DE1813130C3 - Verfahren zur Herstellung einer Zenerdiode - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Zenerdiode

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
In linearen und logischen integrierten Schaltungen wird, wie aus der GB-PS 1046152 bekannt ist, im allgemeinen eine Emitter-Basis-Diode verwendet, die in der Vorwärtsrichtung vorgespannt wird und auf dem Pegel des Betriebsstromes dieser Schaltungen in bezug auf den Strompegel eine nahezu konstante Spannung hat, die in der Größenordnung von 0,6 bis 0,7 V liegt. Da die in linearen oder logischen Schaltungen zu begrenzenden Spannungen im allgemeinen einige Volt betragen, sollen eine Anzahl Dioden in der Durchlaßrichtung in Reihe geschaltet werden. Es ist aber nicht erwünscht, mehr als drei oder vier Dioden zu verwenden, einerseits weil eine größere Anzahl von Dioden mehr Raum beansprucht und andererseits weil eine Vergrößerung der Anzahl der
ίο Schaltungselemente mit Rücksicht auf die Betriebssicherheitvermieden werden soll. Daher werden in diesem Fall in der Regel nur Zenerdioden für den Spannungsbereich zwischen 0,6 und 2,5 V angewandt.
Für Spannungen über 6 V werden diese Dioden in Sperrichtung geschaltet.
Wenn die Dioden in einer monolithischen Schaltung integriert sind, werden die beiden Zonen der Diode durch zwei aufeinanderfolgende Diffusionsvorgänge von derselben Oberfläche eines Halbleiter- körpers her erhalten, welche Diffusions vorgänge zugleich mit den Diffusionen der Basen und Emitter der in derselben Schaltung integrierten Transistoren durchgeführt werden können.
Im Scannungsbereich zwischen 2,5 und 6 V können
2> durch diese Techniken keine Zenerdioden erhalten werden. Dieser Spannungsbereich ist von besonderer Bedeutung für bestimmte Anwendungen in linearen Schaltungen, die eine Speisespannung von z. B. 6, 12 oder 24 V empfangen.
Es ist bekannt, daß die Durchschlagspannung eines Übergangs von seiner Struktur abhängig ist. Ein Übergang zwischen zwei Zonen mit einem hohen Verunreinigungsgehalt hat z. B. eine niedrige Durchschlagspannung, aber wenn eine der beiden Zonen einen niedrigen Verunreinigungsgehalt hat, ist die Durchschlagspannung hoch, selbst wenn die zweite Zone stark dotiert ist. Diese Eigenschaft wird in einem Verfahren nach der obengenannten GB-PS 1046 152 benutzt, bei dem in einem mit einer epitaktischen Schicht versehenen Halbleiterkörper eine Zenerdiode mit hoher Durchschlagspannung (mindestens über 15 V) angebracht wird. Eine der Zonen dieser Diode besteht aus einem Teil der schwach dotierten epitaktischen Schicht und die andere Zone ist eine stark do-
4> tierte eindiffundierte Zone. Die beabsichtigte hohe Durchschlagspannung wird durch die schwach dotierte Zone, die einen Teil der epitaktischen Schicht bildet, herbeigeführt.
Weiter ist es bekannt, daß ein Übergang zwischen zwei Zonen, deren Verunreinigungsgehalt allmählich in Richtung von der Oberfläche her abnimmt (gleichmäßiger Übergang), eine verhältnismäßig hohe Durchschlagspannung hat, während ein Übergang zwischen zwei Zonen, deren Verunreinigungsgehalt
sich in der direkten Umgebung des Übergangs stark ändert (scharfer Übergang) eine niedrigere Durchschlagspannung aufweist. Die obenerwähnten Zenerdioden, die durch zwei auffolgende Diffusionen von derselben Oberfläche eines Halbleiterkörpers her er-
M) halten sind, haben gleichmäßige Übergänge.
Aus der US-PS 3 255 056 ist ein Verfahren zur Herstellung eines PN-Übergangs bekannt, bei dem ein Emitter-Basis-Übergang, der stets in Vorwärtsrichtung betrieben wird, hergestellt werden soll, der mög-
hr> Hchst gut injiziert. Die angewendete Ausdiffusion dient hier dazu, den Dotierungsüberschuß in der Emitterzone möglichst groß zu machen.
Der Konzentrationsgradient an der Stelle des PN-
Überganges spielt dabei keine besondere Rolle.
Aus der US-PS 3 134159 ist es bekannt, in der Basiszone eines Transistors das erwünschte Dotierungsprofil mit einer hohen Basis-Kollektor-Durchbruchspannung zu kombinieren. Dieser Übergang wird üblicherweise nicht im Durchbruch betrieben und ist kein scharfer sondern ein gleichmäßiger Übergang.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so auszugestalten, daß sich Zenerdioden mit einer Durchbruchspannung im Bei eich zwischen 2,5 und 6 V und insbesondere zwischen 4 und 6 V ergeben, die durch einen scharfen Übergang gebildet werden, der in der Sperrichtung betrieben werden kann.
Der Erfindung liegt u. a. die Erkenntnis zugrunde, daß ein diffundierter Übergang mit der gewünschten Durchschlagspannung erhalten werden kann, der nahezu ein scharfer Übergang ist, indem Ausdiffusion, d. h. eine an sich bekannte Bearbeitung, durchgeführt wird, bei derein Halbleiterkörper z. B. nach Diffusion einer Oberflächenzone einer Wärmebehandlung unterworfen wird, bei der die im Halbleiterkörper vorhandene Verunreinigung aus dem Halbleiterkörper ausdiffundiert, wodurch die Konzentration dieser Verunreinigung, insbesondere in der Nähe der Oberfläche, geändert wird.
Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Dadurch wird erreicht, daß die Konzentrationsgradienten der beiden Verunreinigungen in der Nähe des Übergangs einander entgegengesetzt wird, so daß ein scharfer Übergang erhalten wird.
Der Konzentrationsgradient der ersten Verunreinigung in der unmittelbaren Nähe des Übergangs ist von den Bedingungen abhängig, unter denen die Ausdiffusion durchgeführt wird. Durch passende Wahl z. B. der Zeitdauer der Ausdiffusion, der Temperatur des Halbleiterkörpers und der Atmosphäre, in der die Ausdiffusion durchgeführt wird, kann ein großer Gradient mit umgekehrtem Vorzeichen erhalten werden. Weiterhin kann auch der Konzentrationsgradient der zweiten Verunreinigung groß sein, insbesondere wenn eine Diffusionsbehandlung kurzer Zeitdauer durchgeführt wird.
Beim Verfahren nach der Erfindung kann durch Anwendung von Ausdiffusion die Oberflächenkonzentration der ersten Verunreinigung, die einer der die Durchschlagspannung bestimmenden Faktoren ist, genau eingestellt werden.
Die Erfindung ist besonders vorteilhaft bei der Herstellung integrierter Halbleitervorrichtungen und schafft auf einfache Weise die Möglichkeit, eine Zenerdiode mit der gewünschten Durchschlagspannung in einer integrierten monolithischen Halbleitervorrichtung anzubringen, ohne daß eine große Anzahl zusätzlicher Bearbeitungen durchgeführt zu werden brauchen.
Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ausführungsbeispiele de- ti ladung werden nachstehend im Vergleich zum Stand der Technik anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 den Korizentrationsverlauf der eindiftundierten Verunreinigungen als Funktion der Tiefe bei einer durch ein bekanntes Verfahren hergestellten Diode,
Fig. 2 den entsprechenden Konzentrationsverlauf für eine durch das Verfahren gemäß der Erfindung hergestellte Diode,
Fig. 3a bis 3j schematische Querschnitte durch eine erste Ausführungsform einer Zenerdiode als Teil einer einen npn-Transistor enthaltenden Halbleitervorrichtung in verschiedenen Herstellungsstufen des Verfahrens gemäß der Erfindung,
Fig. 4 einen schematischen Querschnitt durch eine zweite Ausführungsform einer nach dem Verfahren
ίο gemäß der Erfindung hergestellten Zenerdiode,
Fig. 5 einen schematischen Querschnitt durch eine dritte Ausführungsform einer nach dem Verfahren gemäß der Erfindung hergestellten Zenerdiode.
Die Kurve A der Fig. 1 zeigt den Verunreinigungskonzentrationsverlauf C in Atomen/cm3 als Funktion der Tiefe P in μΐη, wie er durch eine erste Diffusion von einer Oberfläche eines Halbleiterkörpers her erhalten wird. Die Kurve B zeigt einen entsprechenden Verlauf der Konzentration einer Verunreinigung, die einen dem der bei der ersten Diffusion verwendeten Verunreinigung entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp herbeiführt, welcher Verlauf durch eine zweite Diffusion von derselben Oberfläche her erhalten ist. Diese beiden Diffusionsvorgänge sind nach der zum Erhalten einer integrierten Zenerdiode in einer monolithischen Schaltung üblichen Technik durchgeführt. Die beiden Diffusionsfronten verschieben sich in der gleichen Richtung mit verschiedenen Geschwindigkeiten, wodurch bei J1 sich ein Übergang
jo bildet, der als ein gleichmäßiger Übergang bezeichnet wird, weil der Gradient der Konzentrationen der beiden Verunreinigungen in der Nähe dieses Überganges gering ist und weil die Konzentrationen in der gleichen Richtung abnehmen.
Die mit einer gestrichelten Linie angegebene Kurve D1 in Fig. 2 zeigt den Konzentrationsverlauf C (Atome/cm3) als Funktion der Tiefe P (μΐη), der durch eine erste Diffusion von der Oberfläche her erhalten wird. Die volle Linie D2 zeigt den Konzentrationsverlauf, nachdem eine Ausdiffusionsbehandlung durchgeführt worden ist. Der Verlauf als Funktion der Tiefe hat sich in bezug auf die Kurve D1 geändert, und insbesondere ist in der Nähe der Oberfläche das Vorzeichen des Gradienten umgekehrt. Die Kurve E zeigt den Konzentrationsverlauf einer Verunreinigung vom entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp, der durch eine kurzzeitige Diffusion von derselben Oberfläche her erhalten wird. Im Schnittpunkt der Kurven D2 und E bildet sich ein Übergang J 2, der als ein scharfer
Übergang bezeichnet wird, weil der Gradient der Verunreinigungskonzentrationen in der Nähe des Übergangs groß ist.
Fig. 3a bis 3j zeigen verschiedene Stufen in der Herstellung einer Zenerdiode als Teil einer Halbleitervorrichtung nach der Erfindung. Ein weiterer Bestandteil der Halbleitervorrichtung ist beispielsweise ein Transistor.
Es sei bemerkt, daß die Abmessungen in den Figuren der Deutlichkeit halber nicht im richtigen Ver-
bo hältnis dargestellt sind. Weiterhin sind die maskierenden Oxydschichten nicht dargestellt, während bei der Beschreibung diese Oxydschichten auch nicht stets erwähnt werden, weil die Anbringung dieser Schichten und liie Anbringung von Fenstern in diesen Schichten
b5 an gewünschten Stellen völlig auf in der Halbleitertechnik übliche Weise erfolgen kann.
In dem Ausführungsbeispiel nach den Fig. 3a bis 3j ist die Oberflächenzone vom gleichen Leitfähig-
keitstyp wie die Oberflächenschicht des Halbeiterkörpers, in dem sie angebracht ist.
Die erwähnte Oberflächenschicht ist z. B. eine epitaktische Schicht, die auf einem Substrat vom entgegengesetzter Leitfähigkeitstyp angebracht ist. In diesem, nur das Prinzip des Herstellungsverfahrens erläuternden Beispiel sind der Transistor, die Diode und die etwaigen übrigen (nicht dargestellten) Schaltelemente gegeneinander und gegen ein durch die erwähnte Unterlage gebildetes Substrat durch Isolierungszonen isoliert, die dadurch erhalten werden, daß von der Oberfläche her eine Verunreinigung von einem dem der Oberflächenschicht entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp eindiffundiert wird, wobei die auf diese Weise erhaltenen Isolierungszonen, die sich bis in das Substrat erstrecken, zusammen mit diesem Substrat gegeneinander isolierte Teile der Oberflächenschicht umgeben. Dabei ist in diesem Beispiel die Oberflächenschicht vom n-Leitfähigkeitstyp und das Substrat vom p-Leitfähigkeitstyp.
Auf einer Oberfläche 2 eines mono-kristallinen Halbleiterkörpers 1 vom p-Leitfähigkeitstyp (Fig. 3a) wird ein vordiffundiertes p-leitendes Gebiet 3 an Stellen angebracht, die den benötigten Isolierungszonen entsprechen. Dann wird ein zweites vordiffundiertes Gebiet 4 (Fig. 3b) vom n-Leitfähigkeitstyp angebracht und von diesem Gebiet her kann durch Diffusion eine begrabene Schicht für den Kollektor des Transistors gebildet werden.
Dann wird auf der Oberfläche 2 eine epitaktische Schicht 5 (Fig. 3c) vom n-Leitfähigkeitstyp angebracht.
Auf der Oberfläche 6 der Schicht 5, die die obenerwähnte Oberflächenschicht des Halbleiterkörpers bildet, werden ein vordiffundiertes Gebiet 7 (Fig. 3d) an den den Gebieten 3 entsprechenden Stellen und ein vordiffundiertes Gebiet 8 angebracht, von welch letzterem Gebiet her eine der Zonen der Diode eindiffundiert werden kann. Dabei ist es wichtig, daß nach der Diffusion die Konzentration an der Oberfläche sehr hoch ist.
Bei der folgenden Behandlung werden von den vordiffundierten Gebieten her Zonen eindiffundiert, die in Fig. 3e schematisch dargestellt sind.
Die Zone 9 der Diode weist einen durch die Kurve D1 der Fig. 2 dargestellten Verunreinigungskonzentrationsverlauf auf, wobei die Oberflächenkonzentration genügend hoch gewählt ist, damit auch nach der Ausdiffusion eine hohe Oberflächenkonzentration erzielt wird.
Durch die Diffusion von den vordiffundierten Gebieten 3 und 7 her werden kontinuierliche Zonen 10 gebildet, wodurch verschiedene von diesen Zonen umgebene Elemente isoliert werden. Durch die Diffusion vom vordiffundierten Gebiet 4 her wird die begrabene Schicht 11 des Transistors gebildet.
Anschließend wird ein vordiffundiertes Gebiet 12 angebracht und von diesem Gebiet her wird die Basis des npn-Transistors gebildet (Fig. 3f).
Während des Diffusionsvorganges, bei dem das Gebiet 13 gebildet wird (Fig. 3g), wird die Oberfläche des Gebietes 9 unmaskiert gelassen, damit in der Nähe dieser Oberfläche eine erste Ausdiffusion der Verunreinigungen bewirkt wird.
Dann werden vordiffundierte Gebiete 14 und 17 vom η + -Leitfähigkeitstyp angebracht und von diesen Gebieten her werden der Emitter 15 des Transistors und die Kontaktzone 18 für den Kollektor des Transistors eindiffundiert (Fig. 3h), wobei während diesei Diffusion eine zweite Ausdiffusion im Gebiet 9 erfolgt, wenn die Oberfläche dieses Gebietes 9 unmaskiert gelassen wird. Nach diesen Behandlungen weisl das Gebiet 9 einen durch die Kurve D2 der Fig. 2 gezeigten Verunreinigungskonzentrationsverlauf auf Die nächste Stufe in dem Verfahren nach der Erfindung besteht in der Diffusion zur Bildung der zweiter Zone 16 der Diode (Fig. 3 j). Zum Erhalten einer untiefen η+ -Zone mit einer hohen Oberflächenkonzentration und einem großen Gradienten wird diese Diffusion bei verhältnismäßig hoher Temperatur und während kurzer Zeit durchgeführt.
Schließlich werden auf unterschiedlichen Gebieten der Schaltelemente Kontakte, z. B. durch Aufdampfen im Vakuum, angebracht.
Fig. 4 zeigt eine Halbleitervorrichtung mit einer Diode der an Hand der Fig. 3 beschriebenen Art und einen Transistor, der zu dem der Fig. 3 komplementäi ist.
Das Substrat, von dem ausgegangen wird, enthält eine Oberflächenschicht 21, z. B. vom n-Leitfähigkeitstyp. In dieser Schicht wird ein vordiffundiertes Gebiet an einer Stelle angebracht, die der Zone 29 des Kollektors des Transistors entspricht. Dann wird auf der Schicht 21 eine epitaktische Schicht 22 vom gleichen Leitfähigkeitstyp angebracht. Anschließend werden zugleich die Zone 25, die eine ringförmige und wenigstens ununterbrochene Geometrie aufweist und die zusammen mit der Zone 29 den Kollektor bildet, und die Anode 23 einer Zenerdiode unter den für die Anode 9 an Hand der Fig. 3e beschriebenen Bedingungen eindiffundiert. Die Zone 28, die von den Zonen 25 und 29 umgeben wird, kann die Basis des Transistors bilden, aber es ist oft erwünscht, eine Zone 27 vom gleichen Leitfähigkeitstyp wie die Schicht 22 anzubringen. Auf diese Weise wird eine Basis mit einem Konzentrationsgradienten erhalten, der die Charakteristiken des Transistors verbessert. Während der Diffusion der Zone 27 wird eine erste Ausdiffusion aus der Zone 23 durchgeführt, wobei die Ausdiffusion während der Diffusion des Emitters 26 ergänzt wird. Die zweite Zone der Diode wird auf gleiche Weise wie im vorhergehenden Beispiel eindiffundiert.
Die Ausführungsform nach Fig. 5 zeigt ein Substrat 31 vom n-Leitfähigkeitstyp, auf dem eine epitaktische Schicht 32 vom p-Leitfähigkeitstyp angebracht ist. Das Herstellungsverfahren kann völlig analog dem in dem an Hand der Fig. 3a bis 3 j beschriebenen Beispiel angewandten Verfahren sein. Die Isolierungszo-πεπ sind mit 36 bezeichnet; der Kollektor des Transistors hat eine vergrabene Schicht 30 und eine Kontaktzone 37, während die Basis und der Emitter des Transistors mit 39 bzw. 38 bezeichnet sind. Die Diode weist eine Zone 33 auf, bei der Ausdiffusion angewandt wird, und eine Zone 34, die durch eine kurzzeitige Diffusion erhalten wird. Vorzugsweise wird, insbesondere wenn der Halbleiterkörper aus Silizium besteht und die erste Zone der Zenerdiode vom n-Leitfähigkeitstyp ist, für einen Teil der Zone 33 Ausdiffusion verhindert, so daß eine Kontaktzone 35 gebildet wird, in der die maximale Veninreinigungskonzentration aufrechterhalten wird, damit ein befriedigender ohmscher Kontakt angebracht werden kann.
Nachstehend werden die wichtigsten Stufen der Herstellung einer Zenerdiode als Teil einer einen npn-Transistor enthaltenden Halbleitervorrichtung
nach dem Verfahren gemäß der Erfindung, deren Prinzip an Hand der Fig. 3 a bis 3 j beschrieben wurde, anhand eines praktischen Ausführungsbeispiels erläutert.
Auf der Oberfläche eines monokristallinen p-leitenden Siliziumkörpers 1 mit einer Stärke von etwa 150 μπι und einem spezifischen Widerstand in der Größenordnung von einigen Ω ■ cm, der als Verunreinigung Bor mit einer Konzentration von z. B. 3 · K)1* Atome/cm' enthält, werden zwei vordiffundierte Gebiete angebracht. Eines dieser Gebiete enthält Arsen mit einer Oberflächenkonzentration von 1():" Atome/cm3 und dient zur Bildung der begrabenen Schicht des Kollektors des Transistors. Das andere Gebiet enthält Bor mit einer Oh-vflächenkonzentration von H)19 Atome/cm' und dient zur Bildung der Isolierungszonen. Die dann auf dem Körper angebrachte epitaktische Schicht enthält als Verunreinigung Phosphor mit einer Konzentration von K)"' Atome/cm1, welche Schicht n-lcitend ist. einen Widerstand in der GröL'jnordnung von 0,5 Ω · cm aufweist und eine Stärke von etwa K) μΐη hat.
Die IsolierungS7-v .n werden durch Diffusion von Bor von der Oberfläche der epitaktischen Schicht her ergänzt, wobei zugleich die Anode der Zenerdiode angebracht wird. Die Oberflächenkonzentration beträgt etwa K)'1' Atome/cm' und die Zeitdauer der Diffusion ist etwa eine Stunde.
Anschließend wird ein vordiffundiertes Gebiet zur Bildung der Basis des Transistors angebracht, wobei gleichfalls Bor, nun mit einer Oberflächenkonzentration von K)'s Atome/cm', angewandt wird. Während der anschließenden Diffusion, die z. B. während 80 Minuten bei einer Temperatur von 1200 C und in einer trockenen Sauerstoffatmosphäre durchgeführt wird, ist die Oberfläche der Anode der Diode unbedeckt, so daß Ausdiffusion stattfindet.
Dann werden vordiffundierte Gebiete zur Bildung des Emitters und des Kollektorkontakts des Transistors angebracht, wobei die Verunreinigung aus Phosphor mit einer Oberflächenkonzentration von Ki-" Atome/cm' besteht. Während der anschließenden Diffusion bei einer Temperatur von etwa 1000 C in einer trockenen Sauerstoffatmosphäre mit einer Zeitdauer von etwa einer halben Stunde wird die Ausdiffusion für die Anode der Diode fortgesetzt.
Dann wird die Kathode der Diode mit Phosphor mit einer Oberflächenkonzentration von K)-" Atome/cm' eindiffundiert, welche Diffusion eine maximale Zeitdauer von 5 bis K) Minuten hat.
Schließlich können auf übliche Weise, z. B. durch Aufdampfen einer Metallschicht im Vakuum, die benötigten Kontakte angebracht werden.
Selbstverständlich können in den oben beschriebenen Ausführungsformen anstelle von Silizium auch andere Halbleitermaterialien, wie Germanium oder A'"ßx-Verbindungen Anwendung finden. Weiterhin können mehr als eine Zenerdiode und mehr als ein Transistor in einer integrierten Schaltung angebracht werden, während auch andere Schaltelemente, wie Feldeffekttransistoren, Widerstände und Kapazitäten, verwendet werden können.
Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (7)

Pate r.tansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung einer Zenerdiode mit einer Durchbruchspannung im Bereich von 2,5 bis 6 Volt als Teil einer Halbleitervorrichtung, bei dem in einen Halbleiterkörper von derselben Oberflächenseite her zwei Verunreinigungen zur Bildung der beiden aneinander angrenzenden, entgegengesetzten Leitfähigkeitstyp aufweisenden Diffusionszonen der Zenerdiode eindiffundiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Eindiffundieren der ersten Verunreinigung mit einer hohen Oberflächenkonzentration das Vorzeichen des Konzentrationsgradienten der Verunreinigung in einem an die Oberfläche des Halbleiterkörpers angrenzenden Teil der durch dab Eindiffundieren gebildeten ersten Zone durch Ausdiffusion umgekehrt wird, wonach in diesen Teil der ersten Zone die zweite Verunreinigung mit einer hohen Oberflächenkonzentration und einem großen Konzentrationsgradienten zur Bildung der zweiten Zone eindiffundiert wird, welche zweite Zone sich höchstens über die gleiche Tiefe wie der Teil der ersten Zone mit umgekehrtem Konzentrationsgradienten in dem Halbleiterkörper erstreckt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einer den einen Leitfähigkeitstyp aufweisenden Oberflächenschicht des Halbleiterkörpers durch Diffusion der den anderen Leitfähigkeitstyp erzeugenden ersten Verunreinigung zugleich die erste Zone und Isolierungszonen zur gegenseitigen Isolierung verschiedener Teile der Oberflächenschicht angebracht werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdiffusion während der Diffusion von Zonen eines weiteren Schaltelements der Halbleitervorrichtung stattfindet.
4. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung einer Kontaktzone für die erste Zone die Ausdiffusion für einen Oberflächenteil der ersten Zone verhindert wird.
5. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdiffusion bei einer Temperatur von mindestens 1000° C stattfindet.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdiffusion in einer trockenen Sauerstoffatmosphäre durchgeführt wird.
7. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als erste Verunreinigung Bor angewandt wird.
DE1813130A 1967-12-14 1968-12-06 Verfahren zur Herstellung einer Zenerdiode Expired DE1813130C3 (de)

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