mentioned photosensitive resin composition used in the present invention. A method for manufacturing the liquid crystal element will be described. The spacer controls the thickness of the liquid crystal layer, and can be produced by the following method. That is, inside the upper and lower substrates, transparent conductive electrodes (for example, indium-tin oxide (ITO), tin oxide (SnO X ), etc.) and an alignment film subjected to alignment treatment are sequentially laminated. The resin film is applied to the surface of the alignment film or the surface of the electrode on which the alignment film is not laminated, the photosensitive resin composition is applied so as to have a desired thickness, and light irradiation is performed through a photomask, and then development and baking are performed. Then, columnar spacers are formed in places other than the openings (for example, between pixels).
The resin film may be formed on either or both of the upper and lower substrates. Here, the spacer may have a dot shape or a linear shape, but the latter is preferable from the viewpoint of preventing light leakage between pixels. Further, conventionally used beads can be dispersed and fixed in the resin film for use.

【0060】また、感光性樹脂組成物をガラス基板上に
塗布し、同様にパターニングを行い基板の周辺部のみ該
組成物を残し、その上に別の基板を対向するように液晶
セルを組み立て、圧着し、焼成することによりシール材
を液晶素子に組み込むことができる。また、反射型や半
透過型液晶素子の拡散反射面として、ランダムな凹凸面
にアルミニウム等を蒸着した金属表面がある。この凹凸
の形状をそのまま保持した面を形成するため、感光性樹
脂組成物を用いてその上に樹脂皮膜を形成し、反射光の
分布を制御した液晶素子を作製することができる。
Further, the photosensitive resin composition was applied onto a glass substrate and patterned in the same manner, leaving the composition only in the peripheral portion of the substrate, and assembling a liquid crystal cell so that another substrate was opposed to the composition. The sealing material can be incorporated into the liquid crystal element by pressure bonding and firing. Further, as a diffuse reflection surface of a reflection type or semi-transmission type liquid crystal element, there is a metal surface having aluminum or the like deposited on a random uneven surface. Since the surface which retains the shape of the unevenness is formed as it is, it is possible to form a resin film on the photosensitive resin composition and form a liquid crystal element in which the distribution of reflected light is controlled.

【0061】また、VA方式を用いた液晶素子の画素分
割による視野角向上のための突起部を該樹脂皮膜で形成
した液晶素子を作製することができる。さらに、樹脂組
成物、感光性樹脂組成物から得られる該樹脂皮膜は配向
処理剤としても用いることができ、また、感光性樹脂組
成物に顔料を分散させた樹脂皮膜としてカラーフィルタ
ーに使用することも可能である。また、各種保護膜や絶
縁膜として使用することも可能である。
Further, it is possible to manufacture a liquid crystal element in which a projection portion for improving the viewing angle by dividing the pixel of the liquid crystal element using the VA method is formed with the resin film. Further, the resin composition, the resin film obtained from the photosensitive resin composition can be used also as an alignment treatment agent, and can be used as a resin film in which a pigment is dispersed in a photosensitive resin composition for a color filter. Is also possible. It can also be used as various protective films and insulating films.

【0062】本発明のパターン化された樹脂皮膜の形状
は、特に制限はないが、真上から見た場合、正方形、長
方形、円形、楕円形であることが好ましく、長方形、楕
円形の場合、長軸方向が、ラビング方向と水平もしくは
直交しているのが好ましい。また、真横から見た場合、
正方形、長方形、台形、半円形であるのが好ましい。
尚、台形の形状は該樹脂皮膜に配向膜を塗布、ラビング
処理する際、均一に配向膜を塗布する際、または均一な
ラビング処理をする際に有効である
The shape of the patterned resin film of the present invention is not particularly limited, but when viewed from directly above, it is preferably square, rectangular, circular or elliptical, and in the case of rectangular or elliptical, The major axis direction is preferably horizontal or perpendicular to the rubbing direction. Also, when viewed from the side,
It is preferably square, rectangular, trapezoidal or semicircular.
The trapezoidal shape is effective when applying an alignment film to the resin film and rubbing it, when uniformly applying the alignment film, or when uniformly rubbing it.

【0063】このようにして形成される該樹脂皮膜は点
状でも線状でも良い。さらに、該樹脂皮膜中に従来から
用いられてきたビーズを分散させ、固定させて使用する
こともできる。また、感光性樹脂組成物をガラス基板上
に塗布し、同様にパターニングを行い基板の周辺部のみ
該組成物を残し、その上に別の基板を対向するように液
晶セルを組み立て、圧着し、焼成することにより該組成
物をシール材として液晶素子に組み込むことができる。
さらに、該樹脂皮膜上に配向処理を行う膜を形成させて
もよい。
The resin film thus formed may be dot-shaped or linear. Further, conventionally used beads can be dispersed and fixed in the resin film for use. Further, the photosensitive resin composition is applied onto a glass substrate, and the patterning is performed in the same manner to leave the composition only in the peripheral portion of the substrate, and a liquid crystal cell is assembled so as to face another substrate thereon, and pressure-bonded, The composition can be incorporated into a liquid crystal element as a sealant by firing.
Further, a film to be oriented may be formed on the resin film.

【0064】液晶素子は、上記のようにして形成された
上下の素子基板の位置を合わせて圧着後、熱処理して組
み合わせて後、液晶を注入し、注入口を封止することに
よって製作される。また、液晶素子基板上に液晶を散布
した後、基板を重ね合わせ、液晶が漏れないように密封
して液晶素子を製作してもよい。このようにして、本発
明の面内の膜厚均一性に優れた耐液晶性を有する樹脂皮
膜を液晶素子中に存在させることができる。
The liquid crystal element is manufactured by aligning the positions of the upper and lower element substrates formed as described above, pressure-bonding, heat-treating and combining, then injecting liquid crystal and sealing the injection port. . Alternatively, the liquid crystal device may be manufactured by spraying the liquid crystal on the liquid crystal device substrate, stacking the substrates, and sealing the liquid crystal device so as not to leak. In this way, the resin film having liquid crystal resistance excellent in the in-plane film thickness uniformity of the present invention can be present in the liquid crystal element.

【0065】なお、本発明の液晶素子に用いられる液
晶、すなわち液晶化合物および液晶組成物については特
に限定されず、特開平9−281506号公報、特開平
10−168134号公報、特開平11−15154号
公報の各公報に記載されたいずれの液晶化合物および液
晶組成物をも使用することができる。
The liquid crystal used in the liquid crystal device of the present invention, that is, the liquid crystal compound and the liquid crystal composition are not particularly limited, and are disclosed in JP-A-9-281506, JP-A-10-168134, and JP-A-11-15154. Any of the liquid crystal compounds and liquid crystal compositions described in each of the publications can be used.

【0066】本発明の液晶素子に用いられる配向膜とし
ては、液晶分子の配向を規制するものであれば、特に限
定されるものでなく、無機物もしくは有機物のどちらで
もよい。一般的にはポリイミド系、ポリアミド系の樹脂
が多く用いられているが、具体的には、次の式(1)ま
たは式(2)で表される構造単位を有する樹脂が好まし
い。
The alignment film used in the liquid crystal device of the present invention is not particularly limited as long as it controls the alignment of liquid crystal molecules, and may be an inorganic substance or an organic substance. Generally, polyimide-based and polyamide-based resins are often used, but specifically, resins having a structural unit represented by the following formula (1) or formula (2) are preferable.

【0067】[0067]

【化8】 (式中、Gはジアミン化合物の残基であって、芳香族基
を含有する有機基または脂肪族基であり、Yはテトラカ
ルボン酸化合物の残基であって、脂肪族基、芳香族基、
脂環式基、縮合環式基、架橋環式基、またはこれらの基
の2種以上を含む有機基である。)
[Chemical 8] (In the formula, G is a residue of a diamine compound, which is an organic group or an aliphatic group containing an aromatic group, and Y is a residue of a tetracarboxylic acid compound, which is an aliphatic group or an aromatic group. ,
It is an alicyclic group, a condensed cyclic group, a bridged cyclic group, or an organic group containing two or more of these groups. )

【0068】2価の有機基Gの具体例としては、つぎの
式(G1)〜(G10)で示される基を挙げることがで
きる。
Specific examples of the divalent organic group G include groups represented by the following formulas (G1) to (G10).

【0069】[0069]

【化9】 (式中、R1はHまたは炭素数1〜10のアルキルを示
し、R2は炭素数1〜10のアルキルを示し、nは1〜
3の整数を示し、mは1または2を示す。)
[Chemical 9] (In the formula, R 1 represents H or alkyl having 1 to 10 carbons, R 2 represents alkyl having 1 to 10 carbons, and n is 1 to 1).
3 is an integer, and m is 1 or 2. )

【0070】4価の有機基Yの具体例としては式(Y
1)〜(Y11)で示される基を挙げることができる。
Specific examples of the tetravalent organic group Y are represented by the formula (Y
Examples thereof include groups represented by 1) to (Y11).

【0071】[0071]

【化10】 [Chemical 10]

【0072】(式中、R1はHまたは炭素数1〜10の
アルキルであり、qは0〜4の整数であり、rは0また
は1である。)
(In the formula, R 1 is H or alkyl having 1 to 10 carbon atoms, q is an integer of 0 to 4, and r is 0 or 1.)

【0073】[0073]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではな
い。 (アルカリ可溶性樹脂[A]の合成)実施例、比較例で
用いるアルカリ可溶性樹脂[A−1]〜[A−4]をつ
ぎのようにして合成した。
EXAMPLES The present invention will now be described in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. (Synthesis of Alkali-Soluble Resin [A]) Alkali-soluble resins [A-1] to [A-4] used in Examples and Comparative Examples were synthesized as follows.

【0074】<[A−1]の合成>撹拌機、冷却管、窒
素導入管および温度計を装着したセパラブルフラスコ
に、樹脂原料としてメタクリル酸20g、ベンジルメタ
クリレート130g、2−ヒドロキシエチルメタクリレ
ート20gおよび5−テトラヒドロフルフリルオキシカ
ルボニルペンチルアクリレート30g、重合開始剤とし
て2,2′−アゾビスイソブチロニトリル1g、連鎖移
動剤としてチオグリコール酸3g、溶媒としてメタノー
ル167gおよび酢酸エチル333gを仕込んだ。その
後、30分間窒素でフラスコ内の空気を除去し、油浴で
フラスコの内温を65℃に保って6時間重合反応を行っ
た。その後、重合液にシクロヘキサン3,000gを加
えてポリマーを析出させ、上澄みをデカンテーションで
除いた後、40℃で20時間真空乾燥してアルカリ可溶
性樹脂[A−1]を得た。得られた[A−1]のポリエ
チレンオキシド換算重量平均分子量は7,000であっ
た。
<Synthesis of [A-1]> In a separable flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen introduction tube and a thermometer, 20 g of methacrylic acid, 130 g of benzyl methacrylate, 20 g of 2-hydroxyethyl methacrylate as resin raw materials and 30 g of 5-tetrahydrofurfuryloxycarbonylpentyl acrylate, 1 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator, 3 g of thioglycolic acid as a chain transfer agent, 167 g of methanol as a solvent and 333 g of ethyl acetate were charged. Then, the air in the flask was removed by nitrogen for 30 minutes, and the internal temperature of the flask was kept at 65 ° C. in an oil bath to carry out a polymerization reaction for 6 hours. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by vacuum drying at 40 ° C. for 20 hours to obtain an alkali-soluble resin [A-1]. The polyethylene oxide-equivalent weight average molecular weight of the obtained [A-1] was 7,000.

【0075】<[A−2]の合成>[A−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてメタクリル酸30g、ベ
ンジルメタクリレート130g、2−ヒドロキシエチル
メタクリレート20gおよび5−テトラヒドロフルフリ
ルオキシカルボニルペンチルアクリレート20g、重合
開始剤として2,2′−アゾビスイソブチロニトリル1
g、連鎖移動剤としてチオグリコール酸3g、溶媒とし
てメタノール167gおよび酢酸エチル333gを仕込
んだ。その後、30分間窒素でフラスコ内の空気を除去
し、油浴でフラスコの内温を65℃に保って6時間重合
反応を行った。その後、重合液にシクロヘキサン3,0
00gを加えてポリマーを析出させ、上澄みをデカンテ
ーションで除いた後、40℃で20時間真空乾燥してア
ルカリ可溶性樹脂[A−2]を得た。得られた[A−
2]のポリエチレンオキシド換算重量平均分子量は7,
200であった。
<Synthesis of [A-2]> Using the same equipment as in [A-1], 30 g of methacrylic acid, 130 g of benzyl methacrylate, 20 g of 2-hydroxyethyl methacrylate and 5-tetrahydrofurfuryloxycarbonyl were used as resin raw materials. 20 g of pentyl acrylate, 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator 1
g, thioglycolic acid 3 g as a chain transfer agent, methanol 167 g and ethyl acetate 333 g as a solvent were charged. Then, the air in the flask was removed by nitrogen for 30 minutes, and the internal temperature of the flask was kept at 65 ° C. in an oil bath to carry out a polymerization reaction for 6 hours. Then, cyclohexane 3,0 was added to the polymerization solution.
00 g was added to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by vacuum drying at 40 ° C. for 20 hours to obtain an alkali-soluble resin [A-2]. Obtained [A-
2] has a polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of 7,
It was 200.

【0076】<[A−3]の合成>[A−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてメタクリル酸20g、ベ
ンジルメタクリレート90g、メチルメタクリレート8
0gおよび2−ヒドロキシエチルメタクリレート10
g、重合開始剤として2,2′−アゾビスイソブチロニ
トリル1g、連鎖移動剤としてチオグリコール酸3g、
溶媒としてメタノール167gおよび酢酸エチル333
gを仕込んだ。その後、30分間窒素でフラスコ内の空
気を除去し、油浴でフラスコの内温を65℃に保って6
時間重合反応を行った。その後、重合液にシクロヘキサ
ン3,000gを加えてポリマーを析出させ、上澄みを
デカンテーションで除いた後、40℃で20時間真空乾
燥してアルカリ可溶性樹脂[A−3]を得た。得られた
[A−3]のポリエチレンオキシド換算重量平均分子量
は8,300であった。
<Synthesis of [A-3]> Using the same apparatus as in [A-1], 20 g of methacrylic acid, 90 g of benzyl methacrylate and 8 g of methyl methacrylate were used as resin raw materials.
0 g and 2-hydroxyethyl methacrylate 10
g, 2,2′-azobisisobutyronitrile 1 g as a polymerization initiator, thioglycolic acid 3 g as a chain transfer agent,
As a solvent, 167 g of methanol and ethyl 333
I charged g. Then, the air in the flask was removed with nitrogen for 30 minutes, and the internal temperature of the flask was kept at 65 ° C. in an oil bath for 6 minutes.
The polymerization reaction was carried out for a time. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by vacuum drying at 40 ° C. for 20 hours to obtain an alkali-soluble resin [A-3]. The weight average molecular weight of the obtained [A-3] in terms of polyethylene oxide was 8,300.

【0077】<[A−4]の合成>[A−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてメタクリル酸40g、ジ
シクロペンタニルメタクリレート110g、2−ヘキサ
ヒドロフタロイルオキシエチルメタクリレート30gお
よびイソプレン20g、重合開始剤として2,2′−ア
ゾビスイソブチロニトリル1g、連鎖移動剤としてチオ
グリコール酸3g、溶媒として2−ヒドロキシプロピオ
ン酸エチル500gを仕込んだ。その後、30分間窒素
でフラスコ内の空気を除去し、油浴でフラスコの内温を
90℃に保って6時間重合反応を行った。その後、重合
液にメタノール3,000gを加えてポリマーを析出さ
せ、上澄みをデカンテーションで除いた後、40℃で2
0時間真空乾燥してアルカリ可溶性樹脂[A−4]を得
た。得られた[A−4]のポリエチレンオキシド換算重
量平均分子量は7,100であった。
<Synthesis of [A-4]> Using a device similar to that of [A-1], 40 g of methacrylic acid, 110 g of dicyclopentanyl methacrylate, 30 g of 2-hexahydrophthaloyloxyethyl methacrylate as a resin raw material, and 20 g of isoprene, 1 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator, 3 g of thioglycolic acid as a chain transfer agent, and 500 g of ethyl 2-hydroxypropionate as a solvent were charged. Thereafter, the air in the flask was removed with nitrogen for 30 minutes, and the internal temperature of the flask was kept at 90 ° C. in an oil bath to carry out a polymerization reaction for 6 hours. After that, 3,000 g of methanol was added to the polymerization solution to precipitate the polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by 2 ° C. at 40 ° C.
It was vacuum dried for 0 hour to obtain an alkali-soluble resin [A-4]. The weight average molecular weight of the obtained [A-4] in terms of polyethylene oxide was 7,100.

【0078】(アルカリ不溶性エポキシ基含有重合体
[B]の合成)実施例、比較例で用いるアルカリ不溶性
エポキシ基含有重合体[B−1]〜[B−4]をつぎの
ように合成した。
(Synthesis of alkali-insoluble epoxy group-containing polymer [B]) The alkali-insoluble epoxy group-containing polymers [B-1] to [B-4] used in Examples and Comparative Examples were synthesized as follows.

【0079】<[B−1]の合成>撹拌機、冷却管、窒
素導入管および温度計を装着したセパラブルフラスコ
に、樹脂原料としてグリシジルメタクリレート160g
およびメチルメタクリレート40g、重合開始剤として
2,2′−アゾビスイソブチロニトリル8g、溶媒とし
てメチルエチルケトン800gを仕込み、30分間窒素
でフラスコ内の空気を除去してから、フラスコを油浴で
内温を80℃に保って6時間重合反応を行った。その
後、重合液にシクロヘキサン3,000gを加えてポリ
マーを析出させ、上澄みをデカンテーションで除いた
後、40℃で20時間真空乾燥して[B−1]を得た。
[B−1]のポリエチレンオキシド換算重量平均分子量
は6,100であった。
<Synthesis of [B-1]> 160 g of glycidyl methacrylate as a resin raw material was placed in a separable flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen introducing tube and a thermometer.
Then, 40 g of methyl methacrylate, 2,2′-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator, 8 g of methyl ethyl ketone as a solvent were charged, and after removing air in the flask with nitrogen for 30 minutes, the flask was heated to an internal temperature in an oil bath. Was kept at 80 ° C. for 6 hours to carry out a polymerization reaction. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by vacuum drying at 40 ° C. for 20 hours to obtain [B-1].
The polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of [B-1] was 6,100.

【0080】<[B−2]の合成>[B−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてグリシジルメタクリレー
ト160gおよび2−ヒドロキシエチルメタクリレート
40g、重合開始剤として2,2′−アゾビスイソブチ
ロニトリル8g、溶媒としてメチルエチルケトン800
gを仕込み、30分間窒素でフラスコ内の空気を除去し
てから、フラスコを油浴で内温を80℃に保って6時間
重合反応を行った。その後、重合液にシクロヘキサン
3,000gを加えてポリマーを析出させ、上澄みをデ
カンテーションで除いた後、40℃で20時間真空乾燥
して[B−2]を得た。[B−2]のポリエチレンオキ
シド換算重量平均分子量は6,100であった。
<Synthesis of [B-2]> Using the same apparatus as in [B-1], 160 g of glycidyl methacrylate and 40 g of 2-hydroxyethyl methacrylate as resin raw materials and 2,2'-azobis as a polymerization initiator. Isobutyronitrile 8g, solvent methyl ethyl ketone 800
After charging g, the air in the flask was removed with nitrogen for 30 minutes, and then the polymerization reaction was carried out for 6 hours while maintaining the internal temperature of the flask at 80 ° C. in an oil bath. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, the supernatant was removed by decantation, and vacuum drying was performed at 40 ° C. for 20 hours to obtain [B-2]. The polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of [B-2] was 6,100.

【0081】<[B−3]の合成>[B−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてグリシジルメタクリレー
ト160gおよびトリシクロ{5・2・1・02.6}デカニ
ル(メタ)アクリレート40g、重合開始剤として2,
2′−アゾビスイソブチロニトリル8g、溶媒としてメ
チルエチルケトン800gを仕込み、30分間窒素でフ
ラスコ内の空気を除去してから、フラスコを油浴で内温
を80℃に保って6時間重合反応を行った。その後、重
合液にシクロヘキサン3,000gを加えてポリマーを
析出させ、上澄みをデカンテーションで除いた後、40
℃で20時間真空乾燥して[B−3]を得た。[B−
3]のポリエチレンオキシド換算重量平均分子量は7,
000であった。
[0081] <[B-3] Synthesis of> [B-1] using the same apparatus as glycidyl methacrylate 160g and tricyclo as resin raw material {5-2, 1, 0 2.6} decanyl (meth) acrylate 40 g, 2, as a polymerization initiator
8 g of 2'-azobisisobutyronitrile and 800 g of methyl ethyl ketone as a solvent were charged, the air in the flask was removed by nitrogen for 30 minutes, and then the internal temperature of the flask was kept at 80 ° C in an oil bath to carry out a polymerization reaction for 6 hours. went. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation.
It vacuum-dried at 20 degreeC for 20 hours, and obtained [B-3]. [B-
3] has a weight average molecular weight in terms of polyethylene oxide of 7,
It was 000.

【0082】<[B−4]の合成>[B−1]と同様の
装置を用いて、樹脂原料としてグリシジルメタクリレー
ト200g、重合開始剤として2,2′−アゾビスイソ
ブチロニトリル8g、溶媒としてメチルエチルケトン8
00gを仕込み、30分間窒素でフラスコ内の空気を除
去してから、フラスコを油浴で内温を80℃に保って6
時間重合反応を行った。その後、重合液にシクロヘキサ
ン3,000gを加えてポリマーを析出させ、上澄みを
デカンテーションで除いた後、40℃で20時間真空乾
燥して[B−4]を得た。[B−4]のポリエチレンオ
キシド換算重量平均分子量は6,200であった。
<Synthesis of [B-4]> Using the same apparatus as in [B-1], 200 g of glycidyl methacrylate as a resin raw material, 8 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator, and a solvent. As methyl ethyl ketone 8
Charge 00 g, remove the air in the flask with nitrogen for 30 minutes, and then keep the internal temperature of the flask at 80 ° C. in an oil bath for 6 minutes.
The polymerization reaction was carried out for a time. Then, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate a polymer, and the supernatant was removed by decantation, followed by vacuum drying at 40 ° C. for 20 hours to obtain [B-4]. The polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of [B-4] was 6,200.

【0083】以下に、膜厚の面内均一性に優れた本発明
の樹脂皮膜の調製、その性能評価、それを用いた液晶素
子の作製、およびそれらの評価を行った結果を以下の実
施例にて説明する。
In the following, the resin film of the present invention having excellent in-plane uniformity of film thickness was prepared, its performance was evaluated, a liquid crystal device using the same was prepared, and the results of those evaluations are shown in the following Examples. Will be explained.

【0084】(感光性樹脂組成物の調製) 実施例1 アルカリ可溶性樹脂[A−1]100g、アルカリ不溶
性エポキシ基含有重合体[B−1]15g、およびプロ
ピレングリコール−1−モノメチル−2−アセテート2
50gを混合し溶解させた後、エチレン性不飽和結合含
有化合物としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ートおよびジペンタエリスリトールペンタアクリレート
の混合物(東亞合成化学工業(株)製「アロニックスM4
00」)60gと、光重合開始剤として、3,3′,4,
4′−テトラ(t−ブチルペルオキシカルボニル)ベン
ゾフェノンの25重量%トルエン溶液40g、光増感剤
として、4,4′−ジメチルアミノベンゾフェノン1
g、および固形分濃度が30重量%になるようにプロピ
レングリコール−1−モノメチル−2−アセテートを加
えた。さらに、界面活性剤G−1(界面活性剤A)0.
062gを混合し、その後、均一な溶液が得られるまで
攪拌し、孔径0.2μmのメンブランフィルターで濾過
して感光製樹脂組成物の溶液を得た。
(Preparation of Photosensitive Resin Composition) Example 1 100 g of alkali-soluble resin [A-1], 15 g of alkali-insoluble epoxy group-containing polymer [B-1], and propylene glycol-1-monomethyl-2-acetate. Two
After mixing and dissolving 50 g, a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as an ethylenically unsaturated bond-containing compound (“Aronix M4 manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.”)
00 ") 60 g and 3,3 ', 4, as a photopolymerization initiator
40 g of 25% by weight toluene solution of 4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4'-dimethylaminobenzophenone 1 as a photosensitizer
g, and propylene glycol-1-monomethyl-2-acetate was added so that the solid content concentration was 30% by weight. Furthermore, surfactant G-1 (surfactant A)
062 g was mixed, then stirred until a uniform solution was obtained, and filtered with a membrane filter having a pore size of 0.2 μm to obtain a solution of a photosensitive resin composition.

【0085】実施例2〜24 表1〜4に記載の各成分を所定量加える以外は、実施例
1と同様に行い、それぞれの感光性樹脂組成物を得た。
Examples 2 to 24 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the respective components shown in Tables 1 to 4 were added in predetermined amounts, to obtain respective photosensitive resin compositions.

【0086】比較例1〜6 界面活性剤の添加量、種類を変更し、各成分を表5に記
載したように加える以外は、実施例1と同様にして感光
性樹脂組成物溶液を調製した。
Comparative Examples 1 to 6 A photosensitive resin composition solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the amount and type of surfactant added were changed and each component was added as shown in Table 5. .

【0087】表1〜5に記載の略称の意味は、下記のと
おりである。 <1>アルカリ不溶性エポキシ樹脂 C−1:エピコート815(油化シェルエポキシ(株)
製) C−2:エピコート828(油化シェルエポキシ(株)
製) C−3:アラルダイトCY184(日本チバガイギィー
(株)製) <2>エチレン性不飽和結合含有化合物 D−1:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートお
よびジペンタエリスリトールペンタアクリレートの混合
物(東亞合成化学工業(株)製「アロニックスM−40
0」) D−2:トリメチロールプロパントリアクリレート D−3:ペンタエリスリトールトリアクリレート D−4:ポリエステルアクリレート(東亞合成化学工業
(株)製「アロニックスM−8060」)
The meanings of the abbreviations shown in Tables 1 to 5 are as follows. <1> Alkali-insoluble epoxy resin C-1: Epicoat 815 (Yukaka Shell Epoxy Co., Ltd.)
C-2: Epicoat 828 (Okaka Shell Epoxy Co., Ltd.)
C-3: Araldite CY184 (Japan Ciba Gaige
<2> Ethylenically unsaturated bond-containing compound D-1: Mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate (Aronix M-40 manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.)
0 ") D-2: trimethylolpropane triacrylate D-3: pentaerythritol triacrylate D-4: polyester acrylate (Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.
(Aronix M-8060 manufactured by Co., Ltd.))

【0088】<3>光重合開始剤 E−1:3,3′−4,4′−テトラ(t−ブチルペルオ
キシカルボニル)ベンゾフェノンの25重量%トルエン
溶液 E−2:2,4−ジエチルチオキサントン E−3:2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン
−1−オン <4>光増感剤 F−1:4,4′−ジメチルアミノベンゾフェノン F−2:3−ベンゾイル−7−ジエチルアミノクマリン
<3> Photopolymerization initiator E-1: 25% by weight toluene solution of 3,3'-4,4'-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone E-2: 2,4-diethylthioxanthone E -3: 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one <4> photosensitizer F-1: 4,4'-dimethylaminobenzophenone F-2: 3-benzoyl-7-diethylaminocoumarin

【0089】<5>界面活性剤 G−1:前記式(II)で表わされる界面活性剤A G−2:前記式(III)で表わされる界面活性剤B G−3:前記式(IV)で表わされる界面活性剤C G−4:前記式(V)で表わされる界面活性剤D G−5:前記式(VI)で表わされる界面活性剤E G−6:界面活性剤((株)ネオス製「フタージェントF
T−250」) G−7:界面活性剤((株)ネオス製「フタージェントF
T−251」) G−8:界面活性剤((株)ネオス製「フタージェントF
TX−218」) G−9:界面活性剤((株)ネオス製「フタージェントD
FX−18」) H−1:界面活性剤(大日本インキ化学工業(株)製「メ
ガファックF−475」) H−2:界面活性剤(住友スリーエム(株)製「フロラー
ドFC−431」) H−3:界面活性剤(セイミケミカル(株)製「サーフロ
ンKH−40」)
<5> Surfactant G-1: Surfactant A represented by the formula (II) G-2: Surfactant B represented by the formula (III) B G-3: Formula (IV) Surfactant represented by CG-4: Surfactant represented by formula (V) DG-5: Surfactant represented by formula (VI) E G-6: Surfactant (Co., Ltd.) Neos "Fugent F
T-250 ") G-7: Surfactant (" Fogent F "manufactured by Neos Co., Ltd.)
T-251 ") G-8: Surfactant (" Fogent F, manufactured by Neos Co., Ltd. "
TX-218 ") G-9: Surfactant (" Fogent D "manufactured by Neos Co., Ltd.)
FX-18 ") H-1: Surfactant (" Megafuck F-475 "manufactured by Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) H-2: Surfactant (" Florard FC-431 "manufactured by Sumitomo 3M Limited) ) H-3: Surfactant ("Surflon KH-40" manufactured by Seimi Chemical Co., Ltd.)

【0090】<6>その他の成分(カップリング剤) I−1:3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラ
ン なお、表1〜5における各成分の使用量は、アルカリ可
溶性樹脂[A]の使用量を100重量部とした場合の各
成分の重量比で表わした。
<6> Other Components (Coupling Agent) I-1: 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane The amount of each component in Tables 1 to 5 is the amount of the alkali-soluble resin [A] used. It is represented by the weight ratio of each component when the amount is 100 parts by weight.

【0091】[0091]

【表1】 [Table 1]

【0092】[0092]

【表2】 [Table 2]

【0093】[0093]

【表3】 [Table 3]

【0094】[0094]

【表4】 [Table 4]

【0095】[0095]

【表5】 [Table 5]

【0096】上記、実施例および比較例で得られた感光
性樹脂組成物を用いて、ガラス基板に塗布しその塗布性
を評価した。またさらに、パターン化された樹脂皮膜を
形成させてその性能を評価した。その方法と結果を以下
に述べる。
The photosensitive resin compositions obtained in the above Examples and Comparative Examples were used for coating on glass substrates and the coating properties were evaluated. Furthermore, a patterned resin film was formed and its performance was evaluated. The method and results are described below.

【0097】<塗布性>実施例、比較例で得られた感光
性樹脂組成物溶液を、300mm×400mmのサイズ
のガラス基板上に所定量載せて900rpmで15秒間
スピンコートした後、ホットプレートで90℃、3分間
プリベークして塗膜を形成させた。その後、得られた塗
膜を、プロキシミティー露光装置TME−400PRC
(トプコン(株)製)を用い、フォトマスクを介さずに露
光した。なお、露光量を積算光量計で測定しながら、i
線換算で100mJ/cm2の紫外線を照射した。露光
量の測定には積算光量計UIT−102(ウシオ(株)
製)を用い、受光器は、感度波長域330−390nm
の受光器UVD−365PD(ウシオ(株)製)を用い
た。得られた塗膜を400倍の光学顕微鏡で観察し、ス
トリエーションの有無を評価した。また、ガラス基板の
2本の対角線上の膜厚を評価した。膜厚の測定位置は、
ガラス基板の中心から10mm間隔の位置である(1本
の対角線で中心点を含めて49点)。
<Coatability> The photosensitive resin composition solutions obtained in Examples and Comparative Examples were placed on a glass substrate having a size of 300 mm × 400 mm in a predetermined amount, spin-coated at 900 rpm for 15 seconds, and then coated on a hot plate. Prebaking was performed at 90 ° C. for 3 minutes to form a coating film. After that, the obtained coating film was applied to a proximity exposure device TME-400PRC.
(Manufactured by Topcon Co., Ltd.) was used for exposure without a photomask. While measuring the exposure dose with an integrating photometer,
It was irradiated with ultraviolet rays of 100 mJ / cm 2 in line conversion. The integrated light meter UIT-102 (USHIO INC.)
Manufactured by the manufacturer, and the light receiver has a sensitivity wavelength range of 330 to 390 nm.
The light receiver UVD-365PD (manufactured by USHIO INC.) Was used. The resulting coating film was observed with a 400 × optical microscope to evaluate the presence or absence of striation. In addition, the film thickness on two diagonal lines of the glass substrate was evaluated. The film thickness measurement position is
The positions are 10 mm apart from the center of the glass substrate (49 points including the center point on one diagonal line).

【0098】<パターン化された樹脂皮膜の形成法>同
様に感光性樹脂組成物溶液を、100mm×100mm
のサイズのガラス基板/またはITO膜からなる透明電
極付きガラス基板上に900rpmで15秒間スピンコ
ートした後、ホットプレートで90℃、3分間プリベー
クして塗膜を形成させた。その後、得られた塗膜を、プ
ロキシミティー露光装置TME−400PRC(トプコ
ン(株)製)を用い、10μm×10μmの透光部分によ
り格子状パターン模様を形成するフォトマスクを介して
露光した。露光量は、i線換算で100mJ/cm2
ある。次いで、0.05重量%水酸化カリウム水溶液を
用いて、23℃で所定時間(30sec〜120se
c)現像(シャワー現像、シャワー圧0.1MPa)を
行った後、純水で15秒間シャワーリンスし、乾燥し
た。更に、オーブンで230℃、30分間加熱焼成し
て、基板上に10μm×10μm柱状の感光性樹脂組成
物の硬化膜により格子状パターン模様にパターンニング
された厚さ5μmの樹脂皮膜を形成させた。
<Method for Forming Patterned Resin Film> Similarly, a photosensitive resin composition solution was applied to 100 mm × 100 mm.
After spin-coating on a glass substrate having a transparent electrode made of the above size and / or an ITO film at 900 rpm for 15 seconds, it was prebaked on a hot plate at 90 ° C. for 3 minutes to form a coating film. Then, the obtained coating film was exposed using a proximity exposure device TME-400PRC (manufactured by Topcon Corp.) through a photomask which forms a grid pattern pattern with a light-transmitting portion of 10 μm × 10 μm. The exposure amount is 100 mJ / cm 2 in terms of i-line. Then, using a 0.05 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for a predetermined time (30 sec to 120 sec).
c) After development (shower development, shower pressure 0.1 MPa), shower rinse with pure water for 15 seconds and drying. Further, it was heated and baked at 230 ° C. for 30 minutes in an oven to form a resin film having a thickness of 5 μm, which was patterned in a lattice pattern by a cured film of a photosensitive resin composition having a columnar shape of 10 μm × 10 μm on the substrate. .

【0099】上記のようにして得られたパターン化され
た樹脂皮膜について、次のような物性を調べた。 <残膜率>上記のようにして得られたパターン化された
樹脂皮膜において、残膜率(ポストベーク後の膜厚/プ
リベーク後の膜厚×100)を測定した。<パターンサ
イズ(形状)>上記のようにして得られたパターン化さ
れた樹脂皮膜において、パターンサイズが10μm×1
0μmとなっているか測定を行った。
The following physical properties of the patterned resin film obtained as described above were examined. <Residual film ratio> In the patterned resin film obtained as described above, the residual film ratio (film thickness after post-baking / film thickness after pre-baking × 100) was measured. <Pattern size (shape)> In the patterned resin film obtained as described above, the pattern size is 10 μm × 1
It was measured whether it was 0 μm.

【0100】<耐アルカリ性>フォトマスクを介さずに
露光して得られた樹脂皮膜付きの透明電極付きガラス基
板を、5重量%水酸化ナトリウム水溶液に60℃で10
分間浸漬処理をした後、碁盤目テープ法(JIS K5
400、8.5.2項、クロスカットガイド1mm角×1
00個を使用)による密着性試験を施し、さらに、浸漬
処理前後の膜厚の変化率、及び400倍の光学顕微鏡で
塗膜表面の変化を観察し、次の基準で判定した。 ○:碁盤目テープ法で剥離がなく、膜厚の変化率が5%
未満、かつ処理前後で塗膜表面に変化がない場合。 ×:上記以外の場合
<Alkali resistance> A glass substrate with a transparent electrode having a resin film, which was obtained by exposure without using a photomask, was immersed in a 5% by weight sodium hydroxide aqueous solution at 60 ° C. for 10 days.
After dipping for a minute, the cross-cut tape method (JIS K5
400, 8.5.2, cross-cut guide 1mm square x 1
Adhesion test with 100 pieces was performed, and the change rate of the film thickness before and after the dipping treatment and the change of the coating film surface with an optical microscope of 400 times were observed and judged according to the following criteria. ◯: No peeling by the cross-cut tape method, the rate of change in film thickness is 5%
Less than, and when there is no change in the coating surface before and after treatment. ×: In cases other than the above

【0101】<耐水性>フォトマスクを介さずに露光し
て得られた樹脂皮膜付きの透明電極付きガラス基板を、
超純水に80℃で1時間浸漬処理し、更に超純水に浸漬
して60℃で1時間超音波洗浄処理した後、碁盤目テー
プ法(JIS K5400、8.5.2項、クロスカット
ガイド1mm角×100個を使用)による密着性テスト
を施し、さらに、処理前後の膜厚の変化率、及び400
倍の光学顕微鏡で塗膜表面の変化を観察し、次の基準で
判定した。 ○:いずれの処理においても、碁盤目テープ法で剥離が
なく、膜厚の変化率が5%未満、かつ処理前後で塗膜表
面に変化がない場合。 ×:それ以外の場合
<Water resistance> A glass substrate with a transparent electrode having a resin film, which was obtained by exposing without using a photomask,
Immerse in ultrapure water at 80 ° C for 1 hour, further immerse in ultrapure water and ultrasonically wash at 60 ° C for 1 hour, and then use the cross-cut tape method (JIS K5400, Section 8.5.2, cross-cut). Adhesion test with 1mm square x 100 guides) was performed, and the rate of change in film thickness before and after processing, and 400
The change of the coating film surface was observed with a double optical microscope and judged according to the following criteria. ◯: In any of the treatments, there is no peeling by the cross-cut tape method, the rate of change in film thickness is less than 5%, and there is no change in the coating film surface before and after the treatment. ×: In other cases

【0102】<耐熱性>基板に形成されたパターン化さ
れた樹脂皮膜を240℃で1時間再加熱した後、再加熱
後の残膜率((再加熱後の膜厚/ポストベーク後の膜
厚)×100)を測定し、次の基準で判定した。 ○:再加熱後の残膜率が95%以上 ×:再加熱後の残膜率が95%未満
<Heat Resistance> After the patterned resin film formed on the substrate was reheated at 240 ° C. for 1 hour, the residual film rate after reheating ((film thickness after reheating / film after post bake Thickness) × 100) was measured and judged according to the following criteria. ◯: Remaining film rate after reheating is 95% or more ×: Remaining film rate after reheating is less than 95%

【0103】<耐溶剤性>基板に形成されたパターン化
された樹脂皮膜を、N−メチル−2−ピロリドンに25
℃で1時間浸漬処理を施した後、処理前後の膜厚の変化
率、および400倍の光学顕微鏡で塗膜表面の変化を観
察し、次の基準で判定した。 ○:膜厚の変化率が5%未満、かつ処理前後で塗膜表面
に変化がない場合。 ×:膜厚の変化率が5%以上である場合。
<Solvent resistance> A patterned resin film formed on a substrate was coated with N-methyl-2-pyrrolidone 25
After the immersion treatment was performed at 0 ° C. for 1 hour, the change rate of the film thickness before and after the treatment and the change of the coating film surface were observed with an optical microscope of 400 times, and the judgment was made according to the following criteria. ◯: When the change rate of the film thickness is less than 5% and the coating film surface is not changed before and after the treatment. X: When the change rate of the film thickness is 5% or more.

【0104】実施例で得られた感光性樹脂組成物を用い
て形成した塗膜の塗布性の評価結果を表6に、パターン
化された樹脂皮膜の評価結果を表7〜9に、また比較例
で得られた感光性樹脂組成物を用いて形成した塗膜の塗
布性の評価結果を表6に、パターン化された樹脂皮膜の
評価結果を表10に示す。
Table 6 shows the evaluation results of the coating properties of the coating films formed using the photosensitive resin compositions obtained in Examples, Tables 7 to 9 the evaluation results of the patterned resin films, and comparisons. Table 6 shows the evaluation results of the coating properties of coating films formed using the photosensitive resin compositions obtained in Examples, and Table 10 shows the evaluation results of patterned resin films.

【0105】[0105]

【表6】 [Table 6]

【0106】[0106]

【表7】 [Table 7]

【0107】[0107]

【表8】 [Table 8]

【0108】[0108]

【表9】 [Table 9]

【0109】[0109]

【表10】 [Table 10]

【0110】つぎに、本発明で用いられる感光性樹脂組
成物を用いてパターン化された樹脂皮膜からなる液晶素
子用スペーサーを作製し、さらにこのスペーサーを備え
た液晶素子を作製した。その実施例について以下に述べ
る。
Next, a spacer for a liquid crystal element, which is composed of a resin film patterned by using the photosensitive resin composition used in the present invention, was produced, and further a liquid crystal element provided with this spacer was produced. An example will be described below.

【0111】実施例25 ITO膜からなる透明電極付きガラス基板上に、前述の
パターン化された樹脂皮膜の形成法(a)に従い、スピ
ンコート、プリベーク、露光、現像およびポストベーク
工程を経て、10μm×10μmであるスペーサーパタ
ーンを格子状に縦100μm間隔、横50μm間隔で形
成させた。つぎに、液晶配向剤(チッソ(株)製「LIX
ONアライナーPIA−5004」)を、上記スペーサ
ー形成基板に塗布した後、70℃、10分間ホットプレ
ート上で乾燥、さらにオーブン中200℃で60分間加
熱処理を行い、膜厚0.06μmの配向膜をスペーサー
付基板上に形成した。この配向膜を、ナイロン製の布を
巻き付けたロールを有するラビング装置により、ロール
の回転数1000rpm、ステージの送り速度59mm
/秒でラビング処理を行った。この配向処理された配向
膜面をもつスペーサー付き基板の外縁に、ガラスファイ
バースペーサーを2%混合したエポキシ系シール剤を塗
布した後、一対の基板を液晶配向膜面が相対するよう
に、しかもラビング方向が直交するように重ね合わせて
圧着し、熱により硬化させた。ついでこの一対の基板間
に液晶注入口よりTFT用液晶組成物を封入した後、光
硬化性樹脂で注入口を封止した。その後、110℃で3
0分間アイソトロピック処理を行い、室温まで徐冷して
液晶素子を得た。
Example 25 A glass substrate with a transparent electrode made of an ITO film was subjected to spin coating, pre-baking, exposure, development and post-baking steps in accordance with the above-mentioned method (a) for forming a patterned resin film, and the thickness was 10 μm. Spacer patterns having a size of 10 μm were formed in a grid pattern at intervals of 100 μm in length and 50 μm in width. Next, a liquid crystal aligning agent (“LIX” manufactured by Chisso Corporation)
ON aligner PIA-5004 ") is applied to the spacer-forming substrate, dried on a hot plate at 70 ° C for 10 minutes, and then heat-treated in an oven at 200 ° C for 60 minutes to obtain an alignment film having a thickness of 0.06 µm. Was formed on a substrate with a spacer. Using a rubbing device having a roll in which a nylon cloth is wound around this alignment film, the rotation speed of the roll is 1000 rpm and the feed speed of the stage is 59 mm
The rubbing process was performed at a speed of 1 second. The epoxy-based sealant containing 2% of glass fiber spacers is applied to the outer edge of the substrate with a spacer having the alignment film surface subjected to the alignment treatment, and the pair of substrates are rubbed so that the liquid crystal alignment film surfaces face each other. The pieces were overlapped with each other so that the directions thereof were orthogonal to each other, pressure-bonded, and cured by heat. Then, the liquid crystal composition for TFT was sealed between the pair of substrates through the liquid crystal injection port, and then the injection port was sealed with a photocurable resin. After that, at 110 ℃ 3
An isotropic treatment was performed for 0 minutes, and the liquid crystal element was obtained by gradually cooling to room temperature.

【0112】このようにして得られた液晶素子につい
て、耐ラビング性、液晶配向性、電圧保持率、および残
留DCについて下記の方法で評価した。 <耐ラビング性>スペーサー上に配向膜を形成し、この
配向膜面をラビング処理する時の状態をつぎの基準で判
定した。 ○:スペーサーに削れや、剥がれがなかった場合 ×:それ以外の場合 <液晶配向性> 配向性の確認は偏光板を用いて行い、次の基準で判定し
た。 ○:良好な配向性を有する場合 ×:配向不良である場合
The liquid crystal element thus obtained was evaluated for rubbing resistance, liquid crystal orientation, voltage holding ratio, and residual DC by the following methods. <Rubbing resistance> An alignment film was formed on the spacer, and the state when the alignment film surface was rubbed was evaluated according to the following criteria. ◯: When the spacer was not scraped or peeled off ×: In other cases <Liquid crystal alignment property> The alignment property was confirmed using a polarizing plate, and the judgment was made according to the following criteria. ◯: In case of good orientation X: In case of poor orientation

【0113】<電圧保持率>測定は、ゲートパルス幅6
9μs、周波数60Hz、波高±4.5Vの矩形波をソ
ースに印加し、変化するドレインをオシロスコープより
読み取ることにより行った。これを4回行って平均値を
計算し、全く電圧が減少しなかった場合を100%とし
て相対値を電圧保持率とした。なお、測定は60℃で行
った。 <残留DC>測定は、通常よく用いられる方法であるC
−Vカーブ法によって行った。即ち、液晶素子に25m
V、1KHzの交流を印加し、さらに周波数0.003
6Hzの直流バイアス電圧を±10Vの範囲で掃引して
直流の三角波をかけ、変化する容量Cを測定した。な
お、測定は60℃で行った。各特性の測定および判定結
果を表11に示す。
<Voltage holding ratio> The gate pulse width is 6
A rectangular wave of 9 μs, a frequency of 60 Hz and a wave height of ± 4.5 V was applied to the source, and the changing drain was read by an oscilloscope. This was repeated 4 times to calculate the average value, and when the voltage did not decrease at all, the relative value was defined as the voltage holding ratio, which was defined as 100%. The measurement was performed at 60 ° C. <Residual DC> measurement is a commonly used method C
It was performed by the -V curve method. That is, 25m for the liquid crystal element
V, 1KHz AC is applied, and frequency is 0.003
A DC bias voltage of 6 Hz was swept within a range of ± 10 V, a DC triangular wave was applied, and the changing capacitance C was measured. The measurement was performed at 60 ° C. Table 11 shows the measurement and determination results of each characteristic.

【0114】実施例26〜48 下記の表11に記載したように、実施例2〜24で得ら
れた感光性樹脂組成物と後述の液晶組成物とを組み合わ
せ、実施例25と同様にしてそれぞれ液晶素子を作製し
た。得られた液晶素子についての特性データを表11に
示す。
Examples 26 to 48 As shown in Table 11 below, the photosensitive resin compositions obtained in Examples 2 to 24 were combined with the liquid crystal compositions described below, and each was prepared in the same manner as in Example 25. A liquid crystal element was produced. Table 11 shows the characteristic data of the obtained liquid crystal element.

【0115】[0115]

【表11】 [Table 11]

【0116】上記実施例の液晶素子に用いた液晶組成物
の組成をつぎに示す。また、それらの物性値を表12に
示す。
The composition of the liquid crystal composition used in the liquid crystal element of the above example is shown below. In addition, those physical property values are shown in Table 12.

【0117】[0117]

【表12】 [Table 12]

【0118】<液晶組成物LA><Liquid Crystal Composition LA>

【化11】 [Chemical 11]

【0119】<液晶組成物LB><Liquid Crystal Composition LB>

【化12】 [Chemical 12]

【0120】<液晶組成物LC><Liquid Crystal Composition LC>

【化13】 [Chemical 13]

【0121】<液晶組成物LD><Liquid Crystal Composition LD>

【化14】 [Chemical 14]

【0122】<液晶組成物LE><Liquid Crystal Composition LE>

【化15】 [Chemical 15]

【0123】表1〜4に実施例1〜24として、本発明
の各感光性樹脂組成物の内容を示し、表5に比較例1〜
6として、界面活性剤を本発明で使用したもの以外のも
のを使用したの各感光性樹脂組成物を示した。更に、各
感光性樹脂組成物用いて得られた皮膜の平坦性の測定結
果を表6に、皮膜の物性を表7〜10に、本発明の樹脂
組成物から得られた樹脂皮膜を組み込んだ液晶素子の特
性を表11に各々示した。
Tables 1 to 4 show the content of each photosensitive resin composition of the present invention as Examples 1 to 24, and Table 5 shows Comparative Examples 1 to 4.
6 shows each photosensitive resin composition using a surfactant other than that used in the present invention. Furthermore, the measurement results of the flatness of the film obtained by using each photosensitive resin composition are shown in Table 6, the physical properties of the film are shown in Tables 7 to 10, and the resin film obtained from the resin composition of the present invention is incorporated. The characteristics of the liquid crystal element are shown in Table 11.

【0124】この結果によると、残膜率、パターンサイ
ズ、耐アルカリ性、耐水性、耐熱性、耐溶剤性等の樹脂
皮膜の特性は何れも良好な結果であった。しかし、皮膜
の平坦性においては、比較例の場合、面内の膜厚の最大
値と最小値の差は0.18〜0.30μm、標準偏差値
は0.075〜0.156μm(平均膜厚は7.33〜7.
71μm)であった。これに対して実施例の場合、面内
の膜厚の最大値と最小値の差は0.03〜0.11μm、
標準偏差値は0.005〜0.015(平均膜厚は7.1
4〜8.93μm)であった。この様に本発明の樹脂組
成物から得られた皮膜の面内均一性は非常に優れたもの
であり、ストリエーションは皆無であった。更に、本発
明の樹脂組成物から得られた皮膜を組み込んで液晶素子
の耐ラビング性、液晶配向性、電圧保持率、残留DC等
の特性は何れも良好であった。
According to this result, the characteristics of the resin film such as the residual film rate, the pattern size, the alkali resistance, the water resistance, the heat resistance and the solvent resistance were all good results. However, regarding the flatness of the film, in the case of the comparative example, the difference between the maximum value and the minimum value of the in-plane film thickness is 0.18 to 0.30 μm, and the standard deviation value is 0.075 to 0.156 μm (average film Thickness is 7.33-7.
71 μm). On the other hand, in the case of the example, the difference between the maximum value and the minimum value of the in-plane film thickness is 0.03 to 0.11 μm,
Standard deviation value is 0.005-0.015 (average film thickness is 7.1)
4 to 8.93 μm). Thus, the in-plane uniformity of the film obtained from the resin composition of the present invention was very excellent, and there was no striation. Furthermore, the characteristics of the rubbing resistance, liquid crystal orientation, voltage holding ratio, residual DC, etc. of the liquid crystal device incorporating the film obtained from the resin composition of the present invention were all good.

【0125】[0125]

【発明の効果】上記の結果から明らかなように、本発明
の樹脂組成物はある特定の界面活性剤を含有することを
特徴とするため、得られた樹脂皮膜の膜厚は面内均一性
に優れている。さらに、本発明の特定の樹脂組成物から
得られた樹脂皮膜は、耐アルカリ性、耐水性、耐アルカ
リ性、耐溶剤性、耐熱性、機械的強度等の化学的、物理
的特性に優れているため、液晶素子として使用した場
合、ラビング耐性に優れ、液晶の残像現象、電圧保持率
などの電気特性が良好であり、液晶層の層厚が均一な本
発明の液晶素子を与えることができる。特に、TN方
式、STN方式、強誘電方式、反強誘電方式、IPS方
式、OCB方式、VA方式等の液晶素子やフラットパネ
ルディスプレー用の表示素子に好適である。さらに、本
発明の樹脂組成物から得られた皮膜は、プラズマ・ディ
スプレイ・パネル、発光ダイオード素子、有機エレクト
ロルミネッセンス素子等の表示素子に用いることができ
る。
As is clear from the above results, the resin composition of the present invention is characterized by containing a specific surfactant, so that the film thickness of the obtained resin film is in-plane uniform. Is excellent. Furthermore, the resin film obtained from the specific resin composition of the present invention has excellent chemical and physical properties such as alkali resistance, water resistance, alkali resistance, solvent resistance, heat resistance, and mechanical strength. When it is used as a liquid crystal element, it is possible to provide a liquid crystal element of the present invention which is excellent in rubbing resistance, has good electrical characteristics such as liquid crystal afterimage phenomenon and voltage holding ratio, and has a uniform liquid crystal layer thickness. In particular, it is suitable for a liquid crystal device such as a TN system, an STN system, a ferroelectric system, an antiferroelectric system, an IPS system, an OCB system, and a VA system, and a display device for a flat panel display. Furthermore, the film obtained from the resin composition of the present invention can be used for display devices such as plasma display panels, light emitting diode devices, and organic electroluminescence devices.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 1/04 G02B 1/04 4J011 G02F 1/1333 505 G02F 1/1333 505 4J026 1/1335 520 1/1335 520 5C040 1/1337 520 1/1337 520 5C094 1/1339 500 1/1339 500 505 505 G03F 7/004 504 G03F 7/004 504 G09F 9/30 320 G09F 9/30 320 349 349Z 9/313 9/313 Z 9/35 9/35 H01J 11/02 H01J 11/02 Z Fターム(参考) 2H025 AA18 AB14 AB17 AC01 AD01 BC31 CA00 CB08 CB30 CB41 CB43 CC03 CC08 DA01 DA31 2H089 LA06 LA41 MA03X MA03Y NA05 NA14 2H090 HA16 HB07X HB07Y HB17X HB17Y HC05 HD01 HD11 LA02 LA03 LA10 MA01 2H091 FA16Y FB02 FB12 FC26 GA06 GA07 GA08 GA09 LA30 4J002 BG021 CD001 CH012 CH052 CM041 ED046 FD312 FD316 GP03 4J011 PA69 PA86 PA87 PC02 4J026 AA45 AB05 AC18 BA27 DB06 DB36 FA05 GA07 5C040 GH10 JA02 KA14 5C094 AA03 AA42 AA43 AA47 AA55 BA23 BA27 BA31 BA43 CA19 CA24 DA13 ED03 FB01 FB15 GB10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02B 1/04 G02B 1/04 4J011 G02F 1/1333 505 G02F 1/1333 505 4J026 1/1335 520 1/1335 520 5C040 1/1337 520 1/1337 520 5C094 1/1339 500 1/1339 500 505 505 G03F 7/004 504 G03F 7/004 504 G09F 9/30 320 G09F 9/30 320 349 349Z 9/313 9/313 Z 9/35 9/35 H01J 11/02 H01J 11/02 ZF Term (Reference) 2H025 AA18 AB14 AB17 AC01 AD01 BC31 CA00 CB08 CB30 CB41 CB43 CC03 CC08 DA01 DA31 2H089 LA06 LA41 MA03X MA03Y NA05 NA14 2H090 HA16 HB07X HB07Y HB07Y HB07Y HB07Y HB07Y HB07Y HB07Y HB07Y HD01 HD11 LA02 LA03 LA10 MA01 2H091 FA16Y FB02 FB12 FC26 GA06 GA07 GA08 GA0 9 LA30 4J002 BG021 CD001 CH012 CH052 CM041 ED046 FD312 FD316 GP03 4J011 PA69 PA86 PA87 PC02 4J026 AA45 AB05 AC18 BA27 DB06 DB36 FA05 GA07 5C040 GH10 JA02 KA14 5C094 AA03 AA42 AA43 BA15A23 BA15 ABA23 AA23 AA47 AA27 AA23 AA47 AA23 AA47 AA27 AA27 AA23 AA23 AA23 AA47 AA23 AA23 AA23 AA23 AA27

Claims (15)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一般式(I) 【化1】 (式中、A1Oはオキシエチレン基、A2Oはオキシプロ
ピレン基を表わし、オキシエチレン基及びオキシプロピ
レン基の配列は、ランダム、ブロックあるいはマルチブ
ロックでもよく、R1〜R3及び各R4は独立にC6
11−、C917−、C917O−C64−CO−、若しく
は水素原子を表わすが、そのうち少なくとも1つは上記
含フッ素基の何れかであり、m11、m12、m21、m22
31、m32、m 41、及びm42は独立に0〜30の整数で
あり、(m11+m12)、(m21+m22)、(m31
32)及び(m41+m42)は0〜30であり、nは0も
しくは1〜9の整数を表わす。)で示される界面活性剤
を含有し、有機高分子化合物及び有機溶媒を必須成分と
する表示素子用樹脂組成物。
1. The general formula (I) [Chemical 1] (In the formula, A1O is an oxyethylene group, A2O is oxypro
Represents a pyrene group, an oxyethylene group and an oxypropyl group.
The array of len groups can be random, block or multi-block.
You can use lock, R1~ R3And each RFourIs independently C6F
11-, C9F17-, C9F17OC6HFour-CO-, young
Represents a hydrogen atom, at least one of which is
Any of fluorinated groups, m11, M12, Mtwenty one, Mtwenty two,
m31, M32, M 41, And m42Are independently integers from 0 to 30
Yes, (m11+ M12), (Mtwenty one+ Mtwenty two), (M31+
m32) And (m41+ M42) Is 0 to 30, and n is 0
Specifically, it represents an integer of 1 to 9. ) Surfactant
Containing an organic polymer compound and an organic solvent as essential components
A resin composition for a display element.
【請求項2】 一般式(I)において、R1〜R3及び各
4のうち少なくとも2つが含フッ素基C611−、C9
17−もしくはC917O−C64−CO−を表わし、
残りは水素原子である請求項1に記載の樹脂組成物。
2. In the general formula (I), at least two of R 1 to R 3 and each R 4 are fluorine-containing groups C 6 F 11 —, C 9
F 17 - or represents a C 9 F 17 O-C 6 H 4 -CO-,
The resin composition according to claim 1, wherein the rest are hydrogen atoms.
【請求項3】 一般式(I)において、m12、m22、m
32及びm42は全て0である請求項1若しくは2に記載の
樹脂組成物。
3. In the general formula (I), m 12 , m 22 , m
The resin composition according to claim 1 or 2, wherein 32 and m 42 are all 0.
【請求項4】 有機高分子化合物が下記(1)及び
(2)に示した重合体であり、更にそれに必須成分とし
て下記(3)及び(4)を添加することにより感光性樹
脂組成物を形成させてなる請求項1〜3の何れかに記載
の樹脂組成物。 (1)不飽和カルボン酸モノマーと、その単独重合体が
アルカリ不溶性であるビニルモノマーとを構造単位に有
する共重合体(以下、アルカリ可溶性樹脂と略称する) (2)アルカリ不溶性エポキシ基含有重合体 (3)エチレン性不飽和結合含有化合物 (4)光重合開始剤、光増感剤
4. An organic polymer compound is a polymer shown in the following (1) and (2), and a photosensitive resin composition is obtained by adding the following (3) and (4) as essential components to the polymer. The resin composition according to claim 1, which is formed. (1) Copolymer having unsaturated carboxylic acid monomer and vinyl monomer whose homopolymer is alkali-insoluble as a structural unit (hereinafter abbreviated as alkali-soluble resin) (2) Alkali-insoluble epoxy group-containing polymer (3) Ethylenically unsaturated bond-containing compound (4) Photopolymerization initiator, photosensitizer
【請求項5】 有機溶媒が、プロピレングリコール−1
−モノメチルエーテル−2−アセテートを含有する溶媒
である請求項4に記載の樹脂組成物。
5. The organic solvent is propylene glycol-1.
-The resin composition according to claim 4, which is a solvent containing monomethyl ether-2-acetate.
【請求項6】 請求項4若しくは5に記載された感光性
樹脂組成物を基板上に塗布する工程、得られた塗布膜を
プリベークする工程、フォトマスクを通して露光する工
程、現像液を用いて露光部もしくは未露光部を除去する
工程及びポストベークする工程を含むパターニング工程
からなる、パターン化された樹脂皮膜を含有する液晶素
子。
6. A step of applying the photosensitive resin composition according to claim 4 or 5 onto a substrate, a step of prebaking the obtained coating film, a step of exposing through a photomask, and an exposure using a developing solution. A liquid crystal element containing a patterned resin film, which comprises a patterning step including a step of removing a portion or an unexposed portion and a step of post-baking.
【請求項7】 請求項6に記載されたパターン化された
樹脂皮膜が液晶素子のスペーサーである液晶素子。
7. A liquid crystal device, wherein the patterned resin film according to claim 6 is a spacer of the liquid crystal device.
【請求項8】 請求項6に記載されたパターン化された
樹脂皮膜がビーズを含むスペーサーである液晶素子。
8. A liquid crystal device in which the patterned resin film according to claim 6 is a spacer containing beads.
【請求項9】 請求項6に記載されたパターン化された
樹脂皮膜が液晶素子のシール剤である液晶素子。
9. A liquid crystal device, wherein the patterned resin film according to claim 6 is a sealant for a liquid crystal device.
【請求項10】 請求項6に記載されたパターン化され
た樹脂皮膜が液晶素子の光反射散乱用の突起である液晶
素子。
10. A liquid crystal device, wherein the patterned resin film according to claim 6 is a projection for light reflection and scattering of the liquid crystal device.
【請求項11】 請求項6に記載されたパターン化され
た樹脂皮膜が液晶素子の垂直配向モード用の突起である
液晶素子。
11. A liquid crystal device, wherein the patterned resin film according to claim 6 is a protrusion for a vertical alignment mode of the liquid crystal device.
【請求項12】 請求項1〜3に記載された樹脂組成物
から得られたカラーフィルター保護膜を含有する液晶素
子。
12. A liquid crystal device containing a color filter protective film obtained from the resin composition according to claim 1.
【請求項13】 請求項1〜3に記載された樹脂組成物
から得られた樹脂皮膜を含有するプラズマ・ディスプレ
イ・パネル。
13. A plasma display panel containing a resin film obtained from the resin composition according to claim 1.
【請求項14】 請求項1〜3に記載された樹脂組成物
から得られた樹脂皮膜を含有する発光ダイオード素子。
14. A light emitting diode element containing a resin film obtained from the resin composition according to claim 1.
【請求項15】 請求項1〜3に記載された樹脂組成物
から得られた樹脂皮膜を含有する有機エレクトロルミネ
ッセンス素子。
15. An organic electroluminescence device containing a resin film obtained from the resin composition according to claim 1.
JP2001301660A 2001-09-28 2001-09-28 Resin composition and display device using the same Pending JP2003105207A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001301660A JP2003105207A (en) 2001-09-28 2001-09-28 Resin composition and display device using the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001301660A JP2003105207A (en) 2001-09-28 2001-09-28 Resin composition and display device using the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2003105207A true JP2003105207A (en) 2003-04-09

Family

ID=19122035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001301660A Pending JP2003105207A (en) 2001-09-28 2001-09-28 Resin composition and display device using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003105207A (en)

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005202308A (en) * 2004-01-19 2005-07-28 Sekisui Chem Co Ltd Sealant for liquid crystal display element, vertical conduction material, and liquid crystal display element
JP2005292772A (en) * 2004-03-08 2005-10-20 Mitsubishi Paper Mills Ltd Photosensitive lithographic printing plate material
JP2006011359A (en) * 2004-05-28 2006-01-12 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition for protrusion for divided alignment of liquid crystal, and liquid crystal display
JP2006064801A (en) * 2004-08-25 2006-03-09 Dainippon Printing Co Ltd Color filter
JP2006137796A (en) * 2004-11-10 2006-06-01 Jsr Corp Liquid crystal-aligning agent and liquid crystal display element
JP2006342325A (en) * 2005-05-09 2006-12-21 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition for display device spacer and photosensitive element
JP2007119777A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Dongjin Semichem Co Ltd Photosensitive resin composition, display substrate, and its pattern forming method
JP2007187772A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Fujifilm Corp Photosensitive resin transfer material and method for producing photo spacer, color filter, and liquid crystal display element
JP2007225772A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Mitsui Chemicals Inc Liquid crystal sealing agent and liquid crystal display panel using the same
JP2007225774A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Mitsui Chemicals Inc Liquid crystal sealing agent and liquid crystal display panel using the same
JP2007237433A (en) * 2006-03-06 2007-09-20 Teijin Dupont Films Japan Ltd Polyester film for in-mold transfer
JP2007271994A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Dainippon Printing Co Ltd Photocurable resin composition for batch formation of different members
US7811740B2 (en) 2004-10-08 2010-10-12 Fujifilm Corporation Positive resist composition and pattern-forming method using the same
KR20110030329A (en) * 2009-09-17 2011-03-23 제이에스알 가부시끼가이샤 Coloring composition, color filter and color liquid crystal display device
US7955879B2 (en) * 2008-05-07 2011-06-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of forming LED semiconductor device having annealed encapsulant layer and annealed luminescence conversion material layer
JP2011232709A (en) * 2010-04-30 2011-11-17 Taiyo Holdings Co Ltd Curable resin composition
JP2012027363A (en) * 2010-07-27 2012-02-09 Jsr Corp Color composition, color filter and color liquid crystal display device
JP2012123283A (en) * 2010-12-10 2012-06-28 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, method for forming cured film, cured film, organic electroluminescent (el) display device and liquid crystal display device
JP2012128272A (en) * 2010-12-16 2012-07-05 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, method for forming cured film, cured film, organic electroluminescent (el) display device and liquid crystal display device
CN102967994A (en) * 2011-08-30 2013-03-13 住友化学株式会社 Solidified resin composition
WO2014046150A1 (en) * 2012-09-19 2014-03-27 Canon Kabushiki Kaisha Photocurable composition and method of manufacturing film using the composition
JP2014114340A (en) * 2012-12-07 2014-06-26 Nippon Kayaku Co Ltd Active energy ray-curable resin composition and spacer for a display element and/or color filter protective film using the same
US20150024326A1 (en) * 2012-03-08 2015-01-22 Microchem Corp. Photoimageable compositions and processes for fabrication of relief patterns on low surface energy substrates
JP2017151167A (en) * 2016-02-22 2017-08-31 大日本印刷株式会社 Dimming film, laminated glass and method for manufacturing dimming film
WO2018079427A1 (en) * 2016-10-28 2018-05-03 シャープ株式会社 Seal material composition, liquid crystal cell, and scanning antenna
KR20190060714A (en) * 2017-11-24 2019-06-03 주식회사 엘지화학 Preparation method of substrate
WO2019225473A1 (en) * 2018-05-25 2019-11-28 積水化学工業株式会社 Sealant for liquid crystal display element, vertical conduction material, and liquid crystal display element
WO2023168833A1 (en) * 2022-03-10 2023-09-14 武汉市三选科技有限公司 Composition, adhesive film and chip packaging structure

Cited By (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4463571B2 (en) * 2004-01-19 2010-05-19 積水化学工業株式会社 Sealant for liquid crystal display element, vertical conduction material, and liquid crystal display element
JP2005202308A (en) * 2004-01-19 2005-07-28 Sekisui Chem Co Ltd Sealant for liquid crystal display element, vertical conduction material, and liquid crystal display element
JP2005292772A (en) * 2004-03-08 2005-10-20 Mitsubishi Paper Mills Ltd Photosensitive lithographic printing plate material
JP4526346B2 (en) * 2004-03-08 2010-08-18 三菱製紙株式会社 Photosensitive lithographic printing plate material
JP2006011359A (en) * 2004-05-28 2006-01-12 Mitsubishi Chemicals Corp Photosensitive composition for protrusion for divided alignment of liquid crystal, and liquid crystal display
JP4572664B2 (en) * 2004-05-28 2010-11-04 三菱化学株式会社 Photosensitive composition for liquid crystal split alignment protrusion and liquid crystal display device
JP2006064801A (en) * 2004-08-25 2006-03-09 Dainippon Printing Co Ltd Color filter
JP4617117B2 (en) * 2004-08-25 2011-01-19 大日本印刷株式会社 PVA vertical alignment liquid crystal display device
US8241833B2 (en) 2004-10-08 2012-08-14 Fujifilm Corporation Positive resist composition and pattern-forming method using the same
US7811740B2 (en) 2004-10-08 2010-10-12 Fujifilm Corporation Positive resist composition and pattern-forming method using the same
JP2006137796A (en) * 2004-11-10 2006-06-01 Jsr Corp Liquid crystal-aligning agent and liquid crystal display element
JP2006342325A (en) * 2005-05-09 2006-12-21 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition for display device spacer and photosensitive element
JP2007119777A (en) * 2005-10-26 2007-05-17 Dongjin Semichem Co Ltd Photosensitive resin composition, display substrate, and its pattern forming method
JP2007187772A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Fujifilm Corp Photosensitive resin transfer material and method for producing photo spacer, color filter, and liquid crystal display element
JP2007225774A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Mitsui Chemicals Inc Liquid crystal sealing agent and liquid crystal display panel using the same
JP2007225772A (en) * 2006-02-22 2007-09-06 Mitsui Chemicals Inc Liquid crystal sealing agent and liquid crystal display panel using the same
JP2007237433A (en) * 2006-03-06 2007-09-20 Teijin Dupont Films Japan Ltd Polyester film for in-mold transfer
JP2007271994A (en) * 2006-03-31 2007-10-18 Dainippon Printing Co Ltd Photocurable resin composition for batch formation of different members
US7955879B2 (en) * 2008-05-07 2011-06-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of forming LED semiconductor device having annealed encapsulant layer and annealed luminescence conversion material layer
KR20110030329A (en) * 2009-09-17 2011-03-23 제이에스알 가부시끼가이샤 Coloring composition, color filter and color liquid crystal display device
JP2011063717A (en) * 2009-09-17 2011-03-31 Jsr Corp Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element
KR101705900B1 (en) * 2009-09-17 2017-02-10 제이에스알 가부시끼가이샤 Coloring composition, color filter and color liquid crystal display device
TWI480689B (en) * 2009-09-17 2015-04-11 Jsr Corp Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element
JP2011232709A (en) * 2010-04-30 2011-11-17 Taiyo Holdings Co Ltd Curable resin composition
JP2012027363A (en) * 2010-07-27 2012-02-09 Jsr Corp Color composition, color filter and color liquid crystal display device
JP2012123283A (en) * 2010-12-10 2012-06-28 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, method for forming cured film, cured film, organic electroluminescent (el) display device and liquid crystal display device
JP2012128272A (en) * 2010-12-16 2012-07-05 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, method for forming cured film, cured film, organic electroluminescent (el) display device and liquid crystal display device
CN102967994A (en) * 2011-08-30 2013-03-13 住友化学株式会社 Solidified resin composition
US11635688B2 (en) * 2012-03-08 2023-04-25 Kayaku Advanced Materials, Inc. Photoimageable compositions and processes for fabrication of relief patterns on low surface energy substrates
US20150024326A1 (en) * 2012-03-08 2015-01-22 Microchem Corp. Photoimageable compositions and processes for fabrication of relief patterns on low surface energy substrates
US9982102B2 (en) 2012-09-19 2018-05-29 Canon Kabushiki Kaisha Photocurable composition and method of manufacturing film using the composition
WO2014046150A1 (en) * 2012-09-19 2014-03-27 Canon Kabushiki Kaisha Photocurable composition and method of manufacturing film using the composition
CN104662049A (en) * 2012-09-19 2015-05-27 佳能株式会社 Photocurable composition and method of manufacturing film using the composition
JP2014114340A (en) * 2012-12-07 2014-06-26 Nippon Kayaku Co Ltd Active energy ray-curable resin composition and spacer for a display element and/or color filter protective film using the same
JP2017151167A (en) * 2016-02-22 2017-08-31 大日本印刷株式会社 Dimming film, laminated glass and method for manufacturing dimming film
WO2018079427A1 (en) * 2016-10-28 2018-05-03 シャープ株式会社 Seal material composition, liquid crystal cell, and scanning antenna
CN109891312A (en) * 2016-10-28 2019-06-14 夏普株式会社 Sealing material constituent, liquid crystal cells and scanning antenna
KR20190060714A (en) * 2017-11-24 2019-06-03 주식회사 엘지화학 Preparation method of substrate
KR102146539B1 (en) * 2017-11-24 2020-08-20 주식회사 엘지화학 Preparation method of substrate
WO2019225473A1 (en) * 2018-05-25 2019-11-28 積水化学工業株式会社 Sealant for liquid crystal display element, vertical conduction material, and liquid crystal display element
JP6625790B1 (en) * 2018-05-25 2019-12-25 積水化学工業株式会社 Liquid crystal display element sealant, vertical conductive material, and liquid crystal display element
TWI813690B (en) * 2018-05-25 2023-09-01 日商積水化學工業股份有限公司 Sealant for liquid crystal display element, upper and lower conduction material, and liquid crystal display element
WO2023168833A1 (en) * 2022-03-10 2023-09-14 武汉市三选科技有限公司 Composition, adhesive film and chip packaging structure
US11879076B1 (en) 2022-03-10 2024-01-23 Wuhan Choice Technology Co,Ltd Composition, adhesive film and chip packaging structure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2003105207A (en) Resin composition and display device using the same
JP4100529B2 (en) Liquid crystal display device and manufacturing method thereof
JP7227939B2 (en) Light-shielding film photosensitive resin composition, light-shielding film and color filter obtained by curing the same
US20070154820A1 (en) Photosensitive resin composition and black matrix using the same
JP5315106B2 (en) Alkali-soluble resin, method for producing the same, and photosensitive resin composition using alkali-soluble resin
JP5905939B2 (en) Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, color filter and method for producing the same, and liquid crystal display device
JP6713746B2 (en) Photosensitive resin composition for light-shielding film having spacer function, light-shielding film, liquid crystal display device, method for producing photosensitive resin composition for light-shielding film having spacer function, method for producing light-shielding film, and production of liquid crystal display device Method
CN102854749B (en) Photosensitive resin composition for color filter and color filter using same
JP2015155538A (en) Alkali-soluble resin, photosensitive resin composition, color filter and method for manufacturing the same, and liquid crystal display device
WO2014148569A1 (en) Method for manufacturing in-plane-switching-type liquid-crystal display element
TWI703373B (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing liquid crystal display device
JPWO2017018501A1 (en) Liquid crystal alignment agent, liquid crystal alignment film, and liquid crystal display element
JP3705132B2 (en) Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element
JP2013167786A (en) Curable resin composition for organic insulating film, cured material, tft active matrix substrate, and liquid-crystal display
JP2003231752A (en) Photosensitive polyimide precursor, photosensitive resin composition, color filter, liquid crystal drive side- substrate, and liquid crystal panel
JP4303749B2 (en) Negative resist composition for organic insulating film of high aperture ratio liquid crystal display device
JP2010085768A (en) Green curable resin composition, color filter, and display device
JP2010091984A (en) Negative-type resist for forming protrusion for liquid crystal alignment
JP3786181B2 (en) Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element
JP4171332B2 (en) Curable resin composition, liquid crystal panel substrate, and liquid crystal panel
TWI830897B (en) Photosensitive resin composition,cuered film thereof,and display device with that film
JP2004287227A (en) Hardening resin composition for formation of photosensitive pattern, substrate for liquid crystal panel and liquid crystal panel
JP2002365642A (en) Patterned resin coating film, method for manufacturing the same and liquid crystal element
JP7163100B2 (en) Photosensitive resin composition and its manufacturing method, black matrix, pixel layer, protective film, color filter, and liquid crystal display device
US5445919A (en) Photopolymerizable composition